JP2004017101A - レーザ加工制御方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】移動量の大きさを限定したサーボ調整を行ない、目標角度への移動量Gが、調整した移動量の上限Eを超える場合には、その上限以下で位置決めしながら目標角度まで移動するよう指令値を操作する。
【選択図】 図3
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ミラーを駆動してレーザ照射位置を制御するレーザ加工制御方法及び装置に係り、特に、レーザ光線を照射してプリント配線基板等に複数の穴開け加工を行なうレーザドリルマシンに用いるの好適な、加工時間を短縮することが可能なレーザ加工制御方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
レーザにより加工を行なう際、ガルバノスキャナによって照射位置を移動させる方法を採ると、高速な加工が可能となる。
【0003】
図1は、一般的なレーザドリルマシンの構成例である。本構成例は、図示しないレーザ発振器から照射される、例えばパルス状のレーザ光線11を、所定の方向(図1では紙面に垂直なY方向)に走査するための第1のミラー(Y軸ミラーと称する)15が先端に取付けられた第1ガルバノスキャナ14と、該第1ガルバノスキャナ14によってy方向に走査されたレーザ光線12を、前記第1ガルバノスキャナ14による走査方向と垂直な方向(図1では紙面と平行なX方向)に走査するための第2のミラー17(X軸ミラーと称する)が先端に取付けられた第2ガルバノスキャナ16と、前記第1及び第2ガルバノスキャナ14、16により2方向に走査されたレーザ光線13を、加工対象物10の表面に対して垂直な方向に偏向するためのf−θレンズ18とを備えている。図1の構成では、Y軸ミラー15で走査されて広がったレーザ光線12を走査するX軸ミラー17の方が、単一のレーザ光線11を走査するY軸ミラー15より大きい。
【0004】
このガルバノスキャナにおいて、図示しないレーザ発振器から出力されたレーザ光線11は、Y軸ミラー15、X軸ミラー17で反射された後、f−θレンズ18を通過して加工対象物10に集光される。Y軸ミラー15、X軸ミラー17は、異なる方向に回転させることが可能で、これらのミラーの回転角度(単に角度又はミラー角度と称する)を変えることにより、レーザ光線を加工対象物10の任意の位置に照射して加工を行なうことができる。
【0005】
基板の穴開け等では高いスループットが要求されるため、加工対象物10を移動させる方法に比べて、レーザ光線を移動させることにより、高速に処理を行なうことが可能な、ガルバノスキャナを用いることが多い。
【0006】
このガルバノスキャナは、移動量によって位置決め時間が異なり、通常、移動量が大きくなるほど位置決めに時間がかかる。ここで言う位置決めとは、目標角度到達後、ミラーの振動がある範囲に収まってレーザ光線を照射できる状態を指す。移動量に依存せず高速・高精度に制御するためには、難しいサーボパラメータ調整を必要とし、実現が難しい。
【0007】
そこで従来は、
(1)ある程度のところで妥協点を設け、全移動量で比較的高速・高精度が得られるサーボ調整を行なう、
(2)基板穴開けに比較的高頻度な小さい角度の移動に合わせてサーボ調整を行なう、
等が行なわれていた。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前者の(1)の場合、妥協した調整となってしまうため、スループットが低下する。又、後者の(2)の場合も、大きい角度の移動時位置決めに時間がかかるため、やはりスループット低下につながるという問題点を有していた。
【0009】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、スループットを向上して、加工時間を短縮することを課題とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ミラーを駆動してレーザ照射位置を制御するレーザ加工制御方法において、前記ミラーの目標角度への移動量が、高速に位置決めできるようにサーボ調整した設定移動量を超える場合は、該設定移動量毎に位置決めしながら目標角度まで移動するよう指令値を操作するようにして、前記課題を解決したものである。
【0011】
又、前記設定移動量ずつ移動した時の余り移動量が、設定微小移動量よりも小さい場合は、一回目の移動に、この余り移動量を含めるようにして、余り移動量だけの移動を省略できるようしたものである。
【0012】
又、前記移動途中の位置決め完了判断を、単なる時間待ちとして、移動途中の位置決め所要時間を短縮したものである。
【0013】
又、前記移動途中の位置決めを、ミラー毎に独立して行い、他のミラーの位置決めを待たずに次々に移動するようにして、移動途中の待ち時間を短縮したものである。
【0014】
又、前記微小移動量や待ち時間の最適値を実験により決定し、予め記憶させておくようにしたものである。
【0015】
又、前記設定移動量、微小移動量や待ち時間を、駆動特性が異なるミラー毎に独立して決定するようにしたものである。
【0016】
本発明は、又、ミラーを駆動してレーザ照射位置を制御するレーザ加工制御装置において、前記ミラーの目標角度への移動量が、高速に位置決めできるようにサーボ調整した設定移動量を超えたことを判定する手段と、前記目標角度の移動量が、前記設定移動量を超えた時は、該設定移動量毎に位置決めしながら目標角度まで移動するよう指令値を操作する手段とを備えることにより、前記課題を解決したものである。
【0017】
本発明においては、従来の(2)のように移動量の大きさを限定したサーボ調整を行ない、目標角度への移動量が、調整した移動量の上限を超える場合は、その上限以下で位置決めしながら目標角度まで移動するよう指令値を操作する。なお、この判断や操作にはデジタル計算機を用いることが望ましいが、そのような構成を、出願人は、既に特願2001−210834で提案している。
【0018】
なお、本発明に類似する技術として、特開2000−343262には、2つの加工位置間の移動距離が、ガルバノメータのヒステリシス特性に基づく位置決め誤差の誤差許容距離を超える時に、前記移動距離を該誤差許容距離以下の距離に分割し、前記ガルバノメータを駆動して前記誤差解消動作を行ないつつ前記レーザ光を前記次の加工位置に位置決めする時、前記分割された距離ずつ前記レーザ光を移動させることが記載されているが、本発明のように、高速に位置決めが可能な移動量ずつ移動させて、位置決め時間を短縮するものではなかった。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【0020】
本発明の実施形態で用いるガルバノスキャナ制御装置とその周辺装置の構成例を図2に示す。このガルバノスキャナ制御装置30は、上位コントローラ20とデジタル信号をやり取りするデジタル計算器32と、D/A変換器34と、アナログ回路36と、ガルバノスキャナ14又は16のミラーを回転するモータ22を駆動するためのパワーアンプ38と、を用いて構成されている。
【0021】
図において、26は、前記上位コントローラ20の出力により制御されるレーザ発振器である。
【0022】
ここで、2つのミラー15、17の目標角度は、上位コントーラ20からデジタル計算器32に入力され、指令値が生成される。指令値は、D/A変換器34によってアナログの指令電圧に変換され、上位コントローラ20からの移動開始指令をトリガとしてアナログ回路36に入力される。
【0023】
一方ミラー15、17の角度は、ガルバノスキャナ14、16に付設された角度センサ24により計測され、計測角度信号がアナログ回路36に入力される。
【0024】
アナログ回路36にはフィードバック制御が組まれており、前記D/A変換器34から入力される指令電圧と前記角度センサ24から入力される計測角度信号に基づいて電流指令が出力される。パワーアンプ38では、この電流指令に従った駆動電流が作り出され、これによりモータ22が駆動され、ミラー15、17が回転する。
【0025】
前記アナログ回路36では、更に、モータの角度が予め設定された整定範囲に入ったことを示す整定範囲内信号が作成される。この整定範囲内信号はデジタル計算器32に入力され、これを基に位置決め完了判断が行なわれ、上位コントローラ20へ位置決め完了信号が出力される。
【0026】
この位置決め完了信号を受けた上位コントローラ20は、レーザ発振器26へトリガ信号を出力し、レーザが照射される。
【0027】
ここで、2つのガルバノスキャナ14、16への指令値出力の操作は、デジタル計算器32で行なわれる。なお、同じような処理を上位コントローラ20において行なうことも可能であるが、処理の負荷分散又は信号やり取りの回数を減らすために、デジタル計算器32で行なう方が望ましい。
【0028】
図3に、指令値及び現在値の従来例と本発明の第1実施形態を比較して示す。図において、細い破線Aが従来の指令値、細い実線Bが従来の現在値、太い破線Cが第1実施形態の指令値、太い実線Dが第1実施形態の現在値である。なお、図中の波形のオーバーシュートやアンダーシュート及び正転範囲は、分かり易くするために大きく描いてある。
【0029】
まず、従来の指令値出力方法について説明する。従来例では、細い破線Aに示す如く、目標角度まで一気に指令値を与えることによって、高速に位置決めできるようサーボ調整した小さい移動量(設定移動量)Eを超える動きをさせることがある。この場合、細い実線Bに示す如く、オーバーシュートやアンダーシュートが大きくなり、整定範囲Fに収束するまでに時間がかかってしまう。又、整定範囲Fに入ったり出たりすることがあり、その場合、整定範囲内に収束したと判断するのが困難になる。
【0030】
次に、本発明による指令値出力方法について説明する。
【0031】
図4は、第1実施形態における指令値出力の手順である。まず、ステップ100で、目標角度と現在角度から今回の移動量(算出移動量と称する)Gを算出する。次に、ステップ102で、算出移動量Gと、予めデジタル計算器32に記憶させておいた設定移動量Eを比較し、算出移動量Gの方が設定移動量Eよりも大きければ、ステップ104で設定移動量E分の指令値を出力し、そうでなければ、ステップ106で算出移動量G分の指令値を出力する。ここでいう設定移動量Eは、高速に位置決めできるようサーボ調整した、小さい移動量(例えば調整移動量の上限値)以下の値である。
【0032】
ステップ104又は106で指令値を出力した後、ステップ108で、アナログ回路36から出力される整定範囲内信号を基に位置決め完了判断を行なう。ステップ110で、目標角度に達していると判定されれば、ステップ112で、上位コントローラ20に位置決め完了信号を出力し、達していないと判定されれば、最初のステップ100に戻り、目標角度に達するまで、この操作を繰り返す。
【0033】
このように、図3に太い破線Cで示した如く、高速に位置決め可能な設定移動量Eずつ移動させることにより、図3に太い実線Dで示した如く、オーバーシュートやアンダーシュートが小さくなり、結果として位置決め時間を短縮することができる。
【0034】
次に、本発明による指令値出力方法の第2実施形態について説明する。図5は、第2実施形態の指令値出力手順であり、図4中の破線で囲んだ部分Hを抜き出して変更したものである。
【0035】
即ち、図4のステップ102で、算出移動量Gが設定移動量Eを超えていた場合、ステップ200で、目標値が上位コントローラ20より出力されてから1回目の移動であるか否か判定する。一回目の移動である時は、ステップ202で、設定移動量E分の移動を繰り返した時の余り移動量Iを割算により算出する。算出された余り移動量Iが、予め設定しておいた微小移動量Jよりも小さい場合は、ステップ206で設定移動量Eに余り移動量Iを加えたものを指令値として、1回目の移動に、この余り移動量Iを含めてしまう。ここで言う微小移動量Jは、設定移動量Eよりも十分小さく、設定移動量に含めても移動特性に影響しない程度の量としておく。この微小移動量Jは、実験により適当な値を決定し、デジタル計算器32に記憶させておく。これにより、図6(A)に示す第1実施形態(第2実施形態で余り移動量Iが微小移動量Jより大きな場合も同じ)に比べ、図6(B)に示す如く、移動途中の位置決め回数を1回少なくできる場合がある。
【0036】
次に、本発明による指令値出力方法の第3実施形態について説明する。
【0037】
第1実施形態及び第2実施形態においては、共通のステップ108で、アナログ回路36出力の整定範囲内信号を基に位置決め完了判断を行なっているが、第3実施形態では、この部分を単なる時間待ちにし、実質、移動量によって階段状の波形を一意的に決めてしまう。但し、目標角度到達時の最終位置決め精度は重要であるため、従来と同様に整定範囲内信号を基に正確な完了判断を行なう。
【0038】
一方、移動途中の待ち時間(図3のT1、T2)については、実験により適当な値を決定し、デジタル計算器32に記憶させておけばよい。この方法により、待ち時間を変えて、移動途中の位置決め許容範囲を可変にすることも可能となる。
【0039】
なお、X軸ミラー17とY軸ミラー15は大きさが異なる(図1の例ではX軸ミラー17の方がY軸ミラー15より大きい)ため、駆動特性も異なるので、前記設定移動量Eと微小移動量Jや待ち時間T1、T2の最適値は、X軸とY軸で異なる場合がある。又、移動途中の位置決めにおいては、レーザを照射するわけではないので、目標位置まではX軸とY軸を別々に位置決め(他方の位置決めを待たずに次々に移動)すればよい。これらの制御方法により、加工時間の一層の短縮が可能となる。
【0040】
なお、前記実施形態においては、いずれも、本発明が、レーザドリルマシンに適用されていたが、本発明の適用対象はこれに限定されず、例えばマーキングマシン等、他の機械にも同様に適用できることは明らかである。
【0041】
【発明の効果】
本発明によれば、高速に位置決め可能な移動量ずつ移動させることにより、オーバーシュートやアンダーシュートが小さくなり、結果として加工時間を短縮することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の適用対象の一例であるレーザドリルマシンの要部構成を示す正面図
【図2】同じくガルバノスキャナ制御装置とその周辺装置の構成例を示すブロック線図
【図3】従来例と本発明の第1実施形態における指令値と現在値の変化状態を示すタイムチャート
【図4】本発明の第1実施形態における指令値の出力手順を示す流れ図
【図5】同じく第2実施形態における指令値の出力手順の要部を示す流れ図
【図6】本発明の第2実施形態における指令値と現在値の変化状態を示すタイムチャート
【符号の説明】
14、16…ガルバノスキャナ
15、17…ミラー
20…上位コントローラ
22…モータ
24…角度センサ
26…レーザ発振器
30…ガルバノスキャナ制御装置
32…デジタル計算器
34…D/A変換器
36…アナログ回路
38…パワーアンプ
E…設定移動量
G…算出移動量
I…余り移動量
J…設定微少移動量
Claims (7)
- ミラーを駆動してレーザ照射位置を制御するレーザ加工制御方法において、
前記ミラーの目標角度への移動量が、高速に位置決めできるようにサーボ調整した設定移動量を超える場合は、該設定移動量毎に位置決めしながら目標角度まで移動するよう指令値を操作することを特徴とするレーザ加工制御方法。 - 前記設定移動量ずつ移動した時の余り移動量が、設定微小移動量よりも小さい場合は、一回目の移動に、この余り移動量を含めることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工制御方法。
- 前記移動途中の位置決め完了判断を、単なる時間待ちとすることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工制御方法。
- 前記移動途中の位置決めを、ミラー毎に独立して行なうことを特徴とする請求項1又は3に記載のレーザ加工制御方法。
- 前記微小移動量や待ち時間の最適値を実験により決定し、予め記憶させておくことを特徴とする請求項2又は3に記載のレーザ加工制御方法。
- 前記設定移動量、微小移動量や待ち時間を、ミラー毎に独立して決定することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のレーザ加工制御方法。
- ミラーを駆動してレーザ照射位置を制御するレーザ加工制御装置において、
前記ミラーの目標角度への移動量が、高速に位置決めできるようにサーボ調整した設定移動量を超えたことを判定する手段と、
前記目標角度の移動量が、前記設定移動量を超えた時は、該設定移動量毎に位置決めしながら目標角度まで移動するよう指令値を操作する手段と、
を備えたことを特徴とするレーザ加工制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002175992A JP2004017101A (ja) | 2002-06-17 | 2002-06-17 | レーザ加工制御方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2002175992A JP2004017101A (ja) | 2002-06-17 | 2002-06-17 | レーザ加工制御方法及び装置 |
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JP2004017101A true JP2004017101A (ja) | 2004-01-22 |
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Family Applications (1)
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JP2002175992A Pending JP2004017101A (ja) | 2002-06-17 | 2002-06-17 | レーザ加工制御方法及び装置 |
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JP (1) | JP2004017101A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2005288498A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Sunx Ltd | レーザマーキング装置 |
JP2011253125A (ja) * | 2010-06-03 | 2011-12-15 | Canon Inc | ガルバノ装置及びレーザ加工装置 |
-
2002
- 2002-06-17 JP JP2002175992A patent/JP2004017101A/ja active Pending
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KR101402064B1 (ko) * | 2010-06-03 | 2014-06-03 | 캐논 가부시끼가이샤 | 미러 각도-위치 결정 장치 및 처리 장치 |
US9933616B2 (en) | 2010-06-03 | 2018-04-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Mirror angular-positioning apparatus and processing apparatus |
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