KR20080087724A - 스테이지장치 - Google Patents

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KR20080087724A
KR20080087724A KR1020080027701A KR20080027701A KR20080087724A KR 20080087724 A KR20080087724 A KR 20080087724A KR 1020080027701 A KR1020080027701 A KR 1020080027701A KR 20080027701 A KR20080027701 A KR 20080027701A KR 20080087724 A KR20080087724 A KR 20080087724A
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KR1020080027701A
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Inventor
야스히토 나카모리
다츠야 요시다
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스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68785—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by the mechanical construction of the susceptor, stage or support

Abstract

[과제] 장치의 대형화를 도모하였을 경우이더라도, 특수차량을 이용하지 않고 수송을 가능하게 함과 함께, 베이스대(基台)의 기계가공을 용이하게 행할 수 있는 스테이지장치를 제공한다.
[해결수단] 스테이지장치(1)에 있어서, 베이스대(2)를 갠트리부(9)의 이동방향과 직교하는 수평방향 X로 분할면(12, 13)을 경계로 하여 분할 가능하게 한다.
이에 의하여, 스테이지장치(1)를, 수송차에 탑재 가능한 크기의 본체부(1a)와 분할부(1b)와 분할부(1c)로 분할 가능한 구성으로 함과 함께, 본체부(1a)와 분할부(1b)와 분할부(1c)로 분할하여 기계가공을 가능하게 한다.
Figure P1020080027701
스테이지장치, 베이스대(基台), 본체부, 분할부

Description

스테이지장치{Stage device}
본 발명은, 베이스대(基台)에 지지되어, 그 베이스대 위를 진행방향인 1축 방향으로 이동하는 갠트리부를 가지는 스테이지장치에 관한 것이다.
종래, 액정패널이나 반도체의 각종 기판의 제조장치로서 이용되는 스테이지장치로서, 복수 개의 중공재(中空材)를 연결하여 구축된 중공파이프 구조의 베이스대와, 베이스대 상의 양측에 마련된 가이드 레일과, 가이드 레일을 따라 안내되는 안내 슬라이더를 가지는 빔을 구비하고, 빔이 가이드 레일을 따라 이동하는 스테이지장치가 알려져 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조).
[특허문헌 1] 일본국 특허공개 2006-269509호 공보
그러나, 상기 스테이지장치에 있어서는, 최근 액정 디스플레이의 대형화 등에 수반하여 장치의 대형화를 도모하였을 경우, 수송용 차량 등에 적재할 수 없는 경우가 있다. 여기에서, 특수차량을 이용하여 수송하는 것을 생각할 수 있지만, 비용이 막대하게 되어 버린다. 또한, 베이스대를 구축하기 위한 중공재도 길어지기 때문에, 가공장치로 기계가공을 시행하는 것이 곤란하게 되어 버리는 경우가 있다.
본 발명은, 이와 같은 과제를 해결하기 위하여 행하여진 것이며, 장치의 대형화를 도모하였을 경우이더라도, 특수차량을 이용하지 않고 수송을 가능하게 함과 함께, 베이스대의 기계가공을 용이하게 행할 수 있는 스테이지장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 의한 스테이지장치는, 베이스대에 지지되어, 그 베이스대 위를 진행방향인 1축 방향으로 이동하는 갠트리부를 가지는 스테이지장치에 있어서, 베이스대는, 갠트리부의 이동방향과 직교하는 수평방향으로 분할 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 구성에 의하면, 갠트리부의 이동방향과 직교하는 수평방향으로 베이스대를 분할함으로써, 장치를 분할하여 수송차에 적재할 수 있다. 이에 의하여, 장치의 대형화를 도모하였을 경우이더라도 특수차량을 이용하지 않고 수송이 가능 하게 된다. 또한, 베이스대를 기계가공할 때도, 분할된 부분마다 따로 행할 수 있기 때문에, 용이하게 기계가공을 행할 수 있다.
여기에서, 워크(대상물)의 탑재영역에 베이스대의 분할면이 형성되었을 경우에는 베이스대와 함께 워크도 분할할 필요가 있기 때문에, 베이스대의 분할면은, 탑재영역을 제외한 영역에 형성되는 것이 바람직하다. 이에 의하여, 워크를 분할하지 않고 장치를 분할할 수 있다.
여기에서, 갠트리부를 이동방향으로 안내하기 위한 부재이며 이동방향으로 뻗은 가이드 레일은, 베이스대에 대한 조립정밀도가 특히 요구되는 부분이기 때문에, 가이드 레일이 스테이지장치의 본체부 측과 분할부 측 중 분할부 측에 설치되어 있었을 경우에는, 조립시의 위치결정 정밀도 달성작업이 극히 손이 가는 것이 된다. 따라서, 베이스대의 분할면은, 한 쌍의 가이드 레일보다 외측 영역에 형성되는 것이 바람직하다. 이와 같은 구성을 채용하였을 경우, 가이드 레일이 스테이지장치의 본체부 측에 설치되어 있기 때문에, 조립시, 스테이지장치의 분할부를 본체부에 연결시킬 때의 위치결정 정밀도 달성작업을 용이하게 행할 수 있다.
또한, 갠트리부에는, 가이드 레일을 따라서 안내되는 한 쌍의 가이드부가 설치되고, 갠트리부는, 이동방향과 직교하는 수평방향으로 분할 가능하게 구성되며, 그 분할면은, 가이드부보다도 외측 영역에 형성되는 것이 바람직하다. 이와 같은 구성을 채용하였을 경우, 가이드 레일과 마찬가지로, 특히 조립정밀도가 요구되는 부분인 가이드부가 스테이지장치의 본체부 측에 설치되어 있기 때문에, 조립시, 스테이지장치의 분할부를 본체부에 연결시킬 때의 위치결정 정밀도 달성작업을 용이 하게 행할 수 있다.
또한, 갠트리부는, 연직방향으로 뻗은 중심축선 둘레로 회전운동 가능하게 지지되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같은 구성을 채용하였을 경우, 갠트리부를 분할하지 않고, 중심축선 둘레로 갠트리부를 회전운동시킴으로써, 가이드 레일보다도 외측으로 밀려나오는 갠트리부의 단부(端部)를 내측에 수납할 수 있다. 이에 의하여, 상기 작용에 추가하여, 위치조정이 필요하게 되는 부위를 줄일 수 있어, 용이하게 장치의 조립을 행할 수 있다.
이와 같이, 본 발명에 의하면, 장치의 대형화를 도모하였을 경우이더라도, 특수수송차를 이용하지 않고, 수송이 가능하게 됨과 함께, 베이스대의 기계가공이 용이하게 된다.
이하, 본 발명에 의한 스테이지장치의 적절한 실시예에 대하여 첨부도면을 참조하면서 설명한다. 다만, 각 도면에 있어서, 동일 또는 상당요소에는 동일 부호를 부가하고, 중복하는 설명은 생략한다.
[제1 실시예]
도 1은, 본 발명의 제1 실시예에 관련되는 스테이지장치(1)를 나타내는 사시 도, 도 2는, 도 1에 나타내는 스테이지장치(1)의 구동부 및 그 근방의 부분확대 사시도, 도 3은, 도 1에 나타내는 스테이지장치(1)에 워크 정반(워크)(15)을 세트한 사시도, 도 4는, 도 3에 나타내는 스테이지장치(1)의 부분 정면도이다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시예의 스테이지장치(1)는, 복수 개의 중공재를 연결하여 구축된 중공파이프 구조의 베이스 프레임(베이스대)(2)과, 베이스 프레임(2)을 아래로부터 지지하는 지지 가설대(3)와, 베이스 프레임(2) 위를 이동하는 갠트리부(9)와, 베이스 프레임(2)에 설치되어, 갠트리부(9)의 이동을 안내하는 가이드 레일(4) 및 영구자석(6)과, 갠트리부(9)의 하부에 설치되어, 가이드 레일(4)에 안내되는 안내 슬라이더(7) 및 영구자석(6)과 대향하는 전자석(8)을 구비하여, 이 갠트리부(9)가 가이드 레일(4)을 따라서 이동하는 것이다. 여기서, 도 1에 있어서, 베이스 프레임(2)의 길이방향을 Y축 방향이라 하고, 그와 직교하는 수평방향을 X축 방향으로 한다.
베이스 프레임(2)은, X축 방향으로 뻗은 중공재(2a, 2b)와, Y축 방향으로 뻗은 중공재(2c, 2d)를 각각 연결시킴으로써 형성되는 직사각 형상의 프레임바디의 내측을, 복수의 중공재로 보강함으로써 구성된다. 또한, 베이스 프레임(2)은, 중공재(2c, 2d)의 상면에, 가이드 레일(4)을 탑재하기 위한 부재(2f, 2g)를 Y축 방향으로 뻗도록 각각 구비함과 함께, 부재(2f, 2g) 외측 측면에, 영구자석(8)을 탑재하기 위한 브래킷(2h, 2k)을 Y축 방향으로 뻗도록 각각 구비하고 있다.
지지 가설대(3)는, 베이스 프레임(2)의 네 구석을 각각 지지하는 다리부(3a) 와, 다리부(3a)끼리를 연결하여 보강하는 연결부(3b)로 구성된다. 다만, 다리부(3a)와 베이스 프레임(2) 사이에는, 공기 스프링이나 스프링 등의 탄성재에 의한 제진(除振)기구가 설치되어 있다.
가이드 레일(4)은, 부재(2f, 2g) 상면에 각각 설치되어, Y축 방향으로 뻗는다. 또한, 영구자석(6)은, 브래킷(2h, 2k) 상면에, 가이드 레일(4)에 인접하여 설치되어, Y축 방향으로 뻗는다. 이 영구자석(6)은, Y축 방향으로 S극과 N극의 소정 패턴이 반복되고 있는 것이다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 가이드 레일(4) 및 영구자석(6)의 상방에는, X축 방향으로 뻗은 갠트리부(9) 양측 하부에 연결된 연결판(11)이 배치되어 있고, 이 연결판(11) 하면에는, 안내 슬라이더(7)와 전자석(8)이 각각 인접하여 설치되어 있다. 전자석(8)은, 영구자석(6)의 S극과 N극의 패턴에 맞추어 자극(磁極)을 변화시켜서, 영구자석(6)과의 사이에서 반발력을 발생시킴으로써 갠트리부(9)를 가이드 레일(4)로 안내하면서 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다. 그리고, 영구자석(6) 및 전자석(8)에 의하여 구동부가 구성된다.
도 1에 되돌아와, 갠트리부(9)는, X축 방향으로 뻗은 지지부(9a), 리니어 모터부(9b) 및 이동부(9c)를 구비한다. 이동부(9c)는, 리니어 모터부(9b)에 의하여 그 리니어 모터부(9b)를 따라서 X축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 그리고, 이 이동부(9c)에 소정의 처리장치를 부설함으로써, 처리장치가 X축 방향으로 이동하여 소정의 처리가 실행된다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 스테이지장치(1)의 베이스 프레임(2) 상에는, 액정패널 등을 탑재하기 위한 워크 정반(15)이 설치된다. 베이스 프레임(2)에 있어서, 워크 정반(15)이 탑재되는 영역을 탑재영역(2e)으로 한다. 이 탑재영역(2e)은, 베이스 프레임(2)보다 X축 방향 및 Y축 방향에 있어서 작게 되며, 상세히는, X축 방향에 있어서, 부재(2f, 2g)보다 내측 영역으로 되어 있다. 다만, 스테이지장치(1)가 수송차로 수송될 때, 이 워크 정반(15)이 설치된 상태로 수송차에 적재된다.
여기에서, 특히 본 실시예에 있어서는, 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 베이스 프레임(2)의 중공재(2d) 측에 있어서, 베이스 프레임(2), 지지부(9a), 리니어 모터부(9b) 및 연결판(11)은 X축 방향과 직교하는 분할면(12)에서 분할된다. 이 분할면(12)은, 베이스 프레임(2)의 부재(2g)와 브래킷(2k)의 경계선, 즉, 가이드 레일(4) 및 안내 슬라이더(7)와 영구자석(6) 및 전자석(8)의 경계선에 맞추어 형성된다. 그리고, 분할면(12)에 의하여 분할된 베이스 프레임(2), 지지부(9a), 리니어 모터부(9b) 및 연결판(11)은, 분할면(12)에서 볼트 등에 의하여 연결된다.
또한, 도 3에 나타내는 바와 같이, 베이스 프레임(2)의 중공재(2c) 측 단부에 있어서도, 베이스 프레임(2)의 부재(2f)와 브래킷(2h)의 경계선, 즉, 가이드 레일(4) 및 안내 슬라이더(7)와 영구자석(6) 및 전자석(8)의 경계선에 맞추어 분할면(13)이 형성되고, 분할면(13)에 의하여 분할된 베이스 프레임(2), 지지부(9a), 리니어 모터부(9b) 및 연결판(11)은, 분할면(13)에서 볼트 등에 의하여 연결된다.
이상과 같이, 베이스 프레임(2), 지지부(9a), 리니어 모터부(9b) 및 연결판(11)은 X축 방향으로 분할 가능하게 구성되어 있기 때문에, 스테이지장치(1)는 X축 방향 중앙의 본체부(1a)와, X축 방향 일단측(一端側)의 분할부(1b)와, X축 방향 타단측(他端側)의 분할부(1c)로 분할 가능하게 구성되는 것이 된다.
이와 같이, 본 실시예에 관련되는 스테이지장치(1)에서는, X축 방향으로 베이스 프레임(2)을 분할함으로써, 분할하여 수송차에 적재할 수 있다. 이에 의하여, 스테이지장치(1)의 대형화를 도모하였을 경우이더라도 특수차량을 이용하지 않고 수송이 가능하게 된다. 또한, 베이스 프레임(2)을 기계가공할 때도, 분할된 부분마다 따로 행할 수 있기 때문에, 용이하게 기계가공을 행할 수 있다. 영구자석(6) 및 전자석(8)은, 원래 비접촉 부분이므로, 분할하여도 정밀도 조정이 용이하게 된다.
또한, 워크 정반(15)의 탑재영역(2e)에 베이스 프레임(2)의 분할면(12, 13)이 형성되었을 경우는 베이스 프레임(2)과 함께 워크 정반(15)도 분할할 필요가 있지만, 베이스 프레임(2)의 분할면(12, 13)이, 탑재영역(2e)을 제외한 영역에 형성되어 있기 때문에, 워크 정반(15)을 분할하지 않고 장치를 분할할 수 있다.
또한, 갠트리부(9)를 안내하기 위한 부재인 가이드 레일(4)은, 베이스 프레임(2)에 대한 조립정밀도가 특히 요구되는 부분이기 때문에, 가이드 레일(4)이 스테이지장치(1)의 분할부(1b, 1c) 측에 설치되어 있을 경우는, 조립시의 위치결정 정밀도 달성작업이 극히 손이 가는 것이 된다. 그러나, 본 실시예에 관련되는 스테이지장치(1)에서는, 분할면(12, 13)은, 각각의 가이드 레일(4)보다 외측 영역에 형 성되어 있다. 이에 의하여, 가이드 레일(4)이 스테이지장치(1)의 본체부(1a) 측에 설치되는 것이 되기 때문에, 조립시, 스테이지장치(1)의 분할부(1b, 1c)를 본체부(1a)에 연결시킬 때의 위치결정 정밀도 달성작업을 용이하게 행할 수 있다.
또한, 갠트리부(9)는, X축 방향으로 분할 가능하게 구성되고, 분할면(12, 13)은, 각각의 안내 슬라이더(7)보다도 외측 영역에 형성되어 있어, 가이드 레일(4)과 마찬가지로, 특히 조립정밀도가 요구되는 부분인 안내 슬라이더(7)가 스테이지장치(1)의 본체부(1a) 측에 설치되어 있기 때문에, 조립시, 스테이지장치(1)의 분할부(1b, 1c)를 본체부(1a)에 연결시킬 때의 위치결정 정밀도 달성작업을 용이하게 행할 수 있다.
다만, 여기에서는, 갠트리부(9)가 Y축 방향으로 이동하고, 이동부(9c)가 X축 방향으로 이동하는 2축 타입의 스테이지장치에 대한 적용을 서술하고 있지만, 갠트리부만이 이동하는 1축 타입에도 적용 가능하다.
또한, 갠트리부(9)나 이동부(9c)의 이동은, 접촉타입, 비접촉타입 중 어느 쪽이라도 좋다.
또한, 본 실시예에 있어서는, 베이스 프레임(2) 및 갠트리부(9)의 양 단부(端部)를 분할 가능하게 하고 있지만, 일방(一方)의 단부만을 분할 가능하게 하여도 좋다.
[제2 실시예]
도 5는, 본 발명의 제2 실시예에 관련되는 스테이지장치(21)의 부분 정면도이다. 이 제2 실시예가 제1 실시예와 다른 점은, 갠트리부(9)를 분할하지 않는 구성으로 한 점이다.
도 5에 나타내는 바와 같이, 스테이지장치(21)에 있어서는, 지지부(9a), 리니어 모터부(9b) 및 연결판(11)에는 분할면이 형성되지 않고, 베이스 프레임(2)에만 제1 실시예의 분할면(12)과 같은 분할면(22)이 형성된다. 이에 의하여, 스테이지장치(21)는, 갠트리부(9)를 가지는 본체부(21a)와 분할부(2lb)로 분할 가능하게 구성되는 것이 된다. 또한, 도시하지 않았지만, 베이스 프레임(2)의 중공재(2c) 측의 단부에 있어서도 마찬가지로 분할 가능하게 구성된다.
여기에서, 지지부(9a)와 연결판(11)의 경계부분에 있어서의 가이드 레일(4)의 상방 위치에는, 갠트리부(9)를 수평면 내에 있어서 회전운동 가능하게 지지하는 회전운동부(25)가 설치된다. 이 회전운동부(25)는 중공재(2d) 측의 단부에만 설치되어 있다. 그리고, 스테이지장치(21)의 본체부(21a)를 수송차에 적재할 때, 갠트 리부(9)를 회전운동부(25)의 중심축선(L) 둘레로 회전운동시켜, 그 위치에서 소정의 고정수단으로 고정한다. 혹은, 갠트리부(9)를 떼어 둔다.
이와 같은 제2 실시예에 의하면, 갠트리부(9)를 분할하지 않고 중심축선(L)을 중심으로 하여 갠트리부(9)를 회전운동시킴으로써, 가이드 레일(4)보다도 외측으로 밀려나오는 양 단부를 내측에 수납할 수 있다. 이에 의하여, 위치조정이 필요하게 되는 부위를 줄일 수 있어서, 용이하게 장치의 조립을 행할 수 있다.
다만, 본 실시예에 있어서는, 베이스 프레임(2)의 양 단부를 분할 가능하게 하고 있지만, 일방의 단부만을 분할 가능하게 하여도 좋다. 이와 같이, 베이스 프레임(2)의 일방의 단부만을 분할할 경우에는, 회전운동축선이 있는 측과는 반대측의 단부측을 분할하고, 회전운동축선을 중심축으로 하여 갠트리부(9)를 어느 정도 회전운동하면 수송이 가능하게 된다.
[제3 실시예]
도 6은, 본 발명의 제3 실시예에 관련되는 스테이지장치(31)의 부분 정면도이다. 이 제3 실시예가 제2 실시예와 다른 점은, 베이스 프레임(2)을 더욱 분할 가능한 구성으로 한 점이다.
도 6에 나타내는 바와 같이, 스테이지장치(31)에 있어서는, 베이스 프레임(2)은 분할면(22) 뿐만 아니라, X축 방향과 직교하는 분할면(32)에 의하여서도 분할된다. 이 분할면(32)은, 중공재(2d)와 중공재(2b) 및 중공재(2a)의 경계선에 맞추어 형성된다. 이에 의하여, 스테이지장치(31)는, 본체부(31a)와, 제2 실시예와 같은 분할부(3lb)와, 갠트리부(9)를 가지는 분할부(31c)로 분할 가능하게 구성되는 것이 된다. 다만, 도시하지 않았지만, 베이스 프레임(2)의 중공재(2c) 측의 단부에 있어서도 마찬가지로 분할 가능하게 구성된다. 이에 의하여, 제2 실시예의 본체부(21a)를 더욱 분할할 수 있다.
다만, 본 실시예에 있어서는, 베이스 프레임(2)의 양 단부를 분할 가능하게 하고 있지만, 일방의 단부만을 분할 가능하게 하여도 좋다. 이와 같이, 베이스 프레임(2)의 일방의 단부만을 분할할 경우에는, 회전운동축선이 있는 측과는 반대측 의 단부측을 분할하고, 회전운동축선을 중심축으로서 갠트리부(9)를 어느 정도 회전운동하면 수송이 가능하게 된다. 또한, 제1 실시예와 같이 갠트리부(9)를 분할할 경우에도, 본 실시예는 적용 가능하다.
이상, 본 발명을 그 실시예에 근거하여 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것이 아니고, 예컨대, 분할면(12, 13, 22, 32)을, 도면 7(a)에 나타내는 바와 같이, 상하 방향을 따라서 요철이 늘어서는 인로우형의 분할면(50)으로 하여도 좋고, 또한, 도 7(b)에 나타내는 바와 같이, 경사지는 분할면(51)으로 하여도 좋다.
도 1은, 본 발명의 제1 실시예에 관련되는 스테이지장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는, 도 1에 나타내는 스테이지장치의 구동부 및 그 근방을 나타내는 부분확대 사시도이다.
도 3은, 도 1에 나타내는 스테이지장치에 워크 정반(定盤)을 세트한 사시도이다.
도 4는, 도 3에 나타내는 스테이지장치의 부분 정면도이다.
도 5는, 본 발명의 제2 실시예에 관련되는 스테이지장치의 부분 정면도이다.
도 6은, 본 발명의 제3 실시예에 관련되는 스테이지장치의 부분 정면도이다.
도 7은, 다른 분할면을 나타내는 도면이며, （a）는 분할면을 인로우형으로 하였을 경우를 나타내고, （b）는 분할면을 경사면으로 하였을 경우를 나타낸 도면이다.
*부호의 설명*
1, 21, 31 : 스테이지장치
2 : 베이스 프레임(베이스대(基台))
2e : 탑재영역
3 : 지지 가설대
9 : 갠트리부
12, 13, 22, 32, 50, 51 : 분할면
15 : 워크 정반(定盤)(워크)

Claims (5)

  1. 베이스대(基台)에 지지되어, 그 베이스대 위를 진행방향인 1축 방향으로 이동하는 갠트리부를 가지는 스테이지장치에 있어서,
    상기 베이스대는, 상기 갠트리부의 이동방향과 직교하는 수평방향으로 분할 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 베이스대는 워크를 탑재하는 탑재영역을 가지고,
    상기 베이스대의 분할면은, 상기 탑재영역을 제외한 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 베이스대 상에는, 상기 갠트리부를 이동방향으로 안내하는 한 쌍의 가이드 레일이 상기 이동방향으로 뻗도록 설치되고,
    상기 베이스대의 분할면은, 상기 가이드 레일보다 외측 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 갠트리부에는, 상기 가이드 레일을 따라서 안내되는 한 쌍의 가이드부 가 설치되고,
    상기 갠트리부는, 상기 이동방향과 직교하는 수평방향으로 분할 가능하게 구성되어, 그 분할면은, 상기 가이드부보다 외측 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 갠트리부는, 연직방향으로 뻗은 중심축선 둘레로 회전운동 가능하게 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
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