JP2003255258A

JP2003255258A - ガルバノスキャナの制御装置、及び、その調整方法

Info

Publication number: JP2003255258A
Application number: JP2002057709A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Morita; 洋森田; Shiroteru Onishi; 城輝大西; Kenta Tanaka; 研太田中
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date: 2002-03-04
Filing date: 2002-03-04
Publication date: 2003-09-10
Anticipated expiration: 2022-03-04
Also published as: JP3920664B2

Abstract

(57)【要約】【課題】ガルバノスキャナのミラーの整定特定の変化
による影響を抑えて、レーザ加工における加工精度を向
上させる。【解決手段】デジタル計算器３０とアナログ回路４２
の組合せにより指令電圧パターンを生成し、条件によっ
てデジタル計算器３０の処理を変更することにより指令
電圧パターンを変更する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ミラーを駆動して
レーザ照射位置を走査するガルバノスキャナの制御装
置、及び、その調整方法に係り、特に、レーザ光線を照
射してプリント配線基板等に複数の穴開け加工を行なう
レーザドリルマシンに用いるのに好適な、ガルバノスキ
ャナの制御装置、これを用いたガルバノスキャナ、及
び、その調整方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】レーザにより加工を行なう際、ガルバノ
スキャナによって照射位置を移動させる方法を採ると、
高速な加工が可能となる。

【０００３】図１は、一般的なレーザドリルマシンの構
成例である。本構成例は、図示しないレーザ発振器から
照射される、例えばパルス状のレーザ光線１１を、所定
の方向（図１では紙面に垂直な方向）に走査するための
第１ミラー１５を含む第１ガルバノスキャナ１４と、該
第１ガルバノスキャナ１４によって紙面に垂直な方向に
走査されたレーザ光線１２を、前記第１ガルバノスキャ
ナ１４による走査方向と垂直な方向（図１では紙面と平
行な方向）に走査するための第２ミラー１７を含む第２
ガルバノスキャナ１６と、前記第１及び第２ガルバノス
キャナ１４、１６により２方向に走査されたレーザ光線
１３を、加工対象物１０の表面に対して垂直な方向に偏
向するためのｆ−θレンズ１８とを備えている。

【０００４】このガルバノスキャナにおいて、図示しな
いレーザ発振器から出力されたレーザ光線１１は、第１
ミラー１５、第２ミラー１７で反射された後、ｆ−θレ
ンズ１８を通過して加工対象物１０に集光される。第１
ミラー１５、第２ミラー１７は、異なる方向に回転させ
ることが可能で、これらのミラーの回転角度（単に角度
又はミラー角度と称する）を変えることにより、レーザ
光線を加工対象物１０の任意の位置に照射して加工を行
なうことができる。

【０００５】基板の穴開け等では高いスループットが要
求されるため、加工対象物１０を移動させる方法に比べ
て、レーザ光線を移動させることにより、高速に処理を
行なうことが可能な、ガルバノスキャナを用いることが
多い。

【０００６】一方で、ガルバノスキャナのミラー角度の
僅かな変化が加工面に大きく投影されるため、精度良く
加工を行なうためには、ミラー角度に高い位置決め精度
が要求される。

【０００７】ガルバノスキャナの制御装置は、レーザ照
射の際に、レーザ照射位置が目標精度に収まる範囲とな
るよう、ミラー角度が整定するように調整される。しか
し、ガルバノスキャナは、動作角度、周囲温度、経年変
化等によって、駆動特性が変化し、ミラーの整定特性に
影響を与えるため、高い加工精度を維持することは難し
い。

【０００８】近年、高速化、高精度化の要求に伴い、ガ
ルバノスキャナを高速に駆動させる上、許容される整定
範囲が小さくなってきている。このため、スループット
を低下させずにガルバノスキャナの駆動特性の変化に対
応する必要が生じてきた。

【０００９】従来、加工精度の悪化に対する対策とし
て、ガルバノスキャナの整定の遅れを待ってから加工を
行なう方法や、ガルバノスキャナの駆動速度を遅くして
整定特性の変化が起きないようにする対策が採られてい
たが、いずれも加工精度を改善するとスループットが低
くなってしまっていた。

【００１０】これに対して、出願人は既に特願２００１
−２７５３２８で、デジタル計算器とアナログ回路を組
合わせ、ガルバノスキャナの制御装置の指令値生成をデ
ジタル計算器で行ない、指令パターンを細かく変更させ
て整定特性の微調整に利用すると共に、アナログのフィ
ードバック制御回路を用いて高速でフィードバック制御
を行なう方法を提案している。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うにデジタル計算器で指令値生成を行い、アナログ回路
でフィードバック制御を行う場合には、次のような動作
上の問題点があった。

【００１２】（１）ミラー角度の現在位置がデジタル計
算器に入力されていないため、電源投入時やアナログ回
路がエラーで停止した場合、ミラー角度の現在位置が不
定になり、適切な指令パターンを生成できない。

【００１３】（２）デジタル計算器がエラーで停止した
場合、（１）と同じ理由で、指令パターンが不連続にな
る。

【００１４】（３）（１）、（２）の結果、例えばミラ
ーが危険速度で回転したり、駆動電流が許容値を上回っ
てしまって、ガルバノスキャナを破損する恐れがある。

【００１５】（４）（３）を防止するため、例えば駆動
電流が過大となったときにミラーの駆動をエラー停止す
るような安全機能を設けると、（１）又は（２）の状態
に戻り、連続的にエラーを発生して、正常復帰できなく
なる。

【００１６】又、次のような調整上の問題点もあった。

【００１７】（５）制御装置の調整を、アナログ回路と
デジタル計算器の両方で同時に行なう必要があり、調整
に双方の知識や技術が要求される。

【００１８】一方、特許第２６９２４０９号では、デジ
タル計算器を用いることなく、指令値生成をアナログ回
路のスルーレートリミッタ回路を利用して行なう方法が
記載されており、この方法によれば、上記のデジタル計
算器とアナログ回路を組合わせた場合に発生する問題点
は生じないが、デジタル計算器を用いていないため、条
件によって制御パラメータを細かく変更して精度向上を
図るような処理はできなかった。

【００１９】本発明は、前記従来の問題点を解決するべ
くなされたもので、アナログのガルバノドライバとデジ
タル計算器による指令パターン生成を利用することによ
り、スループットの低下を抑えながら精度良く加工でき
るようにすることを課題とする。

【００２０】

【課題を解決するための手段】本発明は、ミラーを駆動
してレーザ照射位置を走査するガルバノスキャナの制御
装置において、デジタル計算器とアナログ回路の組合せ
により指令パターンを生成し、条件によってデジタル計
算器の処理を変更することにより指令電圧パターンを変
更するようにして、前記課題を解決したものである。

【００２１】又、前記指令パターンの変更によってミラ
ー動作の整定特性を改善するようにしたものである。

【００２２】又、前記デジタル計算器の処理の一部をア
ナログ回路の擬似逆関数としたものである。

【００２３】又、前記アナログ回路をスルーレートリミ
ッタ回路としたものである。

【００２４】又、前記デジタル計算器の処理の一部をス
ルーレートリミッタとしたものである。

【００２５】又、前記アナログ回路によるスルーレート
リミッタ回路の制限速度を、デジタル計算器によるスル
ーレートリミッタの制限速度より速くして、アナログ回
路でぎりぎりまで速めたものを、デジタル計算器で鈍ら
せるようにしたものである。

【００２６】本発明は、又、前記の制御装置を用いたガ
ルバノスキャナを提供するものである。

【００２７】本発明は、又、前記の制御装置を調整する
に際して、予め条件を変えてガルバノスキャナを動作さ
せ、ミラーの整定特性を観察することによって、それぞ
れの条件でのデジタル計算器の処理を決定するようにし
たものである。

【００２８】あるいは、前記の制御装置を調整するに際
して、レーザ照射を行なった結果の精度を測定して、デ
ジタル計算器の処理を決定するようにしたものである。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本発明の実
施形態を詳細に説明する。

【００３０】本実施形態は、図２に示す如く、図示され
ていない上位のシステムから入力されるミラー２０の目
標角度に応じて指令値を演算し、指令値の波形（指令パ
ターン）を生成するデジタル計算器３０と、該デジタル
計算器３０から出力される指令値をアナログの指令電圧
に変換するＤ／Ａ変換器４０と、該Ｄ／Ａ変換器４０か
ら入力されるアナログの指令に制限を加えるアナログの
スルーレートリミッタ回路４２と、該スルーレートリミ
ッタ回路４２から入力されるアナログの指令電圧、及
び、モータ２２によって駆動されるミラー２０の回転角
を検出するための角度センサ２４から入力されるミラー
の計測角度信号から、電流指令を出力するアナログのフ
ィードバック制御回路５０と、該フィードバック制御回
路５０から入力される電流指令に応じて駆動電流を作り
出し、モータ２２を駆動するパワーアンプ５２とを含ん
で構成されている。

【００３１】前記スルーレートリミッタ回路４２は、図
３に例示する如く、３つの抵抗Ｒ０とオペアンプＯＰ１
で構成される加算器４３と、２つの抵抗Ｒ１、Ｒ２とオ
ペアンプＯＰ２で構成される増幅器４４と、可変抵抗Ｖ
Ｒ１とコンデンサＣ１とオペアンプＯＰ３で構成される
積分器４５で構成されている。

【００３２】前記デジタル計算器３０におけるデジタル
処理の好ましい例の１つは、図４にブロック線図で示す
如く、減算器３１と、固定ゲイン（Ｋ１）３２と、リミ
ッタ３３と、可変ゲイン（Ｋ３）３４と、第１及び第２
の離散フィルタ３５、３６とを含んでいる。

【００３３】なお、各ブロックは、スルーレートリミッ
タ回路４２のパラメータを利用して、次の手順１のよう
に構成することが望ましい。ここで、デジタル計算機３
０の処理周期をＴとする。

【００３４】［手順１］（１）固定ゲインをＫ２＝（Ｒ２／Ｒ１）とする。

【００３５】（２）リミッタ３３の上下限を、増幅器４
４の出力可能電圧の上下限とする。

【００３６】（３）第１の離散フィルタ３５をＴ／（１
−ｚ^-1）とする。

【００３７】（４）Ｋ２＝ＶＲ１×Ｃ１として、第２の
離散フィルタ３６をＫ２／（Ｔ×Ｋ１）×｛（１−
ｚ^-1）＋１｝とする。

【００３８】（５）可変ゲインＫ３は、指令パターンの
調整に利用する。

【００３９】この手順１によれば、デジタル計算器３０
の内部に、図５に示す如く、デジタルスルーレートリミ
ッタ３０Ａと、実装されているアナログのスルーレート
リミッタ回路４２の擬似逆関数３０Ｂが構築される。デ
ジタル計算器３０の内部に構築された擬似逆関数３０Ｂ
は、実装されているアナログのスルーレートリミッタ回
路４２の処理を相殺するため、デジタル計算器３０の内
部に構築されたデジタルスルーレートリミッタ３０Ａの
出力が、最終的に指令電圧パターンとなる。このデジタ
ルスルーレートリミッタ３０Ａの設定は、デジタル計算
器３０の連続動作中も任意に変更できる。

【００４０】又、デジタル計算器３０での望ましい処理
の他の例を図６にブロック線図で示す。この構成例で
は、第２の離散フィルタ３６の代わりに、第２の固定ゲ
イン（Ｋ２／Ｋ１）３７と加算器３８が設けられてい
る。

【００４１】本構成例は、図４に示した構成例と全く同
じ働きを示すが、より簡略化した表現であり、実装上望
ましい。なお、各パラメータの導出方法は、図４と同じ
である。

【００４２】以下、図２を参照して、本実施形態の作用
を説明する。

【００４３】前記ミラー２０の目標角度は、図示されて
いない上位のシステムから、デジタル計算器３０に入力
される。該デジタル計算器３０では、目標角度に応じて
指令値のパターンを生成する。演算結果は、Ｄ／Ａ変換
器４０によりアナログの指令電圧となり、アナログのス
ルーレートリミッタ回路４２を通過して最終的な指令電
圧パターンとなる。

【００４４】一方、ミラー２０の角度は、角度センサ２
４により計測され、アナログのフィードバック制御回路
５０に入力される。

【００４５】フィードバック制御回路５０では、指令電
圧パターンと計測角度信号から電流指令を出力する演算
がなされる。例えば、指令電圧パターンから計測角度信
号を減算してＰＩＤ演算を行なうように構成する方法が
一般的である。

【００４６】該フィードバック制御回路５０から出力さ
れる電流指令に従った駆動電流がパワーアンプ５２で作
り出され、これにより、モータ２２が駆動され、ミラー
２０が回転する。

【００４７】次に、前記スルーレートリミッタ回路４２
の作用について、図３を参照して、詳しく説明する。

【００４８】該スルーレートリミッタ回路４２は、増幅
器４４の出力電圧が、オペアンプＯＰ２の出力可能電圧
の範囲内であれば、後出図８に示す如く、一次遅れフィ
ルタとして動作する。この場合、可変抵抗ＶＲ１を変更
すると、積分器４５での積分速度が変わり、一次遅れフ
ィルタの時定数が変わる。

【００４９】一方、増幅器４４の出力電圧がオペアンプ
ＯＰ２の出力可能電圧の範囲を超えた場合は、増幅器４
４の出力電圧が一定となる。この結果、積分器４５への
入力電圧が一定となるため、スルーレートリミッタの出
力の変化率が一定となる。この場合は、可変抵抗ＶＲ１
を変更すると出力の変化率が変わる。

【００５０】続いて、デジタル計算器３０の作用につい
て、詳しく説明する。

【００５１】このデジタル計算器３０では、ガルバノス
キャナの動作条件を判断して、予め条件に応じて設定さ
れた指令波形を出力する。指令波形の例を図７に示す。
従来の方式では、スルーレートリミッタ回路４２への入
力は、実線Ｂのような単純なステップ入力がなされてい
た。これに対して、動作条件によってミラー２０の整定
が乱れた場合には、デジタル計算器３０より出力する指
令波形を変更することにより、整定状態を改善すること
ができる。即ち、ガルバノスキャナのミラー２０の動作
が整定時にオーバーシュートを起こすような条件では、
一点鎖線Ａのように変化率の遅い指令波形を、逆に、ミ
ラー２０の動作が整定時にアンダーシュートを起こすよ
うな条件では、二点鎖線Ｃのように急激に大きな値を出
力するような指令波形を用いる。

【００５２】Ａ〜Ｃの波形を生成する望ましい方法は、
前記手順１によりデジタル計算器３０の処理を構成し、
可変ゲインＫ３により波形を調整することである。Ｋ３
の値と波形の傾向は、次のような関係がある。

【００５３】波形Ａ：Ｋ３＜１／（ＶＲ１×Ｃ１）波形Ｂ：Ｋ３＝１／（ＶＲ１×Ｃ１）波形Ｃ：Ｋ３＞１／（ＶＲ１×Ｃ１）

【００５４】図８は、可変抵抗ＶＲ１を変更した時のス
ルーレートリミッタ回路４２のステップ応答をシミュレ
ーションした結果である。これに対して、図９乃至図１
１は、スルーレートリミッタ回路４２の設定は変えず
に、デジタルスルーレートリミッタ３０Ａの設定を変更
した場合に生成される、デジタル計算器３０が出力する
指令パターンと、最終的にスルーレートリミッタ回路４
２を通過して生成される指令電圧パターンをシミュレー
ションした結果である。デジタル計算器３０の処理によ
り、スルーレートリミッタ回路４２の可変抵抗値を変更
した場合と同様の指令電圧パターンが生成される。

【００５５】図１１は、スルーレートリミッタ回路４２
より速い変化率にデジタルスルーレートリミッタ３０Ａ
を設定した場合で、十分に応答していない。このため、
スルーレートリミッタ回路４２は変化率を速く（可変抵
抗ＶＲ１を小さく）しておき、デジタル処理で鈍らせた
方がよい。

【００５６】上記の作用を実現するような、可変抵抗Ｖ
Ｒ１及び可変ゲインＫ３の望ましい設定方法の例を次の
手順２に示す。

【００５７】［手順２］（１）オシロスコープ等で、図１２に示す如く、目標角
度と角度センサ２４のエラー信号をモニタしながら、ガ
ルバノスキャナの制御装置の調整を行なう。望ましい調
整状態は、図１２に実線ａで示すように、オーバーシュ
ートもアンダーシュートもなく、レーザ照射時刻までに
整定範囲内に収まる調整である。デジタル計算器３０か
らの出力はステップ出力として、フィードバック制御回
路５０とスルーレートリミッタ回路４２を同時に適切に
調節する。

【００５８】（２）このときの動作条件を条件ａとし
て、望ましい整定状態を実現するＶＲ１をＶＲａとして
記録しておく。

【００５９】（３）前に動作角度や動作温度等の条件を
変更して整定が乱れた場合には、ＶＲ１のみの調整によ
り望ましい整定状態にする。一方、図１２に実線ｂで示
すように、オーバーシュートを起こした場合には、ＶＲ
１を大きくして動作速度を緩やかにするとよい。逆に、
図１２に実線ｃで示すようにアンダーシュートを起こし
た場合には、ＶＲ１を小さくして動作速度を速くすると
よい。

【００６０】（４）条件ｂで望ましい整定状態を実現す
るＶＲ１をＶＲｂ、条件ｃで望ましい整定状態を実現す
るＶＲ１をＶＲｃ…等として記録しておく。

【００６１】（５）全ての条件で事前調整を行なった
後、最終的にＶＲ１は、全てのＶＲ＊より小さく、且
つ、ミラーが危険速度で回転したり駆動電流が許容値を
上回ったりすることのないように設定して、スルーレー
トリミッタ回路４２の調整を終了する。

【００６２】（６）デジタル計算器３０の処理を前記手
順１に従って構成する。連続動作中はデジタル計算器３
０で、条件によって可変ゲインＫ３を以下のように算出
しながら処理を行なう。

【００６３】条件ａ：Ｋ３＝１／（ＶＲａ×Ｃ１）条件ｂ：Ｋ３＝１／（ＶＲｂ×Ｃ１）条件ｃ：Ｋ３＝１／（ＶＲｃ×Ｃ１）・・・

【００６４】又、可変抵抗ＶＲ１及び可変ゲインＫ３の
別の設定方法の例を次の手順３に示す。本例は、手順２
で示した方法に比べて簡易的であり、ガルバノスキャナ
を実装した後に経時変化等で精度が悪化した場合などに
用いるのに有効である。

【００６５】［手順３］（１）デジタル計算器３０からの出力はステップ出力と
して、フィードバック制御回路５０とスルーレートリミ
ッタ回路４２を同時に適切に調節する。

【００６６】（２）望ましい整定状態を実現するＶＲ１
をＶＲａとして記録しておく。

【００６７】（３）ＶＲ１は、全てのＶＲ＊より小さ
く、且つ、ミラー２０が危険速度で回転したり駆動電流
が許容値を上回ったりすることのないように設定する。

【００６８】（４）可変ゲインをＫ３＝１／（ＶＲａ×
Ｃ１）とする。

【００６９】（５）実装して加工を行なった結果、加工
精度が悪くなる条件があればＫ３を変更して精度良く加
工できるようにする。目標加工位置に対して行き過ぎた
箇所を加工している場合にはＫ３を大きくする。逆に、
目標加工位置に対して到達しない箇所を加工している場
合には、Ｋ３を小さくする。

【００７０】勿論、手順２と手順３を複合して利用する
ことも可能である。

【００７１】なお、前記実施形態においては、スルーレ
ートリミッタ回路４２が、加算器４３と増幅器４４と積
分器４５を用いて構成されていたが、アナログのスルー
レートリミッタ回路の構成はこれに限定されない。又、
スルーレートリミッタ回路の代わりに一次フィルタのみ
であってもよい。更に、前記デジタル計算器３０の構成
も、図４又は図６に示した構成に限定されない。

【００７２】なお、前記実施形態においては、本発明
が、レーザドリルマシンに適用されていたが、本発明の
適用対象はこれに限定されず、ガルバノスキャナを用い
るものであれば、例えばマーキングマシン等、他の機械
にも同様に適用できることは明らかである。

【００７３】

【発明の効果】本発明によれば、ガルバノスキャナのミ
ラーの整定特性の変化による影響を抑えることができ、
レーザ加工における加工精度を向上させることができ
る。

【００７４】この際、アナログ回路のスルーレートリミ
ッタ回路により、指令波形の最大変化率を制限できるの
で、ミラーが危険速度で回転したり、駆動電流が許容値
を上回ったりすることがない。

【００７５】更に、手順２に示した設定方法によれば、
アナログ回路とデジタル計算器のプログラムを交互に変
更しながら調整するような作業が発生せず、作業の分担
が可能になる。

【００７６】又、手順３に示した設定方法によれば、一
旦実装した後、精度の悪い条件が見つかった場合や、経
時変化により精度が悪化した場合に、容易に精度の改善
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の適用対象の一例であるレーザドリルマ
シンの要部構成を示す正面図

【図２】本発明に係るガルバノスキャナの制御装置の実
施形態の構成を示すブロック線図

【図３】前記実施形態で用いられているスルーレートリ
ミッタ回路の構成例を示す回路図

【図４】同じくデジタル計算器での処理の例を示すブロ
ック線図

【図５】同じくデジタル計算器での指令パターン生成処
理の概念を示すブロック図

【図６】前記デジタル計算器での処理の他の例を示すブ
ロック線図

【図７】前記デジタル計算器で生成される指令パターン
の例を示す線図

【図８】前記スルーレートリミッタ回路の出力のシミュ
レーション結果を示す線図

【図９】本発明による指令パターン生成結果の一例を示
す線図

【図１０】同じく他の例を示す線図

【図１１】同じく更に他の例を示す線図

【図１２】前記デジタル計算器の可変抵抗及び可変ゲイ
ンの望ましい設定方法を説明するためのエラー信号のモ
ニタ例を示す線図

【符号の説明】

１０…加工対象物１１、１２、１３…レーザ光線１４、１６…ガルバノスキャナ１５、１７、２０…ミラー２２…モータ２４…角度センサ３０…デジタル計算器３０Ａ…デジタルスルーレートリミッタ３０Ｂ…スルーレートリミッタ回路擬似逆関数３１…減算器３２…固定ゲイン（Ｋ１）３３…リミッタ３４…可変ゲイン（Ｋ３）３５、３６…離散フィルタ３８…加算器４０…Ｄ／Ａ変換器４２…スルーレートリミッタ回路（アナログ）４３…加算器４４…増幅器４５…積分器５０…フィードバック制御回路（アナログ）５２…パワーアンプ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者田中研太神奈川県平塚市久領堤１番15号住友重機械工業株式会社平塚事業所内Ｆターム(参考） 2H045 AB54 BA13 4E068 CA08 CB02 CD06 CD08

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ミラーを駆動してレーザ照射位置を走査す
るガルバノスキャナの制御装置において、デジタル計算器とアナログ回路の組合せにより指令パタ
ーンを生成し、条件によってデジタル計算器の処理を変更することによ
り指令パターンを変更することを特徴とするガルバノス
キャナの制御装置。
【請求項２】前記指令パターンの変更によってミラー動
作の整定特性を改善することを特徴とする請求項１に記
載のガルバノスキャナの制御装置。
【請求項３】前記デジタル計算器の処理の一部がアナロ
グ回路の擬似逆関数であることを特徴とする請求項１又
は２に記載のガルバノスキャナの制御装置。
【請求項４】前記アナログ回路がスルーレートリミッタ
回路であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか
に記載のガルバノスキャナの制御装置。
【請求項５】前記デジタル計算器の処理の一部がスルー
レートリミッタであることを特徴とする請求項４に記載
のガルバノスキャナの制御装置。
【請求項６】前記アナログ回路によるスルーレートリミ
ッタ回路の制限速度が、デジタル計算器によるスルーレ
ートリミッタの制限速度より、速いことを特徴とする請
求項５に記載のガルバノスキャナの制御装置。
【請求項７】請求項１乃至６のいずれかに記載の制御装
置を用いたガルバノスキャナ。
【請求項８】請求項１乃至６のいずれかに記載のガルバ
ノスキャナの制御装置を調整するに際して、予め条件を
変えてガルバノスキャナを動作させ、ミラーの整定特性
を観察することによって、それぞれの条件でのデジタル
計算器の処理を決定することを特徴とするガルバノスキ
ャナの制御装置の調整方法。
【請求項９】請求項１乃至６のいずれかに記載のガルバ
ノスキャナの制御装置を調整するに際して、レーザ照射を行なった結果の精度を測定して、デジタル
計算器の処理を決定することを特徴とするガルバノスキ
ャナの制御装置の調整方法。