JP5380225B2 - ガラス基板の検査装置 - Google Patents
ガラス基板の検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5380225B2 JP5380225B2 JP2009219250A JP2009219250A JP5380225B2 JP 5380225 B2 JP5380225 B2 JP 5380225B2 JP 2009219250 A JP2009219250 A JP 2009219250A JP 2009219250 A JP2009219250 A JP 2009219250A JP 5380225 B2 JP5380225 B2 JP 5380225B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- base
- inspection
- stage
- divided
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
本実施形態では、図2、図3に示すように、基台フレーム1をフレーム1a、1b、1cの三分割構造とし、検査ステージを2a、2bの二分割構造としている。光学部3は図3に示すように、門型の構造となり、光学ヘッド3台4a、4b、4cと詳細な検査を行なう光学顕微鏡部30(図1参照)を有している。また、脚部20は後述する下フレームの角部に複数個(本実施形態では片側6個、合計12個)設けている。
分割位置は作業性を考慮して以下のように決定した。即ち、二分割された検査ステージ2a、2bは、図2に示すそのX方向な長さが、分割された基台フレーム1a、1bのX方向の長さより短く、しかも、検査ステージ2aは基台フレーム1aに、検査ステージ2bは基台フレーム1bに搭載されたまま、光学部3は基台フレーム1cに搭載されたまま輸送できるよう分割している。また、検査時においては、基台フレーム1cは光学部3の待機位置でもある。
一方、上フレームのうち上フレーム1au、1cuはコの字型をしており、フレーム1buは両サイドのみにフレームが配置されている。この構造により、検査ステージ2a、2bがフレーム1a、1b、1c内部を移動可能となっている。
また、基台フレームには、検査ステージ2をX方向に移動させる為のリニアガイドレール5a、5b(図3参照)が下フレーム1ad,1bd、1cdに、検査ステージ駆動部12が下フレーム1adに、リニアガイドレール6a、6bが上フレーム1au、1bu、1cuに設けられている。また、上フレーム1au,1bu、1cuには、リニアガイド6a、6bの外側に光学部3を移動させる為のリニアガイドレール7a、7bが平行に設けられている。リニアガイドレール6a、6b、7a、7bは、基台フレーム1b、1c全域に渡り基台フレーム同様に分割されている。リニアガイドレール6a、6b、7a、7bの分割位置は、分割部でのがたつきを低減させるため基台フレームの分割する位置からずらしている。
3:光学部 4:光学ヘッド
5、6、7:リニアガイドレール 8:光学部X駆動部
9:ステージベース 10:支柱
11:ステージ 12:検査ステージ駆動部
13:プレート 15、16,17:摺動子
18:光学部Y駆動部 20:脚部
21:レベルパッド 22:ベース
23:ブロック 24:連結ベース
25:パッド 40:制御部
100:ガラス基板検査装置。
Claims (8)
- ガラス基板を載置する検査ステージと、検査光を前記ガラス基板に照射し、検査光がガラス基板の表面又は内部から散乱された散乱光を受光する光学部と、前記検査ステージ及び前記光学部のうち少なくとも一方を移動させる駆動部を有する基台と、前記基台を設置する脚部を有するガラス基板検査装置において、
前記基台及び前記検査ステージのうち少なくとも前記基台を前記移動方向に複数に分割し、前記脚部は剛体で構成され、床面に接触し高さを調整可能なレベル部と、基台との連結ベースと、レベル部上に設けられたベース部と、前記連結ベースと前記ベース部と間に設けられたブロックとを有することを特徴とするガラス基板検査装置。 - 前記脚部を分割されたそれぞれの基台の角部に設けたことを特徴とする請求項1に記載
のガラス基板検査装置。 - 前記基台をN(整数)分割、前記検査ステージをN−1分割したことを特徴とする請求項
1または2に記載のガラス基板検査装置。 - 前記N分割のうち一端側であるN番目の基台は前記光学部の待機位置であり、前記分割
された検査ステージのうちM(≦N−1、整数)番目の検査ステージの移動方向の長さは、
M番目の基台の移動方向の長さより短いことを特徴とする請求項3に記載のガラス基板検
査装置。 - 前記Nは3であることを特徴とする請求項4に記載のガラス基板検査装置。
- 前記分割されたそれぞれに検査ステージの面精度を調節する検査ステージ面精度調節手
段を有することを請求項3に記載のガラス基板検査装置。 - 前記分割された検査ステージはそれぞれ前記基台上を移動するステージベースと、前記ガラス基板を搭載するステージと、前記ステージベースと前記ステージを連結する連結部とを有し、前記検査ステージ面精度調節手段は連結部の高さを調節する手段であることを特徴とする請求項6に記載のガラス基板検査装置。
- 前記分割された検査ステージ間の面精度を調節する手段を設けたことを特徴とする
請求項3に記載のガラス基板検査装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009219250A JP5380225B2 (ja) | 2009-09-24 | 2009-09-24 | ガラス基板の検査装置 |
KR1020100081706A KR101218531B1 (ko) | 2009-09-24 | 2010-08-24 | 유리 기판 검사 장치 |
CN201010263454XA CN102033067A (zh) | 2009-09-24 | 2010-08-25 | 玻璃基板检查装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009219250A JP5380225B2 (ja) | 2009-09-24 | 2009-09-24 | ガラス基板の検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011069655A JP2011069655A (ja) | 2011-04-07 |
JP5380225B2 true JP5380225B2 (ja) | 2014-01-08 |
Family
ID=43886247
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009219250A Active JP5380225B2 (ja) | 2009-09-24 | 2009-09-24 | ガラス基板の検査装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5380225B2 (ja) |
KR (1) | KR101218531B1 (ja) |
CN (1) | CN102033067A (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5395313B1 (ja) * | 2012-12-25 | 2014-01-22 | 信越エンジニアリング株式会社 | アクチュエータ及び粘着チャック装置 |
CN104991427B (zh) * | 2015-08-12 | 2017-12-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种曝光装置及曝光方法 |
CN109724999A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-05-07 | 江苏东旭亿泰智能装备有限公司 | 玻璃基板检测装置 |
CN111474599A (zh) * | 2020-05-19 | 2020-07-31 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 玻璃基板的异物检测装置及其检测方法 |
CN113670949A (zh) * | 2021-08-27 | 2021-11-19 | 惠州市特创电子科技股份有限公司 | 一种大型电路板步进检查机的分区检查方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2235547Y (zh) * | 1995-08-02 | 1996-09-18 | 张洲 | 组合式多用垫铁 |
US7077019B2 (en) * | 2003-08-08 | 2006-07-18 | Photon Dynamics, Inc. | High precision gas bearing split-axis stage for transport and constraint of large flat flexible media during processing |
JP2006242679A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Olympus Corp | 基板検査装置及び基板検査装置の組み立て方法 |
JP4519705B2 (ja) * | 2005-04-26 | 2010-08-04 | 株式会社堀場製作所 | パネル部材検査装置及びそれに適用される位置情報補正プログラム |
JP4793851B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2011-10-12 | レーザーテック株式会社 | カラーフィルタ基板のステージ装置及び検査装置 |
JP4860966B2 (ja) * | 2005-09-02 | 2012-01-25 | Nskテクノロジー株式会社 | 露光パターンの転写方法及び露光装置 |
JP2007073688A (ja) * | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Shinko Electric Co Ltd | Xyステージ装置及びその製造方法 |
JP4578383B2 (ja) * | 2005-10-25 | 2010-11-10 | 株式会社堀場製作所 | パネル部材検査装置及びそれに適用されるパネル部材検査用プログラム |
JP4826766B2 (ja) * | 2006-06-26 | 2011-11-30 | 日立金属株式会社 | Xyステージ |
JP5265099B2 (ja) * | 2006-09-11 | 2013-08-14 | オリンパス株式会社 | 基板検査装置 |
TW200821247A (en) * | 2006-09-22 | 2008-05-16 | Olympus Corp | Substrate inspecting apparatus |
JP4328364B2 (ja) * | 2007-03-27 | 2009-09-09 | 住友重機械工業株式会社 | ステージ装置 |
JP2009093002A (ja) * | 2007-10-10 | 2009-04-30 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置及び基板処理装置を構成するステージの設置方法 |
JP4195497B2 (ja) * | 2007-12-12 | 2008-12-10 | 住友重機械工業株式会社 | ステージ装置 |
JP2009276100A (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-26 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
-
2009
- 2009-09-24 JP JP2009219250A patent/JP5380225B2/ja active Active
-
2010
- 2010-08-24 KR KR1020100081706A patent/KR101218531B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2010-08-25 CN CN201010263454XA patent/CN102033067A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011069655A (ja) | 2011-04-07 |
CN102033067A (zh) | 2011-04-27 |
KR20110033023A (ko) | 2011-03-30 |
KR101218531B1 (ko) | 2013-01-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7239161B2 (en) | Gantry-type XY stage | |
JP5380225B2 (ja) | ガラス基板の検査装置 | |
KR101411448B1 (ko) | 변형 가능한 갠트리형 작업 장치 | |
US20050040338A1 (en) | High precision gas bearing split-axis stage for transport and constraint of large flat flexible media during processing | |
US20110053092A1 (en) | Object processing apparatus, exposure apparatus and exposure method, and device manufacturing method | |
KR102549429B1 (ko) | 디지털 리소그래피 시스템들 상에서의 다중-기판 프로세싱 | |
CN108139680B (zh) | 曝光装置、曝光方法、平面显示器的制造方法、及元件制造方法 | |
JP4315295B2 (ja) | ペースト塗布装置 | |
KR100931590B1 (ko) | 스테이지 장치 | |
JP2008147291A (ja) | 基板支持装置、基板支持方法、基板加工装置、基板加工方法、表示装置構成部材の製造方法 | |
KR101211851B1 (ko) | 패널 기판 반송 장치 및 표시 패널 모듈 조립 장치 | |
JP4673215B2 (ja) | ステージ装置 | |
JP4693581B2 (ja) | 基板検査装置及び基板検査方法 | |
JP2007322706A (ja) | 露光装置及び露光方法 | |
US20070153246A1 (en) | Apparatus and method for exposing edge of substrate | |
JP2008023698A (ja) | ステージ装置 | |
KR102308226B1 (ko) | 기판표면 결함 리뷰장치 | |
JP4084653B2 (ja) | 二次元測定機 | |
JP2007245004A (ja) | 基板処理装置、基板搬送装置、基板処理方法、基板搬送方法、カラーフィルタ製造装置、カラーフィルタ製造方法、表示装置の製造装置、表示装置の製造方法 | |
KR100900383B1 (ko) | 도포장치 | |
KR20220040366A (ko) | 묘화 장치 | |
JP2017109379A (ja) | 転写装置 | |
JP3139179U (ja) | フラットパネルディスプレイ用検査装置 | |
KR101120439B1 (ko) | 액정 노광 장치 | |
JP2010075877A (ja) | ペースト塗布装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130401 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130903 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130930 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5380225 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |