JP4322762B2 - ステージガイド機構 - Google Patents

Description

本発明はステージガイド機構に係り、特にステージの移動をガイドするガイドレールの歪みをできるだけ小さくなるように構成されたステージガイド機構に関する。

例えば、ステージ装置においては、ステージの移動をガイドするステージガイド機構は、上記定盤上に固定された石材からなる一対のガイドレールを有すると共に、ガイドレールに沿って移動するステージのスライダには、ガイドレールのガイド面に対して数μ〜十数μの隙間を介して対向する静圧軸受けパッドが設けられており、静圧軸受けパッドからガイド面に吹き付けられる空気圧によってスライダが浮上した状態で移動するように構成されている。

このような、ステージ装置では、ワークとして供給される基板の大型化に伴って装置全体が大型化しており、その分ステージの移動距離も延長されつつある。

既存の機械加工技術では、例えば、全長が従前通り１ｍ程度のガイドレールであれば、数μの加工精度で加工することが可能である。しかしながら、ステージの移動距離が延長されるのに伴って、ガイドレールの全長が２ｍ以上に長くなると、精密に計測することが難しくなり、ガイドレールを全長に亘り真直度を計測する際の計測誤差も大きくなるので、要求される精度をクリアするように真直度を有するガイドレールの製造が難しくなっており、さらに熱膨張による寸法変化がガイドレールの歪みや捩れに影響している。

また、ステージをガイドする一対のガイドレールが平行に取り付けられていないと、ステージの直進精度が悪くなるため、ガイドレールの全長が長くなるほど一対のガイドレールの平行度をより高精度に管理する必要がある。

このような、一対のガイドレールの真直度や平行度のばらつきによる影響を小さくするため、例えば、一対のガイドレールに沿って移動する一対のスライダと、一対のスライダ間を連結するビームとの間を板バネを介在させて連結することにより、ガイドレールにかかる負担を低減する構造のものがある（例えば、特許文献１参照）。
特開２０００−２１４２８０号公報

しかしながら、上記特許文献１により開示されたステージ装置では、ガイドレールにかかる負担を低減することができるものの限界があり、例えば、ステージの移動距離が２ｍ〜３ｍに延長される構成ものでは、上記板バネの弾性変形量だけではステージの静的及び動的安定性を確保することが難しい。

さらに、ステージ装置の大型化により定盤の上面精度を確保できないときや、ガイドレールが定盤上ではなく別フレーム上に支持される構成になってしまうときには、ガイドレールの水平度を得るためのレベル調整が困難になってしまうおそれがある。

そこで、本発明は上記課題を解決したステージガイド機構を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明は以下のような特徴を有する。

請求項１記載の発明は、移動方向に延在するように配されたガイドレールを有し、ステージのスライダを前記ガイドレールに沿ってガイドするステージガイド機構において、前記ガイドレールの下側に水平面に対して所定の傾斜角度を有するように形成された下部傾斜面と、前記ガイドレールの下部傾斜面を側方から押圧して前記ガイドレールの位置を調整する押圧部材と、を有する調整機構を備え、前記押圧部材は、前記ガイドレールの下部傾斜面と同一の傾斜角度を有する当接面と、前記水平面に対して摺動可能に取り付けられる摺動面と、を有し、前記水平面に対する調整位置に応じて前記ガイドレールの位置を調整することを特徴とする。

請求項２記載の発明は、前記調整機構が、前記ガイドレールの延在方向と直交する側方から前記摺動面を摺動させて前記当接面を前記ガイドレールの下部傾斜面に押圧させる移動機構を備えたことを特徴とする。

請求項３記載の発明は、前記調整機構が、前記ガイドレールの下部傾斜面と前記押圧部材の当接面とを締結する締結手段を有することを特徴とする。

請求項４記載の発明は、前記ガイドレールを前記摺動面が摺動する水平面に締結することを特徴とする。

請求項５記載の発明は、前記ガイドレールが、下部両側に前記下部傾斜面を２面有し、前記ガイドレールの延在方向と直交する両側に前記押圧部材を配置したことを特徴とする。

請求項６記載の発明は、前記ガイドレールが、前記２面の下部傾斜面の夫々と平行な上部傾斜面を２面有することを特徴とする。

請求項７記載の発明は、前記スライダの内側に、前記ガイドレールの上部傾斜面に対向する角度に傾斜させた静圧軸受けパッドを設けたことを特徴とする。

請求項８記載の発明は、移動方向に延在するように配されたガイドレールを有し、ステージのスライダを前記ガイドレールに沿ってガイドするステージガイド機構において、水平方向に移動可能に設けられ、少なくとも前記ガイドレールの下部傾斜面を２箇所以上で両側から押圧する押圧部材と、該押圧部材を水平面に固定する固定部材と、前記スライダの内側に前記ガイドレールの上面に対向するように配置された静圧軸受けパッドと、を備え、前記押圧部材は、前記ガイドレールの下部傾斜面と同一の傾斜角度を有する当接面と、前記水平面に対して摺動可能に取り付けられる摺動面と、を有し、前記水平面に対する調整位置に応じて前記ガイドレールの位置を調整することを特徴とする。
請求項９記載の発明は、移動方向に延在するように配されたガイドレールを有し、ステージのスライダを前記ガイドレールに沿ってガイドするステージガイド機構において、前記ガイドレールの下部両側に水平面に対して所定の傾斜角度を有するように形成された下部傾斜面と、前記ガイドレールの下部両側に形成された一対の下部傾斜面を側方から押圧して前記ガイドレールの位置を調整する一対の押圧部材と、を有する調整機構を備え、前記一対の押圧部材は、前記ガイドレールの上下方向及び水平方向の位置を調整することを特徴とする。

請求項１０記載の発明は、請求項１乃至９の何れかに記載のステージガイド機構であって、前記ガイドレールに前記スライダを駆動するリニアモータの固定子を設け、前記固定子が前記スライダに設けられたリニアモータの移動子に対して駆動力を付与することを特徴とする。

本発明によれば、押圧部材の当接面をガイドレールの下部傾斜面に当接させると共に、押圧部材の摺動面を水平面に対して摺動させて水平面に対する位置を調整することにより、ガイドレールの位置を調整することが可能になる。よって、ガイドレールの歪みをその設置場所で調整することが可能になり、あるいは設置現場に運搬する過程でガイドレールに歪みが生じた場合でもステージ装置を設置した後にガイドレールの歪みがなくなるように調整することが可能になる。これにより、装置の大型化に伴うガイドレールの全長が延長されても要求される真直度を得ることができる。また、一対のガイドレールを取り付ける際に一対のガイドレールの歪みを調整すると共に、平行度を維持するように調整することもできる。

また、本発明によれば、調整機構がガイドレールの傾斜面を側方から押圧する押圧部材と、押圧部材を水平面に固定する固定部材と、を有するため、比較的簡単な操作でガイドレールの歪みを調整することが可能になり、設置現場で組み立てが完了した後の調整作業を効率良く行える。

また、本発明によれば、ガイドレールが、下部両側に下部傾斜面を２面有し、ガイドレールの延在方向と直交する両側に押圧部材を配置したことにより、ガイドレールの上下方向及び左右方向の調整を容易に行うことができる。
また、本発明によれば、ガイドレールに当接する一対の押圧部材を移動させることにより、ガイドレールの上下方向及び水平方向の位置を適宜調整することが可能になる。

また、本発明によれば、スライダの内側にガイドレールの上部傾斜面に対向する角度に傾斜させた静圧軸受けパッドを設けることにより、断面形状を正方形としたガイドレールを４５度の傾斜面を有する向きに取り付けてもスライダの摺動安定性を確保することができる。

また、本発明によれば、ガイドレールにスライダを駆動するリニアモータの固定子を設け、固定子がスライダに設けられたリニアモータの移動子に対して駆動力を付与する構成とすることにより、コンパクトな構成を実現できると共に、ベース上のスペース効率を高めてベースの横幅を小さくすることも可能になる。さらに、スライダの下面中央に推力を付与することができるので、スライダの重心に対して回転モーメントを発生させないようにスライダを駆動させることが可能になる。

以下、図面と共に本発明の一実施例について説明する。

図１は本発明になるステージガイド機構の一実施例が適用されたステージ装置を示す平面図である。図２はステージガイド機構の実施例１を拡大して示す縦断面図である。図３はステージガイド機構の実施例１を拡大して示す分解斜視図である。
図１乃至図３に示されるように、ステージ装置１０は、基板の大型化に伴いＹ方向の全長が２〜６ｍに設定されたベース（定盤）１４と、ベース１４上を移動する移動体１６と、移動体１６の両端部をＹ方向に駆動する一対のリニアモータ２０とを有する。このステージ装置１０は、輸送しやすくするため、工場で組み立てて試運転及び検査した後、分解されて設置現場に搬送される。そして、設置現場で再び組み立てられ、検査及び調整作業が行なわれる。

移動体１６は、リニアモータ２０により駆動されるスライダ１８と、スライダ１８間を連結するように移動方向と直交するＸ方向に横架されたＹステージ２４と、Ｙステージ２４上をＸ方向に移動するＸステージ２６とを有する。

スライダ１８は、ステージガイド機構２８によりＹ方向に移動可能にガイドされている。このステージガイド機構２８は、Ｙ方向に延在する一対のガイドレール３０と、ガイドレール３０のガイド面に対向するようにスライダ１８の内部に設けられた３個の静圧軸受けパッド３２〜３４と、ガイドレール３０の歪みを調整する複数の調整機構３６とを有する。ガイドレール３０は、断面形状がほぼ正方形の石からなり、水平面に対して４辺が４５度の角度で傾けた状態でベース１４上に取り付けられている。従って、ガイドレール３０は、機械加工により比較的容易に加工することができる。

調整機構３６は、ガイドレール３０の両側から押圧してガイドレール３０の歪みを調整するように構成されており、ガイドレール３０の長手方向の複数箇所（少なくとも２箇所）に設けられている。また、調整機構３６は、設置場所でガイドレール３０の真直度及び平行度を測定して歪みが生じた場所に適宜取り付けられる。

また、スライダ１８には、リニアモータ２０のコイル部（移動子）３８を支持する支持部４０が取り付けられており、ベース１４上に起立されたフレーム４２上に設けられたコ字状の保持部材４４の内側には、リニアモータ２０の磁石（固定子）４６がＹ方向に延在形成されている。従って、スライダ１８は、リニアモータ２０に駆動されてＹ方向に移動する。

よって、移動体１６は、両端に配置された一対のスライダ１８が一対のガイドレール３０によりガイドされながらリニアモータ２０に同時に駆動されることによりＹ方向に並進する。

ここで、ステージガイド機構２８の構成について図２及び図３を参照して説明する。
図２及び図３に示されるように、ステージガイド機構２８のガイドレール３０は、断面がほぼ正方形であり、水平面に対して各４辺が４５度の傾斜角度を有するように取り付けられる。尚、ガイドレール３０の断面は、正方形に限らず、各ガイド面が対向する面とが平行であるひし形あるいは平行四辺形であれば加工を容易に行うことができる。

調整機構３６は、ガイドレール３０の下部傾斜面３０ａ，３０ｂを両側から押圧する一対の調整ブロック５０,５１と、調整ブロック５０をベース１４の上面（水平面）に固定する固定用ボルト（固定部材）５２と、調整ブロック５０を側方から押圧して取付位置を調整する調整ねじ（移動機構）５４と、調整ブロック５０,５１に螺入され調整ブロック５０,５１をガイドレール３０に締結する締結ボルト（締結部材）５６とを有する。

一対の調整ブロック５０,５１は、左右対称な構成であり、夫々、ガイドレール３０の下部傾斜面３０ａ，３０ｂを側方から押圧する押圧部材である。また、調整ブロック５０,５１は、下部傾斜面３０ａ，３０ｂと同一角度で傾斜する当接面５０ａ,５１ａと、ベース１４の上面を摺動する摺動面５０ｂ，５１ｂとを有する。

固定用ボルト５２は、摺動面５０ｂ，５１ｂを貫通してベース１４に挿通され、ボルトによりベース１４に固定される。この固定用ボルト５２による調整ブロック５０,５１の締結力は、移動体１６の移動により荷重がガイドレール３０に作用したとき、移動体１６の荷重に負けない摩擦力を発生させるように設定されている。

調整ブロック５０,５１には、固定用ボルト５２が挿通される長孔５０ｃ,５１ｃと、締結ボルト５６が挿通される長孔５０ｄ,５１ｄとが設けられている。この長孔５０ｃ,５１ｃ及び５０ｄ,５１ｄは、夫々Ｘ方向に幅広でＹ方向に幅狭となるように形成されているため、調整ブロック５０,５１がガイドレール３０の延在方向（Ｙ方向）への移動を規制すると共に、Ｙ方向と直交するＸ方向に移動することを可能にしている。そして、固定用ボルト５２は、先端部分がベース１４に埋め込まれためねじ部材５３に螺入されており、締め付け方向に回されることにより調整ブロック５０,５１を固定する。

調整ブロック５０,５１の外側のベース１４上には、調整ねじ５４を水平状態に螺入されたブラケット５８が固定されている。この調整ねじ５４は、調整ブロック５０,５１の端部に当接しており、工具を用いて時計方向に回動することにより、先端の押圧パッド５４ａが調整ブロック５０,５１を押圧する。これにより、調整ブロック５０,５１は、当接面５０ａ,５１ａがガイドレール３０を押圧する方向に移動し、調整ねじ５４を反時計方向に回動することによりガイドレール３０から離間する方向に移動する。

そして、調整ブロック５０,５１を互いに近接する方向に移動させた場合は、当接面５０ａ,５１ａが下部傾斜面３０ａ，３０ｂを両側から押圧することでガイドレール３０を上方に移動させることができ、調整ブロック５０,５１を互いに離間する方向に移動させた場合は、当接面５０ａ,５１ａが下部傾斜面３０ａ，３０ｂから離間する方向に移動してガイドレール３０を下方に移動させることができる。これにより、ガイドレール３０の高さ位置（上下方向の歪み）を調整することが可能になる。

このように調整機構３６は、ガイドレール３０の歪みをその場で調整することが可能になり、あるいは設置現場に運搬する過程でガイドレール３０に歪みが生じた場合でもステージ装置１０を設置した後にガイドレール３０の歪みがなくなるように調整することが可能になる。これにより、ガイドレール３０は、装置の大型化に伴って全長が延長されても要求される真直度を得ることができる。また、一対のガイドレール３０を取り付ける際に一対のガイドレール３０の歪みを調整すると共に、平行度を維持するように調整することもできる。

また、調整機構３６がガイドレール３０の下部傾斜面３０ａ，３０ｂを側方から押圧するため、比較的簡単な操作でガイドレール３０の歪みを調整することが可能になり、設置現場で組み立てが完了した後の調整作業を効率良く行える。

また、調整ブロック５０,５１を同一方向（右方向あるいは左方向）に移動させることによりガイドレール３０の水平方向の位置（歪み）を調整することが可能になる。

スライダ１８は、下面側にガイドレール３０の上部傾斜面３０ｃ，３０ｄに対向する傾斜面１８ａ，１８ｂを有する。この傾斜面１８ａ，１８ｂには、３個の静圧軸受けパッド３２〜３４が設けられており、そのうち静圧軸受けパッド３２,３３は、揺動構造型で、残りの静圧軸受けパッド３４は、固定構造型である。

傾斜面１８ａ，１８ｂに設けられた静圧軸受けパッド３２,３３は、弾性ヒンジなどの軸方向の強度を有すると共に半径方向の弾性を有する弾性支持部材３２ａ,３３ｂにより揺動可能に支持されている。これは、静圧軸受けパッド３２,３３と上部傾斜面３０ｃ，３０ｄとの間の隙間が微小（数μ〜数十μ）であり、上部傾斜面３０ｃ，３０ｄに歪みあると、静圧軸受けパッド３２，３３は、弾性部材３２ａ,３３ｂが歪みに合わせて弾性変形して揺動することにより安定して浮上することができる。

このように、スライダ１８の内側にガイドレール３０の上部傾斜面３０ｃ，３０ｄに対向する角度に傾斜させた静圧軸受けパッド３２〜３４を設け、断面形状をほぼ正方形としたガイドレール３０を水平面に対して４５度の傾斜面を有する向きに取り付けることにより、空気圧の反力の水平成分と垂直成分が発生し、それら成分のバランスにより安定した摺動を確保することができる。また、従来のように水平面と垂直面の夫々に対向する位置に設ける構成のものよりも静圧軸受けパッドの設置数を減らすことが可能になった。

ここで、上記調整機構３６によるガイドレール３０の歪みを調整作業について説明する。本実施例では、ステージ装置１０の組み立て作業が終了すると、ガイドレール３０の調整作業を行う。

ベース１４上に取り付けられたガイドレール３０の歪みを調整する場合、一対のガイドレール３０の両端を調整ブロック５０,５１の当接面５０ａ,５１ａに載置した状態で固定用ボルト５２を緩めて調整ブロック５０,５１がベース１４上を摺動できるようにする。そして、締結ボルト５６を締め付けて調整ブロック５０,５１をガイドレール３０に締結する。この後、ガイドレール３０の両端の位置が規定位置になるように調整ねじ５４を回して調整ブロック５０,５１の取付位置を微調整する。

次にガイドレール３０の真直度の調整は、ガイドレール３０の中間部分で歪みが生じている箇所に調整ブロック５０,５１を取り付け、各歪み箇所毎に調整ねじ５４による調整作業を行う。そして、一対のガイドレール３０の平行度の調整は、どちらのガイドレール３０を基準として、他方のガイドレール３０の位置を調整ブロック５０，５１を用いて調整する。

図４はステージガイド機構の実施例２を拡大して示す縦断面図である。尚、図４において、上記実施例１と同一部分には同一符号を付してその説明を省略する。
図４に示されるように、実施例２のステージガイド機構６０では、上記締結ボルト５６の代わりにガイドレール３０とベース１４との間を締結ボルト６２を用いて締結する構成となっている。この締結ボルト６２は、ガイドレール３０の中心を垂直方向に貫通する貫通孔６４に挿入されており、その先端がベース１４に埋め込まれためねじ部材６６に螺入される。また、貫通孔６４は、上孔６４ａが上方からみると円形であり、下孔６４ｂが上方からみると長孔形状に形成されている。下孔６４ｂは、前述した長孔５０ｃ,５１ｃ及び５０ｄ,５１ｄと同様に、Ｘ方向に幅広でＹ方向に幅狭となるように形成されているため、調整機構３６による調整時にガイドレール３０がＸ方向に移動することを可能にしている。

このように、ステージガイド機構６０では、調整機構３６による調整後に上方から工具を貫通孔６４に挿入して締結ボルト６２を締め付けてガイドレール３０をベース１４に固定する構成であるので、ガイドレール３０の締結作業が容易に行える。

図５はステージガイド機構の実施例３を拡大して示す縦断面図である。尚、図５において、上記実施例１、２と同一部分には同一符号を付してその説明を省略する。
図５に示されるように、実施例３のステージガイド機構７０では、実施例１の構成に対してスライダ７２とガイドレール７４の構成が異なる。スライダ７２は、下側に矩形状の凹部７２ａが形成されている。また、スライダ７２は、従来のものと同様にコ字状に形成されているので、傾斜面を加工するよりも比較的容易に加工することができる。

また、ガイドレール７４は、断面形状が略五角形であり、下部に実施例１と同様な下部傾斜面７４ａ，７４ｂが形成されており、上部には水平な上面７４ｃと、垂直な左右側面７４ｄ，７４ｅとが形成されている。そして、スライダ７２の凹部７２ａには、ガイドレール７４の上面７４ｃに対向するように静圧軸受けパッド７６が取り付けられている。また、スライダ７２の垂直面７２ｂ，７２ｃには、ガイドレール７４の左右側面７４ｄ，７４ｅに対向するように静圧軸受けパッド７７，７８が取り付けられている。

従って、スライダ７２は、静圧軸受けパッド７６からの空気圧によりガイドレール７４の上面７４ｃに対して数μの隙間を介して浮上した低摩擦状態に支持され、且つ静圧軸受けパッド７７，７８からの空気圧によりガイドレール７４の左右側面７４ｄ，７４ｅに対してＸ方向の位置を規制される。

図６はステージガイド機構の実施例４を拡大して示す縦断面図である。尚、図６において、上記実施例１〜３と同一部分には同一符号を付してその説明を省略する。
図６に示されるように、実施例４のステージガイド機構８０では、リニアモータ８２がガイドレール３０に設けられている。すなわち、リニアモータ８２は、ガイドレール３０の上部に形成された取付溝８４に埋め込まれた磁石（固定子）４６と、磁石４６間に挿入されたコイル部（移動子）３８とから構成されている。取付溝８４は、スライダ１８の移動方向であるＹ方向に延在形成されており、複数の磁石４６がＹ方向に並設されている。そして、コイル部３８は、複数のコイルがモールドされており、取付溝８４の左右両側に配された磁石４６間に挿入された状態で上端がスライダ１８の下面に取り付けられている。

従って、スライダ１８は、リニアモータ８２に駆動されてＹ方向に移動する。このようにステージガイド機構８０では、リニアモータ８２がガイドレール３０に内蔵される構成であるので、コンパクトな構成を実現できると共に、ベース１４上のスペース効率を高めてベース１４の横幅を小さくすることも可能になる。

本発明になるステージガイド機構の一実施例が適用されたステージ装置を示す平面図である。 ステージガイド機構の実施例１を拡大して示す縦断面図である。 ステージガイド機構の実施例１を拡大して示す分解斜視図である。 ステージガイド機構の実施例２を拡大して示す縦断面図である。 ステージガイド機構の実施例３を拡大して示す縦断面図である。 ステージガイド機構の実施例４を拡大して示す縦断面図である。

符号の説明

１０ ステージ装置
１４ ベース
１６ 移動体
１８，７２ スライダ
２０，８２ リニアモータ
２４ Ｙステージ
２６ Ｘステージ
２８，６０，７０，８０ ステージガイド機構
３０，７４ ガイドレール
３２〜３４，７６〜７８ 静圧軸受けパッド
３６ 調整機構
３８ コイル部（移動子）
４６ 磁石（固定子）
５０,５１ 調整ブロック
５２ 固定用ボルト
５４ 調整ねじ
５６，６２ 締結ボルト

Claims (10)

1. 移動方向に延在するように配されたガイドレールを有し、ステージのスライダを前記ガイドレールに沿ってガイドするステージガイド機構において、
   前記ガイドレールの下側に水平面に対して所定の傾斜角度を有するように形成された下部傾斜面と、
   前記ガイドレールの下部傾斜面を側方から押圧して前記ガイドレールの位置を調整する押圧部材と、を有する調整機構を備え、
   前記押圧部材は、
   前記ガイドレールの下部傾斜面と同一の傾斜角度を有する当接面と、
   前記水平面に対して摺動可能に取り付けられる摺動面と、
   を有し、前記水平面に対する調整位置に応じて前記ガイドレールの位置を調整することを特徴とするステージガイド機構。
2. 前記調整機構は、
   前記ガイドレールの延在方向と直交する側方から前記摺動面を摺動させて前記当接面を前記ガイドレールの下部傾斜面に押圧させる移動機構を備えたことを特徴とする請求項１に記載のステージガイド機構。
3. 前記調整機構は、
   前記ガイドレールの下部傾斜面と前記押圧部材の当接面とを締結する締結手段を有することを特徴とする請求項１または２に記載のステージガイド機構。
4. 前記ガイドレールを前記摺動面が摺動する水平面に締結することを特徴とする請求項１または２に記載のステージガイド機構。
5. 前記ガイドレールは、下部両側に前記下部傾斜面を２面有し、
   前記ガイドレールの延在方向と直交する両側に前記押圧部材を配置したことを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載のステージガイド機構。
6. 前記ガイドレールは、前記２面の下部傾斜面の夫々と平行な上部傾斜面を２面有することを特徴とする請求項５に記載のステージガイド機構。
7. 前記スライダの内側に、前記ガイドレールの上部傾斜面に対向する角度に傾斜させた静圧軸受けパッドを設けたことを特徴とする請求項７に記載のステージガイド機構。
8. 移動方向に延在するように配されたガイドレールを有し、ステージのスライダを前記ガイドレールに沿ってガイドするステージガイド機構において、
   水平方向に移動可能に設けられ、少なくとも前記ガイドレールの下部傾斜面を２箇所以上で両側から押圧する押圧部材と、
   該押圧部材を水平面に固定する固定部材と、
   前記スライダの内側に前記ガイドレールの上面に対向するように配置された静圧軸受けパッドと、を備え、
   前記押圧部材は、
   前記ガイドレールの下部傾斜面と同一の傾斜角度を有する当接面と、
   前記水平面に対して摺動可能に取り付けられる摺動面と、
   を有し、前記水平面に対する調整位置に応じて前記ガイドレールの位置を調整することを特徴とするステージガイド機構。
9. 移動方向に延在するように配されたガイドレールを有し、ステージのスライダを前記ガイドレールに沿ってガイドするステージガイド機構において、
   前記ガイドレールの下部両側に水平面に対して所定の傾斜角度を有するように形成された下部傾斜面と、
   前記ガイドレールの下部両側に形成された一対の下部傾斜面を側方から押圧して前記ガイドレールの位置を調整する一対の押圧部材と、を有する調整機構を備え、
   前記一対の押圧部材は、前記ガイドレールの上下方向及び水平方向の位置を調整することを特徴とするステージガイド機構。
10. 請求項１乃至９の何れかに記載のステージガイド機構であって、
    前記ガイドレールに前記スライダを駆動するリニアモータの固定子を設け、
    前記固定子が前記スライダに設けられたリニアモータの移動子に対して駆動力を付与することを特徴とするステージガイド機構。

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