KR100858674B1 - 레이저를 이용한 저항체의 트리밍방법 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 기판상에 형성된 저항체의 일부분을 레이저빔을 이용하여 제거함으로써 상기 저항체가 원하는 목표저항치를 가지도록 가공하는, 레이저를 이용한 저항체의 트리밍(trimming)방법에 있어서,상기 레이저빔을 상기 저항체에 조사하면서 상기 저항체의 일부분을 제거하는 가공단계;가공이 진행중인 저항체의 저항치를 측정하는 측정단계; 및상기 측정단계에서 측정된 저항치와 상기 목표저항치의 차이에 따라 상기 레이저빔의 가공속도를 변경시키는 제어단계;를 포함하며,상기 레이저빔을 반사시키는 한 쌍의 미러와 그 미러들을 각각 회전시키는 한 쌍의 모터를 구비하여 상기 미러에 입사되는 레이저빔을 원하는 각도로 편향시켜 출사시키기 위한 갈바노 스캐너의 구동속도를 제어함으로써, 상기 레이저빔의 가공속도를 변경시키는 것을 특징으로 하는, 레이저를 이용한 저항체의 트리밍방법.
- 제1항에 있어서,상기 제어단계는,상기 측정된 저항치와 상기 목표저항치의 차이가 작아짐에 따라 상기 레이저빔의 가공속도를 느리게 하는 것을 특징으로 하는, 레이저를 이용한 저항체의 트리밍방법.
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