JP2016211621A - エアステージ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本実施形態にかかるエアステージ装置を表す模式的斜視図である。
図2は、本実施形態にかかるエアステージ装置を定盤の側から眺めた場合を表す模式的斜視図である。
図3は、本実施形態の変形例にかかるエアステージ装置を表す模式的斜視図である。
図4は、本実施形態のX軸ガイド部を表す模式的平面図である。
図2では、説明の便宜上、定盤を省略している。
図4(a)は、図1に表したX軸ガイド部(第1のガイド部)110を矢印A11の方向にみたときの模式的平面図である。図4(b)は、図3に表したX軸ガイド部110aを矢印A12の方向にみたときの模式的平面図である。
本実施形態によれば、固定部40が定盤20とX軸ガイド部110、110aとに固定されることで、X軸ガイド部110、110aの剛性が向上し、X軸ガイド部110、110aの変形を低減することができる。
例えば、一辺が1メートル(m)よりも長い寸法を有する大型のエアステージ装置では、X軸移動体、Y軸ガイド部、およびY軸移動体の自重により、X軸移動体にたわみが生ずることがある。これに対して、本実施形態では、Y軸移動体220が移動する方向(Y軸方向)に複数のX軸ガイド部110が並んで設けられているため、X軸移動体120、Y軸ガイド部210、およびY軸移動体220の自重により、X軸移動体120に生ずるたわみを低減することができる。
図5は、本実施形態のX軸ガイド部および固定部を斜めから眺めた場合を表す模式的斜視図である。
図6は、本実施形態の固定部を拡大した場合を表す模式的斜視図である。
図7は、図1に表したX軸ステージを矢印A11の方向にみたときの模式的平面図である。
図8は、図6に表した固定部を矢印13の方向にみたときの模式的平面図である。
なお、図5〜図8に関する説明では、図1に表したエアステージ装置10を例に挙げる。
これに対して、本実施形態にかかるエアステージ装置10は、固定部40を備える。そのため、X軸ガイド部110の水平方向および垂直方向の変形を低減することができる。この詳細については、後述する。
これによれば、X軸移動体120を全ストロークにわたって移動させることができる。
図9は、本実施形態の比較例にかかるエアステージ装置を表す模式的斜視図である。
図10は、本比較例にかかるエアステージ装置を表す模式的平面図である。
図11は、本比較例にかかるエアステージ装置を表す模式的平面図である。
図10は、図9に表したエアステージ装置10aを矢印A13の方向にみたときの模式的平面図である。図11は、図9に表したエアステージ装置10aを矢印A14の方向にみたときの模式的平面図である。
図13は、X軸ガイド部の垂直方向の変形を説明する模式的平面図である。
図12(a)および図13(a)は、本実施形態のX軸ガイド部の周辺を表す模式的平面図である。図12(b)および図13(b)は、比較例にかかるX軸ガイド部の周辺を表す模式的平面図である。
ここでは、Y軸ステージ200の動きに基づいてX軸ステージ100に発生するモーメント(例えばヨーイング)について説明する。
本発明者は、固定部40が設けられた場合と、固定部40が設けられていない場合と、においてシミュレーションを実施し、エアステージ装置10の固有値と、X軸ガイド部110の変形量と、に対する固定部40の効果を検討した。これについて、図面を参照しつつさらに説明する。
図15は、本シミュレーションにおけるX軸ガイド部および固定部のモデルを表す模式的平面図である。
図16は、本シミュレーションの条件を説明する模式的平面図である。
図15(b)に表したモデルでは、X軸ガイド部110aは、リブ115を有する。X軸ガイド部110aの右側部113およびX軸ガイド部110aの左側部114のそれぞれには、固定部40が設けられていない。
図15(c)に表したモデルでは、X軸ガイド部110は、リブ115を有していない。X軸ガイド部110の右側部113およびX軸ガイド部110の左側部114のそれぞれには、固定部40が設けられている。
図15(d)に表したモデルでは、X軸ガイド部110は、リブ115を有していない。X軸ガイド部110の右側部113およびX軸ガイド部110の左側部114のそれぞれには、固定部40が設けられていない。
図19および図20は、X軸ガイド部の水平方向の変形量のシミュレーション結果の一例を表す模式的斜視図である。
図21および図22は、X軸ガイド部の垂直方向の変形量のシミュレーション結果の一例を表す模式的斜視図である。
図17(b)、図19(b)、および図21(b)は、図15(b)に表したモデルを用いたときのシミュレーション結果の一例を表す模式的斜視図である。
図18(a)、図20(a)、および図22(a)は、図15(c)に表したモデルを用いたときのシミュレーション結果の一例を表す模式的斜視図である。
図18(b)、図20(b)、および図22(b)は、図15(d)に表したモデルを用いたときのシミュレーション結果の一例を表す模式的斜視図である。
これにより、X軸ガイド部がリブ115を有する場合において、固定部40は、エアステージ装置10の固有値を向上させることができる。
これにより、X軸ガイド部がリブ115を有していない場合において、固定部40は、エアステージ装置10の固有値を向上させることができる。
これにより、X軸ガイド部がリブ115を有する場合において、X軸ガイド部の水平方向の変形を低減することができる。
これにより、X軸ガイド部がリブ115を有していない場合において、X軸ガイド部の水平方向の変形を低減することができる。
これにより、X軸ガイド部がリブ115を有する場合において、X軸ガイド部の垂直方向の変形を低減することができる。
これにより、X軸ガイド部がリブ115を有していない場合において、X軸ガイド部の垂直方向の変形を低減することができる。
また、前述した各実施の形態が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
Claims (10)
- 上面を有する定盤と、
静圧気体軸受であって、
上部と下部と側部とを含み中空部分が第1の方向に延びた中空構造を有し前記下部が前記上面に固定された第1のガイド部と、
前記第1のガイド部と対向する位置に設けられた第1の移動体と、
前記第1の移動体に設けられた第2のガイド部と、
前記第2のガイド部と対向する位置に設けられた第2の移動体と、
を有する静圧気体軸受と、
前記側部および前記上面に固定され前記第1のガイド部の変形を抑制する固定部と、
を備えたことを特徴とするエアステージ装置。 - 前記固定部は、複数設けられ、
前記複数の固定部は、前記第1のガイド部の両側の前記側部に設けられたことを特徴とする請求項1記載のエアステージ装置。 - 前記複数の固定部のうちの複数の一部は、前記第1のガイド部の両側の前記側部のいずれか一方に設けられ、
前記複数の固定部のうちの複数の他の一部は、前記第1のガイド部の両側の前記側部のいずれか他方に設けられたことを特徴とする請求項2記載のエアステージ装置。 - 前記固定部は、締結部材により前記第1のガイド部に固定され、
前記締結部材の位置は、前記固定部の上下方向の中心よりも上方であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のエアステージ装置。 - 前記第1のガイド部は、前記第1の移動体の移動方向に一列に並んで配置された複数の締結部材により前記定盤に固定されたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載のエアステージ装置。
- 前記固定部の上下方向の寸法は、前記第1の移動体が移動したときに前記固定部と干渉しない値に設定されたことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載のエアステージ装置。
- 前記第1のガイド部は、前記中空部分に設けられ前記上部および前記下部に接続されたリブを有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載のエアステージ装置。
- 前記第1のガイド部は、複数設けられ、
前記複数の第1のガイド部は、前記第2の移動体の移動方向に並んで設けられたことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載のエアステージ装置。 - 前記第1のガイド部の数は、前記第2のガイド部の数よりも多いことを特徴とする請求項1〜8のいずれか1つに記載のエアステージ装置。
- 前記第1の移動体は、前記側部の面と対向する位置に設けられた側板であって、前記複数の第1のガイド部のうちの前記第2の移動体の移動方向における中央領域に設けられた第1のガイド部の両側に設けられた側板を有することを特徴とする請求項9記載のエアステージ装置。
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