JP2003043404A - ガルバノ装置とこれを用いたレーザ加工装置および生産設備 - Google Patents
ガルバノ装置とこれを用いたレーザ加工装置および生産設備Info
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Abstract
のガルバノ装置における固有振動の振動を抑制し、高速
高精度化、長寿命化を実現するガルバノ装置を提供する
ことを目的とする。 【解決手段】 光の位置決めを行う位置決め部と、位置
決め部の距離指令を作成する距離指令作成部と、距離指
令作成部の距離指令と指令速度から移動指令を作成する
移動指令作成部と、移動指令にフィルタ処理を行う移動
指令フィルタ部と、移動指令フィルタ部の出力から位置
決め部の位置制御を行う位置制御部を設け、移動指令を
フィルタ処理して位置制御を行うことにより、固有振動
の抑制を図る。
Description
載されるガルバノ装置に関する。
穴あけ、マーキングなどの加工が広く行われており、そ
のレーザ光の位置決めにはガルバノ装置が用いられてい
る。
ト基板の層間接続回路であるIVH(インナー・バイア
・ホール)の穴加工を行うプリント基板用レーザ加工機
にガルバノ装置が搭載されている。
成を示す。
105を出力する。ガルバノ装置102は、2軸のモー
タに取付けられたミラーによって、レーザ光105の位
置決めを行う。加工テーブル103は、加工するプリン
ト基板107を搭載し、位置決めを行う。制御装置10
4は、レーザ発振器101、ガルバノ装置102、加工
テーブル103の制御を行う。
て説明する。レーザ発振器101から出力されたレーザ
光105は、ガルバノ装置102で位置決めを行い、集
光レンズ106によって集光され、プリント基板107
の所定の位置に照射され、穴加工を行う。
ているが、これを実現するために多層プリント基板によ
る電子部品の高密度実装が進んでいる。
るIVHの数が増加することになり、これに対応するた
めにはプリント基板用レーザ加工装置の穴加工速度を高
速化する必要があり、ガルバノ装置の高速が求められて
いる。
す。
指令位置を示すプログラムを外部から入力される。
の指令速度などの動作パラメータを外部から入力され
る。
ログラムが、パラメータ入力部2からパラメータが入力
され、移動指令作成部4に指令速度などの動作パラメー
タを出力する。移動を開始するとプログラムを解析し、
目標位置から距離指令を作成し、移動指令作成部4に出
力する。
メータ及び距離指令が入力される。指令速度と距離指令
から移動指令を作成し、位置制御部5に出力する。移動
指令は位置制御部5の位置制御周期の1周期に指令速度
で移動する移動量に相当する。またアラームなどのステ
ータス情報を主制御部3に出力する。
移動指令が入力される。またモータ部6に取付けられた
位置センサからモータの現在位置が入力される。移動指
令から位置指令を作成し、現在位置からモータ部6の位
置制御を行い、モータ駆動電流をモータ部に出力する。
また現在位置やアラームなどのステータス情報を移動指
令作成部5に出力する。
が入力され、モータが駆動される。また現在位置を位置
制御部5に出力する。ガルバノ装置の動作であるが、プ
ログラム入力部1からプログラムを、パラメータ入力部
2からパラメータを入力すると、主制御部3で距離指令
を作成し、移動指令作成部4で距離指令から移動指令を
作成し、位置制御部5で移動指令からモータ部6の位置
制御を行い、モータをプログラム通りの所定の位置に位
置決めを行う。指令速度は全移動距離で一定値で制御す
る。そのため指令速度の決定方法としては、代表的な移
動距離で指令速度を変えながらガルバノを駆動させてガ
ルバノ動作波形を測定し、すべての移動距離で所定の動
作特性を満たす最高指令速度(指令速度の最大値)を見
つけ出し、その最高指令速度以下の値に指令速度を決定
していた。
ラム通りに所定の位置に制御することができる。
バノ装置の高速化の要望に対応するためには、指令速度
をできるだけ高くする必要がある。
最高指令速度に設定していた。
最高速度指令の測定で使用した移動距離以外の移動距離
の駆動時に、図25や図26のようなモータに振動が発
生する。これはガルバノ装置の位置決め精度の悪化や、
ガルバノモータのベアリングの劣化によるモータ寿命を
低下、不快音の発生などを引き起こす。
時にすべての移動距離で測定することが考えられるが、
すべての移動距離で詳細に測定することは、調整工数を
非常に多くすることになる。また指令速度を下げれば振
動は発生しなくなるが、高速化を実現できないため、採
用できない。
も寿命低下なく高精度でのガルバノ駆動を行うことがで
きるガルバノ装置を提供することを目的としている。
に請求項1記載の本発明は、光の位置決めを行う位置決
め部と、位置決め部の距離指令を作成する距離指令作成
部と、距離指令作成部の距離指令と指令速度から移動指
令を作成する移動指令作成部と、移動指令にフィルタ処
理を行う移動指令フィルタ部と、移動指令フィルタ部の
出力から位置決め部の位置制御を行う位置制御部を設
け、ガルバノ装置を駆動する構成となる。請求項2記載
の本発明は、位置決め部の距離指令を作成する距離指令
作成部と、距離指令作成部の距離指令と指令速度から移
動指令を作成する移動指令作成部と、位置決め部の位置
制御を行った場合に発生する固有振動の振動周期の整数
倍のフィルタ周期で移動指令にフィルタ処理を行う移動
指令フィルタ部と、移動指令フィルタ部の出力から位置
決め部の位置制御を行う位置制御部を設け、ガルバノ装
置を駆動する構成となる。請求項3記載の本発明は、光
の位置決めを行う位置決め部と、位置決め部の距離指令
を作成する距離指令作成部と、距離指令作成部の距離指
令と指令速度から移動指令を作成する移動指令作成部
と、移動指令に平均処理でフィルタ処理を行う移動指令
フィルタ部と、移動指令フィルタ部の出力から位置決め
部の位置制御を行う位置制御部を設け、ガルバノ装置を
駆動する構成となる。
行う位置決め部と、位置決め部の距離指令を作成する距
離指令作成部と、距離指令にフィルタ処理を行う距離指
令フィルタ部と、距離指令から距離指令フィルタ部のフ
ィルタ周期を演算する周期演算部と、距離指令フィルタ
部の出力から位置決め部の位置制御を行う位置制御部を
設け、ガルバノ装置を駆動する構成となる。
行う位置決め部と、位置決め部の距離指令を作成する距
離指令作成部と、距離指令にフィルタ処理を行う距離指
令フィルタ部と、位置決め部の位置制御を行った場合に
発生する固有振動の振動周期の整数倍となる距離指令か
ら距離指令フィルタ部のフィルタ周期を演算する周期演
算部と、距離指令フィルタ部の出力から位置決め部の位
置制御を行う位置制御部を設け、ガルバノ装置を駆動す
る構成となる。
行う位置決め部と、位置決め部の距離指令を作成する距
離指令作成部と、距離指令に平均処理でフィルタ処理を
行う距離指令フィルタ部と、距離指令から距離指令フィ
ルタ部のフィルタ周期を演算する周期演算部と、距離指
令フィルタ部の出力から位置決め部の位置制御を行う位
置制御部を設け、ガルバノ装置を駆動する構成となる。
行う位置決め部と、位置決め部の距離指令を作成する距
離指令作成部と、距離指令にフィルタ処理を行う距離指
令フィルタ部と、指令速度以下となる距離指令から距離
指令フィルタ部のフィルタ周期を演算する周期演算部
と、距離指令フィルタ部の出力から位置決め部の位置制
御を行う位置制御部を設け、ガルバノ装置を駆動する構
成となる。
行う位置決め部と、位置決め部の距離指令を作成する距
離指令作成部と、距離指令にフィルタ処理を行う距離指
令フィルタ部と、距離指令に対する距離指令フィルタ部
のフィルタ周期を記憶する周期記憶部と、距離指令フィ
ルタ部の出力から位置決め部の位置制御を行う位置制御
部を設け、ガルバノ装置を駆動する構成となる。
行う位置決め部と、位置決め部の距離指令を作成する距
離指令作成部と、距離指令にフィルタ処理を行う距離指
令フィルタ部と、位置決め部の位置制御を行った場合に
発生する固有振動の振動周期の整数倍となる距離指令に
対する距離指令フィルタ部のフィルタ周期を記憶する周
期記憶部と、距離指令フィルタ部の出力から位置決め部
の位置制御を行う位置制御部を設け、ガルバノ装置を駆
動する構成となる。
を行う位置決め部と、位置決め部の距離指令を作成する
距離指令作成部と、距離指令に平均処理でフィルタ処理
を行う距離指令フィルタ部と、距離指令に対する距離指
令フィルタ部のフィルタ周期を記憶する周期記憶部と、
距離指令フィルタ部の出力から位置決め部の位置制御を
行う位置制御部を設け、ガルバノ装置を駆動する構成と
なる。
を行う位置決め部と、距離指令作成部の距離指令を作成
する距離指令作成部と、距離指令にフィルタ処理を行う
距離指令フィルタ部と、指令速度以下となる距離指令に
対する距離指令フィルタ部のフィルタ周期を記憶する周
期記憶部と、距離指令フィルタ部の出力から位置決め部
の位置制御を行う位置制御部を設け、ガルバノ装置を駆
動する構成となる。
を行う位置決め部と、位置決め部の距離指令を作成する
距離指令作成部と、距離指令作成部の距離指令から補正
指令速度を演算する補正指令速度演算部と、距離指令作
成部の距離指令と補正指令速度演算部が演算した補正指
令速度から移動指令を作成する移動指令作成部と、移動
指令作成部の移動指令から位置決め部の位置制御を行う
位置制御部を設け、ガルバノ装置を駆動する構成とな
る。
を行う位置決め部と、位置決め部の距離指令を作成する
距離指令作成部と、位置決め部の位置制御を行った場合
に発生する固有振動の振動周期の整数倍となる移動指令
の出力期間が作成される距離指令作成部の距離指令から
補正指令速度を演算する補正指令速度演算部と、距離指
令作成部の距離指令と補正指令速度演算部が演算した補
正指令速度から移動指令を作成する移動指令作成部と、
移動指令作成部の移動指令から位置決め部の位置制御を
行う位置制御部を設け、ガルバノ装置を駆動する構成と
なる。
を行う位置決め部と、位置決め部の距離指令を作成する
距離指令作成部と、指令速度以下となる距離指令作成部
の距離指令から補正指令速度を演算する補正指令速度演
算部と、距離指令作成部の距離指令と補正指令速度演算
部が演算した補正指令速度から移動指令を作成する移動
指令作成部と、移動指令作成部の移動指令から位置決め
部の位置制御を行う位置制御部を設け、ガルバノ装置を
駆動する構成となる。
を行う位置決め部と、位置決め部の距離指令を作成する
距離指令作成部と、距離指令作成部の距離指令に対する
補正指令速度を記憶する補正指令速度記憶部と、距離指
令作成部の距離指令と補正指令速度記憶部が記憶した補
正指令速度から移動指令を作成する移動指令作成部と、
移動指令作成部の移動指令から位置決め部の位置制御を
行う位置制御部を設け、ガルバノ装置を駆動する構成と
なる。
を行う位置決め部と、位置決め部の距離指令を作成する
距離指令作成部と、位置決め部の位置制御を行った場合
に発生する固有振動の振動周期の整数倍となる移動指令
の出力期間が作成される距離指令作成部の距離指令に対
する補正指令速度を記憶する補正指令速度記憶部と、距
離指令作成部の距離指令と補正指令速度記憶部が記憶し
た補正指令速度から移動指令を作成する移動指令作成部
と、移動指令作成部の移動指令から位置決め部の位置制
御を行う位置制御部を設け、ガルバノ装置を駆動する構
成となる。
を行う位置決め部と、位置決め部の距離指令を作成する
距離指令作成部と、指令速度以下となる距離指令作成部
の距離指令に対する補正指令速度を記憶する補正指令速
度記憶部と、距離指令作成部の距離指令と補正指令速度
記憶部が記憶した補正指令速度から移動指令を作成する
移動指令作成部と、移動指令作成部の移動指令から位置
決め部の位置制御を行う位置制御部を設け、ガルバノ装
置を駆動する構成となる。
から出力されるレーザ光を被加工物に導く光路中に請求
項1から17のいずれかに記載のガルバノ装置を配置し
たレーザ加工装置である。
記載のレーザ加工装置を配置した生産設備である。
のガルバノ装置は、位置決め部の距離指令を作成し、移
動指令を作成し、フィルタ処理を行い、このフィルタ処
理の出力で位置決め部の位置制御を行うという作用を有
する。
部の距離指令を作成し、移動指令を作成し、位置決め部
の位置制御を行った場合に発生する固有振動の振動周期
の整数倍のフィルタ周期でフィルタ処理を行い、このフ
ィルタ処理の出力で位置決め部の位置制御を行うという
作用を有する。
部の距離指令を作成し、移動指令を作成し、平均処理で
フィルタ処理を行い、このフィルタ処理の出力で位置決
め部の位置制御を行うという作用を有する。
部の距離指令を作成し、フィルタ周期を演算し、フィル
タ処理を行い、このフィルタ処理の出力で位置決め部の
位置制御を行うという作用を有する。
部の距離指令を作成し、位置決め部の位置制御を行った
場合に発生する固有振動の振動周期の整数倍となるフィ
ルタ周期を演算し、フィルタ処理を行い、このフィルタ
処理の出力で位置決め部の位置制御を行うという作用を
有する。
部の距離指令を作成し、フィルタ周期を演算し、平均処
理でフィルタ処理を行い、このフィルタ処理の出力で位
置決め部の位置制御を行うという作用を有する。
部の距離指令を作成し、指令速度以下となるフィルタ周
期を演算し、フィルタ処理を行い、このフィルタ処理の
出力で位置決め部の位置制御を行うという作用を有す
る。
部の距離指令を作成し、フィルタ周期を記憶し、フィル
タ処理を行い、このフィルタ処理の出力で位置決め部の
位置制御を行うという作用を有する。
部の距離指令を作成し、位置決め部の位置制御を行った
場合に発生する固有振動の振動周期の整数倍となるフィ
ルタ周期を記憶し、フィルタ処理を行い、このフィルタ
処理の出力で位置決め部の位置制御を行うという作用を
有する。
め部の距離指令を作成し、フィルタ周期を記憶し、平均
処理でフィルタ処理を行い、このフィルタ処理の出力で
位置決め部の位置制御を行うという作用を有する。
め部の距離指令を作成し、指令速度以下となるフィルタ
周期を記憶し、フィルタ処理を行い、このフィルタ処理
の出力で位置決め部の位置制御を行うという作用を有す
る。
め部の距離指令を作成し、移動指令を作成し、補正指令
速度を演算し、位置決め部の位置制御を行うという作用
を有する。
め部の距離指令を作成し、移動指令を作成し、位置決め
部の位置制御を行った場合に発生する固有振動の振動周
期の整数倍となる移動指令の出力期間が作成される補正
指令速度を演算し、位置決め部の位置制御を行うという
作用を有する。
め部の距離指令を作成し、移動指令を作成し、指令速度
以下となる補正指令速度を演算し、位置決め部の位置制
御を行うという作用を有する。
め部の距離指令を作成し、移動指令を作成し、補正指令
速度を記憶し、位置決め部の位置制御を行うという作用
を有する。
め部の距離指令を作成し、移動指令を作成し、位置決め
部の位置制御を行った場合に発生する固有振動の振動周
期の整数倍となる移動指令の出力期間が作成される補正
指令速度を記憶し、位置決め部の位置制御を行うという
作用を有する。
め部の距離指令を作成し、移動指令を作成し、指令速度
以下となる補正指令速度を記憶し、位置決め部の位置制
御を行うという作用を有する。
バノ装置を用いることにより上述した各作用を奏する。
する。 (実施の形態)以下、本発明の実施の形態について説明
する。
置を用いて詳細を述べる。
ノ装置の構成図である。
来のガルバノ装置の構成に移動指令フィルタ部7を追加
したものである。
らフィルタ周期が入力される。移動指令作成部4から移
動指令が入力されると、移動指令に対してフィルタ周期
に応じたフィルタ処理を行い、位置制御部5に出力す
る。
いて説明する。図2に従来制御で移動距離1mm、速度
指令4.0mm/msで駆動した時のガルバノ動作波形
を示す。
定した位置指令、位置偏差及びモータ駆動電流の各信号
の測定波形を記載している。位置偏差信号は1mVで6
μmの位置偏差に相当する。
を±20μmとした場合、加工テーブルなどの位置精度
や光学的補正精度などを考慮すると、ガルバノ装置の位
置精度は±3μmが必要となる。そこでガルバノ装置の
モータ部6は目標位置に対して位置偏差が±3μmであ
れば、目標位置に到達していることになる。
の整定は、位置偏差が±3μm以内になればよいことに
なる。指令速度を調整する時、この位置偏差±3μm以
内にオーバシュートなく整定することが調整基準の1つ
になる。この調整では代表的な移動距離でガルバノ動作
を測定し、すべての移動距離で調整基準を満たさなけれ
ばならない。
離の1つである。そしてこの調整基準を満たす指令速度
の最大値が、±3μmのガルバノ位置精度を保証できる
最高指令速度となす。実際のガルバノ装置を運用する場
合には、この最高指令速度の値以下に指令速度を設定す
る必要がある。指令速度の制御方法も様々あるが、ここ
では加減速制御なし(指令速度一定)で制御している。
時に±3μmにオーバシュートすることなく整定してお
り、調整基準を満たしている。またモータ電流などにも
振動が発生しておらず、良好に動作している。
する。図3は、移動距離1mm、指令速度50mm/m
sで駆動した時のガルバノ動作波形である。
期(20μs)の1周期で1mmの移動指令を与えてい
るため、最大の指令速度(理論的には無限大の指令速
度)に相当する。このように大きな指令速度で駆動する
と、図3にあるようにモータ電流に大きな振動が発生す
る。位置偏差にも振動が現れており、位置ゆれが発生し
ている。このモータ電流の振動周波数を測定すると、
4.17kHzとなる。このようにサーボなどの制御系
に大きな指令を与えた場合に発生する振動は、その制御
系の固有振動である。図3の振動がモータ部6の固有振
動に該当する。
する。図25は従来制御で移動距離480μm、指令速
度4.0mm/msで駆動した時のガルバノ動作波形で
ある。位置偏差は±3μmに良好に整定しているが、モ
ータ電流に発振が発生している。速度指令は図2の1m
m移動と同じで、移動距離が半分以下のため、モータ部
6の動作としては図の1mm移動より容易であると考え
られるが、モータ電流に先ほどの図3にあった固有振動
が発生している。これは図25の駆動では移動指令の出
力期間が120μsとなり、固有振動数の半周期に一致
しているからである。固有振動数と半周期(位相で18
0°)ずれた移動指令を位置制御部5に与えることは、
振動を誘発することになるためである。図26に移動距
離1440μmのガルバノ波形を示す。この駆動では移
動指令の出力期間は360μsとなり、固有振動の1.
5周期に一致する。図25の移動距離480μmと同様
に固有振動と半周期ずれた移動指令の出力期間になるた
め、同じように固有振動を誘発して、モータ電流に振動
が発生している。このように従来制御では指令速度を高
くすると、固有振動と半周期(位相で180°)ずれた
移動指令の出力期間となる移動距離で駆動する場合、モ
ータ電流に振動が発生する。
について説明する。このような振動の抑制方法として、
移動指令や位置制御部5の制御ループ内にフィルタ処理
を設ける方法がある。ガルバノ装置では高速応答性を実
現するために、位置制御部5の制御周期を高速化してい
る。そこで位置制御部5は、ディジタル回路の構成によ
るソフト処理ではなく、アナログ回路で構成される。
フィルタ処理を行うフィルタ回路を追加することは、回
路変更など発生するため困難である。そこでソフトウエ
ア処理されている移動指令処理にフィルタ処理を追加
し、フィルタ処理後の移動指令から位置制御部5で位置
制御を行う方法が容易に実現できる。フィルタ処理方法
としては様々あるが、平均分割フィルタを用いれば、構
成が簡単かつ容易な処理で実現できる。平均分割フィル
タとは入力をフィルタ周期で分割し、分割したものを逐
次出力するものであり、移動平均処理ともよばれる。
の概要を示す。移動指令は、位置制御部5の位置制御周
期毎の入力される。位置制御周期毎に入力された移動指
令をフィルタ周期で分割し、位置制御周期毎に出力す
る。図4ではフィルタ周期を位置制御周期の4周期分と
した場合であり、入力を4分割し、位置制御周期毎に順
に出力していく。
に、移動指令フィルタ部のフィルタ周期を120μsと
して、移動距離480μm、指令速度4.0mm/ms
で駆動した時のガルバノ動作波形を示す。フィルタ処理
を行っているため移動指令が滑らかになっており、位置
指令の開始と終了部が図25と比較して滑らかになって
いる。しかしモータ電流の振動は図25よりは小さくな
っているが、大きな振動が残っている。図6に、フィル
タ周期240μsとして、移動距離480μm、指令速
度4.0mm/msで駆動した時のガルバノ動作波形を
示す。モータ電流の振動は完全に抑制できている。図7
はフィルタ周期360μsとして、移動距離480μ
m、指令速度4.0mm/msで駆動した時のガルバノ
動作波形を示す。図6より長い時定数のフィルタを入れ
てより位置指令が滑らかなっているが、モータ電流の振
動は完全に抑制できていない。
40μsであるため、図6のような、振動周期の整数倍
(1倍)となるフィルタ周期で移動指令にフィルタ処理
を行うと、振動発生を完全に抑制することができる。図
5や図7のようにガルバノモータの固有振動の振動周期
の整数倍と半周期ずれたフィルタ周期でフィルタ処理を
行っても、振動を完全に抑制できない。
移動距離1440μm、指令速度4.0mm/msで駆
動した時のガルバノ動作波形を示す。振動周期の整数倍
(1倍)となるフィルタ周期で移動指令にフィルタ処理
を行っているため、モータ電流の発振は完全に抑制され
ている。
いて説明する。移動指令フィルタ部7では、主制御部3
から固有振動の振動周期の整数倍となるフィルタ周期が
入力される。移動指令作成部4から移動指令が入力され
ると、フィルタ周期からフィルタ処理を行い、フィルタ
処理後の移動指令を位置制御部5に出力する。
る。予め主制御部3にはプログラム入力部1、パラメー
タ入力部2からプログラム、動作パラメータが入力さ
れ、それぞれの解析を行っている。移動指令作成部4に
は指令速度が入力される。移動指令フィルタ部7にはフ
ィルタ周期が入力される。移動をスタートすると、主制
御部3が移動指令作成部4に距離指令を出力する。移動
指令作成部4は距離指令と指令速度から移動指令を作成
し、移動指令フィルタ部7に出力する。移動指令フィル
タ部7では、入力された移動指令とフィルタ周期からフ
ィルタ処理を行い、フィルタ処理後の移動指令を位置制
御部5に出力する。位置制御部5は移動指令フィルタ処
理後の移動指令から位置指令を作成して位置制御を行
い、モータ電流をモータ部6に出力する。モータ部6は
モータ電流により所定の位置に移動する。
理を行うことにより、ソフトウエア処理の容易な追加で
モータ振動を抑制することができる。また、フィルタ周
期を固有振動の振動周期の整数倍となるようにすれば、
確実に振動が抑制できる。更に、フィルタ処理としては
平均分割フィルタを採用することにより、容易にフィル
タ処理が実現できる。
ノ装置の構成図である。図9のプログラム入力部1、パ
ラメータ入力部2、主制御部3、位置制御部5、モータ
部6は図1と同じ構成である。距離指令フィルタ部8に
は、主制御部3から距離指令が入力される。また、フィ
ルタ周期演算部9からフィルタ周期が入力される。距離
指令とフィルタ周期が入力されると、距離指令に対して
フィルタ周期でフィルタ処理を行い、位置制御部5に出
力する。フィルタ周期演算部9は、距離指令に対するフ
ィルタ周期を演算するためのパラメータが主制御部3か
ら入力される。また主制御部3から距離指令が入力され
ると、フィルタ周期を演算し、フィルタ周期を距離指令
フィルタ部8に出力する。
する。従来制御で発生した固有振動の抑制方法として、
本発明の実施の形態の1で示しとように、移動指令に対
してフィルタ周期を固有振動の振動周期の整数倍となる
ようにすれば、確実に振動を抑制することができる。フ
ィルタ処理は入力をフィルタ周期で分割したり、滑らか
にして出力するものである。そこで距離指令をフィルタ
処理し、フィルタ周期で分割して出力すれば、移動指令
を作成することに相当する。またフィルタ周期を固有振
動の振動周期の整数倍となるよにしてフィルタ処理を行
えば、発生する固有振動を確実に抑制することができ
る。フィルタ処理方法として構成が簡単かつ処理が容易
な平均分割フィルタを用いる。更に、フィルタ出力の移
動指令が指令速度以下となるようなフィルタ周期を用い
れば、指令速度の調整基準にある所定のガルバノ動作性
能を保証することができる。
理の概要を示す。距離指令は、主制御部から位置制御周
期の1周期で入力される。入力された距離指令をフィル
タ周期で分割し、位置制御周期毎に出力する。図10で
はフィルタ周期を位置制御周期の6周期分とした場合で
あり、入力を4分割し、位置制御周期毎に順に出力して
いく。
する。フィルタ周期演算部9では、距離指令フィルタ部
8で使用するフィルタ周期を演算し、距離指令フィルタ
部8に出力する。フィルタ周期は固有振動の振動周期と
指令速度から距離指令に対するフィルタ周期を演算す
る。また距離指令フィルタ部8の出力である移動指令が
指令速度以下となるようなフィルタ周期を演算する。
をVc(単位:mm/s)、モータ部6の固有振動の振
動周期をTv(単位:s)、固有振動の整数倍をカウン
トする倍数カウント係数をKfとする。
周期とした場合のフィルタ処理後の速度Vfを算出す
る。
となるKfを求める。
で算出する。
部8に出力する。
する。フィルタ周期演算部9のフィルタ周期演算のフロ
ーチャートを図11に示す。演算をスタートすると、ス
テップ1では、主制御部3からパラメータとして、モー
タ部6の固有振動の振動周期Tvと、指令速度Vcが入
力される。ステップ2では、主制御部3から指令距離L
cが入力される。ステップ3では、倍数カウント変数K
fを初期化する。ステップ4では、倍数カウント変数を
カウントする。ステップ5では、フィルタ処理後の速度
Vfを式(1)で演算する。ステップ6では、求めたV
fとVcを比較し、VfがVc以下の場合、ステップ7
に進む。VfがVcより大きい場合、ステップ4に戻
る。ステップ7では、フィルタ周期Tfを式(2)で演
算する。ステップ8で、求めたフィルタ周期を移動距離
フィルタ部に出力し、終了となる。
る。予め主制御部3にはプログラム入力部1、パラメー
タ入力部2からプログラム、動作パラメータが入力さ
れ、それぞれの解析を行っている。フィルタ周期演算部
9には固有振動の振動周期及び指令速度が入力される。
移動をスタートすると、主制御部3がフィルタ周期演算
部9及び距離指令フィルタ部8に距離指令を出力する。
フィルタ周期演算部9は距離指令、指令速度、振動周期
からフィルタ周期を演算し、距離指令フィルタ部8に出
力する。距離指令フィルタ部8では、入力された距離指
令とフィルタ周期からフィルタ処理を行い、フィルタ処
理出力の移動指令を位置制御部5に出力する。位置制御
部5は移動指令から位置指令を作成して位置制御を行
い、モータ電流をモータ部6に出力する。モータ部6は
モータ電流により所定の位置に移動する。
置で駆動した時のガルバノ操作波形を示す。図12に、
移動距離480μm、指令速度4.0mm/msで駆動
した時のガルバノ動作波形を示す。周期演算部9で演算
されたフィルタ周期は、240μsとなる。従来制御で
は、図25のように振動が発生していたが、振動周期の
整数倍(1倍)となるフィルタ周期で距離指令にフィル
タ処理を行っているため、モータ電流の振動は完全に抑
制できている。また図6の駆動より、移動時間が短縮さ
れている。図6では移動指令に対してフィルタ処理を行
っているが、図12では距離指令に対してフィルタ処理
を行っているので、移動指令の出力期間分だけ指令時間
が短くなり、移動時間を短縮できるからである。
行った場合のガルバノ動作波形を示す。指令速度は従来
と同じである。周期演算部9で演算されたフィルタ周期
は、480μsとなる。従来制御では、図26のように
振動が発生していたが、振動周期の整数倍(2倍)とな
るフィルタ周期で距離指令にフィルタ処理を行っている
ため、モータ電流の振動は完全に抑制できている。また
図8より、移動時間が短縮されている。
行った場合のガルバノ動作波形を示す。周期演算部9で
演算されたフィルタ周期は、720μsとなる。指令速
度は従来と同じである。振動周期の整数倍(3倍)とな
るフィルタ周期で目標位置指令にフィルタ処理を行って
いるため、モータ電流の振動は完全に抑制できる。
演算し、演算したフィルタ周期で距離指令をフィルタ処
理して移動指令を作成することにより、従来の移動指令
作成を省き、モータ振動を抑制することができる。フィ
ルタ周期を固有振動の振動周期の整数倍となるようにす
れば、完全に振動を抑制できる。フィルタ処理としては
平均分割フィルタを採用することにより、容易にフィル
タ処理が実現できる。また、フィルタ出力の移動指令が
指令速度以下となるようなフィルタ周期を演算すれば、
指令速度の調整基準にある所定のガルバノ動作性能を保
証することができる。更に、距離指令からフィルタ周期
を演算するため、距離指令に対するフィルタ周期を予め
演算して記憶しておくようなデータ記憶用のメモリが不
要となる。
バノ装置の構成図である。図15のプログラム入力部
1、パラメータ入力部2、主制御部3、位置制御部5、
モータ部6、距離指令フィルタ部8は図10と同じ構成
である。フィルタ周期記憶部10は、距離指令に対する
フィルタ周期が主制御部3から入力される。また主制御
部3から距離指令が入力されると、フィルタ周期を検索
し、検索したフィルタ周期を距離指令フィルタ部8に出
力する。
明する。フィルタ周期記憶10では、距離指令に対する
フィルタ周期を予めテーブルデータ形式で記憶してお
く。距離指令が入力されると、該当するフィルタ周期を
検索し、距離指令フィルタ部8に出力する。距離指令フ
ィルタ部8のフィルタ出力が指令速度以下となるような
フィルタ周期を記憶する。
の概要を図16に示す。 指令速度を4.0mm/s、
モータ部6の固有振動の振動周期を240μs、移動距
離の最大値を50.000mmとした時のデータを示し
ている。フィルタ周期は、本発明の第2の実施の形態の
ガルバノ装置で示したフィルタ周期演算部9のフィルタ
周期演算方法を用いて演算したものである。テーブルデ
ータでは距離指令を区間分けし、対応するフィルタ周期
を格納している。例えば、距離指令を2.500mmと
すると、テーブルデータ内の距離指令1.921mmか
ら2.880mmの欄にあるフィルタ周期0.720m
sが出力される。
る。予め主制御部3にはプログラム入力部1、パラメー
タ入力部2からプログラム、動作パラメータが入力さ
れ、それぞれの解析を行っている。フィルタ周期記憶部
10には距離指令に対するフィルタ周期が入力される。
移動をスタートすると、主制御部3がフィルタ周期記憶
部10及び距離指令フィルタ部8に距離指令を出力す
る。フィルタ周期記憶部10は距離指令から該当するフ
ィルタ周期を検索し、検索したフィルタ周期を距離指令
フィルタ部8に出力する。距離指令フィルタ部8では、
入力された距離指令とフィルタ周期からフィルタ処理を
行い、フィルタ処理の出力を位置制御部5に出力する。
位置制御部5は移動指令から位置指令を作成して位置制
御を行い、モータ電流をモータ部6に出力する。モータ
部6はモータ電流により所定の位置に移動する。
作波形は、本発明の第2の実施の形態のガルバノ装置で
示した図12、図13及び図14と同様になり、同様の
効果が得られる。
期を予め記憶し、距離指令に対するフィルタ周期を検索
し、検索したフィルタ周期で距離指令をフィルタ処理し
て移動指令を作成することにより、従来の移動指令作成
を省き、モータ振動を抑制することができる。フィルタ
周期を固有振動の振動周期の整数倍となるようにすれ
ば、効果的な振動抑制が行える。フィルタ処理としては
平均分割フィルタを採用することにより、容易にフィル
タ処理が実現できる。また、フィルタ出力の移動指令が
指令速度以下となるようなフィルタ周期を演算すれば、
指令速度の調整基準にある所定のガルバノ動作性能を保
証することができる。更に、距離指令に対するフィルタ
周期を予め演算して記憶しておくので、演算時間が必要
なく、処理が高速化できる。
バノ装置の構成図である。図17のプログラム入力部
1、パラメータ入力部2、主制御部3、移動指令作成部
4、位置制御部5、モータ部6は図1と同じ構成であ
る。補正指令速度演算部11には、距離指令に対する補
正指令速度を演算するためのパラメータが主制御部3か
ら入力される。また主制御部3から距離指令が入力され
ると、補正指令速度を演算し、補正指令速度を移動指令
作成部4に出力する。
明する。従来制御で発生した固有振動の抑制方法とし
て、本発明の実施の形態の2で示したように、距離指令
に対してフィルタ周期を固有振動の振動周期の整数倍と
なるようにすれば、確実に固有振動を抑制することがで
きる。そこで移動指令の出力期間が固有振動の振動周期
の整数倍となるような指令速度で移動指令を作成し、位
置制御を行えば、固有振動を確実に抑制することができ
る。また、指令速度以下となるように補正指令速度を演
算すれば、指令速度の調整基準にある所定のガルバノ動
作性能を保証することができる。
正指令速度は、固有振動の振動周期、指令速度、距離指
令から、指令速度以下となるような補正指令速度を演算
する。
をVc(単位:mm/s)、モータ部6の固有振動振動
周期をTv(単位:s)、固有振動の整数倍をカウント
する倍数カウント係数をKfとする。
周期とした場合の補正指令速度Vhを算出する。
となるVhを求める。
力する。
明する。補正指令速度演算部11の補正指令速度の演算
のフローチャートを図18に示す。演算をスタートする
と、ステップ1では、主制御部3からパラメータとし
て、モータ部6の固有振動の振動周期Tvと、指令速度
Vcが入力される。ステップ2では、主制御部3から指
令距離Lcが入力される。ステップ3では、倍数カウン
ト変数Kfを初期化する。ステップ4では、倍数カウン
ト変数をカウントする。ステップ5では、補正指令速度
Vhを式(3)で演算する。ステップ6では、求めたV
hとVcを比較し、VhがVc以下の場合、ステップ7
に進む。VhがVcより大きい場合、ステップ4に戻
る。ステップ7では、求めた補正指令速度を移動指令作
成部4に出力し、終了となる。
る。予め主制御部3にはプログラム入力部1、パラメー
タ入力部2からプログラム、動作パラメータが入力さ
れ、それぞれの解析を行っている。補正指令速度演算部
11には固有振動の振動周期及び指令速度が入力され
る。移動をスタートすると、主制御部3が補正指令速度
演算部11及び移動指令作成部4に距離指令を出力す
る。補正指令速度演算部11は距離指令、指令速度、振
動周期から補正指令速度を演算し、移動指令作成部4に
出力する。移動指令作成部4では、入力された距離指令
と補正指令速度から移動指令を作成し、移動指令を位置
制御部5に出力する。位置制御部5は移動指令から位置
指令を作成して位置制御を行い、モータ電流をモータ部
6に出力する。モータ部6はモータ電流により所定の位
置に移動する。
した時のガルバノ操作波形を示す。図19に、移動距離
480μm、指令速度4.0mm/msで駆動した時の
ガルバノ動作波形を示す。補正指令速度により、2.0
mm/msとなる。従来制御では、図25のように振動
が発生していたが、振動周期の整数倍(1倍)となる補
正指令速度で移動指令の作成を行っているため、モータ
電流の振動は抑制できる。また図6より、移動時間が短
縮されている。図6では移動指令に対してフィルタ処理
を行っているが、図12ではフィルタ処理がないため、
フィルタ周期分だけ指令時間が短くなり、移動時間を短
縮できるからである。
度4.0mm/msで駆動した時のガルバノ動作波形を
示す。補正指令速度により、3.0mm/msとなる。
従来制御では、図26のように振動が発生していたが、
振動周期の整数倍(2倍)となるフィルタ周期で目標位
置指令にフィルタ処理を行っているため、モータ電流の
発振は抑えられている。また図8より、移動時間が短縮
されている。
演算し、演算した補正指令速度で移動指令の作成を行う
ことにより、従来のフィルタ処理を省き、モータ振動を
抑制することができる。移動指令の出力期間が固有振動
周期の整数倍となるような補正指令速度を演算すれば、
発生する固有振動を確実に抑制することができる。指令
速度以下となるように補正指令速度を演算すれば、指令
速度の調整基準にある所定のガルバノ動作性能を保証す
ることができる。更に、距離指令から補正指令速度を演
算するため、距離指令に対する補正指令速度を予め演算
して記憶しておくようなデータ記憶用のメモリが不要と
なる。
バノ装置の構成図である。図21のプログラム入力部
1、パラメータ入力部2、主制御部3、移動指令作成部
4、位置制御部5、モータ部6は図17と同じ構成であ
る。補正指令速度記憶部12は、距離指令に対する補正
指令速度などのパラメータが主制御部3から入力され
る。また主制御部3から距離指令が入力されると、補正
指令速度を検索し、補正指令速度を移動指令作成部4に
出力する。
明する。補正指令速度記憶部12では、距離指令に対す
る補正指令速度を予めテーブルデータ形式で記憶し、距
離指令が入力されると、該当する補正指令速度を検索
し、距離指令フィルタ部8に出力する。指令速度以下と
なるような補正指令速度を記憶する。
の概要を図22に示す。指令速度を4.0mm/s、モ
ータ部6の固有振動振動周期を240μs、移動距離の
最大値を50.000mmとした時のデータを示してい
る。補正指令速度は本発明の第4の実施の形態のガルバ
ノ装置で示した補正指令速度演算部11の補正指令速度
演算方法を用いて演算したものである。テーブルデータ
では距離指令と補正指令速度の特性から、距離指令を補
正速度指令が補間できる区間に分け、その区間の両端の
距離指令に対応する補正指令速度を格納している。中間
のデータは、両端のデータから補間して求める。例え
ば、距離指令を2.400mmとすると、移動距離1.
921mmと移動距離2.880mmに対応する補正指
令速度2.668mm/msと4.000mm/msか
ら補完して、補正指令速度は3.000mm/msが出
力される。
る。予め主制御部3にはプログラム入力部1、パラメー
タ入力部2からプログラム、動作パラメータが入力さ
れ、それぞれの解析を行っている。補正指令速度記憶部
12には距離指令に対する補正指令速度が入力される。
移動をスタートすると、主制御部3が補正指令速度記憶
部12及び移動指令作成部4に距離指令を出力する。補
正指令速度記憶部12は距離指令から補正指令速度を検
索及び補間計算を行い、補正指令速度を移動指令作成部
4に出力する。移動指令作成部4では、入力された距離
指令と補正指令速度から移動指令を作成し、移動指令を
位置制御部5に出力する。位置制御部5は移動指令から
位置指令を作成して位置制御を行い、モータ電流をモー
タ部6に出力する。モータ部6はモータ電流により所定
の位置に移動する。
作波形は、本発明の第4の実施の形態のガルバノ装置で
示した図19、図20と同様になり、同様の効果が得ら
れる。
度を予め記憶し、距離指令に対応した補正指令速度を検
索し、検索した補正指令速度で移動指令の作成を行うこ
とにより、モータ振動を抑制することができる。移動指
令の出力期間が固有振動周期の整数倍となるような補正
指令速度を記憶すれば、発生する固有振動を確実に抑制
することができる。指令速度以下となるような補正指令
速度を記憶すれば、指令速度の調整基準にある所定のガ
ルバノ動作性能を保証することができる。更に、距離指
令に対する補正指令速度を予め演算して記憶しておくの
で、演算時間が必要なく、処理が高速化できる。
たレーザ加工装置としては、図23に示した従来のもの
において、上述した各ガルバノ装置を従来のガルバノ装
置の代わりに用いるものであり、上記各作用効果を奏す
るものであり、さらに、このレーザ加工装置を用いた生
産設備においても同様の作用を奏すことができる。
に、本発明の第1のガルバノ装置は、移動指令にフィル
タ処理を行うため、容易にフィルタ処理を実現でき、モ
ータの振動を防止することができる。
動周期の整数倍のフィルタ周期で移動指令にフィルタ処
理を行うため、モータ振動を確実に抑制できる。
で移動指令にフィルタ処理を行うため、簡単な構造で容
易にフィルタ処理を実現できる。
に対するフィルタ周期を演算し、そのフィルタ周期で距
離指令にフィルタ処理を行うため、容易にフィルタ処理
を実現でき、モータの振動を防止することができる。更
に、距離指令からフィルタ周期を演算するため、フィル
タ周期記憶用のメモリが不要となる。
動周期の整数倍となるフィルタ周期を演算し、そのフィ
ルタ周期で距離指令にフィルタ処理を行うため、モータ
振動を確実に抑制できる。
で距離指令にフィルタ処理を行うため、簡単な構造で容
易にフィルタ処理を実現できる。
以下となるフィルタ周期を演算するため、所定のガルバ
ノ動作性能を保証できる。
に対するフィルタ周期を記憶し、そのフィルタ周期で距
離指令にフィルタ処理を行うため、容易にフィルタ処理
を実現でき、モータの振動を防止することができる。更
に予めフィルタ周期を記憶しておくので、演算時間が必
要なく、処理が高速化できる。
動周期の整数倍となるフィルタ周期を記憶し、そのフィ
ルタ周期で距離指令にフィルタ処理を行うため、モータ
振動を確実に抑制できる。
理で距離指令にフィルタ処理を行うため、簡単な構造で
容易にフィルタ処理を実現できる。
度以下となるフィルタ周期を記憶するため、所定のガル
バノ動作性能を保証できる。
令に対する補正指令速度を演算し、その補正指令速度で
移動指令を作成するため、モータの振動を防止すること
ができる。更に、距離指令から補正指令速度を演算する
ため、補正指令速度記憶用のメモリが不要となる。
振動周期の整数倍となる移動指令の出力期間が作成され
る補正指令速度を演算し、その補正指令速度で移動指令
を作成するため、モータ振動を確実に抑制できる。
度以下となる補正指令速度を演算するため、所定のガル
バノ動作性能を保証できる。
令に対する補正指令速度を記憶し、その補正指令速度で
移動指令を作成するため、モータの振動を防止すること
ができる。更に予め補正指令速度を記憶しておくので、
演算時間が必要なく、処理が高速化できる。
振動周期の整数倍となる移動指令の出力期間が作成され
る補正指令速度を記憶し、その補正指令速度で移動指令
を作成するため、モータ振動を確実に抑制できる。
度以下となる補正指令速度を記憶するため、所定のガル
バノ動作性能を保証できる。
バノ装置を用いることにより上述した各効果を奏する。
し、全体としての生産性、品質を向上できる。
成図
ガルバノ動作波形図
sのガルバノ動作波形図
sのガルバノ動作波形図
sのガルバノ動作波形図
msのガルバノ動作波形図
成図
msのガルバノ動作波形図
8msのガルバノ動作波形図
2msのガルバノ動作波形図
構成図
構成図
m/msのガルバノ動作波形図
mm/msのガルバノ動作波形図
構成図
のガルバノ動作波形図
た時のガルバノ動作波形図
Claims (19)
- 【請求項1】 光の位置決めを行う位置決め部と、位置
決め部の距離指令を作成する距離指令作成部と、距離指
令作成部の距離指令と指令速度から移動指令を作成する
移動指令作成部と、移動指令にフィルタ処理を行う移動
指令フィルタ部と、移動指令フィルタ部の出力から位置
決め部の位置制御を行う位置制御部を有するガルバノ装
置。 - 【請求項2】 位置決め部の位置制御を行った場合に発
生する固有振動の振動周期の整数倍のフィルタ周期でフ
ィルタ処理を行う移動指令フィルタ部を有する請求項1
記載のガルバノ装置。 - 【請求項3】 平均処理でフィルタ処理を行う移動指令
フィルタ部を有する請求項1記載のガルバノ装置。 - 【請求項4】 光の位置決めを行う位置決め部と、位置
決め部の距離指令を作成する距離指令作成部と、距離指
令にフィルタ処理を行う距離指令フィルタ部と、距離指
令から距離指令フィルタ部のフィルタ周期を演算する周
期演算部と、距離指令フィルタ部の出力から位置決め部
の位置制御を行う位置制御部を有するガルバノ装置。 - 【請求項5】 位置決め部の位置制御を行った場合に発
生する固有振動の振動周期の整数倍となるフィルタ周期
を演算する周期演算部を有する請求項4記載のガルバノ
装置。 - 【請求項6】 平均処理でフィルタ処理を行う距離指令
フィルタ部を有する請求項4記載のガルバノ装置。 - 【請求項7】 指令速度以下となるフィルタ周期を演算
する周期演算部を有する請求項4記載のガルバノ装置。 - 【請求項8】 光の位置決めを行う位置決め部と、位置
決め部の距離指令を作成する距離指令作成部と、距離指
令にフィルタ処理を行う距離指令フィルタ部と、距離指
令に対する距離指令フィルタ部のフィルタ周期を記憶す
る周期記憶部と、距離指令フィルタ部の出力から位置決
め部の位置制御を行う位置制御部を有するガルバノ装
置。 - 【請求項9】 位置決め部の位置制御を行った場合に発
生する固有振動の振動周期の整数倍となるフィルタ周期
を記憶する周期記憶部を有する請求項8記載のガルバノ
装置。 - 【請求項10】 平均処理でフィルタ処理を行う距離指
令フィルタ部を有する請求項8記載のガルバノ装置。 - 【請求項11】 指令速度以下となるフィルタ周期を記
憶する周期記憶部を有する請求項8記載のガルバノ装
置。 - 【請求項12】 光の位置決めを行う位置決め部と、位
置決め部の距離指令を作成する距離指令作成部と、距離
指令作成部の距離指令から補正指令速度を演算する補正
指令速度演算部と、距離指令作成部の距離指令と補正指
令速度演算部が演算した補正指令速度から移動指令を作
成する移動指令作成部と、移動指令作成部の移動指令か
ら位置決め部の位置制御を行う位置制御部を有するガル
バノ装置。 - 【請求項13】 位置決め部の位置制御を行った場合に
発生する固有振動の振動周期の整数倍となる移動指令の
出力期間が作成される補正指令速度を演算する補正指令
速度演算部を有する請求項12記載のガルバノ装置。 - 【請求項14】 指令速度以下となる補正指令速度を演
算する補正指令速度演算部を有する請求項12記載のガ
ルバノ装置。 - 【請求項15】 光の位置決めを行う位置決め部と、位
置決め部の距離指令を作成する距離指令作成部と、距離
指令作成部の距離指令に対する補正指令速度を記憶する
補正指令速度記憶部と、距離指令作成部の距離指令と補
正指令速度記憶部が記憶した補正指令速度から移動指令
を作成する移動指令作成部と、移動指令作成部の移動指
令から位置決め部の位置制御を行う位置制御部を有する
ガルバノ装置。 - 【請求項16】 位置決め部の位置制御を行った場合に
発生する固有振動の振動周期の整数倍となる移動指令の
出力期間が作成される補正指令速度を記憶する補正指令
速度記憶部を有する請求項15記載のガルバノ装置。 - 【請求項17】 指令速度以下となる補正指令速度を記
憶する補正指令速度記憶部を有する請求項15記載のガ
ルバノ装置。 - 【請求項18】 レーザ発振器から出力されるレーザ光
を被加工物に導く光路中に請求項1から17のいずれか
に記載のガルバノ装置を配置したレーザ加工装置。 - 【請求項19】 請求項18に記載のレーザ加工装置を
配置した生産設備。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001234529A JP2003043404A (ja) | 2001-08-02 | 2001-08-02 | ガルバノ装置とこれを用いたレーザ加工装置および生産設備 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001234529A JP2003043404A (ja) | 2001-08-02 | 2001-08-02 | ガルバノ装置とこれを用いたレーザ加工装置および生産設備 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003043404A true JP2003043404A (ja) | 2003-02-13 |
Family
ID=19066125
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001234529A Pending JP2003043404A (ja) | 2001-08-02 | 2001-08-02 | ガルバノ装置とこれを用いたレーザ加工装置および生産設備 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003043404A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003208230A (ja) * | 2002-01-15 | 2003-07-25 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 機械の制振制御方法,装置および制振制御型機械 |
US8872064B2 (en) | 2006-03-30 | 2014-10-28 | Via Mechanics, Ltd. | Positioning control system for moving element and laser drilling machine |
DE102018001963A1 (de) | 2017-03-23 | 2018-09-27 | Fanuc Corporation | Galvanometer-scanner |
US10953490B2 (en) | 2017-11-20 | 2021-03-23 | Fanuc Corporation | Laser machining apparatus |
-
2001
- 2001-08-02 JP JP2001234529A patent/JP2003043404A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE102007007791B4 (de) | 2006-03-30 | 2019-03-14 | National University Corporation Nagoya Institute Of Technology | Positionierungssteuersystem für ein bewegliches Element und Laserbohrmaschine |
DE102018001963A1 (de) | 2017-03-23 | 2018-09-27 | Fanuc Corporation | Galvanometer-scanner |
US10414001B2 (en) | 2017-03-23 | 2019-09-17 | Fanuc Corporation | Galvanometer scanner |
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