KR100541461B1 - 스테이지장치 - Google Patents

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KR100541461B1 KR1020040083718A KR20040083718A KR100541461B1 KR 100541461 B1 KR100541461 B1 KR 100541461B1 KR 1020040083718 A KR1020040083718 A KR 1020040083718A KR 20040083718 A KR20040083718 A KR 20040083718A KR 100541461 B1 KR100541461 B1 KR 100541461B1
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이준호
김정욱
이성진
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은, 스테이지장치에 관한 것으로서, 베이스와; 상기 베이스에 대해 상대 이동가능하게 마련된 스테이지와; 상기 베이스에 대해 상기 스테이지를 상대 이동시키도록 마련된 복수의 구동유닛을 포함하며, 상기 각 구동유닛은, 상기 베이스에 대해 상기 스테이지방향으로 이동가능하게 마련된 제1영역과, 상기 제1영역의 이동방향에 수직한 방향으로 이동가능하게 마련된 제2영역을 갖는 링크와; 상기 링크의 제1영역이 상기 스테이지를 이동시키도록 상기 링크의 제2영역을 이동시키는 링크구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 스테이지장치의 전체크기를 용이하게 줄일 수 있다.

Description

스테이지장치{STAGE APPARATUS}
도 1은 본 발명에 따른 스테이지장치의 단면도,
도 2는 본 발명에 따른 스테이지장치의 작동도,
도 3은 본 발명에 따른 스테이지장치의 구동유닛의 작동도,
도 4는 본 발명에 따른 스테이지장치의 스테이지의 이동에 따른 개략도,
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 스테이지장치 5 : 스테이지
10 : 제1구동유닛 11 : 제1링크
13 : 접촉슬라이더 15 : 보조슬라이더
17 : 고정형가이드 18 : 고정형보조가이드
21 : 구동슬라이더 23 : 이동형가이드
25 : 제1링크구동부 28 : 제1탄성부재
30 : 제2구동유닛 31 : 제2링크
45 : 제2링크구동부 48 : 제2탄성부재
50 : 제3구동유닛 51 : 제3링크
65 : 제3링크구동부 68 : 제3탄성부재
본 발명은, 스테이지장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 스테이지의 이송구조를 개선한 스테이지장치에 관한 것이다.
일반적으로 스테이지장치는 반도체의 웨이퍼 및 액정표시패널(LCD) 등의 정밀검사를 위한 스캐닝장치와 반도체 가공기 및 정밀 가공기 등에 사용되는 장치로서, 웨이퍼와 같은 물품을 지지하여 정밀하게 이송할 수 있는 장치이다.
이러한 스테이지장치는 주로 반도체의 웨이퍼 등을 지지하는 스테이지와, 스테이지를 이송하기 위한 구동유닛을 포함한다.
이러한 종래의 스테이지장치에 관련된 기술이 한국공개특허공보 공개번호 특2003-0051770호의 XYZ-축 테이블에 개시되어 있다. 이러한 종래의 XYZ-축 테이블은 스테이지와, 스테이지를 이송하기 위해 구동유닛으로 X-축 구동리니어모터와 Y-축 구동리니어모터 및 Z-축 구동리니어모터를 포함하도록 구성된다. 이러한 리니어모터는 전기자와, 전기자에 대해 상대적으로 이동하는 가동요소를 포함한다. 그리고, 이러한 가동요소는 전기자에 대해 이동하는 방향으로 스테이지의 단부를 가압하여 스테이지를 이송하게 된다.
그러나, 이러한 종래의 스테이지장치는 전기자에 의한 가동요소의 이동방향인 구동유닛의 작동방향과 가동요소가 스테이지의 단부를 가압하는 방향이 동일하게 설정됨으로, 구동유닛들이 스테이지의 단부에 수직하여 길게 설치되어 설치공간을 많이 차지하게 된다.
따라서 본 발명의 목적은, 크기를 용이하게 줄일 수 있는 스테이지장치를 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 스테이지장치에 있어서, 베이스와; 상기 베이스에 대해 상대 이동가능하게 마련된 스테이지와; 상기 베이스에 대해 상기 스테이지를 상대 이동시키도록 마련된 복수의 구동유닛을 포함하며, 상기 각 구동유닛은, 상기 베이스에 대해 상기 스테이지방향으로 이동가능하게 마련된 제1영역과, 상기 제1영역의 이동방향에 수직한 방향으로 이동가능하게 마련된 제2영역을 갖는 링크와; 상기 링크의 제1영역이 상기 스테이지를 이동시키도록 상기 링크의 제2영역을 이동시키는 링크구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지장치에 의해 달성된다.
여기서, 상기 각 구동유닛은, 상기 링크의 제1영역에 상기 스테이지와 접촉가능하게 마련된 접촉슬라이더와; 상기 링크의 제2영역 및 상기 링크구동부에 대해 결합되어 상기 링크구동부에 의해 이송되는 구동슬라이더와; 상기 베이스에 대해 지지되어 상기 접촉슬라이더를 안내하는 고정형가이드와; 상기 베이스에 대해 이동가능하게 마련되며 상기 구동슬라이더를 안내하는 이동형가이드를 더 포함할 수 있다.
상기 각 구동유닛은, 상기 링크의 제1 및 제2영역과 삼각형을 이루는 상기 링크의 제3영역에 상기 접촉슬라이더의 이동방향과 수직한 방향으로 이동가능하게 마련된 보조슬라이더와; 상기 베이스에 대해 지지되어 상기 보조슬라이더를 안내하는 고정형보조가이드를 포함할 수 있다.
상기 각 구동유닛은 상기 베이스 및 상기 스테이지에 대해 결합되어 상기 링크의 제1영역이 상기 스테이지를 가압하는 방향에 반대방향으로 탄성력을 제공하는 탄성부재를 더 포함할 수 있다.
상기 탄성부재는 상기 스테이지가 상기 링크의 제1영역에 대해 접촉가능하도록 탄성력을 제공할 수 있다.
상기 복수의 구동유닛은 제1구동유닛, 제2구동유닛 및 제3구동유닛을 포함하며, 상기 제1구동유닛은 상기 스테이지의 제1단부에 접촉가능하게 마련되며, 제2 및 제3구동유닛은 상기 스테이지의 제1단부와 수직을 이루는 상기 스테이지의 제2단부에 접촉가능하게 마련될 수 있다.
상기 복수의 구동유닛은 제1구동유닛, 제2구동유닛 및 제3구동유닛을 포함하며, 상기 제1구동유닛은 상기 스테이지의 제1단부에 접촉가능하게 마련되며, 제2 및 제3구동유닛은 상기 스테이지의 제1단부와 수직을 이루는 상기 스테이지의 제2단부에 접촉가능하게 마련될 수 있다.
상기 링크구동부는 구동모터와, 일측이 상기 이동형가이드에 대해 결합되며 타측이 상기 구동모터에 의해 이동가능하게 마련된 로드를 포함할 수 있다.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 스테이지장치(1)는 베이스(7)와, 베이스(7)에 대해 상대 이동가능하게 마련된 스테이지(5)와, 베이스(7) 에 대해 스테이지(5)를 상대 이동시키기 위해 마련된 복수의 구동유닛(10,30,50)을 포함한다.
베이스(7)는 스테이지(5)가 상대 이동가능하도록 스테이지(5)의 하측에 마련되어 스테이지(5)를 지지한다. 베이스(7)는 스테이지(5)가 베이스(7)에 대해 슬라이딩 이동가능하도록 스테이지(5)와 접촉하여 지지할 수 있으며, 에어베어링 등을 사용하여 스테이지(5)와 비접촉하여 지지할 수 있다.
스테이지(5)는 반도체의 웨이퍼 등을 안착하여 지지하도록 판 형상으로 마련된다. 스테이지(5)는 본 발명의 일실시예로 소정의 두께를 갖는 사각 판 형상으로 마련되나, 이러한 사각형 형상에 한정되지 않고 삼각형 등 다른 다각형 형상으로 마련될 수 있으며, 원형이나 타원형 형상으로 마련될 수도 있다. 스테이지(5)는 후술할 제1구동유닛(10)에 의해 접촉가능하게 마련된 제1단부(5a)와, 제1단부(5a)와 수직을 이루도록 마련되어 후술할 제2구동유닛(30) 및 제3구동유닛(50)에 의해 접촉가능하게 마련된 제2단부(5b)를 포함한다.
복수의 구동유닛(10,30,50)은 본 발명의 일실시예에 따라 제1구동유닛(10), 제2구동유닛(30) 및 제3구동유닛(50)을 포함한다. 제1구동유닛(10)은 스테이지(5)의 제1단부(5a)에 접촉가능하게 마련되며, 제2구동유닛(30) 및 제3구동유닛(50)은 스테이지(5)의 제2단부(5b)에 접촉가능하게 마련된다. 그러나, 복수의 구동유닛(10,30,50)은 전술한 바와 같이 셋으로 마련되는데 한정되지 않고 2개 혹은 4개 이상으로 마련될 수도 있으며, 각 구동유닛(10,30,50)이 배치되는 위치역시 스테이지(5)의 제1단부(5a) 및 제2단부(5b)에 한정되지 않고 스테이지(5)의 다양한 단부에 배치될 수 있다.
각 구동유닛(10,30,50)은 본 발명의 일예로 거의 같은 구성으로 마련되며, 각 구동유닛(10,30,50)의 구성에 대해서는 대표로 제1구동유닛(10)에서 상세히 설명하겠다.
제1구동유닛(10)은 베이스(7)에 대해 스테이지(5)방향으로 이동가능하게 마련된 제1영역(11a)과, 제1영역(11a)의 이동방향에 수직한 방향으로 이동가능하게 마련된 제2영역(11b)을 갖는 제1링크(11)를 포함한다. 그리고, 제1구동유닛(10)은 제1링크(11)의 제1영역(11a)이 스테이지(5)를 이동시키도록 제1링크(11)의 제2영역(11b)을 이동시키는 제1링크구동부(25)를 포함한다.
그리고, 제1구동유닛(10)은 제1링크(11)의 제1영역(11a)에 스테이지(5)와 접촉가능하게 마련된 접촉슬라이더(13)와, 제1링크(11)의 제2영역(11b) 및 제1링크구동부(25)에 대해 결합되어 제1링크구동부(25)에 의해 이송되는 구동슬라이더(21)와, 베이스(7)에 대해 지지되어 접촉슬라이더(13)를 안내하는 고정형가이드(17)와, 베이스(7)에 대해 이동가능하게 마련되며 구동슬라이더(21)를 안내하는 이동형가이드(23)를 더 포함할 수 있다.
그리고, 제1구동유닛(10)은 제1링크(11)의 제1 및 제2영역(11b)과 삼각형을 이루는 후술할 제1링크(11)의 제3영역(11c)에 접촉슬라이더(13)의 이동방향과 수직한 방향으로 이동가능하게 마련된 보조슬라이더(15)와, 베이스(7)에 대해 지지되어 보조슬라이더(15)를 안내하는 고정형보조가이드(18)를 더 포함할 수 있다. 그리고, 제1구동유닛(10)은 베이스(7) 및 스테이지(5)에 대해 결합되어 제1링크(11)의 제1영역(11a)이 스테이지(5)를 가압하는 방향에 반대방향으로 탄성력을 제공하는 제1탄성부재(28)를 더 포함할 수 있다.
제1링크(11)는 서로 삼각형 형태를 이루는 제1영역(11a)과 제2영역(11b) 및 제3영역(11c)이 마련되도록 삼각형 형상으로 마련된다. 그러나, 제1링크(11)는 삼각형 형상에 한정되지 않고 제1영역(11a)과 제2영역(11b) 및 제3영역(11c)이 마련되도록 다양한 형상으로 마련될 수 있다.
접촉슬라이더(13)는 제1링크(11)의 제1영역(11a)에 회전가능하게 결합된다. 접촉슬라이더(13)는 베이스(7)에 대해 결합된 고정형가이드(17)에 의해 안내되어 스테이지(5)의 제1단부(5a)를 접촉하게 된다. 접촉슬라이더(13)는 단면이 원형으로 마련되나, 원형단면에 한정되지 않고 사각 단면 등 다양한 형태로 마련될 수도 있다. 접촉슬라이더(13)는 스테이지(5)의 제1단부(5a)를 접촉되는 것에 한정되지 않고 스테이지(5)의 제1단부(5a)에 볼트결합이나 용접 등에 의해 결합될 수도 있음은 물론이다.
고정형가이드(17)는 베이스(7)에 대해 결합되며, 접촉슬라이더(13)를 수용하여 안내하도록 길게 마련된다. 고정형가이드(17)는 접촉슬라이더(13)가 스테이지(5)의 제1단부(5a) 중앙에 수직한 방향으로 접촉하도록 스테이지(5)의 제1단부(5a)에 수직한 방향으로 길게 마련된다.
구동슬라이더(21)는 제1링크(11)의 제2영역(11b)에 회전가능하게 결합된다. 구동슬라이더(21)는 제1링크구동부(25)에 의해 이동되며, 이동형가이드(23)에 의해 이동가능하게 안내된다. 즉, 구동슬라이더(21)는 제1링크(11)에 결합된 접촉슬라 이더(13)가 고정형가이드(17)에 대해 이동하도록 이동형가이드(23)에 의해 안내된다. 구동슬라이더(21)는 단면이 원형으로 마련되나, 원형단면에 한정되지 않고 사각 단면 등 다양한 형태로 마련될 수도 있다.
이동형가이드(23)는 제1링크구동부(25)에 대해 결합되어 베이스(7)에 대해 이동가능하게 마련된다. 이동형가이드(23)는 구동슬라이더(21)가 수용되어 소정거리 이동가능하도록 길게 마련된다. 이동형가이드(23)는 일예로 고정형가이드(17)와 같은 방향으로 마련된다. 그러나, 이동형가이드(23)는 고정형가이드(17)와 다른 방향으로 마련될 수도 있다.
보조슬라이더(15)는 제1링크(11)의 제3영역(11c)에 회전가능하게 결합된다. 보조슬라이더(15)는 베이스(7)에 대해 결합된 고정형보조가이드(18)에 의해 안내되어 접촉슬라이더(13)의 이동방향에 수직한 방향으로 이동하게 된다. 보조슬라이더(15)는 단면이 원형으로 마련되나, 원형단면에 한정되지 않고 사각 단면 등 다양한 형태로 마련될 수도 있다.
고정형보조가이드(18)는 베이스(7)에 대해 결합되며, 보조슬라이더(15)를 수용하여 안내하도록 길게 마련된다. 고정형보조가이드(18)는 고정형가이드(17)의 길이방향에 수직한 방향으로 길게 형성된다. 그러나, 고정형보조가이드(18)는 고정형가이드(17)의 길이방향에 수직한 방향에 한정되지 않고 제1링크(11)의 제2영역(11b)의 이동에 의해 접촉슬라이더(13)가 고정형가이드(17)에 대해 이동하도록 다양한 방향으로 설정될 수 있음은 물론이다.
제1링크구동부(25)는 제1링크(11)의 제1영역(11a)이 스테이지(5)를 이동시키 도록 제1링크(11)의 제2영역(11b)을 제1영역(11a)의 이동방향에 수직한 방향으로 이동시키게 된다. 제1링크구동부(25)는 구동모터(26)와, 일측이 이동형가이드(23)에 대해 결합되며 타측이 구동모터(26)에 의해 이동가능하게 마련된 로드(27)를 포함한다. 그러나, 제1링크구동부(25)는 구동모터(26) 및 로드(27)에 한정되지 않고 이동형가이드(23)를 이동가능하게 리니어모터 등과 같은 다른 형태의 구동수단일 수도 있다. 이에, 제1링크구동부(25)가 제1링크(11)의 제1영역(11a)의 이동방향에 수직한 방향으로 제1링크(11)의 제2영역(11b)을 이동시키도록 마련되어, 제1링크구동부(25)가 제1링크(11)의 제1영역(11a)의 이동방향과 같은 방향으로 제1링크(11)의 제2영역(11b)을 이동시키는 경우보다 제1구동유닛(10)의 크기를 줄일 수 있다.
구동모터(26)는 로드(27)를 이동시키도록 마련된 서보모터 혹은 스텝모터 등으로 마련될 수 있다. 구동모터(26)는 로드(27)를 전진 및 후진시킬 수 있도록 정회전 및 역회전가능하게 마련될 수 있다.
로드(27)는 볼스크루와 같은 스크루형상으로 마련되어 구동모터(26)의 회전력에 의해 이동형가이드(23)를 이동시킬 수 있다.
제1탄성부재(28)는 접촉슬라이더(13)가 스테이지(5)를 가압하는 방향에 반대방향으로 탄성력을 제공하도록 적어도 하나로 마련된다. 제1탄성부재(28)는 제1링크(11)에 근접하게 마련되어 스테이지(5)가 제1링크(11)에 결합된 접촉슬라이더(13)에 항시 접촉가능하도록 탄성력을 제공하게 된다. 제1탄성부재(28)는 제1링크(11)의 일측에 하나로 마련될 수도 있으며, 제1링크(11)의 양측에 한 쌍으로 마련될 수도 있다. 제1탄성부재(28)는 코일스프링 형상으로 마련되어 일측이 베이스 (7)에 마련된 탄성부재지지부(29)에 의해 결합되고, 타측이 스테이지(5)의 제1단부(5a)에 결합된다. 그러나, 제1탄성부재(28)는 코일스프링에 한정되지 않고 다양한 형태의 스프링이나 고무 등으로 마련될 수 있다.
제2구동유닛(30)은 제2링크(31) 및 제2링크구동부(45)를 포함한다. 그리고, 제2구동유닛(30)은 베이스(7) 및 스테이지(5)에 대해 결합되어 제2링크(31)의 제1영역(11a)이 스테이지(5)를 가압하는 방향에 반대방향으로 탄성력을 제공하는 제2탄성부재(48)를 더 포함할 수 있다.
제3구동유닛(50)은 제3링크(51) 및 제3링크구동부(65)를 포함한다. 그리고, 제3구동유닛(50)은 베이스(7) 및 스테이지(5)에 대해 결합되어 제3링크(51)의 제1영역(11a)이 스테이지(5)를 가압하는 방향에 반대방향으로 탄성력을 제공하는 제3탄성부재(68)를 더 포함할 수 있다.
제2링크(31) 및 제3링크(51)는 전술한 제1링크(11)와 동일한 구성을 가진다. 그러나, 제2링크(31) 및 제3링크(51)에 결합된 접촉슬라이더(13)가 스테이지(5)의 제2단부(5b)에 접촉가능하게 마련된다는 것이 제1구동유닛(10)과 차이점이다. 그리고, 제2링크(31)에 결합된 접촉슬라이더(13)는 스테이지(5)의 제2단부(5b)의 중심에서 일측으로 소정거리 편심된 지점에 접촉하고, 제3링크(51)에 결합된 접촉슬라이더(13)는 스테이지(5)의 제2단부(5b)의 중심에서 타측으로 전술한 소정거리만큼 편심된 지점에 접촉하도록 설치된다.
제2링크구동부(45) 및 제3링크구동부(65)는 전술한 제1링크구동부(25)와 동일한 구성을 가지므로 자세한 설명을 생략한다. 그리고, 제2탄성부재(48) 및 제3 탄성부재(68)는 전술한 제1탄성부재(28)와 동일한 구성을 가진다. 그러나, 제2탄성부재(48) 및 제3탄성부재(68)는 각각 베이스(7)와 스테이지(5)의 제2단부(5b)와 결합되는 것이 제1구동유닛(10)과 차이점이다. 제2구동유닛(30) 및 제3구동유닛(50)의 구성 중 전술하지 않은 것은 제1구동유닛(10)과 거의 동일함으로 설명을 생략한다.
이러한 구성에 의해, 본 발명에 따른 스테이지장치(1)의 작동과정을 도 4를 참조하여 살펴보면 다음과 같다.
도 4는 본 발명에 따른 스테이지장치의 스테이지(5)의 이동에 대한 개략도이다. 이 도면에 도시된 바와 같이, 스테이지(5)는 본 발명의 일예로 직사각형 형상으로 마련되며, 제1단부(5a)의 길이의 반은 R1이며, 제2단부(5b)의 길이의 반은 R2이고, 제2단부(5b)의 중앙에서 제2구동유닛(30) 또는 제3구동유닛(50)이 작용하는 점까지의 거리는 R0이다. 그리고, 도 2를 기준으로 스테이지(5)의 판면 중심이 제1구동유닛(10)에 의해 상측(y 방향)으로 이동한 량이 Y이며, 스테이지(5)의 판면 중심이 제2 및 제3구동유닛(50)에 의해 좌측(x 방향)으로 이동한 량이 X이고, 스테이지(5)의 판면 중심에 수직한 방향의 축선을 중심으로 반시계방향으로 회전하는 각을 θ로 한다. 그리고, 스테이지(5)의 제1단부(5a)에 접하는 제1구동유닛(10)의 이동량이 X1이며, 스테이지(5)의 제1단부(5a)에 접하는 제2 및 제3구동유닛(50)의 이동량이 각각 X2 및 X3이다.
이에 따라, 스테이지(5)를 X,Y,θ만큼 이동시키기 위한 제1 내지 제3구동유 닛(50)의 이동량인 X1, X2 및 X3은 다음과 같은 식에 의해 구해진다.
X1 = Y + R2/cosθ - R2
X2 = X + R1/cosθ - R0tanθ - R1
X3 = X + R1/cosθ + R0tanθ - R1
따라서, 전술한 식에 의해 스테이지(5)의 이동량(X,Y,θ)이 정해지면 각 구동유닛(10,30,50)의 이동량(X1,X2,X3)이 결정될 수 있다.
이와 같이, 본 발명에 따른 스테이지장치의 각 구동유닛은 베이스에 대해 상기 스테이지방향으로 이동가능하게 마련된 제1영역과, 제1영역의 이동방향에 수직한 방향으로 이동가능하게 마련된 제2영역을 갖는 링크와; 링크의 제1영역이 스테이지를 이동시키도록 링크의 제2영역을 이동시키는 링크구동부를 포함하여, 링크구동부가 링크의 제1영역의 이동방향에 수직한 방향으로 링크의 제2영역을 이동시키도록 마련되어, 링크구동부가 링크의 제1영역의 이동방향과 같은 방향으로 링크의 제2영역을 이동시키는 경우보다 구동유닛의 크기를 줄일 수 있어 스테이지장치의 전체크기를 용이하게 줄일 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 링크구동부가 링크의 제1영역의 이동방향에 수직한 방향으로 링크의 제2영역을 이동시키도록 마련되어, 링크구동부가 링크의 제1영역의 이동방향과 같은 방향으로 링크의 제2영역을 이동시키는 경우 보다 구동유닛의 크기를 줄일 수 있어 스테이지장치의 전체크기를 용이하게 줄일 수 있다.

Claims (8)

  1. 스테이지장치에 있어서,
    베이스와;
    상기 베이스에 대해 상대 이동가능하게 마련된 스테이지와;
    상기 베이스에 대해 상기 스테이지를 상대 이동시키도록 마련된 복수의 구동유닛을 포함하며,
    상기 각 구동유닛은,
    상기 베이스에 대해 상기 스테이지방향으로 이동가능하게 마련된 제1영역과, 상기 제1영역의 이동방향에 수직한 방향으로 이동가능하게 마련된 제2영역을 갖는 링크와;
    상기 링크의 제1영역이 상기 스테이지를 이동시키도록 상기 링크의 제2영역을 이동시키는 링크구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 각 구동유닛은,
    상기 링크의 제1영역에 상기 스테이지와 접촉가능하게 마련된 접촉슬라이더와;
    상기 링크의 제2영역 및 상기 링크구동부에 대해 결합되어 상기 링크구동부에 의해 이송되는 구동슬라이더와;
    상기 베이스에 대해 지지되어 상기 접촉슬라이더를 안내하는 고정형가이드와;
    상기 베이스에 대해 이동가능하게 마련되며 상기 구동슬라이더를 안내하는 이동형가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 각 구동유닛은,
    상기 링크의 제1 및 제2영역과 삼각형을 이루는 상기 링크의 제3영역에 상기 접촉슬라이더의 이동방향과 수직한 방향으로 이동가능하게 마련된 보조슬라이더와;
    상기 베이스에 대해 지지되어 상기 보조슬라이더를 안내하는 고정형보조가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 각 구동유닛은 상기 베이스 및 상기 스테이지에 대해 결합되어 상기 링크의 제1영역이 상기 스테이지를 가압하는 방향에 반대방향으로 탄성력을 제공하는 탄성부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 탄성부재는 상기 스테이지가 상기 링크의 제1영역에 대해 접촉가능하도록 탄성력을 제공하는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 구동유닛은 제1구동유닛, 제2구동유닛 및 제3구동유닛을 포함하며,
    상기 제1구동유닛은 상기 스테이지의 제1단부에 접촉가능하게 마련되며, 제2 및 제3구동유닛은 상기 스테이지의 제1단부와 수직을 이루는 상기 스테이지의 제2단부에 접촉가능하게 마련된 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 복수의 구동유닛은 제1구동유닛, 제2구동유닛 및 제3구동유닛을 포함하며,
    상기 제1구동유닛은 상기 스테이지의 제1단부에 접촉가능하게 마련되며, 제2 및 제3구동유닛은 상기 스테이지의 제1단부와 수직을 이루는 상기 스테이지의 제2단부에 접촉가능하게 마련된 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 링크구동부는 구동모터와, 일측이 상기 이동형가이드에 대해 결합되며 타측이 상기 구동모터에 의해 이동가능하게 마련된 로드를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
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