JP2001147719A - 位置決め装置とその停止方法 - Google Patents
位置決め装置とその停止方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 固定体に対して移動体を確実に停止させて安
全性を向上させることができる位置決め装置とその停止
方法を提供する。 【解決手段】 制御手段53は、例えば、格子プラテン
30上に異物が落下したり、スライダ部31にヨーイン
グが発生すると、電磁弁制御信号を噴出量調節手段52
に出力する。そして、噴出量調節手段52は、エアチュ
ーブ50とエアチューブ51との間を遮断する。このた
めに、浮揚手段32へ供給される圧縮空気の圧力が急激
に低下して、スライダ部31は、格子プラテン30と平
行状態を保ったまま、モータコア(永久磁石)の磁気吸
引力によって格子プラテン30と接触する。その結果、
モータの軸受け面と格子プラテン30との間に生ずる摩
擦力によって、スライダ部31は制動を受けて、僅かな
時間で緊急停止する。
全性を向上させることができる位置決め装置とその停止
方法を提供する。 【解決手段】 制御手段53は、例えば、格子プラテン
30上に異物が落下したり、スライダ部31にヨーイン
グが発生すると、電磁弁制御信号を噴出量調節手段52
に出力する。そして、噴出量調節手段52は、エアチュ
ーブ50とエアチューブ51との間を遮断する。このた
めに、浮揚手段32へ供給される圧縮空気の圧力が急激
に低下して、スライダ部31は、格子プラテン30と平
行状態を保ったまま、モータコア(永久磁石)の磁気吸
引力によって格子プラテン30と接触する。その結果、
モータの軸受け面と格子プラテン30との間に生ずる摩
擦力によって、スライダ部31は制動を受けて、僅かな
時間で緊急停止する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、対象物を搭載す
る移動体を固定体に対して移動させて、この対象物を位
置決めする位置決め装置とその停止方法に関する。
る移動体を固定体に対して移動させて、この対象物を位
置決めする位置決め装置とその停止方法に関する。
【0002】
【従来の技術】図7は、従来の位置決め装置の構成図で
ある。図7で、スライダ部1には位置決め対象物が載せ
られる。ガイドバー2,3はプレート4上に引かれてい
て、X軸方向に延びている。支持部材5はスライダ部1
をガイドバー2,3に移動自在に支持する。モータ6の
出力軸にはねじ7が連結されている。部材8にねじ7が
螺合されている。部材8はスライダ部1に固定されてい
る。モータ6が回転駆動することによって、スライダ部
1はX軸方向に移動する。
ある。図7で、スライダ部1には位置決め対象物が載せ
られる。ガイドバー2,3はプレート4上に引かれてい
て、X軸方向に延びている。支持部材5はスライダ部1
をガイドバー2,3に移動自在に支持する。モータ6の
出力軸にはねじ7が連結されている。部材8にねじ7が
螺合されている。部材8はスライダ部1に固定されてい
る。モータ6が回転駆動することによって、スライダ部
1はX軸方向に移動する。
【0003】ガイドバー9,10はプレート11に引か
れていて、Y軸方向に延びている。支持部材12はプレ
ート4をガイドバー9,10に移動自在に支持する。モ
ータ13の出力軸にはねじ14が連結されている。部材
15にねじ14が螺合されている。部材15はプレート
4に固定されている。モータ13が回転駆動することに
よって、プレート4はY軸方向に移動する。
れていて、Y軸方向に延びている。支持部材12はプレ
ート4をガイドバー9,10に移動自在に支持する。モ
ータ13の出力軸にはねじ14が連結されている。部材
15にねじ14が螺合されている。部材15はプレート
4に固定されている。モータ13が回転駆動することに
よって、プレート4はY軸方向に移動する。
【0004】このようにモータ6,13の回転駆動によ
って、スライダ部1はX,Y軸方向に位置決めされる。
スライダ部1には位置決め対象物として例えばウェハが
載せられる。スライダ部31が2次元方向に移動する
と、位置固定されたプロープがウェハの各チップに順番
に当てられ、各チップの検査が行われる。
って、スライダ部1はX,Y軸方向に位置決めされる。
スライダ部1には位置決め対象物として例えばウェハが
載せられる。スライダ部31が2次元方向に移動する
と、位置固定されたプロープがウェハの各チップに順番
に当てられ、各チップの検査が行われる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】近年、プラテン上にス
ライダをエアによって浮揚させるとともに、このプラテ
ンとスライダとの間に磁気吸引力を発生させ、この磁気
吸引力によってスライダをX軸方向及びY軸方向に移動
させるXYステージが提案されている。このようなXY
ステージでは、スライダの位置をレーザ干渉計によって
検出し、このレーザ干渉計の出力信号に基づいて、スラ
イダの位置をフィードバック制御する。
ライダをエアによって浮揚させるとともに、このプラテ
ンとスライダとの間に磁気吸引力を発生させ、この磁気
吸引力によってスライダをX軸方向及びY軸方向に移動
させるXYステージが提案されている。このようなXY
ステージでは、スライダの位置をレーザ干渉計によって
検出し、このレーザ干渉計の出力信号に基づいて、スラ
イダの位置をフィードバック制御する。
【0006】しかし、このXYステージでは、例えば、
プラテン上に異物が落下してレーザ光を遮ったような場
合に、スライダの位置を制御することができない。この
場合に、スライダは浮揚した状態で高速で移動するため
に、制御が不能になると、摩擦力によって停止できずに
惰性で移動してしまう。
プラテン上に異物が落下してレーザ光を遮ったような場
合に、スライダの位置を制御することができない。この
場合に、スライダは浮揚した状態で高速で移動するため
に、制御が不能になると、摩擦力によって停止できずに
惰性で移動してしまう。
【0007】この発明の課題は、固定体に対して移動体
を確実に停止させて安全性を向上させることができる位
置決め装置とその停止方法を提供することである。
を確実に停止させて安全性を向上させることができる位
置決め装置とその停止方法を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】この発明は、以下のよう
な解決手段により、前記課題を解決する。なお、この発
明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これ
に限定するものではない。請求項1の発明は、対象物を
搭載する移動体(31)を固定体(30)に対して移動
させて、この対象物を位置決めする位置決め装置であっ
て、前記固定体と前記移動体との間に気体を噴出して、
この移動体を浮揚させる浮揚手段(32)と、前記固定
体と前記移動体との間に磁気吸引力を発生し、この磁気
吸引力によってこの移動体を移動させる移動手段(3
3,34,35)と、停止が必要な時に、浮揚手段(3
2)が噴出する前記気体の噴出量を低下させ、磁気吸引
力によって前記移動体を前記固定体に吸着して停止させ
る停止制御手段とを含む位置決め装置である。
な解決手段により、前記課題を解決する。なお、この発
明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これ
に限定するものではない。請求項1の発明は、対象物を
搭載する移動体(31)を固定体(30)に対して移動
させて、この対象物を位置決めする位置決め装置であっ
て、前記固定体と前記移動体との間に気体を噴出して、
この移動体を浮揚させる浮揚手段(32)と、前記固定
体と前記移動体との間に磁気吸引力を発生し、この磁気
吸引力によってこの移動体を移動させる移動手段(3
3,34,35)と、停止が必要な時に、浮揚手段(3
2)が噴出する前記気体の噴出量を低下させ、磁気吸引
力によって前記移動体を前記固定体に吸着して停止させ
る停止制御手段とを含む位置決め装置である。
【0009】請求項2の発明は、請求項1に記載の位置
決め装置において、前記移動手段は、前記移動体のX軸
方向に形成された一定ピッチの歯(342,352)
と、前記固定体のX軸方向及びY軸方向に形成された一
定ピッチの歯との間に磁気吸引力を発生し、この磁気吸
引力によってこの移動体をX軸方向に移動させるX軸モ
ータ(34,35)と、前記移動体のY軸方向に形成さ
れた一定ピッチの歯(332)と、前記固定体のX軸方
向及びY軸方向に形成された一定ピッチの歯との間に磁
気吸引力を発生し、この磁気吸引力によってこの移動体
をY軸方向に移動させるY軸モータ(33)とを備え、
前記移動体又は前記固定体のいずれか一方から他方へX
軸方向に光を照射し、その反射光を受光してこの移動体
のX軸方向の位置を検出するX軸干渉計(39,40)
と、前記移動体又は前記固定体のいずれか一方から他方
へY軸方向に光を照射し、その反射光を受光してこの移
動体のY軸方向の位置を検出するY軸干渉計(38)と
を備えることを特徴とする位置決め装置である。
決め装置において、前記移動手段は、前記移動体のX軸
方向に形成された一定ピッチの歯(342,352)
と、前記固定体のX軸方向及びY軸方向に形成された一
定ピッチの歯との間に磁気吸引力を発生し、この磁気吸
引力によってこの移動体をX軸方向に移動させるX軸モ
ータ(34,35)と、前記移動体のY軸方向に形成さ
れた一定ピッチの歯(332)と、前記固定体のX軸方
向及びY軸方向に形成された一定ピッチの歯との間に磁
気吸引力を発生し、この磁気吸引力によってこの移動体
をY軸方向に移動させるY軸モータ(33)とを備え、
前記移動体又は前記固定体のいずれか一方から他方へX
軸方向に光を照射し、その反射光を受光してこの移動体
のX軸方向の位置を検出するX軸干渉計(39,40)
と、前記移動体又は前記固定体のいずれか一方から他方
へY軸方向に光を照射し、その反射光を受光してこの移
動体のY軸方向の位置を検出するY軸干渉計(38)と
を備えることを特徴とする位置決め装置である。
【0010】請求項3の発明は、請求項2に記載の位置
決め装置において、前記停止制御手段は、前記X軸干渉
計及び/又は前記Y軸干渉計の反射光の光量が低下した
ときに、浮揚手段(32)に前記気体の噴出量を低下さ
せることを特徴とする位置決め装置である。
決め装置において、前記停止制御手段は、前記X軸干渉
計及び/又は前記Y軸干渉計の反射光の光量が低下した
ときに、浮揚手段(32)に前記気体の噴出量を低下さ
せることを特徴とする位置決め装置である。
【0011】請求項4の発明は、請求項1から請求項3
までのいずれか1項に記載の位置決め装置において、停
止制御手段は、浮揚手段(32)が前記気体を供給する
供給路を開閉する電磁弁を備え、この電磁弁に前記供給
路を遮断させることを特徴とする位置決め装置である。
までのいずれか1項に記載の位置決め装置において、停
止制御手段は、浮揚手段(32)が前記気体を供給する
供給路を開閉する電磁弁を備え、この電磁弁に前記供給
路を遮断させることを特徴とする位置決め装置である。
【0012】請求項5の発明は、対象物を搭載する移動
体を固定体に対して移動させて、この対象物を位置決め
する位置決め装置の停止方法であって、前記固定体と前
記移動体との間に気体を噴出して、この移動体を浮揚さ
せるとともに、前記固定体と前記移動体との間に磁気吸
引力を発生し、この磁気吸引力によってこの移動体を移
動し、停止が必要な時に、前記磁気吸引力によって前記
移動体が前記固定体に吸着して停止するように、前記気
体の噴出量を調節することを特徴とする位置決め装置の
停止方法である。
体を固定体に対して移動させて、この対象物を位置決め
する位置決め装置の停止方法であって、前記固定体と前
記移動体との間に気体を噴出して、この移動体を浮揚さ
せるとともに、前記固定体と前記移動体との間に磁気吸
引力を発生し、この磁気吸引力によってこの移動体を移
動し、停止が必要な時に、前記磁気吸引力によって前記
移動体が前記固定体に吸着して停止するように、前記気
体の噴出量を調節することを特徴とする位置決め装置の
停止方法である。
【0013】請求項6の発明は、請求項5に記載の位置
決め装置の停止方法において、停止が必要な時に、前記
気体を供給する供給路を電磁弁によって遮断することを
特徴とする位置決め装置の停止方法である。
決め装置の停止方法において、停止が必要な時に、前記
気体を供給する供給路を電磁弁によって遮断することを
特徴とする位置決め装置の停止方法である。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施形態について詳しく説明する。図1は、この発明
の実施形態に係る位置決め装置の構成図である。以下で
は、図7に示す部材と同一の部材については同一の符号
を付して、その詳細な説明を省略する。
の実施形態について詳しく説明する。図1は、この発明
の実施形態に係る位置決め装置の構成図である。以下で
は、図7に示す部材と同一の部材については同一の符号
を付して、その詳細な説明を省略する。
【0015】この発明の実施形態に係る位置決め装置
は、位置決め対象物を搭載するスライダ部31を格子プ
ラテン30に対して移動させて、この位置決め対象物の
2次元位置を位置決めする装置であり、例えば、プロー
バなどの半導体製造装置に用いられるXYステージであ
る。
は、位置決め対象物を搭載するスライダ部31を格子プ
ラテン30に対して移動させて、この位置決め対象物の
2次元位置を位置決めする装置であり、例えば、プロー
バなどの半導体製造装置に用いられるXYステージであ
る。
【0016】図1で、格子プラテン30はX軸方向及び
Y軸方向に沿って一定ピッチで歯が形成されている。図
では簡略化のため一部の歯だけを示している。このよう
な格子プラテン30は、平坦面に格子状に溝を切ること
によって形成される。格子プラテン30は磁性体で構成
されている。スライダ部31には位置決めの対象物が載
せられる。
Y軸方向に沿って一定ピッチで歯が形成されている。図
では簡略化のため一部の歯だけを示している。このよう
な格子プラテン30は、平坦面に格子状に溝を切ること
によって形成される。格子プラテン30は磁性体で構成
されている。スライダ部31には位置決めの対象物が載
せられる。
【0017】浮揚手投32は、スライダ部31を格子プ
ラテン30上に浮揚させる。スライダ部31の格子プラ
テン30と対向する面にはノズルが設けられていて、こ
のノズルから浮揚手投32が圧縮空気を噴出させること
によって、浮上力を得ている。スライダ部31と格子プ
ラテン30の間をノズルから噴出した空気が流れること
によって、エアベアリングを構成している。スライダ部
31と格子プラテン30とのギャップは数十μm程度で
ある。このように、この発明の実施形態では、圧縮空気
を用いてスライダ部31を支持しているため、機械的支
持部が不要になり、装置を小型化できる。
ラテン30上に浮揚させる。スライダ部31の格子プラ
テン30と対向する面にはノズルが設けられていて、こ
のノズルから浮揚手投32が圧縮空気を噴出させること
によって、浮上力を得ている。スライダ部31と格子プ
ラテン30の間をノズルから噴出した空気が流れること
によって、エアベアリングを構成している。スライダ部
31と格子プラテン30とのギャップは数十μm程度で
ある。このように、この発明の実施形態では、圧縮空気
を用いてスライダ部31を支持しているため、機械的支
持部が不要になり、装置を小型化できる。
【0018】Y軸モータ33は、スライダ部31に搭載
され、コア331の格子プラテン30と対向する面には
Y軸方向に一定ピッチで歯332が形成されている。Y
軸モータ33は、歯332と格子プラテン30の歯30
1との間に磁気吸引力を生じさせてスライダ部をY軸方
向に移動させる。コイル333はコア331に巻かれて
いる。
され、コア331の格子プラテン30と対向する面には
Y軸方向に一定ピッチで歯332が形成されている。Y
軸モータ33は、歯332と格子プラテン30の歯30
1との間に磁気吸引力を生じさせてスライダ部をY軸方
向に移動させる。コイル333はコア331に巻かれて
いる。
【0019】X軸モータ34,35は、スライダ部31
の中心に対して対称な位置にそれぞれ搭載されている。
X軸モータ34,35は、コア341,351の格子プ
ラテン30と対向する面にはX軸方向に一定ピッチで歯
342,352が形成されている。X軸モータ34,3
5は、歯342,352と歯301との間に磁気吸引力
を生じさせてスライダ部をX軸方向に移動させる。コイ
ル343,353はコア341,351に巻かれてい
る。
の中心に対して対称な位置にそれぞれ搭載されている。
X軸モータ34,35は、コア341,351の格子プ
ラテン30と対向する面にはX軸方向に一定ピッチで歯
342,352が形成されている。X軸モータ34,3
5は、歯342,352と歯301との間に磁気吸引力
を生じさせてスライダ部をX軸方向に移動させる。コイ
ル343,353はコア341,351に巻かれてい
る。
【0020】連結部材311,312は、Y軸モータ3
3とX軸モータ34,35とを連結する。
3とX軸モータ34,35とを連結する。
【0021】X軸ミラー36は、格子プラテン30の側
面に装着され、Y軸方向に鏡面が形成されている。Y軸
ミラー37は、格子プラテン30の側面に装着され、X
軸方向に鏡面が形成されている。
面に装着され、Y軸方向に鏡面が形成されている。Y軸
ミラー37は、格子プラテン30の側面に装着され、X
軸方向に鏡面が形成されている。
【0022】Y軸センサ38は、Y軸モータ33に搭載
されていて、スライダ部31のY軸方向の位置を検出す
る。Y軸センサ38は、Y軸ミラー37に光を照射し、
その反射光を受け、光の干渉を利用してスライダ部31
のY軸方向の位置を検出する干渉計である。
されていて、スライダ部31のY軸方向の位置を検出す
る。Y軸センサ38は、Y軸ミラー37に光を照射し、
その反射光を受け、光の干渉を利用してスライダ部31
のY軸方向の位置を検出する干渉計である。
【0023】X軸センサ39,40は、X軸モータ3
4,35にそれぞれ搭載されていて、スライダ部31の
X軸方向の位置をそれぞれ検出する。X軸センサ39,
40は、X軸ミラー36に光を照射し、その反射光を受
け、光の干渉を利用してスライダ部31のY軸方向の位
置を検出する干渉計である。このように、この発明の実
施形態では、位置センサとして干渉計を用いているた
め、機構部分を少なくし、装置を小型化できる。
4,35にそれぞれ搭載されていて、スライダ部31の
X軸方向の位置をそれぞれ検出する。X軸センサ39,
40は、X軸ミラー36に光を照射し、その反射光を受
け、光の干渉を利用してスライダ部31のY軸方向の位
置を検出する干渉計である。このように、この発明の実
施形態では、位置センサとして干渉計を用いているた
め、機構部分を少なくし、装置を小型化できる。
【0024】Y軸制御部41は、Y軸センサ38の検出
位置をもとにスライダ部31の位置をフイードバック制
御する。X軸制御部42,43は、X軸センサ39,4
0の検出位置をもとにスライダ部31の位置をそれぞれ
フイードバック制御する。
位置をもとにスライダ部31の位置をフイードバック制
御する。X軸制御部42,43は、X軸センサ39,4
0の検出位置をもとにスライダ部31の位置をそれぞれ
フイードバック制御する。
【0025】補正手段44,45は、X軸制御部42,
43についてそれぞれ設けられ、スライダ部31の位置
とスライダ部31のヨーイングを除去するための補正量
を対応させた補正テーブル46,47を保持している。
補正手段44,45は、与えられた指令位置をもとに補
正テーブル46,47から補正量を読み出し、読み出し
た補正量でX軸制御部42,43に与える指令位置を補
正する。補正テーブル46,47のデータはキャリブレ
ーションによって得たデータである。補正手段44,4
5は、X軸ミラー36とY軸ミラー37の機械的誤差に
よる曲がりを補正するために設けられている。この発明
の実施形態では、X軸ミラー36とY軸ミラー37の曲
がりによる影響を除去して高精度な位置決めを実現でき
る。X軸ミラー36とY軸ミラー37の曲がりが位置検
出に影響しない程度の曲がりであれば、補正手段44,
45は設けなくてもよい。
43についてそれぞれ設けられ、スライダ部31の位置
とスライダ部31のヨーイングを除去するための補正量
を対応させた補正テーブル46,47を保持している。
補正手段44,45は、与えられた指令位置をもとに補
正テーブル46,47から補正量を読み出し、読み出し
た補正量でX軸制御部42,43に与える指令位置を補
正する。補正テーブル46,47のデータはキャリブレ
ーションによって得たデータである。補正手段44,4
5は、X軸ミラー36とY軸ミラー37の機械的誤差に
よる曲がりを補正するために設けられている。この発明
の実施形態では、X軸ミラー36とY軸ミラー37の曲
がりによる影響を除去して高精度な位置決めを実現でき
る。X軸ミラー36とY軸ミラー37の曲がりが位置検
出に影響しない程度の曲がりであれば、補正手段44,
45は設けなくてもよい。
【0026】図2はスライダ部31の格子プラテン30
と対向する面の構成図である。図3は図2のA−A′部
分の断面図である。これらの図ではX軸モータ34の例
を示している。他のモータも同様な構成になっている。
溝344は対向面に形成されている。ノズル345は溝
344の中に形成されていて、浮揚手段32から供給さ
れた圧縮空気を噴出する。埋込部材346は歯342の
凹部に埋め込まれている。埋込部材346は非磁性体の
材料で構成されている。対向面にコーティングを施すこ
とによって、歯342の凹部に埋込部材346を形成す
ることができる。
と対向する面の構成図である。図3は図2のA−A′部
分の断面図である。これらの図ではX軸モータ34の例
を示している。他のモータも同様な構成になっている。
溝344は対向面に形成されている。ノズル345は溝
344の中に形成されていて、浮揚手段32から供給さ
れた圧縮空気を噴出する。埋込部材346は歯342の
凹部に埋め込まれている。埋込部材346は非磁性体の
材料で構成されている。対向面にコーティングを施すこ
とによって、歯342の凹部に埋込部材346を形成す
ることができる。
【0027】ノズル345から噴出した圧縮空気は溝3
44に沿って流れ、圧縮空気の圧力によりコア341を
浮揚させる。埋込部材346は歯342の凹部を伝わっ
て圧縮空気が外に漏れることを防いでいる。
44に沿って流れ、圧縮空気の圧力によりコア341を
浮揚させる。埋込部材346は歯342の凹部を伝わっ
て圧縮空気が外に漏れることを防いでいる。
【0028】図4は図1の制御部の構成例を示した図で
ある。図4ではX軸制御部42の例を示しているが、X
軸制御部43とY軸制御部41も同様な構成になってい
る。図4で、フォトダイオードアレイ(PDAとする)
420は、X軸センサ39にできた干渉縞の明暗を検出
する。信号処理回路421はPDA420の検出信号に
演算処理を行う。コンパレータ422,423は信号処
理回路421の演算信号からA相パルスとB相パルスを
生成する。
ある。図4ではX軸制御部42の例を示しているが、X
軸制御部43とY軸制御部41も同様な構成になってい
る。図4で、フォトダイオードアレイ(PDAとする)
420は、X軸センサ39にできた干渉縞の明暗を検出
する。信号処理回路421はPDA420の検出信号に
演算処理を行う。コンパレータ422,423は信号処
理回路421の演算信号からA相パルスとB相パルスを
生成する。
【0029】方向判別回路424は、A相パルスとB相
パルスの位相関係からスライダ部31の移動方向を判別
し、判別結果に応じてアップパルスまたはダウンパルス
を発生する。アップダウンカウンタ425はアップパル
スまたはダウンパルスに応じてアップカウントまたはダ
ウンカウントを行う。アップダウンカウンタ425のカ
ウントがスライダ部31の検出位置になる。初期状態で
はX軸モータ34の各相コイルに既知電流を流したとき
にモータのロータとステータの歯の位相がどれだけずれ
るかが予め分っている。この時のアップダウンカウンタ
425の値を基準値、例えば0に設定する。スライダ部
31の移動に伴ってアップダウンカウンタ425は基準
値からアップカウントまたはダウンカウントを行って位
置を検出する。このようにしてインクリメンタル方式に
位置検出をする。
パルスの位相関係からスライダ部31の移動方向を判別
し、判別結果に応じてアップパルスまたはダウンパルス
を発生する。アップダウンカウンタ425はアップパル
スまたはダウンパルスに応じてアップカウントまたはダ
ウンカウントを行う。アップダウンカウンタ425のカ
ウントがスライダ部31の検出位置になる。初期状態で
はX軸モータ34の各相コイルに既知電流を流したとき
にモータのロータとステータの歯の位相がどれだけずれ
るかが予め分っている。この時のアップダウンカウンタ
425の値を基準値、例えば0に設定する。スライダ部
31の移動に伴ってアップダウンカウンタ425は基準
値からアップカウントまたはダウンカウントを行って位
置を検出する。このようにしてインクリメンタル方式に
位置検出をする。
【0030】減算器426は、位置指令値X0とアップ
ダウンカウンタ425のカウントX1(検出位置)の偏
差を求める。位置制御手投427は減算器426でとっ
た偏差をもとにX軸モータ34を位置フイードバック制
御するための制御信号を出力する。速度演算手投428
はアップダウンカウンタ425のカウントX1 の変化速
度からスライダ部31の移動速度を検出する。速度演算
手投428は、例えばF/V変換器である。
ダウンカウンタ425のカウントX1(検出位置)の偏
差を求める。位置制御手投427は減算器426でとっ
た偏差をもとにX軸モータ34を位置フイードバック制
御するための制御信号を出力する。速度演算手投428
はアップダウンカウンタ425のカウントX1 の変化速
度からスライダ部31の移動速度を検出する。速度演算
手投428は、例えばF/V変換器である。
【0031】減算器429は位置制御手段427の制御
信号と速度演算手段428の偏差をとる。速度制御手段
430は減算器429でとった偏差をもとにX軸モータ
34を速度フイードバック制御するための制御信号を出
力する。
信号と速度演算手段428の偏差をとる。速度制御手段
430は減算器429でとった偏差をもとにX軸モータ
34を速度フイードバック制御するための制御信号を出
力する。
【0032】sinテーブル431にはアップダウンカ
ウンタ425のカウントとsin値が対応して格納され
ている。X軸モータ34が3相モータである場合は、ア
ップダウンカウンタ425のカウントが与えられると、
sinテーブル431からはsinθとsin(θ+1
20°)の値が読み出される。θはアップダウンカウン
タ425のカウントに応じて変わる角度である。
ウンタ425のカウントとsin値が対応して格納され
ている。X軸モータ34が3相モータである場合は、ア
ップダウンカウンタ425のカウントが与えられると、
sinテーブル431からはsinθとsin(θ+1
20°)の値が読み出される。θはアップダウンカウン
タ425のカウントに応じて変わる角度である。
【0033】マルチプライン・デジタル・アナログ変換
器(MDAとする)432,433は、速度制御手段4
30によって得られた信号をアナログ入力信号、sin
テーブル431から読み出したsinθとsin(θ+
120°)の値をゲイン設定信号としてIsinθとI
sin(θ+120°)なる電流指令値(Iは電流振
幅)を出力する。ここで、2つの指令値の位相が120
°ずれているのは、モータが3相モータであるためであ
る。相数が異なる場合は位相ずれは他の値になる。
器(MDAとする)432,433は、速度制御手段4
30によって得られた信号をアナログ入力信号、sin
テーブル431から読み出したsinθとsin(θ+
120°)の値をゲイン設定信号としてIsinθとI
sin(θ+120°)なる電流指令値(Iは電流振
幅)を出力する。ここで、2つの指令値の位相が120
°ずれているのは、モータが3相モータであるためであ
る。相数が異なる場合は位相ずれは他の値になる。
【0034】電流センサ434,435はX軸モータ3
4のコイルL1,L2に流れるコイルの電流を検出す
る。減算器436,437は、Isinθ及びIsin
(θ+120°)と電流センサ434,435の偏差を
それぞれとる。パルス幅変調回路(PWM回路とする)
438,439は電流センサ434,435でとった偏
差をもとに、モータコイルの励磁電流をフイードバック
制御するためのパルス幅変調信号(PWM信号とする)
を生成して出力する。減算器440はPWM回路43
8,439のPWM信号を減算する。PWM回路441
は減算器440の減算信号からPWM信号を生成する。
駆動回路442は、ブリッジ形のインバータ回路であ
り、PWM回路438,439,441の3相のPWM
信号をもとにX軸モータ34を駆動する。
4のコイルL1,L2に流れるコイルの電流を検出す
る。減算器436,437は、Isinθ及びIsin
(θ+120°)と電流センサ434,435の偏差を
それぞれとる。パルス幅変調回路(PWM回路とする)
438,439は電流センサ434,435でとった偏
差をもとに、モータコイルの励磁電流をフイードバック
制御するためのパルス幅変調信号(PWM信号とする)
を生成して出力する。減算器440はPWM回路43
8,439のPWM信号を減算する。PWM回路441
は減算器440の減算信号からPWM信号を生成する。
駆動回路442は、ブリッジ形のインバータ回路であ
り、PWM回路438,439,441の3相のPWM
信号をもとにX軸モータ34を駆動する。
【0035】図4の回路で、電源投入時に、X軸モータ
34の各コイルに既知の電流を流し、モータのロータの
歯とステータの歯を既知の位相関係に設定する。このよ
うにして設定した位相関係を転流角の原点とする。この
ときのアップダウンカウンタ425のカウントを基準
値、例えば0にする。以後、スライダ部31の移動に伴
つてX軸センサ39の検出値が変わり、アップダウンカ
ウンタ425のカウントが変化するのに応じて電流指令
値Isinθ及びIsin(θ+120°)のθの値を
変え、転流制御を行う。
34の各コイルに既知の電流を流し、モータのロータの
歯とステータの歯を既知の位相関係に設定する。このよ
うにして設定した位相関係を転流角の原点とする。この
ときのアップダウンカウンタ425のカウントを基準
値、例えば0にする。以後、スライダ部31の移動に伴
つてX軸センサ39の検出値が変わり、アップダウンカ
ウンタ425のカウントが変化するのに応じて電流指令
値Isinθ及びIsin(θ+120°)のθの値を
変え、転流制御を行う。
【0036】図5は図1のセンサの構成例を示した図で
ある。図1のY軸センサ38、X軸センサ39,40は
同様な構成になっている。X軸センサ39を例に説明す
る。図5で、レーザ光源391はレーザ光を出射する。
レーザ光源391の出射光の光路には、ミラー392,
393、ハーフミラー394、備向ビームスプリッタ
(PBSとする)395、λ/4板396、コーナーキ
ューブ397が配置されている。
ある。図1のY軸センサ38、X軸センサ39,40は
同様な構成になっている。X軸センサ39を例に説明す
る。図5で、レーザ光源391はレーザ光を出射する。
レーザ光源391の出射光の光路には、ミラー392,
393、ハーフミラー394、備向ビームスプリッタ
(PBSとする)395、λ/4板396、コーナーキ
ューブ397が配置されている。
【0037】レーザ光源391から出た光には、ハーフ
ミラー394、ミラー393、ミラー392、ハーフミ
ラー394の経路で進み、図のa方向に進む光がある。
この光をの光とする。また、レーザ光源391から出
た光には、ハーフミラー394、PBS395、λ/4
板396、X軸ミラー36、λ/4板396、PBS3
95、コーナーキューブ397、λ/4板396、X軸
ミラー36、λ/4板396、PBS395、ハーフミ
ラー394の経路で進み、図のa方向に進む光がある。
この光をの光とする。
ミラー394、ミラー393、ミラー392、ハーフミ
ラー394の経路で進み、図のa方向に進む光がある。
この光をの光とする。また、レーザ光源391から出
た光には、ハーフミラー394、PBS395、λ/4
板396、X軸ミラー36、λ/4板396、PBS3
95、コーナーキューブ397、λ/4板396、X軸
ミラー36、λ/4板396、PBS395、ハーフミ
ラー394の経路で進み、図のa方向に進む光がある。
この光をの光とする。
【0038】前述したの光との光が干渉して干渉縞
Sを作る。PDA398は干渉縞Sを検出する。PDA
398は4個のフォトダイオード398A〜398Dか
らなる。4個のフォトダイオード398A〜398Dは
干渉縞Sの1ピッチ内に配置されている。各フォトダイ
オード398A〜398DはP/4(Pは干渉縞のピッ
チ)ずつずらして配置されている。
Sを作る。PDA398は干渉縞Sを検出する。PDA
398は4個のフォトダイオード398A〜398Dか
らなる。4個のフォトダイオード398A〜398Dは
干渉縞Sの1ピッチ内に配置されている。各フォトダイ
オード398A〜398DはP/4(Pは干渉縞のピッ
チ)ずつずらして配置されている。
【0039】減算器399は、(フォトダイオード39
8Aの検出信号)−(フォトダイオード398Cの検出
信号)なる演算を行う。減算器400は、(フォトダイ
オード398Bの検出信号)−(フォトダイオード39
8Dの検出信号)なる演算を行う。減算器399,40
0で図4の信号処理回路421を構成している。
8Aの検出信号)−(フォトダイオード398Cの検出
信号)なる演算を行う。減算器400は、(フォトダイ
オード398Bの検出信号)−(フォトダイオード39
8Dの検出信号)なる演算を行う。減算器399,40
0で図4の信号処理回路421を構成している。
【0040】スライダ部31が移動すると干渉縞が図5
のd−d′方向に動く。干渉縞が動くと各フォトダイオ
ード398A〜398Dに当る干渉縞の明暗部分が動
き、フォトダイオード398A〜398Dの検出値が変
化する。これをもとにスライダ部31の位置を検出す
る。
のd−d′方向に動く。干渉縞が動くと各フォトダイオ
ード398A〜398Dに当る干渉縞の明暗部分が動
き、フォトダイオード398A〜398Dの検出値が変
化する。これをもとにスライダ部31の位置を検出す
る。
【0041】干渉縞がd方向に移動したときは、フォト
ダイオードの出力VA 〜VD は次のとおりになる。 VA=K[1+msin{x・2π/(λ/4)}〕+Kn VB=K〔1+mcos{x・2π/(λ/4)}〕+Kn VC=K[1−msin{x・2π/(λ/4)}〕+Kn VD=K[1−mcos{x・2π/(λ/4)}〕+Kn x:検出対象の距離、K,m:係数、Kn:ノイズ成分
ダイオードの出力VA 〜VD は次のとおりになる。 VA=K[1+msin{x・2π/(λ/4)}〕+Kn VB=K〔1+mcos{x・2π/(λ/4)}〕+Kn VC=K[1−msin{x・2π/(λ/4)}〕+Kn VD=K[1−mcos{x・2π/(λ/4)}〕+Kn x:検出対象の距離、K,m:係数、Kn:ノイズ成分
【0042】減算器399,400の減算信号は次のと
おりになる。 VA−VC=2mKsin{x・2π/(λ/4)} VB−VD=2mKcos{x・2π/(λ/4)} 減算の結果、外乱光により発生した直流のノイズ成分K
nがキャンセルされる信号VA−VCとVB−VDが前述し
たA相パルスとB相パルスに変換される。干渉縞がd′
方向に動いたときは、信号VA−VCとVB−VDの位相関
係は逆転する。
おりになる。 VA−VC=2mKsin{x・2π/(λ/4)} VB−VD=2mKcos{x・2π/(λ/4)} 減算の結果、外乱光により発生した直流のノイズ成分K
nがキャンセルされる信号VA−VCとVB−VDが前述し
たA相パルスとB相パルスに変換される。干渉縞がd′
方向に動いたときは、信号VA−VCとVB−VDの位相関
係は逆転する。
【0043】図6は格子プラテン30上にスライダ部3
1を停止させる停止装置の構成図である。図6で、供給
路50,51は、浮揚手段32に圧縮空気を供給するエ
アチューブである。噴出量調節手段52は、浮揚手段3
2が噴出する圧縮空気の噴出量を調節する電磁弁であ
る。噴出量調節手段51は、エアチューブ50とエアチ
ューブ51との間に設けられており、エアチューブ5
0,51を開閉する。制御手段53は、停止が必要な時
に、磁気吸引力によってスライダ部31が格子プラテン
30に吸着して停止するように、噴出量調節手段51に
圧縮空気の噴出量を低下させるサーボドライバである。
制御手段53は、電磁弁制御信号を出力して噴出量調節
手段51を制御する。請求範囲の停止制御手段は、噴出
量調節手段51と制御手段53とからなる。
1を停止させる停止装置の構成図である。図6で、供給
路50,51は、浮揚手段32に圧縮空気を供給するエ
アチューブである。噴出量調節手段52は、浮揚手段3
2が噴出する圧縮空気の噴出量を調節する電磁弁であ
る。噴出量調節手段51は、エアチューブ50とエアチ
ューブ51との間に設けられており、エアチューブ5
0,51を開閉する。制御手段53は、停止が必要な時
に、磁気吸引力によってスライダ部31が格子プラテン
30に吸着して停止するように、噴出量調節手段51に
圧縮空気の噴出量を低下させるサーボドライバである。
制御手段53は、電磁弁制御信号を出力して噴出量調節
手段51を制御する。請求範囲の停止制御手段は、噴出
量調節手段51と制御手段53とからなる。
【0044】図1の位置決め装置の動作を説明する。電
源投入時に、X軸モータ34の各コイルに既知の電流を
流し、スライダ部31を基準位置に位置決めする。基準
位置からX軸方向及びY軸方向にスライダ部31が移動
したときに、X軸センサ39,40及びY軸センサ38
により2次元位置をインクリメンタル方式に検出する。
源投入時に、X軸モータ34の各コイルに既知の電流を
流し、スライダ部31を基準位置に位置決めする。基準
位置からX軸方向及びY軸方向にスライダ部31が移動
したときに、X軸センサ39,40及びY軸センサ38
により2次元位置をインクリメンタル方式に検出する。
【0045】X軸ミラー36とY軸ミラー37の曲がり
が位置検出に影響しないときは、補正手投44,45は
設けられていない。このときは、X軸制御部42,43
には同一の指令位置が与えられる。このため、X軸制御
部42,43のフイードバック制御によりX軸モータ3
4,35はスライダ部31を等しいX軸位置に位置決め
する。これによって、スライダ部31のヨーイングが除
去される。
が位置検出に影響しないときは、補正手投44,45は
設けられていない。このときは、X軸制御部42,43
には同一の指令位置が与えられる。このため、X軸制御
部42,43のフイードバック制御によりX軸モータ3
4,35はスライダ部31を等しいX軸位置に位置決め
する。これによって、スライダ部31のヨーイングが除
去される。
【0046】X軸ミラー36とY軸ミラー37の曲がり
が位置検出に影響する場合について説明する。このとき
は、補正手投44,45は設けられている。位置決め動
作を行う前にXYステージのキャリブレーションを行っ
ておく。キャリブレーションにおいてスライダ部31を
座標(X1,Y1)に位置決めしたときに、XYステージ
の機械的誤差等が原因でスライダ部31にヨーイングが
発生し、X軸センサ39,40の検出値がそれぞれX1
+△X1とX2−△X2であるとする。このときは、補正
テーブル46には(X1,Y1)と−△X1を対応させて
格納し、補正テーブル47には(X1,Y1)と+△X2
を対応させて格納しておく。他の位置にもスライダ部3
1を位置決めして補正量を求める。このようにして補正
テーブルを作成する。
が位置検出に影響する場合について説明する。このとき
は、補正手投44,45は設けられている。位置決め動
作を行う前にXYステージのキャリブレーションを行っ
ておく。キャリブレーションにおいてスライダ部31を
座標(X1,Y1)に位置決めしたときに、XYステージ
の機械的誤差等が原因でスライダ部31にヨーイングが
発生し、X軸センサ39,40の検出値がそれぞれX1
+△X1とX2−△X2であるとする。このときは、補正
テーブル46には(X1,Y1)と−△X1を対応させて
格納し、補正テーブル47には(X1,Y1)と+△X2
を対応させて格納しておく。他の位置にもスライダ部3
1を位置決めして補正量を求める。このようにして補正
テーブルを作成する。
【0047】実際の位置決め動作において、スライダ部
31を座標(X1,Y1)に位置決めしたときに、補正手
段44はX軸制御部42に与える指令位置を−△Xだけ
補正し、補正手投45はX軸制御部43に与える指令位
置を+△Xだけ補正する。これによって、スライダ部3
1のヨーイングが除去される。このようにしてミラー面
の曲がりによるスライダ部31のθ軸方向の回転ずれが
補正される。
31を座標(X1,Y1)に位置決めしたときに、補正手
段44はX軸制御部42に与える指令位置を−△Xだけ
補正し、補正手投45はX軸制御部43に与える指令位
置を+△Xだけ補正する。これによって、スライダ部3
1のヨーイングが除去される。このようにしてミラー面
の曲がりによるスライダ部31のθ軸方向の回転ずれが
補正される。
【0048】次に、図6の停止動作を説明する。スライ
ダ部31が走行するときに、このスライダ部31は圧縮
空気によって、格子プラテン30上に浮揚した状態にあ
る。このとき、圧縮空気による浮揚力は、磁気吸引力と
スライダ部31の重量との合計である。通常、磁気吸引
力は、スライダ部31の重量に比べて極めて大きいた
め、図6に示す天地が逆の状態であってもよい。スライ
ダ部31の長さが、例えば170mmに対して、スライ
ダ部31と格子プラテン30との間の隙間は10μm程
度である。スライダ部31が走行するときにもこの隙間
が保持される。また、モータの軸受け面と格子プラテン
30の面精度は、隙間の数分の1である。
ダ部31が走行するときに、このスライダ部31は圧縮
空気によって、格子プラテン30上に浮揚した状態にあ
る。このとき、圧縮空気による浮揚力は、磁気吸引力と
スライダ部31の重量との合計である。通常、磁気吸引
力は、スライダ部31の重量に比べて極めて大きいた
め、図6に示す天地が逆の状態であってもよい。スライ
ダ部31の長さが、例えば170mmに対して、スライ
ダ部31と格子プラテン30との間の隙間は10μm程
度である。スライダ部31が走行するときにもこの隙間
が保持される。また、モータの軸受け面と格子プラテン
30の面精度は、隙間の数分の1である。
【0049】X軸モータ34,35及びY軸モータ33
がサーボ制御状態であるときには、噴出量調節手段52
は開いており、エアチューブ51を介して噴出量調節手
段52に入った圧縮空気は、エアチューブ50を通って
浮揚手段32に供給される。噴出量調節手段52の開閉
は、サーボ制御を行う制御手段53が出力する電磁弁制
御信号により制御される。
がサーボ制御状態であるときには、噴出量調節手段52
は開いており、エアチューブ51を介して噴出量調節手
段52に入った圧縮空気は、エアチューブ50を通って
浮揚手段32に供給される。噴出量調節手段52の開閉
は、サーボ制御を行う制御手段53が出力する電磁弁制
御信号により制御される。
【0050】例えば、格子プラテン30上に異物が落下
したり、スライダ部31にヨーイングが発生すると、図
5に示すの光(反射光)の光量がの光(参照光)の
光量(振幅値)に比べて低下して、X軸センサ39,4
0及びY軸センサ38が不具合を検出する。また、制御
手段53は、上位コントローラからサーボ停止命令を受
けることがある。制御手段53は、このような停止が必
要な時に、電磁弁制御信号を噴出量調節手段52に出力
し、噴出量調節手段52は、エアチューブ50とエアチ
ューブ51との間を遮断する。このために、浮揚手段3
2へ供給される圧縮空気の圧力が急激に低下して、スラ
イダ部31は、格子プラテン30と平行状態を保ったま
ま、モータコア(永久磁石)の磁気吸引力によって格子
プラテン30と接触して吸着する。その結果、モータの
軸受け面と格子プラテン30との間に生ずる摩擦力によ
って、スライダ部31は制動を受けて、僅かな時間で緊
急停止する。
したり、スライダ部31にヨーイングが発生すると、図
5に示すの光(反射光)の光量がの光(参照光)の
光量(振幅値)に比べて低下して、X軸センサ39,4
0及びY軸センサ38が不具合を検出する。また、制御
手段53は、上位コントローラからサーボ停止命令を受
けることがある。制御手段53は、このような停止が必
要な時に、電磁弁制御信号を噴出量調節手段52に出力
し、噴出量調節手段52は、エアチューブ50とエアチ
ューブ51との間を遮断する。このために、浮揚手段3
2へ供給される圧縮空気の圧力が急激に低下して、スラ
イダ部31は、格子プラテン30と平行状態を保ったま
ま、モータコア(永久磁石)の磁気吸引力によって格子
プラテン30と接触して吸着する。その結果、モータの
軸受け面と格子プラテン30との間に生ずる摩擦力によ
って、スライダ部31は制動を受けて、僅かな時間で緊
急停止する。
【0051】この発明の実施形態に係る位置決め装置に
は、以下に記載するような効果がある。 (1) この発明の実施形態では、停止が必要な時に、
磁気吸引力によってスライダ部31が格子プラテン30
に吸着して停止するように、制御手段53が噴出量調節
手段52に圧縮空気の噴出量を低下させる。その結果、
僅かな時間でスライダ部31が緊急停止するために、安
全性を向上させることができる。
は、以下に記載するような効果がある。 (1) この発明の実施形態では、停止が必要な時に、
磁気吸引力によってスライダ部31が格子プラテン30
に吸着して停止するように、制御手段53が噴出量調節
手段52に圧縮空気の噴出量を低下させる。その結果、
僅かな時間でスライダ部31が緊急停止するために、安
全性を向上させることができる。
【0052】(2) この発明の実施形態では、浮揚手
段32に圧縮空気を供給するエアチューブ50とエアチ
ューブ51との間を噴出量調節手段52が開閉するの
で、噴出量調節手段52として電磁弁などを付加するだ
けで、非常に高性能なブレーキ機能を実現することがで
きる。
段32に圧縮空気を供給するエアチューブ50とエアチ
ューブ51との間を噴出量調節手段52が開閉するの
で、噴出量調節手段52として電磁弁などを付加するだ
けで、非常に高性能なブレーキ機能を実現することがで
きる。
【0053】この発明は、以上説明した実施形態に限定
するものではなく、種々の変形又は変更が可能であり、
これらもこの発明の範囲内である。例えば、位置決め対
象物の1次元位置を位置決めする場合についても、この
発明を適用することができる。また、噴出量調節手段5
2は圧縮空気の供給を完全に遮断せずに、スライダ部3
1と格子プラテン30とが吸着するまで、エアの供給量
を低下させるだけでもよい。さらに、X軸ミラー36及
びY軸ミラー37をスライダ部31に搭載し、X軸セン
サ39,40とY軸センサ38を格子プラテン30側に
固定してもよい。
するものではなく、種々の変形又は変更が可能であり、
これらもこの発明の範囲内である。例えば、位置決め対
象物の1次元位置を位置決めする場合についても、この
発明を適用することができる。また、噴出量調節手段5
2は圧縮空気の供給を完全に遮断せずに、スライダ部3
1と格子プラテン30とが吸着するまで、エアの供給量
を低下させるだけでもよい。さらに、X軸ミラー36及
びY軸ミラー37をスライダ部31に搭載し、X軸セン
サ39,40とY軸センサ38を格子プラテン30側に
固定してもよい。
【0054】
【発明の効果】以上説明したように、この発明による
と、停止が必要な時に、磁気吸引力によって移動体が固
定体に吸着して停止するように、浮揚手段への気体の噴
出量を調節するので、固定体に対して移動体を確実に停
止させて、安全性を向上させることができる。
と、停止が必要な時に、磁気吸引力によって移動体が固
定体に吸着して停止するように、浮揚手段への気体の噴
出量を調節するので、固定体に対して移動体を確実に停
止させて、安全性を向上させることができる。
【図1】この発明の実施形態に係る位置決め装置の構成
図である。
図である。
【図2】スライダ部の格子プラテンと対向する面の構成
図である。
図である。
【図3】図2のA−A′部分の断面図である。
【図4】図1の制御部の構成例を示した図である。
【図5】図1のセンサの構成例を示した図である。
【図6】格子プラテン上にスライダ部を停止させる停止
装置の構成図である。
装置の構成図である。
【図7】従来の位置決め装置の構成図である。
30 格子プラテン 31 スライダ部 32 浮揚手段 33 Y軸モータ 34,35 X軸モータ 36 X軸ミラー 37 Y軸ミラー 38 Y軸センサ 39,40 X軸センサ 41 Y軸制御部 42,43 X軸制御部 50,51 エアチューブ 52 噴出量調節手段 53 制御手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G05D 3/00 B23Q 1/26 E 1/30 Fターム(参考) 2F078 CA08 CB05 CB13 CC11 3C048 BC02 CC07 CC17 DD01 3J102 AA02 BA05 CA05 CA11 CA36 EA02 EA07 EA10 EA13 GA01 5H303 AA06 BB02 BB07 BB12 CC10 DD04 DD10 FF06 GG13 HH01 HH07
Claims (6)
- 【請求項1】 対象物を搭載する移動体を固定体に対し
て移動させて、この対象物を位置決めする位置決め装置
であって、 前記固定体と前記移動体との間に気体を噴出して、この
移動体を浮揚させる浮揚手段と、 前記固定体と前記移動体との間に磁気吸引力を発生し、
この磁気吸引力によってこの移動体を移動させる移動手
段と、 停止が必要な時に、前記浮揚手段が噴出する前記気体の
噴出量を低下させ、磁気吸引力によって前記移動体を前
記固定体に吸着して停止させる停止制御手段と、 を含む位置決め装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載の位置決め装置におい
て、 前記移動手段は、 前記移動体のX軸方向に形成された一定ピッチの歯と、
前記固定体のX軸方向及びY軸方向に形成された一定ピ
ッチの歯との間に磁気吸引力を発生し、この磁気吸引力
によってこの移動体をX軸方向に移動させるX軸モータ
と、 前記移動体のY軸方向に形成された一定ピッチの歯と、
前記固定体のX軸方向及びY軸方向に形成された一定ピ
ッチの歯との間に磁気吸引力を発生し、この磁気吸引力
によってこの移動体をY軸方向に移動させるY軸モータ
とを備え、 前記移動体又は前記固定体のいずれか一方から他方へX
軸方向に光を照射し、その反射光を受光してこの移動体
のX軸方向の位置を検出するX軸干渉計と、 前記移動体又は前記固定体のいずれか一方から他方へY
軸方向に光を照射し、その反射光を受光してこの移動体
のY軸方向の位置を検出するY軸干渉計とを備えるこ
と、 を特徴とする位置決め装置。 - 【請求項3】 請求項2に記載の位置決め装置におい
て、 前記停止制御手段は、前記X軸干渉計及び/又は前記Y
軸干渉計の反射光の光量が低下したときに、前記浮揚手
段に前記気体の噴出量を低下させること、 を特徴とする位置決め装置。 - 【請求項4】 請求項1から請求項3までのいずれか1
項に記載の位置決め装置において、 前記停止制御手段は、前記浮揚手段が前記気体を供給す
る供給路を開閉する電磁弁を備え、この電磁弁に前記供
給路を遮断させること、を特徴とする位置決め装置。 - 【請求項5】 対象物を搭載する移動体を固定体に対し
て移動させて、この対象物を位置決めする位置決め装置
の停止方法であって、 前記固定体と前記移動体との間に気体を噴出して、この
移動体を浮揚させるとともに、前記固定体と前記移動体
との間に磁気吸引力を発生し、この磁気吸引力によって
この移動体を移動し、 停止が必要な時に、前記磁気吸引力によって前記移動体
が前記固定体に吸着して停止するように、前記気体の噴
出量を調節すること、 を特徴とする位置決め装置の停止方法。 - 【請求項6】 請求項5に記載の位置決め装置の停止方
法において、 停止が必要な時に、前記気体を供給する供給路を電磁弁
によって遮断すること、 を特徴とする位置決め装置の停止方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33283199A JP2001147719A (ja) | 1999-11-24 | 1999-11-24 | 位置決め装置とその停止方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33283199A JP2001147719A (ja) | 1999-11-24 | 1999-11-24 | 位置決め装置とその停止方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001147719A true JP2001147719A (ja) | 2001-05-29 |
Family
ID=18259298
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33283199A Pending JP2001147719A (ja) | 1999-11-24 | 1999-11-24 | 位置決め装置とその停止方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001147719A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009023011A (ja) * | 2007-07-17 | 2009-02-05 | Canon Inc | 位置決め装置 |
CN101618510A (zh) * | 2009-07-21 | 2010-01-06 | 安福唯冠油压机械有限公司 | 数控伺服反馈式小流量多头泵 |
CN101026013B (zh) * | 2006-02-17 | 2010-05-26 | 住友重机械工业株式会社 | 载物台装置 |
CN115026716A (zh) * | 2022-07-04 | 2022-09-09 | 济南凯特尔机器有限公司 | 一种气浮移动式精密导轨底座及其使用方法 |
-
1999
- 1999-11-24 JP JP33283199A patent/JP2001147719A/ja active Pending
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JP2009023011A (ja) * | 2007-07-17 | 2009-02-05 | Canon Inc | 位置決め装置 |
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A02 | Decision of refusal |
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