JP6266404B2 - ガイドレール取付け具 - Google Patents

Description

本発明は、移動部の直線移動を案内するガイドレールを装置のベースに取付けるためのガイドレール取付け具に関する。

従来、半導体製造装置において、装置内の可動部位を直線的に移動させるために、ガイドレールが用いられる。ガイドレールは短手方向に歪みを有しており、全体として直線性を失っていることが多い。このため、ガイドレールをベースの据付け面に取付ける際には、ガイドレールを真っ直ぐにする必要がある。ガイドレールが取付けられるベースには、据付け面に対して直交する基準面が真っ直ぐに形成されている。この基準面にガイドレールの側面を押し付けることで、ガイドレールが基準面に沿って真っ直ぐに矯正される。この状態でガイドレールをネジ止めすることにより、ガイドレールをベースの据付け面に適切に取付けることができる。

ガイドレールを真っ直ぐに取付けるために、ガイドレールを基準面に沿わせた状態を維持させるガイドレール取付け具が提案されている（例えば、特許文献１から特許文献４参照）。これらの特許文献に記載のガイドレール取付け具は、据付面に対するねじ込み力を基準面に直交する方向に変換してガイドレールを基準面に向かって押し付けている。これにより、ガイドレールが基準面に沿って真っ直ぐに矯正された状態で、ガイドレールをベースの据付け面に取付けることができる。

特許第４１７０６５９号公報 特開２００１−１２４０２５号公報 特開２００３−３０１８１７号公報 特開２００４−２６３７９３号公報

しかしながら、上記の特許文献に記載のガイドレール取付け具においては、据付け面に対してネジをねじ込んだ分だけ押圧力が大きくなるため、押圧力を調整することが難しかった。このため、据付け面にネジをねじ込み過ぎると、ガイドレールを必要以上の大きな圧力で基準面に押し付けてしまうおそれがあった。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、ガイドレールを適切な圧力で押し付けることができるガイドレール取付け具を提供することを目的とする。

本発明のガイドレール取付け具は、延在する基準面を備えるベースの基準面にガイドレールの一方の側面を所定の圧力で圧接させた状態でガイドレールを取付けるガイドレール取付け具であって、ベースは、基準面に直角で配設する据付け面と、基準面に平行して列をなして据付け面に形成される複数のネジ穴と、基準面に対面してガイドレール取付け具を支持する支持部と、を備え、ガイドレールは、据付け面に接触させる下面と、上面から下面に貫通する貫通孔と、を備え、ガイドレール取付け具は、進退するピストンと、ピストンを進退可能に案内するシリンダと、ピストンの進退となる前進および後退をさせるピストン駆動源と、ピストン駆動源によってピストンを前進させガイドレールを押圧する圧力を一定範囲に規制する圧力規制部と、を備え、ベースに備える支持部でシリンダを支持して、ピストンを前進させ、ピストンの先端をガイドレールの他方の側面に接触させ、圧力規制部による所定の圧力で基準面にガイドレールの一方の側面を圧接させ、圧接させた状態でガイドレールをベースの据付け面に螺合させることを特徴とする。

この構成によれば、ガイドレールがベースの基準面に向かって押し付けられることにより、ガイドレールの一方の側面が基準面に当接する。このため、ガイドレールが直線性を失っていても、ガイドレールを基準面に沿わせて真っ直ぐにすることができる。そして、ガイドレールが真っ直ぐな状態でネジ止めされることにより、ガイドレールがベースの据付け面に固定される。また、ガイドレールに当接するピストンの押圧力は一定範囲の圧力に規制されるため、ピストンがガイドレールを押し付けすぎることがない。このため、ガイドレールを必要以上に変形させることなく、ガイドレールを適切に取付けることができる。

また、本発明の上記ガイドレール取付け具において、ベースに形成される支持部は、基準面に対面する支持面を備え、ガイドレール取付け具は、シリンダの後端面を支持面に接触させ、ピストンを前進させ、ピストンの先端をガイドレールの他方の側面に接触させ、ガイドレールを所定の圧力で押圧させる。

また、本発明の上記ガイドレール取付け具において、ベースに形成される支持部は、基準面から所定の距離離間し基準面に平行な直線上に配設される支持孔を備え、ガイドレール取付け具は、シリンダの外壁に支持孔に挿入可能なピンを備え、支持孔にピンを挿入させてガイドレール取付け具を支持させ、ピストンを前進させ、ピストンの先端をガイドレールの他方の側面に接触させ、ガイドレールを所定の圧力で押圧させる。

本発明によれば、ガイドレールを一定範囲の圧力で押し付けることにより、ガイドレールをベースの基準面に沿わせた状態で適切に取付けることができる。

ガイドレールがベースに取付けられた状態を示す図である。 本実施の形態に係るガイドレール取付け具の一例を示す断面模式図である。 本実施の形態に係るガイドレール取付け具の適用例を示す模式図である。 本実施の形態に係るガイドレール取付け具の動作図である。 第１の変形例に係るガイドレール取付け具を示す模式図である。 第２の変形例に係るガイドレール取付け具を示す模式図である。

以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係るガイドレール取付け具について説明する。図１は、ガイドレールがベースに取付けられた状態を示す図である。図２は、本実施の形態に係るガイドレール取付け具の一例を示す断面模式図である。図３は、本実施の形態に係るガイドレール取付け具の適用例を示す模式図である。図３Ａはガイドレールをベースに取付ける際の上面図を示し、図３Ｂはガイドレールをベースに取付ける際の側面図を示す。なお、本実施の形態に係るガイドレール取付け具は、以下の図に示す構成に限定されない。ガイドレール取付け具は、ガイドレールを基準面に向かって押し付けることができれば、どのように構成されてもよい。

図１に示すように、ガイドレール２は、ベース３に直線的に形成された基準面３２に対して直角に配設された据付け面３１に載置される。そして、ガイドレール２の側面を基準面３２に沿わせた状態でネジ止めすることにより、ガイドレール２がベース３に取付けられる。これにより、ガイドレール２と対になって使用される移動ブロック２６は、ガイドレール２に沿って真っ直ぐに移動することが可能になる。本実施の形態に係るガイドレール取付け具１（図２参照）は、ガイドレール２をベース３に取付ける際に、ガイドレール２を基準面３２に沿わせた状態を維持するように構成されている。

図２に示すように、ガイドレール取付け具１は、ピストン２０をシリンダ１０に沿って前後方向に進退させるように構成されている。シリンダ１０は、直方体形状の箱型に形成されており、シリンダ１０の内部空間には、シリンダ１０の長手方向（前後方向）に沿って進退可能な第１、第２の移動板１１、１２が収容されている。第１、第２の移動板１１、１２は、スプリング１５によって連結されている。

第１の移動板１１の前面中央には、ピストンロッド１３がシリンダ１０の前面から突出するように設けられている。ピストンロッド１３の先端には、ガイドレール２を基準面３２に向かって押し付ける板状の押え部１４が取付けられている。本実施の形態においては、第１の移動版１１、ピストンロッド１３及び押え部１４が、シリンダ１０に対して進退するピストン２０を構成する。スプリング１５は、例えば、圧縮コイルバネで形成され、第１の移動板１１の押圧力を一定範囲に規制する圧力規制部として機能する。

第２の移動板１２は、シリンダ１０の内部空間の後端側に収容されており、上面に連結ピン１２１が設けられている。連結ピン１２１には、水平方向に延在する板状の連結部材１８の一端が連結されている。連結部材１８の一端側には、延在方向に沿って長穴１８１が形成されており、長穴１８１には、連結ピン１２１が長穴１８１に沿ってスライド可能に挿通されている。連結部材１８の他端には、上方に延在する軸部１７が固定されている。

軸部１７は、シリンダ１０の上壁に設けられており、軸部１７の上端側がシリンダ１０の外部に突出している。この突出した軸部１７の上端には、軸部１７から水平方向に延在するハンドル１６が固定されている。ハンドル１６と連結部材１８とは、上面視において、互いに略直角を成すように固定される。ハンドル１６は、ピストン２０の進退となる前進及び後退をさせるピストン駆動源を構成する。ハンドル１６の揺動操作に合わせて連結部材１８が軸部１７を支点に揺動可能になっており、連結部材１８の揺動に合わせて第２の移動板１２が進退する。

また、シリンダ１０の後端部分には、ハンドル１６の位置を固定するストッパピン１９が設けられている。ストッパピン１９は、通常はシリンダ１０の後端部分に設けられている。ストッパピン１９は、シリンダ１０に形成されたピン穴で付勢部材１９１によって上方に付勢されており、シリンダ１０の上面から出没可能になっている。ストッパピン１９を超える位置までハンドル１６を揺動させて、シリンダ１０の上面からストッパピン１９を突出させることにより、ハンドル１６の先端がストッパピン１９に引っ掛けられる。これにより、ハンドル１６の回転が規制され、ハンドル１６の復帰が防止される。

図３に示すように、本実施の形態の適用対象となるガイドレール２は、移動ブロック２６のガイド方向に延在している。また、ガイドレール２の短手方向には、歪みが生じており、図３Ａに示すように、ガイドレール２単体では、蛇行して直線性を失った状態になっている。ガイドレール２には、上面から下面に向かって、複数の貫通孔２１が、ガイドレール２の延在方向に等間隔で形成されている。また、各貫通孔２１の上面側には、ガイドレール２を固定するネジの頭を収容するためのザグリ穴２２が形成されている。

図３Ｂに示すように、ベース３には、ガイドレール２の下面２５が接触する据付け面３１に対して直角を成す基準面３２が配設されている。この基準面３２には、ガイドレール２の一方の側面２３が当接する。据付け面３１には、ガイドレール２の貫通孔２１のピッチに合わせて、複数のネジ穴３３が形成されている。また、基準面３２に沿うベース３の一側面には、基準面３２に対面してガイドレール取付け具１を支持する板状の支持部３４が設けられている。

ガイドレール２をベース３に取付ける際には、ガイドレール２は、ベース３の基準面３２に沿って据付け面３１上に載置され、ガイドレール２の下面２５が据付け面３１に接触される。そして、ガイドレール取付け具１は、ガイドレール２とベース３の支持部３４との間にセットされる。ガイドレール取付け具１では、ハンドル１６の揺動操作によって第１の移動板１１（図２参照）が前方に移動される。これにより、押え部１４がガイドレール２に当接してガイドレール２が基準面３２に押し付けられ、ガイドレール２の歪みが矯正される。そして、この状態でガイドレール２をネジ止めすることにより、ガイドレール２を基準面に沿わせて真っ直ぐに固定することができる。また、ガイドレール２が押え部１４によって過剰に押さえ付けられないように、スプリング１５（図２参照）によって過剰な押圧力が吸収される。このように、押え部１４（第１の移動板１１）の押圧力は一定範囲に規制されるため、ガイドレール２は必要以上に押し付けられることがない。ここで、一定範囲とは、ハンドル１６からの駆動力をスプリング１５を介してピストン２０に伝え、ピストン２０がガイドレール２を基準面に押し付けることができる圧力の範囲を示す。

次に、図４を参照して、本実施の形態に係るガイドレールの取付け動作について詳細に説明する。図４は、本実施の形態に係るガイドレール取付け具の動作図である。図４Ａはガイドレール取付け具のハンドルを操作する前の状態を示し、図４Ｂはガイドレール取付け具のハンドルを操作した後の状態を示している。なお、図４においては、説明の便宜上、ガイドレールは断面視長方形状で示している。

図４Ａに示すように、据付け面３１にガイドレール２の下面２５が接触され、ガイドレール２の一方の側面２３と基準面３２との間には、ガイドレール２の歪みによってわずかに隙間が空いている。このとき、ガイドレール２の貫通孔２１とベース３のネジ穴３３とは、互いの中心位置がずれた状態になっている。ガイドレール取付け具１は、ガイドレール２と支持部３４との間の据付け面３１上で、貫通孔２１に隣接する位置にセットされる。ガイドレール２は、支持部３４によって後方への移動が規制されている。

ハンドル１６が矢印の方向に揺動操作されると、連結部材１８はハンドル１６と一体に揺動する。連結部材１８の揺動に合わせて、第２の移動板１２は、連結ピン１２１を連結部材１８の長穴１８１に沿ってスライドさせながら前方へ移動する。第１の移動板１１は、スプリング１５を介して第２の移動板１２に連結されているため、第１の移動板１１は、第２の移動板１２に押し付けられて前方に移動する。これにより、押え部１４がガイドレール２の他方の側面２４に当接して、押え部１４はガイドレール２を基準面３２に向かって押し付ける。

そして、図４Ｂに示すように、ガイドレール２の一方の側面２３がベース３の基準面３２に当接して、ガイドレール２が基準面３２に沿わされる。これにより、ガイドレール２の歪みが矯正され、貫通孔２１とネジ穴３３との位置が一致する。このとき、ガイドレール２に対する押え部１４の押圧力は、スプリング１５によって一定範囲に抑えられる。すなわち、所定の圧力を超えた分の押圧力は、スプリング１５によって吸収される。このため、ガイドレール２の歪みが矯正されても、必要以上にガイドレール２が押し付けられることがない。よって、ガイドレール２に過大な圧力が加わるのを防止することができる。このように、スプリング１５は、少なくともガイドレール２の歪みを除去できる程度の硬さを有していることが好ましい。

ハンドル１６を所定角度揺動させて、ストッパピン１９をシリンダ１０の上面から突出させることにより、ストッパピン１９にハンドル１６の先端が引っ掛けられる。これにより、ハンドル１６の位置が規制されて、第１、第２の移動板１１、１２の位置が固定される。よって、ガイドレール２が基準面３２に沿わされた状態を保持することができる。そして、貫通孔２１とネジ穴３３との位置が一致した状態で、貫通孔２１にネジを挿入してネジ穴３３にねじ込むことにより、ガイドレール２がベース３に固定される。これらの一連の作業を複数の箇所にて行うことにより、ガイドレール２を基準面３２に沿って真っ直ぐに取付けることができる。

以上のように、本実施の形態に係るガイドレール取付け具１によれば、ガイドレール２がベースの基準面３２に向かって押し付けられることにより、ガイドレール２の一方の側面２３が基準面３２に当接する。このため、ガイドレール２が直線性を失っていても、ガイドレール２を基準面３２に沿わせて真っ直ぐにすることができる。そして、ガイドレール２が真っ直ぐな状態でネジ止めされることにより、ガイドレール２がベース３の据付け面３１に固定される。また、ガイドレール２に当接する押え部１４の押圧力は一定範囲の圧力に規制されるため、押え部１４がガイドレール２を押し付けすぎることがない。このため、ガイドレール２を必要以上に変形させることなく、ガイドレール２を適切に取付けることができる。

次に、図５を参照して、第１の変形例に係るガイドレール取付け具について説明する。図５は、第１の変形例に係るガイドレール取付け具を示す模式図である。第１の変形例においては、ベースの据付面に形成された溝にシリンダを嵌め込んでガイドレール取付け具を支持する点で、本実施の形態と相違する。第１の変形例においては、相違点について重点的に説明する。また、本実施の形態と同一の構成については同一の符号を付している。

図５に示すように、ベース３の据付け面３１には、シリンダ１０の前後方向の寸法に合った溝３５が基準面３２に沿って形成されており、この溝３５にはシリンダ１０が嵌め込まれている。ハンドル１６が操作されると、基準面３２に対向（対面）する溝３５の後端面３６がシリンダ１０の後端面１０２に接触される。これにより、ガイドレール取付け具１の後方への移動が規制されるため、押え部１４の押圧力をガイドレール２に適切に伝えることができる。

このように、溝３５の後端面３６は、ガイドレール取付け具１を支持する支持面として活用される。よって、図５に示す変形例においても、ガイドレール２はガイドレール取付け具１によって一定範囲の所定の圧力で押圧され、ガイドレール２が基準面３２に沿わされた状態でガイドレール２をネジ止めすることができる。また、図５に示す変形例では、一箇所ネジ止めした後にガイドレール取付け具１を溝３５に沿って滑らせることにより、隣接する貫通孔２１に対してガイドレール取付け具１を容易に位置合わせすることができる。

次に、図６を参照して、第２の変形例に係るガイドレール取付け具について説明する。図６は、第２の変形例に係るガイドレール取付け具を示す模式図である。第２の変形例においては、シリンダの下面にピンを設けて、このピンをベースの据付面に形成されたピン穴に挿入してガイドレール取付け具を支持する点で、本実施の形態と相違する。第２の変形例においては、相違点について重点的に説明する。また、本実施の形態と同一の構成については同一の符号を付している。

図６に示すように、第２の変形例に係るガイドレール取付け具１においては、シリンダ１０の下面にピン１０１が取付けられている。また、ベース３の据付け面３１には、基準面３２から所定の距離離間した位置に複数のピン穴３７が形成されている。ピン穴３７は、ピン１０１よりわずかに大径に形成されており、ピン穴３７は、ガイドレール２の貫通孔２１又はベース３のネジ穴３３に隣接して同じピッチで配設されている。

図６に示す変形例では、ピン穴３７にピン１０１が挿入されることで、ガイドレール取付け具１の後方への移動が規制される。よって、ハンドル１６を操作したときに、押え部１４の押圧力をガイドレール２に適切に伝えることができる。このように、ベース３のピン穴３７は、ガイドレール取付け具１を支持する支持孔として活用される。よって、図６に示す変形例においても、ガイドレール２は、ガイドレール取付け具１によって一定範囲の所定の圧力で押圧され、ガイドレール２が基準面３２に沿わされた状態でガイドレール２をネジ止めすることができる。よって、ガイドレール２を基準面３２に沿って真っ直ぐに取付けることができる。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

例えば、上記した実施の形態において、圧力規制部をスプリング１５で構成したが、この構成に限定されない。圧力規制部は、ピストン２０の過剰な押圧力を吸収するものであれば、どのように構成されてもよい。

また、上記した実施の形態において、ピストン駆動源をハンドル１６で構成したが、この構成に限定されない。ピストン駆動源は、ピストン２０に駆動力を付与することができればよい。例えば、ハンドル１６の手動操作ではなく、自動でピストン２０に駆動力を付与してもよい。

また、上記した実施の形態において、スプリング１５の伸縮範囲内であれば、ガイドレール２の幅によらず、多種類のガイドレール２でも、直線性を維持した状態でベース３に取付けることができる。

以上説明したように、本発明は、ガイドレールを適切な圧力で押し付けることができるという効果を有し、特に、移動部の直線移動を案内するガイドレールを装置のベースに取付けるためのガイドレール取付け具に有用である。

１ ガイドレール取付け具
１０ シリンダ
１５ スプリング（圧力規制部）
１６ ハンドル（ピストン駆動源）
２０ ピストン
２ ガイドレール
２１ 貫通孔
２３ 一方の側面
２４ 他方の側面
２５ 下面
３ ベース
３１ 据付け面
３２ 基準面
３３ ネジ穴
３４ 支持部
３６ 後端面（支持面）
３７ ピン穴（支持孔）
１０１ ピン

Claims (3)

1. 延在する基準面を備えるベースの該基準面にガイドレールの一方の側面を所定の圧力で圧接させた状態で該ガイドレールを取付けるガイドレール取付け具であって、
   該ベースは、該基準面に直角で配設する据付け面と、該基準面に平行して列をなして該据付け面に形成される複数のネジ穴と、該基準面に対面して該ガイドレール取付け具を支持する支持部と、を備え、
   該ガイドレールは、該据付け面に接触させる下面と、上面から該下面に貫通する貫通孔と、を備え、
   該ガイドレール取付け具は、進退するピストンと、ピストンを進退可能に案内するシリンダと、該ピストンの進退となる前進および後退をさせるピストン駆動源と、該ピストン駆動源によって該ピストンを前進させ該ガイドレールを押圧する圧力を一定範囲に規制する圧力規制部と、を備え、
   該ベースに備える該支持部で該シリンダを支持して、該ピストンを前進させ、該ピストンの先端を該ガイドレールの他方の側面に接触させ、該圧力規制部による所定の圧力で該基準面に該ガイドレールの一方の側面を圧接させ、圧接させた状態で該ガイドレールを該ベースの該据付け面に螺合させるためのガイドレール取付け具。
2. 該ベースに形成される該支持部は、該基準面に対面する支持面を備え、
   該ガイドレール取付け具は、該シリンダの後端面を該支持面に接触させ、該ピストンを前進させ、該ピストンの先端を該ガイドレールの他方の側面に接触させ、該ガイドレールを所定の圧力で押圧させる請求項１記載のガイドレール取付け具。
3. 該ベースに形成される該支持部は、該基準面から所定の距離離間し該基準面に平行な直線上に配設される支持孔を備え、
   該ガイドレール取付け具は、該シリンダの外壁に該支持孔に挿入可能なピンを備え、
   該支持孔に該ピンを挿入させて該ガイドレール取付け具を支持させ、該ピストンを前進させ、該ピストンの先端を該ガイドレールの他方の側面に接触させ、該ガイドレールを所定の圧力で押圧させる請求項１記載のガイドレール取付け具。

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