JP5797625B2 - リニアガイド装置及びリニアアクチュエータ装置 - Google Patents

Description

本発明は、ガイドレールとガイド部材との間の予圧の調整が可能なリニアガイド装置及び当該リニアガイド装置を備えたリニアアクチュエータ装置に関する。

一般に、リニアアクチュエータ装置は、例えば精密工作機械などの装置内に設置され、治具やワーク等を所定距離だけ繰り返し直線的に移動させるために用いられる（例えば、特許文献１参照）。このようなリニアアクチュエータ装置は、矩形状のシリンダボディと、シリンダボディ上に一体形成されたガイドレールと、シリンダボディ内のピストンの往復移動に基づきガイドレールに沿って直線状に往復移動するスライドテーブルとを備えている。

スライドテーブルは、ガイドレール側となる下面にガイドレールよりも広い幅の凹溝を有した断面視略逆Ｕ字状に形成されている。そして、スライドテーブルの凹溝内におけるガイドレールの側面に対向する位置には、外側から螺入されるボルトによって４個のガイドブロック（ガイド部材）がそれぞれ装着されている。なお、各ガイドブロックは、ガイドレールの両側面に沿って２個ずつ配置されている。

また、各ガイドブロックにおけるガイドレールの側面との対向面には、ガイドレールの両側面に形成されたガイド溝に係合する突条部がそれぞれ形成されている。そして、スライドテーブルは、各ガイドブロックの突条部をガイドレールのガイド溝に係合させつつピストンの移動に伴いガイドレールに沿って変位する。

特開平７−１５８６１０号公報

ところで、リニアアクチュエータ装置は、設置後にガイドレールに対するガイドブロックのがたつきを抑制するべく、ガイドレールとガイドブロックとの間の予圧を調整する必要がある。しかしながら、従来から、こうした予圧の調整を行うに当たっては、種々の問題が指摘されている。

まず、ボルトの螺合動作を通じてガイドブロックをガイドレールの側面に対して接近又は離間させることにより予圧を調整する場合には、ガイドブロックの上面がスライドテーブルの下面を倣い面としてガイドレールの側面に向けて進退移動する。そのため、倣い面となるスライドテーブルの下面には平滑性のある高い加工精度が要求され、装置全体の製造コストが上昇するとともに、倣い面が平滑でない場合はガイドブロックの進退動作が不安定となり、予圧の調整が困難になるという問題があった。

また、ガイドレールの側面及び該側面に対向するガイドブロックの対向面の各々にガイドレールの長手方向に沿う長溝を対向形成し、その両長溝間に多数の鋼球（転動体）を介在させるタイプのリニアアクチュエータ装置では、全ての鋼球をマイクロメートル単位でサイズ交換することで、ガイドレールとガイドブロックとの間の予圧を調整する。

すなわち、こうしたリニアアクチュエータ装置では、使用している鋼球のサイズが互いに異なる複数のものを用意しておき、当該リニアアクチュエータ装置を取り付けた大型の装置に対して当該リニアアクチュエータ装置を丸ごと交換することでガイドレールとガイドブロックとの間の予圧の調整を行うようにしている。このため、リニアアクチュエータ装置を丸ごと交換する点で、予圧の調整作業に手間がかかるという問題があった。

本発明は、このような課題に着目してなされたものである。その目的とするところは、ガイドレールとガイド部材との間の予圧の調整を容易に且つ迅速に行うことができるリニアガイド装置及びリニアアクチュエータ装置を提供することにある。

上記課題を解決するリニアガイド装置は、ガイドレールと、当該ガイドレールに沿って直線移動自在に設けられるテーブル部材と、当該テーブル部材における前記ガイドレール側に位置する取付面と対向する被取付面及び前記ガイドレールにおける長手方向に沿って延びるガイド面と対向する被ガイド面を有し、且つ、前記被取付面を前記取付面に対向させるとともに、前記被ガイド面と前記ガイド面との間に隙間を介在させた状態で、前記テーブル部材と共に前記ガイドレールに沿って移動するように前記テーブル部材に対して取り付けられるガイド部材と、を備え、ねじ部材を挿通するための挿通孔を前記テーブル部材の外面側から前記取付面に貫通するように形成するとともに、前記ガイド部材の前記被取付面には前記ねじ部材を螺合させるねじ穴を形成し、さらに、前記挿通孔に挿通されて前記ねじ穴に螺合した前記ねじ部材の締め付け力により前記ガイド部材が前記テーブル部材に取り付けられた状態では、前記テーブル部材の前記取付面と前記ガイド部材の前記被取付面との間に、前記挿通孔と繋がる空間部が形成され、前記挿通孔は、前記ねじ部材の挿通方向に投影した場合において一部が前記空間部と重なる。

上記リニアガイド装置において、前記空間部は、前記ガイドレールの長手方向と直交する幅方向を含む少なくとも１つの方向から前記挿通孔に繋がっていることが好ましい。
上記リニアガイド装置において、前記テーブル部材には、前記挿通孔が複数箇所にわたって形成され、前記各挿通孔には、前記ねじ部材がそれぞれ挿通されていることが好ましい。

上記リニアガイド装置において、前記空間部は、前記テーブル部材の前記取付面側において前記ガイドレールの延びる方向と直交する幅方向の中央部に形成され、前記挿通孔は、前記ガイドレールを前記幅方向の両側から挟む複数の位置であって且つ前記ガイド部材の前記被ガイド面よりも前記幅方向の中央位置から離れた位置に形成されていることが好ましい。

上記リニアガイド装置において、前記空間部は、前記テーブル部材における前記取付面に前記挿通孔と繋がるように形成された凹部によって構成されることが好ましい。

上記課題を解決するリニアアクチュエータ装置は、上記構成のリニアガイド装置と、前記テーブル部材を駆動する駆動部とを備えた。

ガイドレールとガイド部材との間の予圧の調整を容易に且つ迅速に行うことができる。

一実施形態のリニアアクチュエータ装置の斜視図。 図１においてテーブル部材を基準位置からスライド位置へスライド移動させたときの状態を示す斜視図。 図１の３−３線矢視断面図。 同リニアアクチュエータ装置のテーブル部材の底面図。 同リニアアクチュエータ装置のリニアガイド装置において、キャップボルトを締め付けるときの状態を示す模式図。 図５においてキャップボルトを締め付けてガイド部材が歪み変形したときの状態を示す模式図。 キャップボルトの締め付け力と、ガイドレールとガイド部材との間の予圧との関係を示すグラフ。 変更例のリニアアクチュエータ装置のテーブル部材の底面図。 （ａ）は他の変更例のリニアアクチュエータ装置のテーブル部材の底面図、（ｂ）は（ａ）に示すテーブル部材にガイド部材を組み付けた状態の側面図。

以下、リニアアクチュエータ装置の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、リニアアクチュエータ装置１１は、全体として略直方体状をなしており、ベース部材１２と、ベース部材１２上に設けられたリニアガイド装置１３とを備えている。

図２及び図３に示すように、リニアガイド装置１３は、ベース部材１２上における幅方向Ｘの中央部に長手方向Ｙの全体に渡って延びるように設けられたブロック状のガイドレール１４と、ガイドレール１４上に移動可能に嵌合されたガイド部材１５と、ガイド部材１５上に取着されたテーブル部材１７とを備えている。この場合、ガイド部材１５とテーブル部材１７とは、複数（本実施形態では４本）のねじ部材の一例としてのキャップボルト１６によって締結されている。

図３に示すように、ガイドレール１４における上面１８及び幅方向Ｘの両側面１９は、ガイド部材１５がガイドレール１４に沿って移動する際にガイド部材１５をガイドするガイド面を構成している。ガイド部材１５の下面には、ガイドレール１４に対して上側から嵌合されるガイド凹溝２０が長手方向Ｙに延びるように形成されている。ガイド部材１５のガイド凹溝２０の内底面２１及び幅方向Ｘの両内側面２２は、それぞれガイドレール１４における上面１８及び両側面１９と対向する被ガイド面を構成している。

ガイド部材１５のガイド凹溝２０の両内側面２２と、ガイドレール１４における両側面１９との間には隙間が介在している。なお、この隙間は、互いの内面同士（すなわち、ガイド面として機能するガイドレール１４の両側面１９と、被ガイド面として機能するガイド部材１５のガイド凹溝２０の両内側面２２）を摺接可能とするための微小な隙間である。また、ガイドレール１４の両側面１９及び両側面１９に対向するガイド部材１５のガイド凹溝２０の両内側面２２には、それぞれ長手方向Ｙに延びる長溝２３が対向するように形成されている。そして、これらの対向する両長溝２３間には、それぞれ多数の鋼球２４が転動可能に介在している。

テーブル部材１７の下面には、ガイド部材１５に対して上側から嵌合される取付凹溝２５が長手方向Ｙに延びるように形成されている。テーブル部材１７の取付凹溝２５の内底面２６は、テーブル部材１７に対してガイド部材１５を取り付ける際にガイド部材１５の上面２７と対向する取付面を構成している。一方、ガイド部材１５の上面２７は、テーブル部材１７に対してガイド部材１５を取り付ける際にテーブル部材１７の取付凹溝２５の内底面２６と対向する被取付面を構成している。

図３及び図４に示すように、平面視矩形状をなすガイド部材１５の上面２７における４つのコーナー部近傍には、幅方向Ｘ及び長手方向Ｙにおいてそれぞれ対をなすように、キャップボルト１６を螺合させるねじ穴３０がそれぞれ形成されている。一方、テーブル部材１７におけるガイド部材１５の各ねじ穴３０と上下方向に対応する位置には、上面側（外面側）から取付凹溝２５の内底面２６に貫通するように、キャップボルト１６を挿通可能な挿通孔３１がそれぞれ形成されている。

この場合、各挿通孔３１は、ガイド部材１５のガイド凹溝２０の両内側面２２よりも、リニアガイド装置１３における幅方向Ｘの中央位置から離れた位置に位置している。なお、各挿通孔３１の上端部は、キャップボルト１６の頭が収容されるように、拡径されている。

また、テーブル部材１７の取付凹溝２５の内底面２６における幅方向Ｘの中央部には、略矩形状をなす凹部３２が、キャップボルト１６の各挿通孔３１への挿通方向と直交する方向から各挿通孔３１と繋がるように形成されている。したがって、テーブル部材１７の各挿通孔３１に挿通されてガイド部材１５の各ねじ穴３０に螺合した各キャップボルト１６の締め付け力によってガイド部材１５がテーブル部材１７に取り付けられた状態では、凹部３２と、ガイド部材１５の上面２７との間に空間部Ｋが形成される。すなわち、空間部Ｋは、凹部３２内の空間によって構成される。

図４に示すように、凹部３２は、第１凹部３２ａと４つの第２凹部３２ｂとを備えている。第１凹部３２ａは、テーブル部材１７の長手方向Ｙの中央部から一端にかけて延びるとともに幅方向Ｘにおける各挿通孔３１の内側一杯まで広がる矩形状をなしている。各第２凹部３２ｂは、第１凹部３２ａの幅方向Ｘの端縁における各挿通孔３１と対応する位置から、キャップボルト１６の各挿通孔３１への挿通方向に投影した場合において各挿通孔３１の全部と重なるように、幅方向Ｘの外側へ広がる略矩形状をなしている。

各第２凹部３２ｂの長手方向Ｙの長さは挿通孔３１の径の約１．５倍に設定される一方、各第２凹部３２ｂの幅方向Ｘの長さは挿通孔３１の径と同じになるように設定されている。したがって、各第２凹部３２ｂは長手方向Ｙの外側から各挿通孔３１に繋がるとともに、第１凹部３２ａは幅方向Ｘの内側から各挿通孔３１にそれぞれ繋がっている。よって、凹部３２は、各挿通孔３１に対してガイドレール１４の長手方向Ｙ及び幅方向Ｘの２つの方向から繋がっている。

図３に示すように、ベース部材１２には、幅方向Ｘにおいて対をなすシリンダ孔３５が長手方向Ｙに延びるように形成されている。各シリンダ孔３５内には、パッキン３６を介してピストン３７が摺動可能にそれぞれ配置されている。各ピストン３７の中心部にはピストンロッド３８の一端部がそれぞれ連結される一方、各ピストンロッド３８の他端部は、図１及び図２に示すように、各シリンダ孔３５の外側において略矩形板状の連結部材３９の下端部にそれぞれキャップボルト４０によって連結されている。

連結部材３９の上端部は、テーブル部材１７の長手方向Ｙにおける各キャップボルト１６側とは反対側の端部にキャップボルト４１によって連結されている。そして、各シリンダ孔３５にエアコンプレッサ（図示略）から圧縮空気が供給されることで、各ピストンロッド３８が各シリンダ孔３５内に収容された位置と、各シリンダ孔３５から外部へ突出した位置との間で往復移動する。

この各ピストンロッド３８の往復移動により、テーブル部材１７は、連結部材３９を介して、テーブル部材１７全体がベース部材１２上に位置する基準位置（図１に示す位置）と、テーブル部材１７の約半分がベース部材１２上から長手方向Ｙにおける連結部材３９側へずれたスライド位置（図２に示す位置）との間でスライド移動（駆動）する。

すなわち、テーブル部材１７は、各ピストンロッド３８の往復移動により、ガイド部材１５と共にガイドレール１４に沿って基準位置とスライド位置との間で直線移動自在になっている。なお、本実施形態では、各シリンダ孔３５、各パッキン３６、各ピストン３７、及び各ピストンロッド３８によって駆動部が構成されている。

次に、リニアガイド装置１３におけるガイドレール１４とガイド部材１５との間の予圧を調整する際の作用について説明する。
図５に示すように、キャップボルト１６の螺合動作に基づく締め付け力によりガイド部材１５がテーブル部材１７に対して締結されている状態において、キャップボルト１６の締め付け力が更に強くされると、ガイド部材１５の上面２７のうちでキャップボルト１６が螺合しているねじ穴３０付近に対してテーブル部材１７側への引き寄せ力が加わる。

このような場合において、テーブル部材１７の取付凹溝２５の内底面２６に各挿通孔３１と繋がる凹部３２（空間部Ｋ）が形成されていない場合には、キャップボルト１６の締め付け力を強くしても、取付凹溝２５の内底面２６とガイド部材１５の上面２７とは、キャップボルト１６の締め付け力を強くする前と同じ面接触状態を維持するだけである。

このため、ガイド部材１５のガイド凹溝２０の両内側面２２と、ガイドレール１４における両側面１９との間の予圧は変化しない。すなわち、鋼球２４に付与される予圧の調整は行われない。したがって、図７のグラフの破線Ａで示すように、キャップボルト１６の締め付け力を強くしても、鋼球２４に付与される予圧（ガイドレール１４に対する鋼球２４を介したガイド部材１５の摺動抵抗）はほぼ一定になる。

これに対し、本実施形態のリニアガイド装置１３では、テーブル部材１７の取付凹溝２５の内底面２６に各挿通孔３１と繋がる凹部３２（空間部Ｋ）が形成されている。さらに、凹部３２は、ガイドレール１４の長手方向Ｙ及び幅方向Ｘの双方から各挿通孔３１に繋がっている。このため、図６に示すように、キャップボルト１６の締め付け力が更に強くされると、ガイド部材１５は、次のように歪み変形する。すなわち、ガイド部材１５は、テーブル部材１７の取付凹溝２５の内底面２６における各挿通孔３１の周縁部位のうちガイド部材１５の上面２７が接触する部位を支点とする一方、各ねじ穴３０におけるキャップボルト１６による締め付け力が局所的に加えられる部位を力点とする梃子の原理に基づき、上面２７における凹部３２と対向する部位が凹部３２側へ引き寄せられるように歪み変形する。

このとき、ガイド部材１５には、次のようなモーメントが発生する。まず、凹部３２は第２凹部３２ｂが挿通孔３１に対して長手方向Ｙから繋がっているので、その長手方向Ｙと直交する幅方向Ｘに沿う軸を中心に回転するピッチングモーメントが発生する。また、凹部３２は第１凹部３２ａが挿通孔３１に対して幅方向Ｘから繋がっているので、その幅方向Ｘと直交する長手方向Ｙに沿う軸を中心に回転するローリングモーメントが発生する。そして更に、それらのピッチングモーメントとローリングモーメントとの合力によるモーメント（例えば長手方向Ｙ及び幅方向Ｘの双方と直交する高さ方向に沿う軸を中心に回転するヨーイングモーメントなど）が発生する。

すると、ガイド部材１５は、この歪み変形に伴い発生するモーメントによって、ガイド凹溝２０の内底面２１及び両内側面２２が形成された部位も変位するため、この変位によりガイド部材１５のガイド凹溝２０の両内側面２２と、ガイドレール１４における両側面１９との間の微小な隙間が次のように変化する。

すなわち、本実施形態では、リニアガイド装置１３の長手方向Ｙから見た状態（図５及び図６に示す状態）において、各挿通孔３１の中心軸線と、ガイドレール１４の両側面１９のうち該各挿通孔３１から近い方の側面１９との間に、凹部３２（空間部Ｋ）が存在している。そのため、キャップボルト１６の締め付け力が強くされた場合、凹部３２側への引き寄せ力による歪み変形に応じてガイド部材１５のガイド凹溝２０の両内側面２２がガイドレール１４の両側面１９へ僅かに接近する。

これにより、リニアガイド装置１３の幅方向Ｘにおけるガイド部材１５によるガイドレール１４の挟圧力が大きくなる。この結果、ガイド部材１５のガイド凹溝２０の両内側面２２と、ガイドレール１４の両側面１９との間の微小な隙間が僅かに狭められることになり、ガイドレール１４とガイド部材１５との間の予圧、すなわち鋼球２４に付与される予圧が高くなるように調整される。

そして、本実施形態のリニアガイド装置１３では、図７のグラフの実線Ｂで示すように、キャップボルト１６の締め付け力（締め付けトルク）を強くするにつれて、鋼球２４に付与される予圧（ガイドレール１４に対する鋼球２４を介したガイド部材１５の摺動抵抗）も大きくなる。

一方、キャップボルト１６の締め付け力が強くされたことによって既にガイド部材１５が凹部３２側へ引き寄せられるように歪み変形している状態において、上記の場合とは逆に、ガイド部材１５をテーブル部材１７側に締め付けているキャップボルト１６の締め付け力を弱くした場合には、ガイド部材１５が歪み変形する前の元の形状に戻ろうとする。このため、ガイド部材１５の歪み変形量が少なくなる。

したがって、キャップボルト１６の締め付け力が弱められると、ガイド部材１５のガイド凹溝２０の両内側面２２がガイドレール１４の両側面１９から遠ざかる方向へ僅かに変位する。この結果、ガイド部材１５のガイド凹溝２０の両内側面２２と、ガイドレール１４の両側面１９との間の微小な隙間が僅かに広げられることになり、ガイドレール１４とガイド部材１５との間の予圧、すなわち鋼球２４に付与される予圧が低くなるように調整される。

以上のように、本実施形態のリニアガイド装置１３では、鋼球２４に付与される予圧の調整を行うにあたって、テーブル部材１７の取付凹溝２５の内底面２６（テーブル部材１７におけるガイド部材１５の取付面）に高い加工精度が要求されることもなく、また、リニアガイド装置１３全体の分解及び組立を要することもない。

すなわち、テーブル部材１７の各挿通孔３１に挿通されてガイド部材１５の各ねじ穴３０に螺合しているキャップボルト１６の締め付け力を調整するだけで、ガイド部材１５の歪み変形に基づきガイドレール１４とガイド部材１５との間の予圧（鋼球２４に付与される予圧）を調整することができる。したがって、ガイドレール１４とガイド部材１５との間の予圧の調整を容易に且つ迅速に行うことができる。

また、リニアガイド装置１３の長手方向Ｙから見て、各挿通孔３１の中心軸線とガイドレール１４の両側面１９のうち該各挿通孔３１から近い方の側面１９との間に凹部３２（空間部Ｋ）が存在せず、凹部３２が該中心軸線よりも該側面１９から遠い側に存在する場合には、上記の場合とは逆方向にガイド部材１５のガイド凹溝２０の両内側面２２が変位する。

すなわち、凹部３２側への引き寄せ力による歪み変形に応じてガイド部材１５のガイド凹溝２０の両内側面２２がガイドレール１４の両側面１９から遠ざかる方向へ僅かに変位する。これにより、リニアガイド装置１３の幅方向Ｘにおけるガイド部材１５によるガイドレール１４の挟圧力が小さくなる。この結果、ガイド部材１５のガイド凹溝２０の両内側面２２と、ガイドレール１４の両側面１９との間の微小な隙間が僅かに広げられることになり、ガイドレール１４とガイド部材１５との間の予圧、すなわち鋼球２４に付与される予圧が低くなるように調整される。

一方、キャップボルト１６の締め付け力が強くされたことによって既にガイド部材１５が凹部３２側へ引き寄せられるように歪み変形している状態において、上記の場合とは逆に、ガイド部材１５をテーブル部材１７側に締め付けているキャップボルト１６の締め付け力を弱くした場合には、ガイド部材１５が歪み変形する前の元の形状に戻ろうとする。このため、ガイド部材１５の歪み変形量が少なくなる。

したがって、キャップボルト１６の締め付け力が弱められると、ガイド部材１５のガイド凹溝２０の両内側面２２がガイドレール１４の両側面１９に近づく方向へ僅かに変位する。この結果、ガイド部材１５のガイド凹溝２０の両内側面２２と、ガイドレール１４の両側面１９との間の微小な隙間が僅かに狭められることになり、ガイドレール１４とガイド部材１５との間の予圧、すなわち鋼球２４に付与される予圧が高くなるように調整される。

以上詳述した実施形態によれば次のような効果が発揮される。
（１）リニアガイド装置１３では、テーブル部材１７の各挿通孔３１に挿通されてガイド部材１５の各ねじ穴３０に螺合している各キャップボルト１６の締め付け力を調整するだけで、ガイド部材１５の歪み変形に基づきガイドレール１４とガイド部材１５との間の予圧、すなわち鋼球２４に付与される予圧を調整することができる。したがって、ガイドレール１４とガイド部材１５との間の予圧の調整を容易に且つ迅速に行うことができる。

（２）凹部３２（空間部Ｋ）は、各挿通孔３１に対してガイドレール１４の長手方向Ｙ及び幅方向Ｘの２つの方向から繋がっている。このため、キャップボルト１６の締め付け力を強くしてガイド部材１５を歪み変形させると、ガイド部材１５にはピッチングモーメントとローリングモーメントとの合力によるモーメントが発生する。したがって、こうした合力によるモーメント方向においてガイド部材１５のガイド凹溝２０の両内側面２２をガイドレール１４の両側面１９に対して変位させることを通じて、両内側面２２と両側面１９との間の微小な隙間を効果的に調整することができる。

（３）テーブル部材１７には、キャップボルト１６が挿通される挿通孔３１が四箇所にわたって形成されているため、ガイドレール１４とガイド部材１５との間の予圧の調整を、テーブル部材１７の四箇所に形成された挿通孔３１に挿通された各キャップボルト１６の締め付け力の調整を通じて四方向から行うことができる。したがって、キャップボルト１６の締め付け力の調整を一箇所で一方向からだけ行う場合に比して、ガイドレール１４に対するガイド部材１５のがたつきの抑制を精密に行うことができる。

（４）凹部３２は、テーブル部材１７の取付凹溝２５の内底面２６側においてガイドレール１４の延びる長手方向Ｙと直交する幅方向Ｘの中央部に形成され、挿通孔３１は、ガイドレール１４を幅方向Ｘの両側から挟む４つの位置であって且つガイド部材１５のガイド凹溝２０の両内側面２２よりも幅方向Ｘの中央位置から離れた位置に形成されている。このため、キャップボルト１６の締め付け力を強くすると、ガイド部材１５のガイド凹溝２０の両内側面２２がガイドレール１４の両側面１９に対してガイドレール１４を幅方向Ｘの両側から挟圧する（挟み付ける）ように変位する。したがって、ガイドレール１４とガイド部材１５との間の予圧の調整をガイド部材１５がガイドレール１４から外れることを抑制しつつ安定的に行うことができる。

（５）空間部Ｋは、テーブル部材１７の取付凹溝２５の内底面２６に挿通孔３１と繋がるように形成された凹部３２によって構成されている。このため、例えばテーブル部材１７の取付凹溝２５の内底面２６とガイド部材１５の上面２７との間にスペーサー部材などを挟むことによって挿通孔３１に繋がる空間部Ｋを形成する場合に比して、そのようなスペーサー部材を不要にできるので、部品点数の増加を抑制することができる。

（６）各挿通孔３１は、キャップボルト１６の挿通方向に投影した場合において全部が凹部３２（空間部Ｋ）と重なっている。このため、例えば挿通孔３１の一部がキャップボルト１６の挿通方向に投影した場合において凹部３２（空間部Ｋ）と重なっている場合に比して、キャップボルト１６の締め付け力によるガイド部材１５の歪み変形量を少なくすることができる。

（変更例）
なお、上記実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
・図８に示すように、テーブル部材１７において各第２凹部３２ｂの長手方向Ｙの長さを挿通孔３１の径と同じになるようにしてもよい。すなわち、凹部３２と挿通孔３１とは幅方向Ｘからのみ繋がるようにしてもよい。このようにすれば、キャップボルト１６の締め付け力によるガイド部材１５の歪み変形にともなって長手方向Ｙに沿う軸を中心に回転するローリングモーメントが発生する。したがって、このローリングモーメント方向においてガイド部材１５のガイド凹溝２０の両内側面２２をガイドレール１４の両側面１９に対して変位させることを通じて、両内側面２２と両側面１９との間の微小な隙間を効果的に調整することができる。

・図９（ａ）、（ｂ）に示すように、テーブル部材１７の各挿通孔３１は、キャップボルト１６の挿通方向に投影した場合において幅方向Ｘの内側半分（一部）が凹部３２（空間部Ｋ）と重なるようにしてもよい。このようにすれば、各挿通孔３１の全部がキャップボルト１６の挿通方向に投影した場合において凹部３２（空間部Ｋ）と重なっている場合に比して、キャップボルト１６の締め付け力によるガイド部材１５の歪み変形量を多くすることができる。

・テーブル部材１７の凹部３２を省略し、テーブル部材１７の取付凹溝２５の内底面２６とガイド部材１５の上面２７との間に、凹部３２と同じ形状の空間部Ｋ（隙間）が形成されるようにスペーサー部材を挟むようにしてもよい。

・各挿通孔３１は、必ずしもガイド部材１５のガイド凹溝２０の両内側面２２よりも幅方向Ｘの中央位置から離れた位置に形成する必要はない。
・テーブル部材１７へのガイド部材１５の取り付けは、凹部３２と繋がる１つの挿通孔３１に挿通された１本のキャップボルト１６の１箇所での締め付けによって行うようにしてもよい。この場合、凹部３２と繋がる１つの挿通孔３１に挿通された１本のキャップボルト１６の締め付け位置は、適宜変更してもよい。

・テーブル部材１７へのガイド部材１５の取り付けは、キャップボルト１６によって２箇所の締め付けや３箇所の締め付け、あるいは５箇所以上の締め付けによって行うようにしてもよい。この場合、凹部３２と繋がる各挿通孔３１に挿通されたそれぞれのキャップボルト１６の締め付け位置は、適宜変更してもよい。

１１…リニアアクチュエータ装置、１３…リニアガイド装置、１４…ガイドレール、１５…ガイド部材、１６…ねじ部材の一例としてのキャップボルト、１７…テーブル部材、２６…取付面を構成する内底面、２７…被取付面を構成する上面、１８…ガイド面を構成する上面、１９…ガイド面を構成する側面、２１…被ガイド面を構成する内底面、２２…被ガイド面を構成する内側面、３０…ねじ穴、３１…挿通孔、３２…空間部Ｋを構成する凹部、３５…駆動部を構成するシリンダ孔、３６…駆動部を構成するパッキン、３７…駆動部を構成するピストン、３８…駆動部を構成するピストンロッド、Ｋ…空間部、Ｘ…幅方向、Ｙ…長手方向。

Claims (6)

1. ガイドレールと、
   当該ガイドレールに沿って直線移動自在に設けられるテーブル部材と、
   当該テーブル部材における前記ガイドレール側に位置する取付面と対向する被取付面及び前記ガイドレールにおける長手方向に沿って延びるガイド面と対向する被ガイド面を有し、且つ、前記被取付面を前記取付面に対向させるとともに、前記被ガイド面と前記ガイド面との間に隙間を介在させた状態で、前記テーブル部材と共に前記ガイドレールに沿って移動するように前記テーブル部材に対して取り付けられるガイド部材と、
   を備え、
   ねじ部材を挿通するための挿通孔を前記テーブル部材の外面側から前記取付面に貫通するように形成するとともに、前記ガイド部材の前記被取付面には前記ねじ部材を螺合させるねじ穴を形成し、さらに、前記挿通孔に挿通されて前記ねじ穴に螺合した前記ねじ部材の締め付け力により前記ガイド部材が前記テーブル部材に取り付けられた状態では、前記テーブル部材の前記取付面と前記ガイド部材の前記被取付面との間に、前記挿通孔と繋がる空間部が形成され、前記挿通孔は、前記ねじ部材の挿通方向に投影した場合において一部が前記空間部と重なることを特徴とするリニアガイド装置。
2. 前記空間部は、前記ガイドレールの長手方向と直交する幅方向を含む少なくとも１つの方向から前記挿通孔に繋がっていることを特徴とする請求項１に記載のリニアガイド装置。
3. 前記テーブル部材には、前記挿通孔が複数箇所にわたって形成され、
   前記各挿通孔には、前記ねじ部材がそれぞれ挿通されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のリニアガイド装置。
4. 前記空間部は、前記テーブル部材の前記取付面側において前記ガイドレールの延びる方向と直交する幅方向の中央部に形成され、
   前記挿通孔は、前記ガイドレールを前記幅方向の両側から挟む複数の位置であって且つ前記ガイド部材の前記被ガイド面よりも前記幅方向の中央位置から離れた位置に形成されていることを特徴とする請求項３に記載のリニアガイド装置。
5. 前記空間部は、前記テーブル部材における前記取付面に前記挿通孔と繋がるように形成された凹部によって構成されることを特徴とする請求項１〜請求項４のうちいずれか一項に記載のリニアガイド装置。
6. 請求項１〜請求項５のうちいずれか一項に記載のリニアガイド装置と、
   前記テーブル部材を駆動する駆動部と
   を備えたことを特徴とするリニアアクチュエータ装置。