JP2007216349A - ステージ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ステージ装置10は、石定盤20と、石定盤20の平面上を移動するステージ30と、ステージ30上に載置され、平板状のワークを吸着する吸着盤40と、ステージ30をY方向に移動させる一対のYリニアモータ50とを有する。吸着盤40は、四角形状の吸着面42を有し、吸着面42のX,Y方向の4辺がXステージ38よりも大きい寸法に形成され、且つX方向の幅寸法が石定盤20より小さい寸法に形成されている。さらに、吸着盤40の下面より垂下方向に延在する4本の支柱60と、各支柱60の下端に設けられ、石定盤20の平面上を空気圧により浮上して移動可能なエアパッド70とを有する。吸着盤40は、支柱60及びエアパッド70が直接支持されて石定盤20上を移動する。
【選択図】図1
Description
20 石定盤
22,24 石定盤半体
28 ガイド
30 ステージ
32 スライダ
34,70,122 エアパッド
36 Yステージ
38 Xステージ
40 吸着盤
42 吸着面
50 Yリニアモータ
52 マグネットヨーク
54 コイルユニット
60 支柱
62 レべリング機構
80 θテーブル
100 架台
110 環状板ばね
122 Xガイドレール
124 Xリニアモータ
126 マグネットヨーク
128 コイルユニット
Claims (7)
- 石定盤の平面上を移動するステージと、
該ステージ上に載置され、平板状のワークを吸着する吸着盤と、
前記ステージを移動させるリニアモータとを有するステージ装置において、
前記吸着盤の下面より垂下方向に延在する複数の支柱と、
該各支柱の下端に設けられ、前記石定盤の平面上を空気圧により浮上して移動可能な第1のエアパッドと、
を備えたことを特徴とするステージ装置。 - 前記ステージと前記吸着盤との間に、前記吸着盤を旋回させるテーブルを設け、
該テーブルの上面と前記吸着盤の下面との間を環状に形成された板ばねを介して結合したことを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。 - 前記石定盤は、前記ステージの移動方向に沿う平行な2部材に分割された石定盤半体からなり、一対の石定盤半体が同一の架台により支持されることを特徴とする請求項1または2に記載のステージ装置。
- 前記架台は、
前記一対の石定盤半体を同一高さ位置に支持する複数の梁と、
前記一対の石定盤半体の外側面に当接して前記一対の石定盤半体の延在方向が平行になるように取付位置を位置決めする位置決め部材と、
前記梁を支持する複数の脚部と、
を有することを特徴とする請求項3に記載のステージ装置。 - 前記吸着盤は、四角形状の吸着面を有し、前記吸着面の4辺が前記ステージよりも大きい寸法に形成され、且つ前記石定盤より小さい寸法に形成されたことを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載のステージ装置。
- 前記ステージは、
前記石定盤の平面上に突出し、前記移動方向に延在する一対のガイドに沿って平行移動する一対のスライダと、
前記石定盤の平面上を空気圧により浮上して移動可能な第2のエアパッドと、
を有することを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載のステージ装置。 - 前記ステージは、
前記石定盤の延在方向と平行なY方向に移動するYステージと、
前記Y方向と直交するX方向に移動するXステージと、
を有することを特徴とする請求項1乃至6の何れかに記載のステージ装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006041195A JP4545697B2 (ja) | 2006-02-17 | 2006-02-17 | ステージ装置 |
TW096104843A TW200738397A (en) | 2006-02-17 | 2007-02-09 | Stage device |
KR1020070015129A KR100852876B1 (ko) | 2006-02-17 | 2007-02-14 | 스테이지장치 |
CN2007100051963A CN101026013B (zh) | 2006-02-17 | 2007-02-15 | 载物台装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006041195A JP4545697B2 (ja) | 2006-02-17 | 2006-02-17 | ステージ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007216349A true JP2007216349A (ja) | 2007-08-30 |
JP4545697B2 JP4545697B2 (ja) | 2010-09-15 |
Family
ID=38494143
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006041195A Expired - Fee Related JP4545697B2 (ja) | 2006-02-17 | 2006-02-17 | ステージ装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4545697B2 (ja) |
KR (1) | KR100852876B1 (ja) |
CN (1) | CN101026013B (ja) |
TW (1) | TW200738397A (ja) |
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- 2007-02-09 TW TW096104843A patent/TW200738397A/zh not_active IP Right Cessation
- 2007-02-14 KR KR1020070015129A patent/KR100852876B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-02-15 CN CN2007100051963A patent/CN101026013B/zh not_active Expired - Fee Related
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TWI348952B (ja) | 2011-09-21 |
CN101026013A (zh) | 2007-08-29 |
KR100852876B1 (ko) | 2008-08-19 |
KR20070082866A (ko) | 2007-08-22 |
CN101026013B (zh) | 2010-05-26 |
TW200738397A (en) | 2007-10-16 |
JP4545697B2 (ja) | 2010-09-15 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080416 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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