JP2007293796A - 移動体の位置決め制御装置及びレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】角度指令データ8の絶対値sが予め定める角度範囲(H≧s≧h)である場合、離散的時刻が開始された後、電流指令が出力されると、ループゲイン修正器12により今回測定されたオーバーシュート量Ovと予め定めるオーバーシュート量の許容値NOvとの差に基づいて次回の位置決めに使用するループゲインαを定める補正量Mを演算し、その結果に基づいてループゲインαを修正する。この場合、オーバーシュートに引き続いて発生するアンダーシュートの大きさを考慮するようにすることができる。
【選択図】図1
Description
なお、M(Mcw又はMccw)の初期値は0であり、KPは係数である。
次に、新しい補正量Mを用いて、ループゲイン10の係数αを式2により演算した係数αに置き換える。
なお、αの初期値は1である。
ここで、実際のオーバーシュート量Ovを測定するための期間tとしては、ガルバノミラーがセトリング応答の整定範囲に入る予定時刻から例えば200μs程度とすれば十分である。
すなわち、指令値の絶対値sが第1の判定値hよりも小さい場合(すなわち回転角度が小さい場合)、コイルに大電流を供給する必要がないためにコイルの発熱量は小さく、コイルの温度上昇は僅かである。また、絶対値sが第2の判定値Hよりも大きい場合、ガルバノミラーを急速に回転させるよりもゆっくり回転させた方がトータルの位置決め時間が短くなるので、コイルに小電流を供給するためにコイルの発熱量は小さく、コイルの温度上昇は僅かである。これに対して、絶対値sがH≧s≧hである場合、ガルバノミラーの加速時及び減速時にコイルに大電流を供給する必要があるため、コイルの発熱量が急激に増大しこれに伴って電磁アクチュエータの内部温度は急激に上昇する。
次に、新しい補正量Mを用いて、ループゲイン10の係数αを式2により演算した係数αに置き換える。なお、αの初期値は1である。 α=1+M ・・・(2)
以下、上記の動作を離散的時刻毎に繰り返す。
図6は、電磁アクチュエータの内部温度が上昇した場合の偏差応答波形の一例を示す図であり、実線は本発明の場合、点線は従来の場合である。なお、NOv及びNUnは整定範囲±Wの30%とした。
fθレンズ304の中心軸をガルバノスキャナ装置302及びガルバノスキャナ装置303で決まる任意の加工領域の中心に位置決めし、従来の場合と同様に、ガルバノスキャナ装置302及びガルバノスキャナ装置303によりレーザ光を位置決めして加工領域内の加工を行い、当該加工領域内の加工が終了すると、X−Yテーブル305を移動させて次の加工領域をfθレンズ304に対して位置決めする。以下、プリント配線板306の加工が終了するまで、上記の動作を繰り返す。ガルバノスキャナ装置302及びガルバノスキャナ装置303は、温度上昇によるオーバーシュートを抑えることができるので、加工能率に優れる加工を行うことができる。
s 角度指令データ8の絶対値
h 第1の判定値
H 第2の判定値
12 ループゲイン修正器
M 補正量
Ov オーバーシュート量
NOv オーバーシュート量の許容値
α ループゲイン
Claims (5)
- フィードバック・ループを備え、移動体を位置指令データに基づいて位置決めする移動体の位置決め制御装置において、
今回測定されたオーバーシュート量と予め定める許容値との差に
基づいて次回の位置決めに使用するループゲインを定めるループゲイン修正手段を設けたことを特徴とする移動体の位置決め制御装置。 - フィードバック・ループを備え、移動体を位置指令データに基づいて位置決めする移動体の位置決め制御装置において、
今回測定されたオーバーシュート量と予め定める許容値との差及び今回測定されたアンダーシュート量と予め定める許容値との差に
基づいて次回の位置決めに使用するループゲインを定めるループゲイン修正手段を設けたことを特徴とする移動体の位置決め制御装置。 - 前記ループゲイン修正手段は、前記移動体が今回移動する距離又は角度に基づいて修正の可否を決定することを特徴とする請求項1又は2に記載の移動体の位置決め制御装置。
- 前記移動体がレーザを反射させてワークに穴を加工するガルバノミラーであることを特徴とする請求項1ないし3記載の移動体の位置決め制御装置。
- 請求項4記載の移動体の位置決め制御装置を備えていることを特徴とするレーザ加工装置。
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