JP5731868B2 - レーザ加工方法及び加工装置 - Google Patents
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Description
図8はデジタルフィルタ112の周波数伝達関数を求める演算部702での処理動作を説明するフローチャートであり、次に、これについて説明する。
11 fθレンズ
101 積分補償器
102 比例補償器
103 DAC
104 電流制御回路
105、115 ロータリアクチュエータ
106、116 ロータリエンコーダ
107、117 ガルバノミラー
110 デジタルサーボコントローラ
111 インタフェース
112 デジタルフィルタ
113 遅延器
114 フィードバック制御系
129 変調器
130 レーザ発振器
140 レーザシャッタ
151 XYテーブル
152 ワーク
160 数値制御装置
171、172 ガルバノスキャナ
701 記憶部
702 演算部
Claims (2)
- レーザを発生させるレーザ発振器と当該レーザ発振器からのレーザの強度を増減させるレーザシャッタと当該レーザシャッタからのレーザを走査するガルバノスキャナとを用いて溝の加工を行うレーザ加工方法において、前記ガルバノスキャナを制御する制御系と前記レーザシャッタを制御する制御系への共通の指令を上位から受取ってそれぞれへの角度指令パターンを発生し、前記レーザシャッタを制御する制御系側では、前記角度指令パターンを前記ガルバノスキャナを制御する制御系の周波数応答モデルを成すものであって周波数伝達関数を有するデジタルフィルタに入力し当該デジタルフィルタの出力に基いて前記レーザシャッタを制御し、前記ガルバノスキャナを制御する制御系側では、前記角度指令パターンを前記デジタルフィルタへの角度指令パターンの入力よりも遅れて受入れることにより、前記レーザシャッタの開きレベルを制御する信号を実際の加工速度と時間的に一致して変化させるようにしたことを特徴とするレーザ加工方法。
- レーザを発生させるレーザ発振器と当該レーザ発振器からのレーザの強度を増減させるレーザシャッタと当該レーザシャッタからのレーザを走査するガルバノスキャナとを用いて溝の加工を行うレーザ加工装置において、前記ガルバノスキャナを制御する制御系と前記レーザシャッタを制御する制御系への共通の指令を上位から受取ってそれぞれへの角度指令パターンを発生させる受信部と、前記レーザシャッタを制御する制御系側にあって前記ガルバノスキャナを制御する制御系の周波数応答モデルを成すものであって周波数伝達関数を有し前記受信部からの角度指令パターンが入力されるデジタルフィルタと、前記ガルバノスキャナを制御する制御系側にあって前記受信部からの角度指令パターンの入力を前記デジタルフィルタへの角度指令パターンの入力よりも遅らせる遅延部とを有し、前記レーザシャッタの開きレベルを制御する信号を実際の加工速度と時間的に一致して変化させるようにしたことを特徴とするレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011066196A JP5731868B2 (ja) | 2011-03-24 | 2011-03-24 | レーザ加工方法及び加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011066196A JP5731868B2 (ja) | 2011-03-24 | 2011-03-24 | レーザ加工方法及び加工装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
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JP2012200745A JP2012200745A (ja) | 2012-10-22 |
JP2012200745A5 JP2012200745A5 (ja) | 2013-10-17 |
JP5731868B2 true JP5731868B2 (ja) | 2015-06-10 |
Family
ID=47182258
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011066196A Active JP5731868B2 (ja) | 2011-03-24 | 2011-03-24 | レーザ加工方法及び加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5731868B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112756797A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-05-07 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种高精度激光雕刻方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4233202B2 (ja) * | 2000-07-31 | 2009-03-04 | 日立ビアメカニクス株式会社 | 光学スキャナ装置の制御装置 |
JP2004038106A (ja) * | 2002-07-08 | 2004-02-05 | Hitachi Via Mechanics Ltd | レーザビーム走査装置 |
JP4567989B2 (ja) * | 2004-02-06 | 2010-10-27 | 日立ビアメカニクス株式会社 | 移動体のサーボ制御装置及びレーザ加工装置 |
JP4099469B2 (ja) * | 2004-09-22 | 2008-06-11 | 株式会社東芝 | ミラー制御回路およびそれを用いた光空間伝送装置 |
JP5256575B2 (ja) * | 2005-10-17 | 2013-08-07 | 株式会社安川電機 | ガルバノ制御用コントローラ装置および制御方法 |
JPWO2008053915A1 (ja) * | 2006-11-02 | 2010-02-25 | ナブテスコ株式会社 | スキャナ光学システム、レーザ加工装置、及び、スキャナ光学装置 |
TWI523720B (zh) * | 2009-05-28 | 2016-03-01 | 伊雷克托科學工業股份有限公司 | 應用於雷射處理工件中的特徵的聲光偏轉器及相關雷射處理方法 |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012200745A (ja) | 2012-10-22 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130903 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140612 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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