JP2006095665A - ステージ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ステージ装置10は、金属部材を組み合わせた架台12と、架台12上に支持された平板状の吸着板14と、吸着板14の両側に平行に配置された一対のガイドレール16と、ガイドレール16に沿って移動する移動体18と、移動体16の両端部をY方向に駆動する一対のリニアモータ20とを有する。ガイドレール16は、石材を加工した四角柱形状の第1ガイドレール部品16aと第2ガイドレール部品16bとを結合させた構成であり、ガイドレール部品16a,16bは、夫々全長が石材加工機により加工可能な6m程度に加工されている。よって、ガイドレール16の全長は、複数のガイドレール部品16a,16bを結合することにより、延長することが可能である。
【選択図】 図1
Description
図1乃至図3に示されるように、ステージ装置10は、金属部材を組み合わせた架台12と、架台12上に支持された平板状の吸着板14と、吸着板14の両側に平行に配置された一対のガイドレール16と、ガイドレール16に沿って移動する移動体18と、移動体16の両端部をY方向に駆動する一対のリニアモータ20とを有する。
図7に示されるように、高さ調整機構90は、ガイドレール16a,16bを上下方向に貫通するボルト挿通孔92と、ボルト挿通孔92の内部に固着されたナット94と、ナット94に螺入された高さ調整ボルト96とを有する。高さ調整ボルト96は、ボルト挿通孔92の上方から挿入されてナット94に螺入されており、その端部が架台12に当接するように突出している。従って、高さ調整ボルト96を工具により回動させることで、ガイドレール16a,16bの下面より突出する長さが調整され、架台12の上面に対する高さ位置が調整される。
図8に示されるように、実施例3のステージ装置100では、ガイドレール16が、石材を加工した四角柱形状の第1〜第3ガイドレール部品101〜103を一列に結合させた構成である。ガイドレール16の中間に位置する第2ガイドレール部品102は、全長が石材加工機(図示せず)により加工可能な6m程度に加工されている。また、第2ガイドレール部品102の全長は、スライダ32の移動範囲と同じ寸法、あるいはスライダ32の移動範囲より若干長い寸法に形成されており、スライダ32が第1〜第3ガイドレール部品101〜103の結合部分を通過しないように形成されている。
12 架台
14 吸着板
16 ガイドレール
16a,16b ガイドレール部品
18 移動体
20 リニアモータ
22 Y方向金属フレーム
24 X方向金属フレーム
26 支柱
28,48 高さ調整部材
32 スライダ
34 Yステージ
42〜44 静圧軸受けパッド
46 位置調整機構
60 固定用ボルト
80 リニアモータ用ブラケット
84 結合用溝
88 接着剤
90 高さ調整機構
96 高さ調整ボルト
100 ステージ装置
101〜103 ガイドレール部品
Claims (5)
- 架台上に配されたガイドレールを有し、ステージのスライダを前記ガイドレールに沿ってガイドするステージ装置において、
前記ガイドレールは、複数の石材を結合させたことを特徴とするステージ装置。 - 前記架台は、金属部材を組み合わせた構成であることを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。
- 前記架台と前記ガイドレールとの間に前記ガイドレールの取付位置を調整する調整機構を配置したことを特徴とする請求項1または2に記載のステージ装置。
- 前記調整機構を、少なくとも前記ガイドレールの両端及び前記ガイドレールの結合部分に配置したことを特徴とする請求項3に記載のステージ装置。
- 請求項1乃至4の何れかに記載のステージ装置であって、
前記ステージの移動方向に延在するように平行に配された一対のガイドレールと、
前記ステージの両端に連結され、前記一対のガイドレールに沿って移動する一対のスライダと、
前記架台上に配置され、前記ステージの下方に対向するように配置され、搬送された被搬送体を吸着する吸着板と、
を備えたことを特徴とするステージ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004288184A JP2006095665A (ja) | 2004-09-30 | 2004-09-30 | ステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004288184A JP2006095665A (ja) | 2004-09-30 | 2004-09-30 | ステージ装置 |
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Family
ID=36235964
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004288184A Pending JP2006095665A (ja) | 2004-09-30 | 2004-09-30 | ステージ装置 |
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2004
- 2004-09-30 JP JP2004288184A patent/JP2006095665A/ja active Pending
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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