JP6836814B1 - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】搬送対象物を載せるテーブルの振動を抑制できる搬送装置を提供することを課題とする。【解決手段】搬送対象物を載せるテーブル２と、互いに平行に配置された複数の転がりガイド３と、複数の転がりガイド３用の制振構造４とを備え、制振構造４は、テーブル２の平行移動方向で延び且つ該平行移動方向に直交する直交方向で反対向きに配置される一対の梁側摺動平面４０１ａ，４０１ｂを有する制振梁４０と、テーブル２に取り付けられた状態で、別々の梁側摺動平面４０１ａ，４０１ｂに対向配置され且つテーブル２の平行移動時に梁側摺動平面４０１ａ，４０１ｂに圧接した状態で相対的に摺動する一対の対向摺動平面４１０ａ，４１１ａを有する圧接構造４１とを備え、制振梁４０は梁側摺動平面４０１ａ，４０１ｂに平行な方向の動きのみが拘束された状態で支持される搬送装置１。【選択図】図１

Description

本発明は、転がりガイドを備えた搬送装置に関する。

従来、工作機械や工作機械による加工対象となるワーク等の搬送対象物を搬送する搬送装置が提供されており、例えば、特許文献１（図１、図８参照）に開示されているような、搬送対象物としての被加工物を搭載するテーブル（基台）と、該基台を支持し且つ該基台の平行移動をガイドするように構成された複数の転がりガイドと、を備えた搬送装置（転がり案内装置）が知られている。

前記搬送装置において、各転がりガイドは、直線状の軌道台と、軌道台に対して該軌道台の延びる方向に沿ってスライド可能に取り付けられた移動ブロックと、軌道台と移動ブロックとの間に配置された複数のボールと、を備えている。

各転がりガイドの軌道台は互いに平行な状態で設置されており、移動ブロックには基台が固定されている。

そのため、前記搬送装置によれば、搬送対象物を基台とともに軌道台が延びる方向に沿って真っ直ぐに搬送できるようになっている。

特開２００１−１４０８７８号公報

ところで、上記従来の搬送装置において、基台には、搬送対象物に生じた振動が伝播したり、転がりガイド上でのスライド時に振動が生じたりすることがあるため、基台の振動により被加工物への加工精度が低下することがあった。そのため、上記従来の搬送装置では、基台の振動を抑えることが望まれている。

そこで、本発明は、かかる実情に鑑み、搬送対象物を載せるテーブルの振動を抑制できる搬送装置の提供を課題とする。

本発明の搬送装置は、
搬送対象物を上面に載置するテーブルと、
互いに平行な姿勢で配置された複数の転がりガイドであって、前記テーブルを支持した状態で前記テーブルの平行移動をガイドするように構成された複数の転がりガイドと、
前記複数の転がりガイドの振動を抑制するための制振構造と、を備え、
前記制振構造は、
前記テーブルが平行移動する方向に長手方向を合わせた制振梁であって、前記テーブルが平行移動する方向に対して直交する方向において互いに相反する方向に向けて配置される一対の梁側摺動平面を有する制振梁と、
前記テーブルに取り付けられるとともに、前記テーブルが平行移動する方向に対して直交する方向において前記一対の梁側摺動平面のそれぞれに対して対向配置されている一対の対向摺動平面であって、対向する前記梁側摺動平面に圧接した状態で前記テーブルの平行移動に伴って相対的に摺動する一対の対向摺動平面を有する圧接構造と、を備え、
前記制振梁は、前記テーブルが平行移動する方向に直交し且つ前記梁側摺動平面にも直交する方向での動きが許容されるとともに、前記テーブルが平行移動する方向に直交し且つ前記梁側摺動平面に平行な方向での動きが拘束された状態で支持されている。

上記構成の搬送装置によれば、制振梁の梁側摺動平面と、圧接構造の対向摺動平面とが互いに圧接している状態でテーブルに振動が加わると、テーブルに固定されている圧接構造の対向摺動平面と、テーブルや転がりガイドとは別に設けられている制振梁の梁側摺動平面とが接触した状態のまま擦れ合う。このとき、圧接構造の対向摺動平面と制振梁の梁側摺動平面との間には、面方向における摩擦力が生じるため、かかる摩擦力によってテーブルに伝わる振動が減衰する。

このように、上記構成の搬送装置は、テーブルに加わった振動を圧接構造の対向摺動平面と制振梁の梁側摺動平面との摩擦によって吸収することで、テーブルの振動を抑えることができるようになっている。

本発明の搬送装置では、
一つの前記制振梁に複数の前記圧接構造が設けられていてもよい。

このようにすれば、テーブルの振動を抑制する効果をよりいっそう高めることができる。

本発明の搬送装置は、
前記制振構造を複数備えていてもよい。

このようにすれば、テーブルの振動を抑える効果をより高めることができる。

本発明の搬送装置において、
前記圧接構造は、
前記制振梁の前記梁側摺動平面に対して接離する方向で往復動するように構成されたピストンを有し、
前記圧接構造の前記対向摺動平面は、前記ピストンの先端面に設けられ且つ前記往復動に伴って、自身の前記対向摺動平面を前記制振梁の前記梁側摺動平面に圧接させた状態と、自身の前記対向摺動平面を前記制振梁の前記梁側摺動平面から退避させた状態とに切替可能な構成としてもよい。

上記構成の搬送装置によれば、ピストンの対向摺動平面を制振梁の梁側摺動平面に圧接させた状態にすれば、テーブルの振動を抑える機能を発揮できる状態になる。

また、テーブルの振動を抑える必要のない場面では、ピストンの対向摺動平面を制振梁の梁側摺動平面から退避させることで摺動による摩擦を発生することなく、テーブルを転がりガイドの特徴を生かして高速に水平移動させることが可能となる。

本発明の搬送装置において、
前記圧接構造は、油室が形成された油室形成部を有し、
前記油室形成部は、前記制振梁の前記梁側摺動平面に対向配置される対向面を有し、
該前記油室形成部の対向面は、前記制振梁の前記梁側摺動平面に接離する方向において弾性変形可能な弾性変形領域が含まれ、
前記圧接構造の前記対向摺動平面は、前記弾性変形領域により構成される、ようにしてもよい。

上記構成の搬送装置によれば、油室内に油を供給すれば、対向面のうち弾性変形領域が前記制振梁の前記梁側摺動平面に向かって膨らむように弾性変形し、該弾性変形領域と前記制振梁の前記梁側摺動平面とが互いに圧接した状態になり摩擦力が発生して制振効果が期待できる。

本発明の搬送装置において、
前記圧接構造は、前記油室形成部として、前記制振梁の一方の前記梁側摺動平面に対して配置される前記油室形成部である一方側油室形成部と、前記制振梁の他方の前記梁側摺動平面に対して配置される前記油室形成部である他方側油室形成部と、を有するようにしてもよい。

上記構成の搬送装置によれば、油室内に油を供給すれば、対向面のうち弾性変形領域が前記制振梁の前記摺動平面側に向かって膨らむように弾性変形し、該弾性変形領域と前記制振梁の前記梁側摺動平面とが互いに圧接した状態になり摩擦力が発生して制振効果が期待できる。

以上のように、本発明の搬送装置によれば、搬送対象物を載せるテーブルの振動を抑制できるという優れた効果を奏し得る。

図１は、本発明の一実施形態に係る搬送装置の外観斜視図である。 図２は、同実施形態に係る搬送装置の分解斜視図である。 図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図である。 図４は、図１のＩＶ−ＩＶ線における断面図である。 図５は、本発明の他の実施形態に係る搬送装置の外観斜視図である。 図６は、図５のＶＩ−ＶＩ線における断面図である。 図７は、本発明の別の実施形態に係る搬送装置の外観斜視図である。 図８は、同実施形態の搬送装置の分解斜視図である。 図９は、本発明のさらに別の実施形態の搬送装置の斜視図である。 図１０は、図９のＸ−Ｘ線での断面図である。 図１１は、本発明のさらに別の実施形態の搬送装置の外観斜視図である。 図１２は、図１１のＸＩＩ−ＸＩＩ線での断面図である。 図１３は、本発明のさらに別の実施形態の搬送装置の説明図である。 図１４は本発明のさらなる別の実施形態の搬送装置の説明図であり、（ａ）は制振梁が弾性変形する前の状態の説明図であり、（ｂ）は制振梁が弾性変形した後の状態の説明図である。 図１５は、本発明のさらなる別の実施形態の搬送装置の制振梁の説明図である。

以下、本発明の一実施形態にかかる搬送装置と称する）について、添付図面を参照しつつ説明する。

本実施形態に係る搬送装置１は、図１に示すように、搬送対象物を上面２０に載置するテーブル２と、互いに平行な姿勢で配置された複数の転がりガイド３であって、テーブル２を支持した状態でテーブル２の平行移動をガイドするように構成された複数の転がりガイド３と、各転がりガイド３に生じる振動を抑制するための制振構造４（図３参照）と、を備えている。

テーブル２の上面２０には、搬送対象物として、例えば、加工対象となるワークや、工作機械用のツール等が取り付けられる。そのため、テーブル２が転がりガイド３によって構成される進路に沿って移動すると、該テーブル２とともに前記上面２０に載せている搬送対象物が平行移動するようになっている。

転がりガイド３は、図２、図３に示すように、長尺なガイドレール３０と、ガイドレール３０に案内されることでガイドレール３０の延びる方向に沿って移動可能である可動部３１と、ガイドレール３０と可動部３１との間に配置される複数の転動体３２と、を有する。

各転がりガイド３のガイドレール３０は、テーブル２を平行移動させる進路に沿って延びるように形成されている。また、各転がりガイド３のガイドレール３０は、それぞれが直線状に形成されており、互いに平行な姿勢となるようにして構造物Ｓ、より具体的には、建物の床や、床に設置されたベース等の基礎部Ｓ１に設置されている。なお、基礎部Ｓ１は、各ガイドレール３０の上下方向における位置を揃えることができるようになっていればよい。

各転がりガイド３の可動部３１は、テーブル２の下面２１に固定されている（図３参照）。また、本実施形態において、転動体３２は、球状に形成されているが、自身が回転することにより可動部３１を送ることができれば球状以外の形状であってもよい。

制振構造４は、図３に示すように、制振梁４０と、テーブル２に取り付けられるとともに、テーブル２が平行移動する方向に対して直交する方向（本実施形態では上下方向）で制振梁４０に圧接する圧接構造４１と、を備えている。

制振梁４０の長手方向における基端部は、転がりガイド３を設置している構造物Ｓ（基礎部Ｓ１）に固定されている。また、制振梁４０は、長手方向をテーブル２の移動方向（進路が延びる方向）に沿わせた状態で、配置されている。

本実施形態に係る制振梁４０は、図４に示すように、基礎部Ｓ１に立設された台部Ｓ２に固定される固定部４００と、上述の長手方向をテーブル２の移動方向（進路が延びる方向）に沿わせて設置された梁本体部４０１と、固定部４００と梁本体部４０１とを接続し且つ固定部４００を起点として梁本体部４０１の厚み方向での動きを許容するように弾性変形可能である弾性接続部４０２と、を有する。なお、本実施形態の制振梁４０は、平板状の梁本体部４０１（制振梁４０の基端部よりも先端側の部分）の厚み方向を上下方向に合わせて配置された平置制振梁４０Ａである。

固定部４００は、制振梁４０の基端部を構成している。また、固定部４００は、基礎部Ｓ１に立設された台部Ｓ２によって、基礎部Ｓ１に固定されている。なお、台部Ｓ２とは、構造物Ｓに含まれる構成である。

梁本体部４０１は、真っ直ぐに延びる平板状（長方形状）に形成されている。また、本実施形態の制振梁４０は平置制振梁４０Ａであるため、梁本体部４０１は、厚み方向を上下方向に合わせ且つ幅方向を横方向に合わせた状態で配置されている。そのため、梁本体部４０１では、厚み方向における一方側の板面が上面４０１ａ、厚み方向における他方側の板面が下面４０１ｂとなっている。

梁本体部４０１の上面４０１ａと下面４０１ｂのそれぞれは、テーブル２の水平移動時に圧接構造４１の後述する対向摺動平面４１０ａ，４１１ａに対して相対的に摺動する梁側摺動平面４０１ａ，４０１ｂとなっている。本実施形態では、上向きに配置された一方の梁側摺動平面４０１ａを上向梁側摺動平面４０１ａ、下向きに配置された他方の梁側摺動平面４０１ｂを下向梁側摺動平面４０１ｂと称して以下の説明を行うこととする。この上向梁側摺動平面４０１ａと下向梁側摺動平面４０１ｂとは、テーブル２が平行移動する方向に対して直交する方向において相反する方向に向くように形成された面である。

弾性接続部４０２は、梁本体部４０１の厚み方向（本実施形態では上下方向）に弾性変形可能である。本実施形態の平置制振梁４０Ａでは、固定部４００、弾性接続部４０２、梁本体部４０１のそれぞれが平板状の同一の部材によって一体的に形成されており、弾性接続部４０２は、固定部４００及び梁本体部４０１よりも厚みが薄くなるように形成されている。これにより、弾性接続部４０２は、厚み方向には弾性変形する一方で、幅方向には変形しにくくなるように構成されている。なお、本実施形態の弾性接続部４０２は、制振梁４０の長手方向における中央部側に向かうにつれて厚みが徐々に薄くなるように形成されている。このように、制振梁４０は、テーブル２が平行移動する方向に直交し且つ梁側摺動平面４０１ａ，４０１ｂにも直交する方向での動きが許容されるとともに、テーブル２が平行移動する方向に直交し且つ梁側摺動平面４０１ａ，４０１ｂに平行な方向での動きが拘束された状態で支持されている。

圧接構造４１は、図３に示すように、梁本体部４０１の上向梁側摺動平面４０１ａに圧接させた状態で、テーブル２の水平移動時に上向梁側摺動平面４０１ａに対して摺動する対向摺動平面４１０ａ（以下、上側対向摺動平面４１０ａと称する）を含む一方側圧接部４１０と、梁本体部４０１の下向梁側摺動平面４０１ｂに圧接させた状態で、テーブル２の水平移動時に下向梁側摺動平面４０１ｂに対して摺動する対向摺動平面４１１ａ（以下、下側対向摺動平面４１１ａと称する）を含む他方側圧接部４１１と、を有する。

一方側圧接部４１０は、梁本体部４０１の上面４０１ａに圧接している状態と、梁本体部４０１の上面４０１ａへの圧接を解除している状態とに切替可能に構成されており、本実施形態では、梁本体部４０１の上面４０１ａに対向するようにしてテーブル２の下面２１に固定されたシリンダ４１０ｂと、シリンダ４１０ｂに挿通された状態で往復動可能なピストン４１０ｃと、シリンダ４１０ｂ内に対してピストン４１０ｃを往復動させる駆動系４１０ｄと、を有する。

ピストン４１０ｃは、梁本体部４０１の上面４０１ａに接離する方向において往復動可能であり（すなわち、進出する方向への移動と退避する方向への移動が可能であり）、先端面が圧接構造４１の上側対向摺動平面４１０ａを構成している。

駆動系４１０ｄは、油圧駆動によりピストン４１０ｃを往復動させるように構成されている。本実施形態の駆動系４１０ｄは、テーブル２の内部に形成され且つシリンダ４１０ｂの内部に連通する油路４１０ｄａと、該油路４１０ｄａを介してシリンダ４１０ｂの内部への作動油の供給と、シリンダ４１０ｂ内の作動油の排出とを行う油圧ポンプ（図示しない）と、を有する。

他方側圧接部４１１は、梁本体部４０１を介して圧接構造４１と対向するように配置されており、本実施形態では、梁本体部４０１よりも下方に配置されている。また、本実施形態の他方側圧接部４１１は、上面が梁本体部４０１の下向梁側摺動平面４０１ｂと対向しており、この上面により下側対向摺動平面４１１ａが構成されている。

以上のように、圧接構造４１は、梁本体部４０１の厚み方向における一方側の面（上向梁側摺動平面４０１ａ）を押し下げるように構成された下押機構４１Ａであり、制振構造４は、平置制振梁４０Ａを下押機構４１Ａによって他方側圧接部４１１に向けて押し付けるように構成された押下型制振構造４Ａである。

本実施形態に係る搬送装置１の構成は、以上の通りである。続いて、搬送装置１の動作を説明する。

搬送装置１において、制振機能を有効にするには、一方側圧接部４１０のピストン４１０ｃを梁本体部４０１に向けて進出させて上側対向摺動平面４１０ａで上向梁側摺動平面４０１ａを押し下げる。このようにすると、梁本体部４０１に下向きの荷重がかかり、弾性接続部４０２が弾性変形し、梁本体部４０１が下側に動き、上向梁側摺動平面４０１ａが上側対向摺動平面４１０ａに圧接し、下向梁側摺動平面４０１ｂが下側対向摺動平面４１１ａに圧接した状態になる。

この状態で、テーブル２に振動が加わると、テーブル２と共に上側対向摺動平面４１０ａと下側対向摺動平面４１１ａも振動し、これに伴い、上側対向摺動平面４１０ａと上向梁側摺動平面４０１ａとが摺動し、下側対向摺動平面４１１ａと下向梁側摺動平面４０１ｂとが摺動する。

そのため、上側対向摺動平面４１０ａと上向梁側摺動平面４０１ａとの間と、下側対向摺動平面４１１ａと下向梁側摺動平面４０１ｂとの間には摩擦力が発生し、この摩擦力によりテーブル２の振動が減衰する。

以上のように、本実施形態に係る搬送装置１は、テーブル２が振動した際に、制振梁４０の上向梁側摺動平面４０１ａと圧接構造４１の上側対向摺動平面４１０ａ、制振梁４０の下向梁側摺動平面４０１ｂと圧接構造４１の下側対向摺動平面４１１ａを互いに摺動させてテーブル２の振動を減衰（吸収）することによって、搬送対象物を載せるテーブル２の振動を抑制できるようになっている。

また、本実施形態の搬送装置１では、テーブル２の水平移動を転がりガイド３によってガイドすることを前提としたうえで、制振梁４０の上向梁側摺動平面４０１ａと圧接構造４１の上側対向摺動平面４１０ａ、制振梁４０の下向梁側摺動平面４０１ｂと圧接構造４１の下側対向摺動平面４１１ａを圧接させた状態と非圧接の状態とに切り替えることができるため、テーブル２を水平移動させる際の状況に応じて制振機能を発揮させるか否かを選択することも可能である。

本実施形態では、テーブル２の振動を抑える必要がある場合は、制振梁４０の上向梁側摺動平面４０１ａと圧接構造４１の上側対向摺動平面４１０ａ、制振梁４０の下向梁側摺動平面４０１ｂと圧接構造４１の下側対向摺動平面４１１ａを圧接させることによってテーブル２の振動を抑える機能を発揮させ、テーブル２の振動を抑える必要のない場合は、制振梁４０の上向梁側摺動平面４０１ａと圧接構造４１の上側対向摺動平面４１０ａ、制振梁４０の下向梁側摺動平面４０１ｂと圧接構造４１の下側対向摺動平面４１１ａを非圧接の状態にして転がりガイドの特徴である高速移動を可能にしてテーブル２を素早く水平移動させるように使い分けることが可能となる。

なお、本発明に係る搬送装置は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変更を加え得ることは勿論である。

上記実施形態の搬送装置１は、制振構造４として、平置きにされている平置制振梁４０Ａを下押機構４１Ａで押し下げる押下型制振構造４Ａを備えていたが、この構成に限定されない。例えば、搬送装置１は、図５、図６に示すように、制振構造４として、厚み方向を横方向に合わせて配置した制振梁４０である縦置制振梁４０Ｂと、縦置制振梁４０Ｂに横向きに圧接する圧接構造４１である横押機構４１Ｂとを有する横押型制振構造４Ｂを備えていてもよい。

かかる構成の搬送装置１では、制振梁４０の一方の梁側摺動平面４０１ａと圧接構造４１の一方の対向摺動平面４１０ａ、制振梁４０の他方の梁側摺動平面４０１ｂと圧接構造４１の他方の対向摺動平面４１１ａが横方向（２つの転がりガイド３が並ぶ方向）で圧接することになるため、テーブル２に振動が加わると、制振梁４０の一方の梁側摺動平面４０１ａと圧接構造４１の一方の対向摺動平面４１１ａ、制振梁４０の他方の梁側摺動平面４０１ｂと圧接構造４１の一方の対向摺動平面４１１ａが上下方向において摺動する。

従って、制振梁４０と圧接構造４１のそれぞれが、テーブル２が平行移動する方向に直交する方向のうち、梁側摺動平面４０１ａ、４０１ｂに直交する方向において互いに圧接する梁側摺動平面４０１ａと対向摺動平面４１０ａや、梁側摺動平面４０１ｂと対向摺動平面４１１ａを有するように構成されている場合は、梁側摺動平面４０１ａと対向摺動平面４１０ａや、梁側摺動平面４０１ｂと対向摺動平面４１１ａの間に生じる摩擦力により上下方向でのテーブル２の振動を減衰させることができる。

上記実施形態の搬送装置１は、１つの制振構造４を備えるように構成されていたが、この構成に限定されない。例えば、搬送装置１は、複数の制振構造４を備えるようにしてもよい。

また、この場合においては、複数の制振構造４に押下型制振構造４Ａと横押型制振構造４Ｂとが含まれていてもよい。より具体的に説明すると、搬送装置は、図７、図８に示すように、押下型制振構造４Ａと横押型制振構造４Ｂとを備えるように構成されていてもよい。

なお、押下型制振構造４Ａと横押型制振構造４Ｂとは少なくとも一つずつ備えていればよいが、押下型制振構造４Ａと横押型制振構造４Ｂの何れか一方の両側に押下型制振構造４Ａ、横押型制振構造４Ｂの何れか他方が一つずつ配置されていることが好ましい。このように、搬送装置１が押下型制振構造４Ａと横押型制振構造４Ｂとを備えていると、テーブル２の水平方向での振動と、上下方向での振動を抑えることが可能となる。

上記実施形態において、一方側圧接部４１０は、ピストン４１０ｃの往復動により、制振梁４０の上向梁側摺動平面４０１ａに上側対向摺動平面４１０ａを圧接させるように構成されていたが、この構成に限定されない。すなわち、上記実施形態では、一方側圧接部４１０の上側対向摺動平面４１０ａは、制振梁４０の上向梁側摺動平面４０１ａに接離する方向での移動により制振梁４０の上向梁側摺動平面４０１ａに圧接している状態と制振梁４０の上向梁側摺動平面４０１ａに対して非圧接の状態とに切り替わるように構成されていたが、例えば、一方側圧接部４１０の上側対向摺動平面４１０ａは、制振梁４０の上向梁側摺動平面４０１ａ側への弾性変形により制振梁４０の上向梁側摺動平面４０１ａに圧接している状態と制振梁４０の上向梁側摺動平面４０１ａに対して非圧接の状態とに切り替わるように構成されていてもよい。

この場合、圧接構造４１は、図９、図１０に示すように、一方側圧接部４１０が、内部に作動油の供給及び排出が可能である油室４１０ｅが形成された油室形成部４１０ｆを有し、油室形成部４１０ｆが制振梁４０の上向梁側摺動平面４０１ａに対向配置され且つ制振梁４０の上向梁側摺動平面４０１ａに接離する方向において弾性変形可能な弾性変形領域４１０ｆａが含まれる対向面を含み、圧接構造４１の上側対向摺動平面４１０ａが弾性変形領域４１０ｆａにより構成されるようにしてもよい。

また、図１１、図１２に示すように、他方側圧接部４１１も同様に、内部に作動油の供給及び排出が可能である油室４１１ｂが形成された油室形成部４１１ｃを有し、油室形成部４１１ｃが制振梁４０の下向梁側摺動平面４０１ｂに対向配置され且つ制振梁４０の下向梁側摺動平面４０１ｂに接離する方向において弾性変形可能な弾性変形領域４１１ｃａが含まれる対向面を含み、この弾性変形領域４１１ｃａが他方側圧接部４１１の下側対向摺動平面４１１ａとなるように構成されていてもよい。

なお、図９、図１０、図１１、図１２には、下押機構４１Ａに上記構成が採用された搬送装置を図示しているが、図５、図６に示した横押機構４１Ｂにも上記構成を採用することは可能である。

上記実施形態において、一方側圧接部４１０の上側圧接部４１０ａは、弾性変形体により構成されていたが、この構成に限定されない。例えば、一方側圧接部４１０の上側圧接部４１０ａは、図１３に示すように、液体（油）で構成されていてもよい。図１３に示す搬送装置１では、一方側圧接部４１０が、制振梁４０の上向梁側摺動平面４０１ａに対向配置される対向面で開口する油室４１０ｈが形成された油室形成部４１０ｇと、環状であり、且つ油室４１０ｈの開口を取り囲んだ状態で制振梁４０の上向梁側摺動平面４０１ａと油室形成部４１０ｇの対向面とに密接するように配置されるシール部４１０ｉと、を有し、一方側圧接部４１０の上側圧接部４１０ａは、油室４１０ｈ内に供給された油の油面で構成されている。なお、他方側圧接部４１１にも、一方側圧接部４１０と同様に上記の構成を採用することが可能である。

上記実施形態では、制振梁４０全体のうち、弾性接続部４０２のみが弾性変形する（撓む）用に構成されていたが、この構成に限定されない。例えば、制振梁４０は、例えば、長手方向の全長に亘って薄板状に形成されている場合は、梁本体部４０１も弾性変形するように構成されていてもよい。

また、上記実施形態において、制振梁４０は、長手方向における基端部のみを構造物Ｓに固定していたが、この構成に限定されない。例えば、制振梁４０は、長手方向における先端部と前記基端部の２ヶ所の両端部４０３を台部Ｓ２によって支持されていても良い。但し、圧接構造４１が制振梁４０を圧接する方向での制振梁４０の動きを許容し、且つ圧接構造４１が制振梁４０を圧接する方向に直交する方向での制振梁４０の動きとテーブル２が移動する方向での制振梁４０の動きが規制する必要がある。

上記実施形態において、制振梁４０は、先端側の厚みを部分的に薄くすることで撓むように構成されていたが、この構成に限定されない。例えば、制振梁４０は、図１４（ａ）、図１４（ｂ）に示すように、先端側に平行ばねを設けることで撓むように構成されていてもよい。この場合、梁本体部４０１は変形せずに姿勢を真っ直ぐに保ったまま上下に移動する。

上記実施形態において、制振梁４０は、長手方向における一端部のみが支持されていたが、この構成に限定されない。例えば、図１５に示すように、制振梁４０は、長手方向における両端部が支持されるように構成されていてもよい。

図１５に示す制振梁４０では、長手方向における両端部４０３の横幅が該両端部４０３の間の中部４０４の横幅よりも小さくなっており、中部４０４の端面（長手方向における端面）が端部４０３の側面から幅方向外側に延出する肩部４０４ａとなっている。

また、台部Ｓ２には、台部Ｓ２には下方に向かって凹状となる凹溝Ｓ２０がテーブル２が平行移動する方向と同方向における一端から他端に亘って連続するように形成されており、凹溝Ｓ２０の底面（底面の中央部）には上方に向かって突出する突出部Ｓ２１が形成されている。

制振梁４０の両端部４０３は、台部Ｓ２の凹溝Ｓ２０に嵌め込まれるように構成されており、制振梁４０の両端部４０３が台部Ｓ２の凹溝Ｓ２０に嵌め込まれた状態においては、制振梁４０の両端部４０３と台部Ｓ２の凹溝Ｓ２０との間に隙間が生じないようになっている。また、制振梁４０の肩部４０４ａは、台部Ｓ２の側面に突き当てられた状態になっている。

これにより、制振梁４０は、自身の長手方向（テーブル２が平行移動する方向）での動きと、幅方向（２つの転がりガイド３が並ぶ方向）での動きとが規制される一方で、上下方向での動きが許容された状態になっているため、この制振梁４０に対して圧接構造４１をテーブル２が平行移動する方向に対して直交する方向で圧接させれば、上記実施形態の搬送装置１と同様にテーブル２の振動を抑制する効果が得られる。

上記実施形態では、一つの制振梁４０に対して一つの圧接構造４１が設けられる態様を一例に挙げて搬送装置１の説明を行ったが、この構成に限定されない。例えば、搬送装置１は、一つの制振梁４０に対して複数の圧接構造４１が設けられていてもよい。

このようにすれば、テーブル２の振動を抑制する効果をよりいっそう高めることができる。

１…搬送装置、２…テーブル、３…ガイド、４…制振構造、４Ａ…押下型制振構造、４Ｂ…横押型制振構造、２０…上面、２１…下面、３０…ガイドレール、３１…可動部、３２…転動体、４０…制振梁、４０Ａ…平置制振梁、４０Ｂ…縦置制振梁、４１…圧接構造、４１Ａ…下押機構、４１Ｂ…横押機構、４００…固定部、４０１…梁本体部、４０１ａ…上向梁側摺動平面、４０１ｂ…下向梁側摺動平面、４０２…弾性接続部、４０３…両端部、４０４…中部、４０４ａ…肩部、４１０…一方側圧接部、４１０ａ…上側対向摺動平面、４１０ｂ…シリンダ、４１０ｃ…ピストン、４１０ｄ…駆動系、４１０ｄａ…油路、４１０ｅ…油室、４１０ｆ…油室形成部、４１０ｆａ…弾性変形領域、４１０ｇ…油室、４１０ｈ…油室形成部、４１０ｉ…シール部、４１１…他方側圧接部、４１１ａ…下側対向摺動平面、４１１ｂ…油室、４１１ｃ…油室形成部、４１１ｃａ…弾性変形領域、Ｓ…構造物、Ｓ１…基礎部、Ｓ２…台部、Ｓ２０…凹溝、Ｓ２１…突出部

Claims (6)

1. 搬送対象物を上面に載置するテーブルと、
   互いに平行な姿勢で配置された複数の転がりガイドであって、前記テーブルを支持した状態で前記テーブルの平行移動をガイドするように構成された複数の転がりガイドと、
   前記複数の転がりガイドの振動を抑制するための制振構造と、を備え、
   前記制振構造は、
   前記テーブルが平行移動する方向に長手方向を合わせた制振梁であって、前記テーブルが平行移動する方向に対して直交する方向において互いに相反する方向に向けて配置される一対の梁側摺動平面を有する制振梁と、
   前記テーブルに取り付けられるとともに、前記テーブルが平行移動する方向に対して直交する方向において前記一対の梁側摺動平面のそれぞれに対して対向配置されている一対の対向摺動平面であって、対向する前記梁側摺動平面に圧接した状態で前記テーブルの平行移動に伴って相対的に摺動する一対の対向摺動平面を有する圧接構造と、を備え、
   前記制振梁は、前記テーブルが平行移動する方向に直交し且つ前記梁側摺動平面にも直交する方向での動きが許容されるとともに、前記テーブルが平行移動する方向に直交し且つ前記梁側摺動平面に平行な方向での動きが拘束された状態で支持されている、搬送装置。
2. 一つの前記制振梁に複数の前記圧接構造が設けられる、請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記制振構造を複数備える、請求項１又は請求項２に記載の搬送装置。
4. 前記圧接構造は、
   前記制振梁の前記梁側摺動平面に対して接離する方向で往復動するように構成されたピストンを有し、
   前記圧接構造の前記対向摺動平面は、前記ピストンの先端面に設けられ且つ前記往復動に伴って、自身の前記対向摺動平面を前記制振梁の前記梁側摺動平面に圧接させた状態と、自身の前記対向摺動平面を前記制振梁の前記梁側摺動平面から退避させた状態とに切替可能である、
   請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載の搬送装置。
5. 前記圧接構造は、油室が形成された油室形成部を有し、
   前記油室形成部は、前記制振梁の前記梁側摺動平面に対向配置される対向面を有し、
   該前記油室形成部の対向面は、前記制振梁の前記梁側摺動平面に接離する方向において弾性変形可能な弾性変形領域が含まれ、
   前記圧接構造の前記対向摺動平面は、前記弾性変形領域により構成される、
   請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載の搬送装置。
6. 前記圧接構造は、前記油室形成部として、前記制振梁の一方の前記梁側摺動平面に対して配置される前記油室形成部である一方側油室形成部と、前記制振梁の他方の前記梁側摺動平面に対して配置される前記油室形成部である他方側油室形成部と、を有する、
   請求項５に記載の搬送装置。