JP5943627B2 - レーザ加工装置及びレーザ加工方法 - Google Patents
レーザ加工装置及びレーザ加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5943627B2 JP5943627B2 JP2012029053A JP2012029053A JP5943627B2 JP 5943627 B2 JP5943627 B2 JP 5943627B2 JP 2012029053 A JP2012029053 A JP 2012029053A JP 2012029053 A JP2012029053 A JP 2012029053A JP 5943627 B2 JP5943627 B2 JP 5943627B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- galvano
- movement
- galvano scanner
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 42
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 6
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 49
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 5
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Description
数に近づき、安定動作条件の限界領域に近づく。
レーザビームを出射するレーザ光源と、
加工対象物の表面において、前記レーザ光源から出射されたレーザビームの照射点を相互に異なる方向に移動させる一対のガルバノスキャナと、
前記ガルバノスキャナを制御するスキャナコントローラと
を有し、
前記スキャナコントローラは、
前記一対のガルバノスキャナの各々について、標準トルクを記憶または演算しており、
レーザビームの照射点を現在位置から目標位置まで移動させるとき、前記現在位置から前記目標位置までの、前記一対のガルバノスキャナの各々に対応する方向への移動距離を求め、
前記一対のガルバノスキャナの各々に対応する方向への移動距離のうち、短い方の移動距離と制限値とを比較し、短い方の移動距離が前記制限値を下回るとき、移動距離が相対的に長い方向に対応するガルバノスキャナに、当該ガルバノスキャナの前記標準トルクを発生させ、移動距離が相対的に短い方向に対応するガルバノスキャナには、当該ガルバノスキャナの前記標準トルクよりも小さなトルクを発生させるレーザ加工装置が提供される。
レーサビームを、加工対象物上において相互に異なる方向に移動させる一対のガルバノスキャナを経由して、前記加工対象物上に照射してレーザ加工を行う方法であって、
前記レーザビームの照射点の現在位置から目標位置まで移動させるときの、前記一対のガルバノスキャナの各々に対応する方向への移動距離を求める工程と、
前記一対のガルバノスキャナの各々に対応する方向への移動距離のうち、短い方の移動距離と制限値とを比較する工程と、
前記比較する工程で、短い方の移動距離が前記制限値を下回ると判定されたとき、移動距離が相対的に短い方向への移動の加速度を、移動距離が相対的に長い方向への移動の加速度より小さくして、レーザビームの照射点を移動させる工程と、
前記レーザビームの照射点が前記目標位置に達した後、前記レーザビームを出射する工程と
を有するレーザ加工方法が提供される。
されることにより、レーザ加工が行われる。実際には、スキャナコントローラ20にガルバノスキャナのミラーの目標角度が与えられるが、ミラーの角度とレーザビームの照射位置とは1対1に対応する。このため、ミラーの角加速度、角速度、及び角度は、レーザビームの照射点の加速度、速度、及び位置に対応する。以下の説明において、レーザビームの照射点の加速度、速度、及び位置は、ミラーの角加速度、角速度、及び角度と読み替えることができる。
点P3までのy方向の移動時間が、x方向の移動時間を超えないように設定される。従って、y用ガルバノスキャナ16の動作周波数を低くしても、加工点P2から加工点P3までの移動時間が伸びることはない。
ることができる。照射点が目標位置に到達していない場合には、目標位置に到達するまで、x用ガルバノスキャナ15及びy用ガルバノスキャナ16を動作させる。
11 ビーム整形光学系
13 ベンディングミラー
15 x用ガルバノスキャナ
15A ミラー
15B モータ
15C エンコーダ
16 y用ガルバノスキャナ
16A ミラー
16B モータ
16C エンコーダ
18 fθレンズ
19 xyステージ
20 スキャナコントローラ
30 上位装置
40 加工対象物
Claims (4)
- レーザビームを出射するレーザ光源と、
加工対象物の表面において、前記レーザ光源から出射されたレーザビームの照射点を相互に異なる方向に移動させる一対のガルバノスキャナと、
前記ガルバノスキャナを制御するスキャナコントローラと
を有し、
前記スキャナコントローラは、
前記一対のガルバノスキャナの各々について、標準トルクを記憶または演算しており、
レーザビームの照射点を現在位置から目標位置まで移動させるとき、前記現在位置から前記目標位置までの、前記一対のガルバノスキャナの各々に対応する方向への移動距離を求め、
前記一対のガルバノスキャナの各々に対応する方向への移動距離のうち、短い方の移動距離と制限値とを比較し、短い方の移動距離が前記制限値を下回るとき、移動距離が相対的に長い方向に対応するガルバノスキャナに、当該ガルバノスキャナの前記標準トルクを発生させ、移動距離が相対的に短い方向に対応するガルバノスキャナには、当該ガルバノスキャナの前記標準トルクよりも小さなトルクを発生させるレーザ加工装置。 - 前記スキャナコントローラは、前記レーザビームの照射点の、移動距離が相対的に短い方向への移動時間が、移動距離が相対的に長い方向への移動時間を超えない条件で、移動距離が相対的に短い方向に対応する前記ガルバノスキャナに発生させるトルクを決定する請求項1に記載のレーザ加工装置。
- レーサビームを、加工対象物上において相互に異なる方向に移動させる一対のガルバノスキャナを経由して、前記加工対象物上に照射してレーザ加工を行う方法であって、
前記レーザビームの照射点の現在位置から目標位置まで移動させるときの、前記一対のガルバノスキャナの各々に対応する方向への移動距離を求める工程と、
前記一対のガルバノスキャナの各々に対応する方向への移動距離のうち、短い方の移動距離と制限値とを比較する工程と、
前記比較する工程で、短い方の移動距離が前記制限値を下回ると判定されたとき、移動距離が相対的に短い方向への移動の加速度を、移動距離が相対的に長い方向への移動の加速度より小さくして、レーザビームの照射点を移動させる工程と、
前記レーザビームの照射点が前記目標位置に達した後、前記レーザビームを出射する工程と
を有するレーザ加工方法。 - 前記レーザビームの照射点の、移動距離が相対的に短い方向への移動時間が、移動距離が相対的に長い方向への移動時間を超えないように、前記レーザビームの照射点を移動させる請求項3に記載のレーザ加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012029053A JP5943627B2 (ja) | 2012-02-14 | 2012-02-14 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012029053A JP5943627B2 (ja) | 2012-02-14 | 2012-02-14 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013166151A JP2013166151A (ja) | 2013-08-29 |
JP5943627B2 true JP5943627B2 (ja) | 2016-07-05 |
Family
ID=49177026
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012029053A Expired - Fee Related JP5943627B2 (ja) | 2012-02-14 | 2012-02-14 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5943627B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6348149B2 (ja) | 2016-07-08 | 2018-06-27 | ファナック株式会社 | ロボットを用いてレーザ加工を行うレーザ加工ロボットシステム |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3425551B2 (ja) * | 2000-04-26 | 2003-07-14 | サンクス株式会社 | レーザマーキング装置 |
JP3407715B2 (ja) * | 2000-06-06 | 2003-05-19 | 松下電器産業株式会社 | レーザ加工装置 |
JP3513489B2 (ja) * | 2000-12-26 | 2004-03-31 | 住友重機械工業株式会社 | ガルバノスキャナの制御方法及び装置 |
JP2003084224A (ja) * | 2001-09-11 | 2003-03-19 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ガルバノスキャナの制御方法、装置、及び、ガルバノスキャナ |
JP2003329960A (ja) * | 2002-05-09 | 2003-11-19 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ガルバノスキャナの制御方法及び装置 |
JP4443208B2 (ja) * | 2003-12-12 | 2010-03-31 | 日立ビアメカニクス株式会社 | スキャナ装置 |
-
2012
- 2012-02-14 JP JP2012029053A patent/JP5943627B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013166151A (ja) | 2013-08-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6325646B1 (ja) | ロボットを用いてレーザ加工を行うレーザ加工ロボットシステム及びレーザ加工ロボットの制御方法 | |
JP6588498B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP4509174B2 (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工制御装置 | |
KR101511483B1 (ko) | 가공 제어 장치, 레이저 가공 장치 및 가공 제어 방법 | |
US20150021304A1 (en) | Laser machining method, laser machining apparatus, and laser machining program | |
JP2012245539A (ja) | レーザマーキング装置 | |
US9720225B2 (en) | Processing system with galvano scanner capable of high speed laser scanning | |
JP5943627B2 (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
JP5897233B1 (ja) | レーザ加工装置、校正データ生成方法およびプログラム | |
CN110722261B (zh) | 激光加工系统 | |
JP6434554B2 (ja) | ガルバノスキャナ | |
JP6649328B2 (ja) | レーザ加工装置、及び、レーザ加工方法 | |
JP2009082963A (ja) | レーザマーキング装置 | |
JP4277747B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2010097310A (ja) | 位置決め制御装置及びレーザ加工機 | |
JP2001300747A (ja) | レーザマーキング装置 | |
JP4670911B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
WO2021130962A1 (ja) | ビーム加工装置 | |
JP2003236692A (ja) | ガルバノスキャナの制御方法及び装置 | |
JP6392804B2 (ja) | ギャップセンサ補正と反射光プロファイル測定を同時に行うレーザ加工装置及びレーザ加工装置の相関テーブル生成方法 | |
JP6514004B2 (ja) | ギャップ制御機能を備えたレーザ加工機及びその制御装置 | |
JP4872978B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2005313204A (ja) | レーザ孔形成装置、レーザ加工装置及びレーザ孔形成方法 | |
JP2017156142A (ja) | 光走査装置 | |
JP5046289B2 (ja) | レーザマーキング装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141010 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151008 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151013 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151209 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160524 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160524 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5943627 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |