JP5825512B2 - 平行ずれ吸収機構を備えた位置決め装置 - Google Patents
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- 第1の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第1のレールと、
前記第1のレールに摺動可能に取り付けられた複数の第1のスライドブロックと、
前記第1のレールと前記第1のスライドブロックを相対的に移動させる第1の送り機構と、を第1の直動要素として有する第1の位置決め手段と、
前記第1の方向と直交する第2の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第2のレールと、
前記第2のレールに摺動可能に取り付けられた複数の第2のスライドブロックと、
前記第2のレールと前記第2のスライドブロックを相対的に移動させる第2の送り機構と、を第2の直動要素として有する第2の位置決め手段と、
前記一対の第1のレール間の幅方向にのみ弾性変形可能な弾性部材によって前記一対の第1のレール間を連結する第1の連結ユニットと、前記一対の第2のレール間の幅方向にのみ弾性変形可能な弾性部材によって前記一対の第2のレール間を連結する第2の連結ユニットと、からなる平行ずれ吸収機構を備え、
前記第2の方向は前記第1の方向に直交する方向であり、前記第2の位置決め手段は前記第1の位置決め手段に積み重ねられるものであり、前記第1の連結ユニット及び前記第2の連結ユニットは、カタカナのロ字状に形成された連続した1枚の板状の部材であって、前記第1のレール同士及び前記第2のレール同士を連結し、前記第1のレール同士及び前記第2のレール同士の幅方向にのみ弾性を有する2対の凹凸形状の板バネ部を含む、前記第1の位置決め手段と前記第2の位置決め手段との間に配置された中間板であることを特徴とする平行ずれ吸収機構を備えた位置決め装置。 - 前記第1のレールはその上にテーブルを支持し、前記第1のスライドブロックと前記第2のスライドブロックはその間に前記中間板を挟んでそれぞれ結合され、前記第2のレールはベース上に固定されており、前記中間板に形成された凹凸形状によって形成される空間に前記第1の送り機構及び前記第2の送り機構がそれぞれ配置されたことを特徴とする請求項1に記載の平行ずれ吸収機構を備えた位置決め装置。
- 前記第1の送り機構は前記第1のレールと略同一平面上に配置され、また前記第2の送り機構は前記第2のレールと略同一平面上に配置されたことを特徴とする請求項2に記載の平行ずれ吸収機構を備えた位置決め装置。
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