JP4099469B2 - ミラー制御回路およびそれを用いた光空間伝送装置 - Google Patents
ミラー制御回路およびそれを用いた光空間伝送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4099469B2 JP4099469B2 JP2004275458A JP2004275458A JP4099469B2 JP 4099469 B2 JP4099469 B2 JP 4099469B2 JP 2004275458 A JP2004275458 A JP 2004275458A JP 2004275458 A JP2004275458 A JP 2004275458A JP 4099469 B2 JP4099469 B2 JP 4099469B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transfer function
- control signal
- circuit
- mirror
- control
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
まず、実施の形態1にかかるMEMSミラー制御回路について説明する。図1は、実施の形態1にかかるMEMSミラー制御回路とその周辺要素とを示したブロック図である。図1において、光源12は、伝送情報を表す電気信号を受け取り、その電気信号によって変調された信号光を出射する。光源12は、例えば、半導体レーザによって構成することができ、出射する信号光は指向性の高い光ビームである。
次に、実施の形態2にかかるMEMSミラー制御回路について説明する。実施の形態2にかかるMEMSミラー制御回路は、図3に示したLPF222と逆伝達特性回路224とから構成された補償回路220を、記憶回路と加算回路とからなる簡単な構成によって実現することを特徴とする。
次に、実施の形態3にかかるMEMSミラー制御回路について説明する。実施の形態3にかかるMEMSミラー制御回路は、補償回路が有する上記した補償伝達関数の温度補償を行なうことを特徴とする。
次に、実施の形態4にかかる光空間伝送装置について説明する。実施の形態4にかかる光空間伝送装置は、光送信装置の光偏向系として、MEMSミラーと実施の形態1〜3にかかるMEMSミラー制御回路とを用いたことを特徴とする。
12 光源
14 受信器
21 支持基板
22 環状基板
23 ミラー部
32 受光素子
34 光位置検出器
36 送信器
100,200,300,400,500 MEMSミラー制御回路
110,210,310,410,510 制御信号生成回路
120,220,320,420,520 補償回路
222,522 LPF
224,524 逆伝達特性回路
322,422 記憶回路
324,424 加算回路
426 増幅回路
530 温度測定回路
540 係数補正回路
Claims (8)
- 偏向角を制御することができるミラーの所望の角度への偏向を示す第1制御信号を生成する制御信号生成回路と、
前記ミラーの第1の伝達関数の逆数に略比例する第2の伝達関数を有し、前記第1制御信号と前記第2の伝達関数とから、前記ミラーの偏向角を制御する第2制御信号を生成する補償回路と、
を備え、
前記補償回路は、
前記第1制御信号を通過させる2次以上の第3の伝達関数を有する低域通過フィルタと、
前記第1の伝達関数に略逆比例する第4の伝達関数を有し、前記低域通過フィルタを通過した前記第1制御信号と、前記第4の伝達関数とから、前記第2制御信号を生成する逆伝達特性回路と、
を備え、
前記第2の伝達関数は、前記第3の伝達関数と前記第4の伝達関数との積で表わされることを特徴とするミラー制御回路。 - 偏向角を制御することができるミラーの所望の角度への偏向を示す第1制御信号を生成する制御信号生成回路と、
前記ミラーの第1の伝達関数の逆数に略比例する第2の伝達関数を有し、前記第1制御信号と前記第2の伝達関数とから、前記ミラーの偏向角を制御する第2制御信号を生成する補償回路と、
を備え、
前記補償回路は、
2次以上の第3の伝達関数を有する低域通過フィルタに前記第1制御信号を通過させた際に得られる信号と前記第1の伝達関数に略逆比例する第4の伝達関数とから生成した基本信号波形を記憶する記憶回路と、
前記第1制御信号と前記基本信号波形とを加算して前記第2制御信号を生成する加算回路と、
を備え、
前記第2の伝達関数は、前記第3の伝達関数と前記第4の伝達関数との積で表わされることを特徴とするミラー制御回路。 - 偏向角を制御することができるミラーの所望の角度への偏向を示す第1制御信号を生成する制御信号生成回路と、
前記ミラーの第1の伝達関数の逆数に略比例する第2の伝達関数を有し、前記第1制御信号と前記第2の伝達関数とから、前記ミラーの偏向角を制御する第2制御信号を生成する補償回路と、
を備え、
前記補償回路は、
2次以上の第3の伝達関数を有する低域通過フィルタに前記第1制御信号を通過させた際に得られる信号と前記第1の伝達関数に略逆比例する第4の伝達関数とから生成した基本信号波形を記憶する記憶回路と、
前記基本信号波形を任意のタイミングで且つ任意の利得で増幅する増幅回路と、
前記第1制御信号と、前記増幅回路によって増幅された前記基本信号波形とを加算して前記第2制御信号を生成する加算回路と、
を備え、
前記第2の伝達関数は、前記第3の伝達関数と前記第4の伝達関数との積で表わされることを特徴とするミラー制御回路。 - 偏向角を制御することができるミラーの所望の角度への偏向を示す第1制御信号を生成する制御信号生成回路と、
前記ミラーの第1の伝達関数の逆数に略比例する第2の伝達関数を有し、前記第1制御信号と前記第2の伝達関数とから、前記ミラーの偏向角を制御する第2制御信号を生成する補償回路と、
を備え、
前記補償回路は、
2次以上の第3の伝達関数を有する低域通過フィルタに前記第1制御信号を通過させた際に得られる信号と前記第1の伝達関数に略逆比例する第4の伝達関数とから生成した基本信号波形を記憶する記憶回路と、
前記第1制御信号を任意のタイミングで且つ任意の利得で増幅する増幅回路と、
前記増幅回路によって増幅された前記第1制御信号と、前記基本信号波形とを加算して前記第2制御信号を生成する加算回路と、
を備え、
前記第2の伝達関数は、前記第3の伝達関数と前記第4の伝達関数との積で表わされることを特徴とするミラー制御回路。 - 前記ミラーまたはその周辺の温度を測定する温度測定回路と、
前記温度に基いて前記補償回路の前記第2伝達関数の係数を補正する係数補正回路と、をさらに備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載のミラー制御回路。 - 前記ミラーは、MEMSミラーであり、前記温度測定回路は、前記MEMSミラーと同一の半導体基板に集積されることを特徴とする請求項5に記載のミラー制御回路。
- 前記ミラーは、MEMSミラーであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載のミラー制御回路。
- 前記第2制御信号は、前記第1制御信号と前記第2の伝達関数とから得られるアナログ制御信号を、デジタル化した信号であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載のミラー制御回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004275458A JP4099469B2 (ja) | 2004-09-22 | 2004-09-22 | ミラー制御回路およびそれを用いた光空間伝送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004275458A JP4099469B2 (ja) | 2004-09-22 | 2004-09-22 | ミラー制御回路およびそれを用いた光空間伝送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006093989A JP2006093989A (ja) | 2006-04-06 |
JP4099469B2 true JP4099469B2 (ja) | 2008-06-11 |
Family
ID=36234556
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004275458A Expired - Fee Related JP4099469B2 (ja) | 2004-09-22 | 2004-09-22 | ミラー制御回路およびそれを用いた光空間伝送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4099469B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5181892B2 (ja) | 2008-07-16 | 2013-04-10 | ブラザー工業株式会社 | 駆動信号発生器及びそれを備えた光走査装置並びに画像表示装置 |
JP5617655B2 (ja) | 2011-01-19 | 2014-11-05 | 王子ホールディングス株式会社 | コンデンサー用ポリプロピレンフィルム |
JP5731868B2 (ja) * | 2011-03-24 | 2015-06-10 | ビアメカニクス株式会社 | レーザ加工方法及び加工装置 |
JP5942482B2 (ja) * | 2012-03-02 | 2016-06-29 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルターの駆動方法、光学モジュール、及び電子機器 |
JP6064468B2 (ja) * | 2012-09-12 | 2017-01-25 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール及び電子機器 |
-
2004
- 2004-09-22 JP JP2004275458A patent/JP4099469B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006093989A (ja) | 2006-04-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4946090B2 (ja) | 収音放音一体型装置 | |
AU2005200996B2 (en) | Method and device for matching the phases of microphones of a hearing aid directional microphone | |
JP6463335B2 (ja) | 振動型角速度センサ | |
JP4099469B2 (ja) | ミラー制御回路およびそれを用いた光空間伝送装置 | |
KR100506471B1 (ko) | 음향제어장치 | |
JP4245580B2 (ja) | ミラー制御回路および光空間伝送装置 | |
JP2006329797A (ja) | 光波距離計 | |
US20100150377A1 (en) | Sound outputting apparatus to correct sound quality and method of correcting sound quality thereof | |
JP2008179979A (ja) | 騒音低減装置 | |
JP6285689B2 (ja) | アクチュエータの駆動回路装置及び駆動方法並びにそれらを用いたレンズモジュール及び電子機器 | |
JP2008175642A (ja) | 振動検出装置 | |
US11394867B2 (en) | Lens apparatus, camera, and non-transitory computer-readable storage medium | |
JP2006319852A (ja) | 撮像装置 | |
KR102172631B1 (ko) | 디지털 촬영시스템 및 그 제어방법 | |
KR102363613B1 (ko) | 비행 시간 측정들을 수행하기 위한 기법들 | |
JP4031464B2 (ja) | 光空間伝送装置 | |
JP2010107894A (ja) | 位置信号補正回路及びボイスコイルモータ駆動装置 | |
JPH0560316B2 (ja) | ||
JPH0927164A (ja) | 光ディスク制振制御装置 | |
JP3286086B2 (ja) | 光ビーム自動追尾装置 | |
JP2007017293A (ja) | 定在波測距装置 | |
JP4266171B2 (ja) | 変位検出装置、マイクロホン装置および変位検出方法 | |
JP5194418B2 (ja) | ハイドロホン | |
JPH09146559A (ja) | 騒音制御装置 | |
JP2001245187A (ja) | マイクロフォン付ビデオカメラ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071002 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071009 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071210 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080311 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080317 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110321 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120321 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |