JP2013198384A - モータ制御装置 - Google Patents
モータ制御装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013198384A JP2013198384A JP2012066551A JP2012066551A JP2013198384A JP 2013198384 A JP2013198384 A JP 2013198384A JP 2012066551 A JP2012066551 A JP 2012066551A JP 2012066551 A JP2012066551 A JP 2012066551A JP 2013198384 A JP2013198384 A JP 2013198384A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- position signal
- unit
- switching
- input
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P25/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details
- H02P25/02—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details characterised by the kind of motor
- H02P25/06—Linear motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P29/00—Arrangements for regulating or controlling electric motors, appropriate for both AC and DC motors
- H02P29/10—Arrangements for regulating or controlling electric motors, appropriate for both AC and DC motors for preventing overspeed or under speed
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P23/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by a control method other than vector control
- H02P23/18—Controlling the angular speed together with angular position or phase
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Feedback Control In General (AREA)
- Safety Devices In Control Systems (AREA)
- Control Of Electric Motors In General (AREA)
Abstract
【解決手段】モータ制御装置2は、位置指令Prと位置フィードバック信号との位置偏差に基づき速度指令Vrを生成する位置制御部10と、位置制御部10に入力される位置フィードバック信号を、レーザ測長器6で検出された第1位置信号Pfb1から位置センサ8で検出された第2位置信号Pfb2に切り替える切替部14と、切替部14により切り替えられた第2位置信号Pfb2の第1位置信号Pfb1に対する位相の遅れを補償する位相補償部15と、を有する。
【選択図】図2
Description
図1に示すように、モータ制御システム1は、モータ制御装置2と、制御対象9と、レーザ測長器6(第1位置検出器)と、位置センサ8(第2位置検出器)と、を有する。制御対象9は、ワークステージ3と、このワークステージ3を前後方向(図1中上下方向)に移動可能に支持するリニアガイド4と、を有する。レーザ測長器6は、ワークステージ3に設置された反射鏡5と対向配置されている。位置センサ8は、リニアガイド4の例えば幅方向一方側の側部に設けられたリニアスケール7と所定間隙を開けて対向配置されている。
モータ制御装置2は、図2に示すように、位置制御部10と、速度制御部11と、微分器12と、判定部13と、切替部14と、位相補償部15と、を有する。位置制御部10は、第1位置信号Pfb1に基づく位置積分制御を行う位置積分制御部16と、第2位置信号Pfb2に基づく位置比例制御を行う位置比例制御部17と、を有し、位置制御部10に入力される位置指令Prと位置フィードバック信号(第1位置信号Pfb1及び第2位置信号Pfb2)との位置偏差に基づき、速度指令Vrを生成する。速度制御部11は、位置制御部10から出力された速度指令Vrと第2位置信号Pfb2が微分器12で微分されて生成された速度フィードバック信号Vfbとの速度偏差に基づき、トルク指令Trを生成する。
モータ制御装置2の詳細構成の一例を、図3に示す。図3において、20,22,24,26,32は減算器、21は位置積分器、23は位置ループゲイン、25は速度ループゲイン、29は機械のばね定数、27,28はリニアモータ、30,31は負荷である。なお、図3における位置制御部10、位置積分制御部16、位置比例制御部17、速度制御部11、及び制御対象9は、図2に対応している。
位相補償部15の詳細構成の一例を、図4に示す。図4において、位相補償部15は、位置制御系モデル33と位相遅れ要素モデル34を有しており、いわゆる位相補償型の位置オブザーバとして構成される。図4において、35は位置積分ゲイン、36,39,40,46,47,51は減算器、37,41,48は積分器、38,42は位置ループゲイン、43,44,50はオブザーバ安定化ゲイン、45,49は位相遅れゲインである。
本実施形態のモータ制御装置2においては、切替部14が、位置制御部10の位置積分制御部16に入力される位置フィードバック信号を、レーザ測長器6で検出された第1位置信号Pfb1から位置センサ8で検出された第2位置信号Pfb2に切り替える。このように位置制御に用いられる位置検出器の切り替えを行う場合、検出器相互における検出対象の相違や切り替えに要するタイムラグ等による位置信号の誤差や、制御周期の遅れや検出器間の通信時間の遅れ等による位置信号の位相遅れにより、ショック(モータ速度の急峻な変動)が発生するおそれがある。
なお、本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、その趣旨及び技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。以下、そのような変形例を順を追って説明する。
上記実施形態では、レーザ測長器6で検出される第1位置信号Pfb1から位置センサ8で検出される第2位置信号Pfb2に切り替えた場合に、ワークステージ3を停止させて加工を停止することを前提として説明した。しかし、そのままワークの加工等を継続したいというニーズも考えられる。上記実施形態においてワークの加工を継続すると、一般にレーザ測長器6の方が位置センサ8よりも検出精度が高いことから、位置信号の切り替え後に加工精度が低下し、ワークが不良品となるおそれがある。そこで、相関テーブルによる補正部を設けて、切替後の位置信号を切替前の位置信号となるように補正してもよい。本変形例の一例について図6を用いて説明する。
以上では、位置検出器をレーザ測長器6から位置センサ8(リニアスケール7)に切り替える場合を一例として説明したが、位置検出器の切り替えはその他にも色々な態様が考えられる。例えば、上記とは反対に位置センサ8からレーザ測長器6に切り替えてもよい。この場合、判定部13が第2位置信号Pfb2の正常、異常を判定するように構成してもよい。また、位置検出器としてリニアエンコーダや外部エンコーダ等が設けられる場合には、レーザ測長器6からリニアエンコーダに切り替えたり、外部エンコーダから位置センサ8(リニアスケール7)に切り替える等、種々の切り替え態様が考えられる。このような場合でも、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。
2 モータ制御装置
6 レーザ測長器(第1位置検出器)
8 位置センサ(第2位置検出器)
10 位置制御部
11 速度制御部
13 判定部
14 切替部
15 位相補償部
16 位置積分制御部
17 位置比例制御部
33 位置制御系モデル
34 位相遅れ要素モデル
52 補正部
43 記憶部
Claims (6)
- 位置指令と位置フィードバック信号との位置偏差に基づき速度指令を生成する位置制御部と、
前記位置制御部に入力される前記位置フィードバック信号を、第1位置検出器で検出された第1位置信号及び第2位置検出器で検出された第2位置信号の一方から他方に切り替える切替部と、
前記切替部により切り替えられた前記第1位置信号又は前記第2位置信号の位相の遅れを補償する位相補償部と、を有する
ことを特徴とするモータ制御装置。 - 前記位相補償部は、
前記位置偏差を入力し、出力が前記位置フィードバック信号となるように構成した位置制御系モデルと、
前記位置制御系モデルの出力を入力し、出力が前記第1位置信号又は前記第2位置信号と等しくなるように構成した位相遅れ要素モデルと、を有する
ことを特徴とする請求項1に記載のモータ制御装置。 - 前記第1位置信号と前記第2位置信号との相関テーブルが格納された記憶部と、
前記切替部により前記第1位置信号及び前記第2位置信号の一方から他方に切り替えられた場合に、前記相関テーブルに基づき、切替後の位置信号を切替前の位置信号となるように補正する補正部と、をさらに有する
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のモータ制御装置。 - 前記第1位置検出器からの第1位置信号又は前記第2位置検出器からの第2位置信号が前記位置制御部に正常に入力されているか否かを判定する判定部をさらに有し、
前記切替部は、
前記判定部により正常でないと判定された位置信号を他方の位置信号に切り替える
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のモータ制御装置。 - 前記判定部は、
前記第1位置検出器で検出された前記第1位置信号が前記位置制御部に正常に入力されているか否かを判定し、
前記切替部は、
前記判定部により前記第1位置信号が正常に入力されていないと判定された場合に、前記第1位置信号を前記第2位置検出器で検出された前記第2位置信号に切り替える
ことを特徴とする請求項4に記載のモータ制御装置。 - 前記位置制御部は、
前記第1位置信号に基づく位置積分制御を行う位置積分制御部と、
前記第2位置信号に基づく位置比例制御を行う位置比例制御部と、を有し、
前記切替部は、
前記位置積分制御部に入力される前記位置フィードバック信号を、前記第1位置信号から前記第2位置信号に切り替える
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のモータ制御装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012066551A JP5648863B2 (ja) | 2012-03-23 | 2012-03-23 | モータ制御装置 |
US13/773,640 US20130249465A1 (en) | 2012-03-23 | 2013-02-22 | Motor control apparatus |
BRBR102013004694-9A BR102013004694A2 (pt) | 2012-03-23 | 2013-02-27 | Unidade de controle do motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012066551A JP5648863B2 (ja) | 2012-03-23 | 2012-03-23 | モータ制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013198384A true JP2013198384A (ja) | 2013-09-30 |
JP5648863B2 JP5648863B2 (ja) | 2015-01-07 |
Family
ID=49211166
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012066551A Expired - Fee Related JP5648863B2 (ja) | 2012-03-23 | 2012-03-23 | モータ制御装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20130249465A1 (ja) |
JP (1) | JP5648863B2 (ja) |
BR (1) | BR102013004694A2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016101017A (ja) * | 2014-11-21 | 2016-05-30 | 株式会社安川電機 | モータ制御装置及びモータ制御方法 |
JP2021158387A (ja) * | 2016-11-09 | 2021-10-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 接合装置、接合システム、接合方法及びコンピュータ記憶媒体 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6482823B2 (ja) * | 2014-11-07 | 2019-03-13 | 株式会社堀場製作所 | 干渉計、干渉計を用いた分光光度計及び干渉計の制御プログラム |
JP6747050B2 (ja) * | 2016-05-13 | 2020-08-26 | 株式会社デンソー | 回転電機の制御装置 |
CN109787530A (zh) * | 2019-01-04 | 2019-05-21 | 深圳市微秒控制技术有限公司 | 一种直线电机物理精度补偿控制系统及方法 |
KR20230004600A (ko) * | 2020-04-24 | 2023-01-06 | 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 | 모터 구동 장치 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57151286A (en) * | 1981-03-13 | 1982-09-18 | Hitachi Ltd | Digital speed controller |
JP2002182705A (ja) * | 2000-12-14 | 2002-06-26 | Yaskawa Electric Corp | フィードバック制御装置 |
JP2003092894A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-03-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 位置決め制御方法および位置決め制御装置 |
JP2008299573A (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Yaskawa Electric Corp | ディジタル制御装置 |
JP2011165163A (ja) * | 2010-01-12 | 2011-08-25 | Yaskawa Electric Corp | 同期制御装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3695342B2 (ja) * | 2001-04-11 | 2005-09-14 | 株式会社日立製作所 | 電動機の制御装置 |
JP4043996B2 (ja) * | 2003-01-20 | 2008-02-06 | ファナック株式会社 | サーボモータ駆動制御装置 |
JP2004227163A (ja) * | 2003-01-21 | 2004-08-12 | Fanuc Ltd | サーボ制御装置 |
-
2012
- 2012-03-23 JP JP2012066551A patent/JP5648863B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-02-22 US US13/773,640 patent/US20130249465A1/en not_active Abandoned
- 2013-02-27 BR BRBR102013004694-9A patent/BR102013004694A2/pt not_active Application Discontinuation
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57151286A (en) * | 1981-03-13 | 1982-09-18 | Hitachi Ltd | Digital speed controller |
JP2002182705A (ja) * | 2000-12-14 | 2002-06-26 | Yaskawa Electric Corp | フィードバック制御装置 |
JP2003092894A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-03-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 位置決め制御方法および位置決め制御装置 |
JP2008299573A (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Yaskawa Electric Corp | ディジタル制御装置 |
JP2011165163A (ja) * | 2010-01-12 | 2011-08-25 | Yaskawa Electric Corp | 同期制御装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016101017A (ja) * | 2014-11-21 | 2016-05-30 | 株式会社安川電機 | モータ制御装置及びモータ制御方法 |
CN105629719A (zh) * | 2014-11-21 | 2016-06-01 | 株式会社安川电机 | 马达控制装置及马达控制方法 |
US10069445B2 (en) | 2014-11-21 | 2018-09-04 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Motor controller and method for controlling motor |
JP2021158387A (ja) * | 2016-11-09 | 2021-10-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 接合装置、接合システム、接合方法及びコンピュータ記憶媒体 |
JP7153773B2 (ja) | 2016-11-09 | 2022-10-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 接合装置、接合システム、接合方法及びコンピュータ記憶媒体 |
US11488929B2 (en) | 2016-11-09 | 2022-11-01 | Tokyo Electron Limited | Bonding apparatus, bonding system, bonding method, and recording medium |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130249465A1 (en) | 2013-09-26 |
JP5648863B2 (ja) | 2015-01-07 |
BR102013004694A2 (pt) | 2015-07-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101688360B1 (ko) | 서보 제어 장치 | |
JP5648863B2 (ja) | モータ制御装置 | |
JP6209176B2 (ja) | 位置制御装置 | |
JP2004213472A (ja) | 制御装置 | |
JP4879091B2 (ja) | 数値制御工作機械の制御方法及び数値制御工作機械 | |
WO2002039574A1 (en) | Servo controller and method | |
US10247301B2 (en) | Servo control system with position compensation function for driven member | |
JPWO2008041598A1 (ja) | サーボ制御装置 | |
US10101729B2 (en) | Motor control device, motor control method and computer readable recording medium | |
US20170293287A1 (en) | Servo control apparatus for driving plurality of motors | |
US20150323924A1 (en) | Servo control device | |
WO2011101897A1 (ja) | 並列駆動システム | |
JPWO2014167808A1 (ja) | モータ駆動装置 | |
US20160056736A1 (en) | Position control apparatus | |
JP2006215626A (ja) | 位置制御装置 | |
JP2008269349A (ja) | 誤差過大検出機能を有する制御装置 | |
US10663942B2 (en) | Position control apparatus | |
KR20140024809A (ko) | 모터 제어 장치 | |
JP2006190074A (ja) | 同期制御装置 | |
JP2018005729A (ja) | サーボ制御装置、サーボ制御方法、及びサーボ制御用プログラム | |
JP2005071034A (ja) | サーボ制御装置 | |
JP5241412B2 (ja) | 表面実装装置 | |
JP2005304155A5 (ja) | ||
JP2005304155A (ja) | モータ制御装置 | |
JP2007293796A (ja) | 移動体の位置決め制御装置及びレーザ加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20130708 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140108 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140401 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140519 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141016 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141029 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5648863 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |