JP2000240651A - 静圧気体軸受 - Google Patents

静圧気体軸受

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JP2000240651A
JP2000240651A JP11041774A JP4177499A JP2000240651A JP 2000240651 A JP2000240651 A JP 2000240651A JP 11041774 A JP11041774 A JP 11041774A JP 4177499 A JP4177499 A JP 4177499A JP 2000240651 A JP2000240651 A JP 2000240651A
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lower shaft
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Takuma Tsuda
拓真 津田
Shinji Shinohara
慎二 篠原
Shinobu Tokushima
忍 徳島
Yukiharu Okubo
至晴 大久保
Toshimasa Shimoda
敏正 下田
Douglas C Watson
シー、ワトソン ダグラス
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Toto Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ２軸からなり真空中で使用可能な静圧気体
軸受において、浮上用気体の排気用配管接続が軸受機構
の動作に悪影響を及ぼすことのない静圧気体軸受を提供
する。 【解決手段】 排気用配管を下軸の固定体にのみ接続
し、固定体に設けられた排気用内部配管を通じて上軸か
らの排気も行うことで、移動部分に対する排気用配管接
続の必要を無くした。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、下軸、上軸の２軸
からなり、真空中で使用される静圧気体軸受に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】真空中で使用され、２軸からなる静圧気
体軸受においては、従来、各軸それぞれの軸受機構につ
いて排気用配管が移動体に接続され、軸毎に排気が行わ
れていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の排気方法による
と、上軸については軸受機構の移動部分に対して排気用
配管を接続することとなるが、効率のよい排気能力を得
るには排気用配管は大口径である必要があるため、移動
時において排気用配管が大きな抵抗となり、軸受性能に
重大な影響を及ぼしてしまう。この問題は、上軸移動体
に対して排気用配管が接続されている場合はもちろんの
こと、上軸固定体内に設けられた内部配管に対して排気
用配管が設けられている場合においても生じる。
【０００４】本発明は、２軸からなり真空中で使用可能
な静圧気体軸受で、浮上用気体の排気用配管接続が軸受
機構の動作に悪影響を及ぼすことのない静圧気体軸受を
提供する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、下軸、上軸の２軸からる静圧気体軸受で、
下軸の固定体内に設けられた排気用内部配管と、下軸移
動体上に固定された上軸固定体内部に設けられた排気用
内部配管が接続されていることとした。
【０００６】上記構成にすることにより、排気用配管の
接続は下軸固定体に対してのみ行われ、軸受機構の移動
部分に対しては排気用配管接続の必要が無くなるため、
大口径の排気用配管が軸受性能に悪影響を及ぼすことが
無くなる。
【０００７】また本発明の好ましい形態は、下軸固定体
の排気用内部配管と、上軸固定体の排気用内部配管との
接続が、下軸移動体内部に設けられた排気用接続溝及び
排気用接続配管を通じて行われていることである。
【０００８】上記構成にすることにより、上軸固定体に
対する排気用配管接続の必要が無くなる。即ち軸受機構
の移動部分への排気用配管接続が無くなるため、移動時
の直進性などの軸受性能に排気用配管が悪影響を及ぼす
ことが無くなる。
【０００９】本発明の好ましい形態は、下軸、上軸の固
定体内に設けられた排気用内部配管を通じて浮上用気体
の排気を行うことである。
【００１０】上記構成により、下軸、上軸共にその移動
体に対する排気用配管接続を無くすことが可能となる。
【００１１】本発明の好ましい形態は、下軸、上軸の各
エアパッド周囲に排気溝を備えることである。
【００１２】上記構成により、軸受隙間から真空チャン
バーへ流出する浮上用気体の量を微量に抑えることがで
きるため、真空中での利用が可能となる。
【００１３】本発明の好ましい形態は、給気構造も固定
体で行なう、つまり、下軸の固定体内に設けられた給気
用内部配管と、下軸移動体上に固定された上軸固定体内
部に設けられた給気用内部配管が接続されていることで
ある。
【００１４】上記構成により、給気、排気共に固定体内
部で行なうため、移動部分への給気チューブ接続も無く
すことができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】図１は、本発明による静圧軸受機
構の１実施例を表す斜視図であり、図２は図１の静圧軸
受機構の下軸移動体と上軸固定体の接合部を示した断面
図である。
【００１６】両図において、下軸固定体４には給気チュ
ーブ２及び排気用配管３が接続されている。給気チュー
ブ２から供給される浮上用気体は、下軸固定体４内部に
設けられた給気用内部配管５を通り、さらに気道６を通
って各エアパッド７へ供給され、下軸移動体１を浮上さ
せる。
【００１７】下軸の各エアパッド７に供給された浮上用
気体は、その後エアパッド７周辺に設けられた排気溝８
に流入し、下軸固定体４内部に設けられた排気穴２０か
ら排気用内部配管９を通じて真空チャンバー外部へ排出
される。
【００１８】下軸固定体４内部の気道６は途中で分岐
し、下軸移動体１に設けられた給気用接続溝１３に接続
されている。さらに上軸固定体１０内部には気道１９が
設けられており、給気用接続配管１４により給気用接続
溝１３と接続されている。これにより、給気チューブ２
から供給された浮上用気体の一部は給気用接続溝１３、
給気用接続配管１４、気道１９を通って上軸のエアパッ
ド１７へ供給される。
【００１９】上軸のエアパッド１７に供給された気体は
その後排気溝１６に流入する。排気溝１６と上軸固定体
１０内部に設けられた排気用内部配管１８とは、図示さ
れないが下軸と同様に排気穴で接続されているため、排
気溝１６に流入した浮上用気体はその後排気用内部配管
１８から排気用接続配管１２を通り、下軸固定体４内部
の排気用内部配管９を通って真空チャンバー外部に排出
される。以上の機構により、下軸、上軸共に浮上用気体
が真空チャンバー内へ流出しないために真空中で使用可
能な軸受機構を実現している。
【００２０】
【発明の効果】２軸からなり真空中で使用可能な静圧気
体軸受の設計において、軸受機構への排気用配管の接続
が下軸固定体に対してのみ行われ、移動部分への排気用
配管接続の必要が無くなるため、大口径の排気用配管が
直進性などの軸受性能に対して悪影響を及ぼすことが無
くなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による静圧軸受機構の一実施例を表す斜
視図である。
【図２】図１に示した静圧気体軸受機構の断面図であ
る。
【符号の説明】
１ 下軸移動体 ２ 給気チューブ ３ 排気用配管 ４ 下軸固定体 ５ 給気用内部配管 ６ 気道 ７ エアパッド ８ 排気溝 ９ 排気用内部配管 １０ 上軸固定体 １１ 排気用接続溝 １２ 排気用接続配管 １３ 給気用接続溝 １４ 給気用接続配管 １５ 上軸移動体 １６ 排気溝 １７ エアパッド １８ 排気用内部配管 １９ 気道 ２０ 排気穴
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大久保 至晴 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 株 式会社ニコン内 (72)発明者 下田 敏正 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 株 式会社ニコン内 (72)発明者 ダグラス シー、ワトソン アメリカ合衆国．95008 カリフォルニア、 キャンベル、カメオ ドライブ 1353 Ｆターム(参考） 3J102 AA02 BA06 CA10 CA11 EA02 EA08 EA09 EA22 EA23 GA19

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 下軸、上軸の２軸からる静圧気体軸受
    で、下軸の固定体内に設けられた排気用内部配管と、下
    軸移動体上に固定された上軸固定体内部に設けられた排
    気用内部配管が接続されていることを特徴とする静圧気
    体軸受。
  2. 【請求項２】 下軸固定体の排気用内部配管と、上軸固
    定体の排気用内部配管との接続が、下軸移動体内部に設
    けられた排気用接続配管を通じて行われていることを特
    徴とする請求項１記載の静圧気体軸受。
  3. 【請求項３】 下軸、上軸の固定体内に設けられた排気
    用内部配管を通じて浮上用気体の排出を行うことを特徴
    とする請求項１、２いずれか記載の静圧気体軸受。
  4. 【請求項４】 下軸、上軸の各エアパッド周囲に排気溝
    を備えことを特徴とする請求項１〜３いずれか記載の静
    圧気体軸受。
  5. 【請求項５】 下軸の固定体内に設けられた給気用内部
    配管と、下軸移動体上に固定された上軸固定体内部に設
    けられた給気用内部配管が接続されていることを特徴と
    する請求項１〜４いずれか静圧気体軸受。
  6. 【請求項６】 下軸固定体の給気用内部配管と、上軸固
    定体の給気用内部配管との接続が、下軸移動体内部に設
    けられた接続配管を通じて行われていることを特徴とす
    る請求項５記載の静圧気体軸受。
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