JP2008175642A - 振動検出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】精度の高い振動検出が可能な振動検出装置を提供する。
【解決手段】第1のコイル36は、第1の磁石36の周囲に巻き付けられるとともに、第1の連結部材35を介して振動膜34の変位に従って位置が変化する。第2のコイル39は、第2の磁石38の周囲に巻き付けられるとともに、第2の連結部材40を介して連結棒41と連結される。光フィルタ膜32は、上述したように連結棒41により回転し、回転角に従ってコリメータレンズ43から入射された光信号がコリメータレンズ44に射出する際の透過光路長が変化する。外部から受けた音波振動の変位に従って第1のコイル37に電力が生じ、第1のコイル37で生じた電力に基づいて第2の磁石38と第2のコイル39との間で生じる電磁力により連結棒42が左右に振動する。この連結棒42の変位に従って光フィルタ膜32が回転され、透過光路長が変化して第1の光信号から変換される第2の光信号の波長が変化することになる。
【選択図】図2
【解決手段】第1のコイル36は、第1の磁石36の周囲に巻き付けられるとともに、第1の連結部材35を介して振動膜34の変位に従って位置が変化する。第2のコイル39は、第2の磁石38の周囲に巻き付けられるとともに、第2の連結部材40を介して連結棒41と連結される。光フィルタ膜32は、上述したように連結棒41により回転し、回転角に従ってコリメータレンズ43から入射された光信号がコリメータレンズ44に射出する際の透過光路長が変化する。外部から受けた音波振動の変位に従って第1のコイル37に電力が生じ、第1のコイル37で生じた電力に基づいて第2の磁石38と第2のコイル39との間で生じる電磁力により連結棒42が左右に振動する。この連結棒42の変位に従って光フィルタ膜32が回転され、透過光路長が変化して第1の光信号から変換される第2の光信号の波長が変化することになる。
【選択図】図2
Description
この発明は遠隔地における振動を検出する振動検出装置に関し、特に光ファイバを用いて伝送を行なう振動検出装置に関するものである。
従来から、遠隔地に配置されたさまざま設備に対して、状態監視を行ないたいというニーズが存在する。たとえば、プラントに配置された複数の設備について、温度、振動、動作音などを集中監視することで、設備に生じ得る異常や故障などの早期発見や事前予測を実現できる。このようなニーズに対して、遠隔監視システムや保全監視システムと称されるシステムが実現されている。
このようなシステムにおいては、各設備において検出された状態情報を監視場所まで伝送する必要がある。また、各設備において状態情報を検出するためには、電力などの動作駆動源を必要とする。そのため、多くのシステムにおいては、監視場所と各設備に配置されたセンサ等とを電線を介して接続し、信号伝送および電力供給を実現する構成が採用されている。
しかしながら、プラント内にはさまざまな設備が配置されているため、電線が敷設されたルート上に強力な電磁界が存在する場合もあり、伝送される電気信号にノイズが混入する等の問題が生じることがあった。そのため、伝送距離が制限されてしまうという問題があった。また、可燃性ガスなどの存在により電気的な配線が敷設できないという問題もあった。
そこで、たとえば、特開2002−232999号公報(特許文献1)には、光源と受光素子とループ状光ファイバの開放部の両端とが分岐結合素子に接続されて構成された光ファイバループ干渉計型センサが開示されている。この光ファイバループ干渉計型センサによれば、電気信号に代えて光信号を用いるため、周囲環境からのノイズの影響を受けにくく、伝送距離の延長が容易になるとともにセンサ部分の電源を不要にすることができる。
特開2002−232999号公報
しかしながら、光ファイバの伝送距離が長くなるほど、光ファイバ自体に与えられる振動や偏波ゆらぎなどにより、光信号の光強度には時間的な変動が生じる。上述した特開2002−232999号公報(特許文献1)に開示される光ファイバループ干渉計型センサにおいては、時計回り伝搬光と反時計回り伝搬光との位相差による干渉光の強度変化に基づいて、振動を検出する構成であるため、伝送距離が長くなれば、上述のような要因により干渉光に時間的な強度変化が生じ、誤差が大きくなるという問題がある。
したがって、特に振動が微小あるいは微弱であればその検出が難しくなる可能性もある。
本発明は、かかる問題を解決するためになされたものであり、その目的は、精度の高い振動検出が可能な振動検出装置を提供することである。
本発明に係る振動検出装置は、光伝送路と、光伝送路を介して第1の光信号を与える光信号供給手段と、光信号供給手段により与えられた第1の光信号を受け、外部から受けた振動の変位に対応付けられた波長をもつ第2の光信号を出力させるセンサ部と、センサ部において生成される第2の光信号に基づいてセンサ部が受けた振動の変位に応じた検出信号を生成する光検知部とを備える。センサ部は、第1の磁石と、第1の磁石の磁界中に設けられ、外部から受けた振動に応じて電気信号を生じさせる第1のコイルと、第2の磁石と、第2の磁石の磁界中に設けられ、第1のコイルと接続されて第1のコイルに生じた電気信号に基づいて第2の磁石との間で生じる電磁力に従って振動する第2のコイルと、第2のコイルの振動の変位に応じて、透過させる光の波長を変化させるフィルタ部とを含む。
好ましくは、フィルタ部は、光信号供給手段により与えられた第1の光信号が入射されるフィルタ膜と、フィルタ膜を支持し、支持点を中心にして回転可能な回転軸と、フィルタ膜の一部と連結され、第2のコイルとともに振動する連結棒とを含む。第2のコイルの振動の変位に応じて、フィルタ膜に入射する第1の光信号の透過光路が変化する。
好ましくは、フィルタ部は、光信号供給手段により与えられた第1の光信号が入射され、位置に応じて膜厚が異なる台形状のフィルタ膜と、台形状のフィルタ膜を支持し、第2のコイルとともに振動する支持台とを含む。第2のコイルの振動の変位に応じて、台形状のフィルタ膜に入射される位置が変化する。
特に、フィルタ部は、フィルタ膜を透過した光信号を反射して再びフィルタ膜に入射するための反射鏡をさらに含む。反射鏡により反射され、フィルタ膜を透過した第2の光信号は、光伝送路を介して伝送される。
本発明に係る振動検出装置は、光伝送路と、光伝送路を介して第1の光信号を与える光信号供給手段と、光信号供給手段により与えられた第1の光信号を受け、外部から受けた振動の変位に対応付けられた波長をもつ第2の光信号を出力させるセンサ部と、センサ部において生成される第2の光信号に基づいてセンサ部が受けた振動の変位に応じた検出信号を生成する光検知部とを備える。センサ部は、第1の磁石と、第1の磁石の磁界中に設けられ、外部から受けた振動に基づいて電気信号を発生させる第1のコイルと、第2の磁石と、第2の磁石の磁界中に設けられ、第1のコイルと接続される第2のコイルとを含む。電気信号は、外部から受けた振動に基づいて第1の磁石および第1のコイルの少なくとも一方が変位して発生する。第2のコイルは、第1のコイルに発生した電気信号に従って磁界を発生させる。第2のコイルが発生した磁界と、第2の磁石の磁界との間で生じる電磁力に従って第2の磁石および第2のコイルの少なくとも一方が変位する。第2の磁石および第2のコイルの少なくとも一方の変位に応じて、透過させる光の波長を変化させるフィルタ部をさらに含む。
本発明に係る振動検出装置は、センサ部において、外部から受けた振動に応じて電気信号を生じさせるとともに、電気信号に基づいて電磁力に従って第2のコイルを振動させて、第2のコイルの振動の変位に応じて、フィルタ部において、透過させる光の波長を変化させるため、外部から受けた振動幅よりも大きな振動幅で第2のコイルを振動させることが可能であり、第2の光信号の波長も大きく変化させることが可能であるため、振動が微小である場合であっても精度の高い振動情報の検出が可能である。
この発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中の同一または相当部分については、同一符号を付してその説明は繰返さない。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1に従う振動検出装置101の概略構成図である。
図1は、本発明の実施の形態1に従う振動検出装置101の概略構成図である。
図1を参照して、本発明の実施の形態1に従う振動検出装置101は、光伝送路3および4と、本体部1と、センサ部2とからなる。ここで、振動検出装置101では、本体部1から光伝送路3を介してセンサ部2へ第1の光信号が伝送され、センサ部2において外部から受けた振動に応じて、第1の光信号が第2の光信号に変換される。そして、変換された第2の光信号は、光伝送路4を介して本体部1へ伝送され、本体部1で電気信号に変換された後、検出信号として出力される。一例として、振動検出装置101は、音源から発生する音波による振動を検出する。
光伝送路3および4は、いずれも光ファイバで構成される。光伝送路3は、センサ部2と本体部1とを接続して、光源20から射出される第1の光信号を伝搬する。一方、光伝送路4は、センサ部2と本体部1とを接続して、センサ部2から射出される第2の光信号を伝搬する。なお、光伝送路3および4は、それぞれ第1の光信号および第2の光信号の波長帯域において、損失および分散(波長分散、モード分散、偏波モード分散など)が小さいことが望ましい。
本体部1は、光源20と、光電気変換部26と、光受信部28とからなる。
光源20は、光伝送路3の一端と接続され、その波長スペクトルが所定の波長帯域を含むような第1の光信号を発生して、光伝送路3へ射出する。後述するように、センサ部2において変位に応じた波長成分が第1の光信号から抽出されるので、センサ部2におけるダイナミックレンジを広くするため、第1の光信号に含まれる波長帯域は広いことが望ましい。なお、第1の光信号における各波長成分の光強度が略同一、すなわち波長スペクトルが平坦である必要はなく、少なくとも各波長の光強度は、光源20からセンサ部2を経て光電気変換部26に至るまでの経路における光損失に比較して、十分大きければよい。
光源20は、光伝送路3の一端と接続され、その波長スペクトルが所定の波長帯域を含むような第1の光信号を発生して、光伝送路3へ射出する。後述するように、センサ部2において変位に応じた波長成分が第1の光信号から抽出されるので、センサ部2におけるダイナミックレンジを広くするため、第1の光信号に含まれる波長帯域は広いことが望ましい。なお、第1の光信号における各波長成分の光強度が略同一、すなわち波長スペクトルが平坦である必要はなく、少なくとも各波長の光強度は、光源20からセンサ部2を経て光電気変換部26に至るまでの経路における光損失に比較して、十分大きければよい。
光電気変換部26は、光伝送路4の一端と接続され、電気信号に変換する。
光受信部28は、光電気変換部26から第2の光信号に対応する電気信号を受けて、その波長変化に対応付けてそのレベルが変化するような検出信号を生成する。
光受信部28は、光電気変換部26から第2の光信号に対応する電気信号を受けて、その波長変化に対応付けてそのレベルが変化するような検出信号を生成する。
図1においては、センサ部2は、振動膜34と、光フィルタ膜32とを含む場合が示されている。詳細については後述する。
振動膜34は、外部の音源から音波を受け、その音波振動に応じた変位を発生する。そして、振動膜34が発生した変位を機械的に連結された光フィルタ膜32へ与える。
光フィルタ膜32は、光伝送路3の他端と光伝送路4の他端との間に配置され、振動膜34から受けた変位に応じて、光伝送路3を介して伝送された第1の光信号のうち、所定の波長成分だけを透過させる。そして、光フィルタ膜32は、透過させた光信号を第2の光信号として、光伝送路4へ射出する。すなわち、光フィルタ膜32は、振動膜34から与えられた振動の変位に対応付けられた波長をもつ第2の光信号を出力する。
したがって、光源20から射出される第1の光信号は、波長スペクトルが所定の波長帯域を含むような光信号であるのに対して、光フィルタ膜32から射出される第2の光信号は、振動膜34における振動の変位に対応付けられた一意に定まる波長の光信号に相当する。
また、例えば、光源20から出射される第1の光信号の出力波長を周期的に時間変化させ、センサ部2通過後の第2の光信号を本体部1で受信することも可能である。この場合、第2の光信号を光電気変換部26においてパルス信号に変換し、光受信部28においてパルス信号の位置を検出することにより、センサ部2においてパルス位置変調を施された光信号である第2の光信号の波長変化を検出することが可能である。
図2は、本発明の実施の形態1に従うセンサ部2を説明する概略構成図である。
図2を参照して、センサ部2は、センサ部2を構成する部品を覆うようにして設けられた筐体30と、振動膜34と、第1のコイル36と、振動膜34と第1のコイル36との間に設けられ互いを連結するための第1の連結部材35と、第1の磁石37と、第2の磁石38と、第2のコイル39と、連結棒41と、第2のコイル39と連結棒41との間に設けられ互いを連結するための第2の連結部材40と、光フィルタ膜32と、回転軸42と、コリメータレンズ43,44とを含む。
図2を参照して、センサ部2は、センサ部2を構成する部品を覆うようにして設けられた筐体30と、振動膜34と、第1のコイル36と、振動膜34と第1のコイル36との間に設けられ互いを連結するための第1の連結部材35と、第1の磁石37と、第2の磁石38と、第2のコイル39と、連結棒41と、第2のコイル39と連結棒41との間に設けられ互いを連結するための第2の連結部材40と、光フィルタ膜32と、回転軸42と、コリメータレンズ43,44とを含む。
第1のコイル36は、第1の磁石36の周囲に巻き付けられるとともに、第1の連結部材35を介して振動膜34の変位に従って位置が変化する。具体的には、第1のコイル36は、振動膜34の変位に従って第1の磁石37の磁界中を紙面の左右に動くように設けられているものとする。この第1のコイル36の移動によって生じる鎖交磁界の時間的変化に応じて、第1のコイル36に電力が発生する。
第2のコイル39は、第2の磁石38の周囲に巻き付けられるとともに、第2の連結部材40を介して連結棒41と連結される。第2のコイル39は、第1のコイル36と同様に第2の磁石38の磁界中を左右に動くように設けられている。第1のコイル36と第2のコイル39とは互いに接続され、第1のコイル36で発生した電力が第2のコイルに伝達される。この第1のコイル36で発生した電力に基づいて第2のコイル39は、第2の磁石38との間で生じる電磁力により左右に動くことになる。第2のコイル39は、第2の連結部材40を介して連結棒41と連結されているため第2のコイルの変位に従って連結棒41の位置が動くことになる。
光フィルタ膜32は、回転軸42を中心として回転可能なように支持されており、光フィルタ膜の一部が連結棒41と連結されている。この連結棒41の位置が変化することにより、光フィルタ膜32は回転軸42を中心として回転する。
筐体30内部においてコリメータレンズ43は光伝送路3と接続され、コリメータレンズ43により集光された第1の光信号が光フィルタ膜32に入射される。
さらに、光フィルタ膜32を透過した光信号は、第2の光信号としてコリメータレンズ44により再び集光されて光伝送路4へ射出され、上述した本体部1へ伝送される。
光フィルタ膜32は、上述したように連結棒41により回転し、回転角に従ってコリメータレンズ43から入射された光信号がコリメータレンズ44に射出する際の透過光路長が変化することになる。
光フィルタ膜32を透過する波長は、光フィルタ膜32を透過する透過光路長に依存する。すなわち、第1の光信号から変換される第2の光信号の波長は、透過光路長に依存して変化することになる。
当該構成により、光フィルタ膜32は、外部から受けた音波振動の変位に対応付けられた波長をもつ第2の光信号を生成することになる。
具体的には、上述しように外部から受けた音波振動の変位に従って第1のコイル37に電力が生じ、第1のコイル37で生じた電力に基づいて第2の磁石38と第2のコイル39との間で生じる電磁力により連結棒41が左右に振動することになる。この連結棒41の変位に従って光フィルタ膜32が回転され、透過光路長が変化して第1の光信号から変換される第2の光信号の波長が変化することになる。
当該構成により、外部から振動膜34が受けた振動が微小振動の場合すなわち振動幅が小さい場合であっても第1および第2のコイル径やコイルの巻き数あるいは第1および第2の磁石の強さを調整することにより第2のコイルに生じる電磁力により連結棒41が左右に振動するそのストローク(振動幅)を大きくすることが可能である。
それゆえ、当該構成により、微小振動をさらに増幅させて光フィルタ膜32を動かすことが可能である。したがって、透過光路長の変化に従い第2の光信号の波長も大きく変化させることが可能であり、精度の高い振動情報の検出を実現することが可能である。
(実施の形態1の変形例)
図3は、本発明の実施の形態1の変形例に従うセンサ部2#を説明する概略構成図である。
図3は、本発明の実施の形態1の変形例に従うセンサ部2#を説明する概略構成図である。
図3を参照して、本発明の実施の形態1の変形例に従うセンサ部2#は、光フィルタ膜32を光フィルタ膜45に置換した点が異なる。その他の部分につきましては、上述した本発明の実施の形態1と同様であるので、詳細な説明は繰り返さない。
光フィルタ膜45は、台形形状の光フィルタ膜で形成され、位置に従って膜厚が異なる。また、光フィルタ膜45は、第2の連結部材40と連結されており第2のコイル39の変位に従ってその位置が変化することになる。
上述した実施の形態1で説明したように光フィルタ膜を透過する波長は、光フィルタ膜を透過する透過光路長に依存することになり、すなわち、本実施の形態1の変形例に従う構成においては、光フィルタ膜45の変位に従って光フィルタ膜45の膜厚が変化することに伴ない、第1の光信号から変換される第2の光信号の波長は、透過光路長に依存して変化することになる。
当該構成により、光フィルタ膜45は、外部から受けた音波振動の変位に対応付けられた波長をもつ第2の光信号を生成することになる。
具体的には、上述しように外部から受けた音波振動の変位に従って第1のコイル37に電力が生じ、第1のコイル37で生じた電力に基づいて第2の磁石38と第2のコイル39との間で生じる電磁力により光フィルタ膜45が左右に振動することになる。この光フィルタ膜45の変位に従って光信号が透過する光フィルタ膜の膜厚が変化して、第1の光信号から変換される第2の光信号の波長が変化することになる。
上述のように、本発明の実施の形態1の変形例においては、連結棒41を介することなく光フィルタ膜45が直接変位する構成であり、連結間の調整等が不要であり、簡易な構成で精度の高い検出を実現可能である。
(実施の形態2)
図4は、本発明の実施の形態2に従う振動検出装置102の概略構成図である。
図4は、本発明の実施の形態2に従う振動検出装置102の概略構成図である。
図4を参照して、本発明の実施の形態2に従う振動検出装置102は、センサ部2aと、本体部1#と、光伝送路3とからなる。
ここで、振動検出装置102は、本体部1#から光伝送路3を介してセンサ部2aへ第1の光信号が伝送され、センサ部2aにおいて外部から受けた振動に応じて、第1の光信号が第2の光信号に変換される。そして、変換された第2の光信号は、再び光伝送路3を介して本体部1#へ伝送され、本体部1#で電気信号に変換された後、検出信号として出力される。一例として、振動検出装置102は、音源から発生する音波による振動を検出する。
光伝送路3は、いずれも光ファイバで構成される。光伝送路3は、センサ部2aと本体部1#とを接続して、光源20から射出される第1の光信号を伝搬するとともにセンサ部2aから射出される第2の光信号を伝搬する。
本体部1#は、本体部1と比較して、光方向性結合器25をさらに含む点で異なる。
光方向性結合器25は、光伝送路3を介してセンサ部2aから伝播される第2の光信号を光電気変換部26に出力し、以降は、実施の形態1で説明したのと同様であるのでその詳細な説明は繰り返さない。なお、光方向性結合器25において、光源20から光伝送路3に第1の光信号を射出するポートと、光伝送路3からの第2の光信号を受けて光電気変換部26に出力するポートは異なるものである。
光方向性結合器25は、光伝送路3を介してセンサ部2aから伝播される第2の光信号を光電気変換部26に出力し、以降は、実施の形態1で説明したのと同様であるのでその詳細な説明は繰り返さない。なお、光方向性結合器25において、光源20から光伝送路3に第1の光信号を射出するポートと、光伝送路3からの第2の光信号を受けて光電気変換部26に出力するポートは異なるものである。
図5は、本発明の実施の形態2に従うセンサ部2aを説明する概略構成図である。
図5を参照して、センサ部2aは、センサ部2と比較して、コリメータレンズ44を反射鏡46に置換した点が異なる。その他の点は同様であるのでその詳細な説明は繰り返さない。
図5を参照して、センサ部2aは、センサ部2と比較して、コリメータレンズ44を反射鏡46に置換した点が異なる。その他の点は同様であるのでその詳細な説明は繰り返さない。
上述したように、コリメータレンズ43から出射された第1の光信号は、光フィルタ膜32に入射される。透過する波長は、光フィルタ膜32の透過光路長に依存しており、さらに、本願構成は、透過した光信号が反射鏡で反射されて再び光フィルタ膜32に入射される。
当該構成により、上述したように光フィルタ膜32は、外部から受けた音波振動の変位に対応付けられた波長をもつ第2の光信号を生成して、コリメータレンズ43に出射することになる。
具体的には、上述しように外部から受けた音波振動の変位に従って第1のコイル37に電力が生じ、第1のコイル37で生じた電力に基づいて第2の磁石38と第2のコイル39との間で生じる電磁力により連結棒41が左右に振動することになる。この連結棒41の変位に従って光フィルタ膜32が回転され、透過光路長が変化して第1の光信号から変換される第2の光信号の波長が変化することになる。
したがって、本実施の形態2に従う構成においても、実施の形態1と同様の効果を得ることができる。
さらに、本実施の形態2に従う構成は、フィルタ膜32を光信号が2回通過する構成であるため第2の光信号について、フィルタ膜32を通過した波長スペクトルの先鋭度が高くなる。すなわち、透過スペクトルの幅が狭窄化すなわち狭くなる。
したがって、本体部1#が得る振動情報としてより精密なデータを入手することが可能であり、精度の高い振動検出装置を実現することが可能である。
また、光伝送路3のみで構成され、光伝送路4を用いない構成であるため部品点数を削減しコストを低減することが可能である。
なお、本例においては、実施の形態1で説明した光フィルタ膜32を用いた場合について説明したが、これに限られず、実施の形態1の変形例で説明した光フィルタ膜45についても同様に適用可能である。
(実施の形態3)
上記の実施の形態1および2においては、外部から受けた音波振動の変位に従って第1のコイル37に電力が生じ、第1のコイル37で生じた電力に基づいて第2の磁石38と第2のコイル39との間で生じる電磁力により第2のコイル39が左右に振動する場合について説明したが、これに限られず、磁石を振動させることも可能である。
上記の実施の形態1および2においては、外部から受けた音波振動の変位に従って第1のコイル37に電力が生じ、第1のコイル37で生じた電力に基づいて第2の磁石38と第2のコイル39との間で生じる電磁力により第2のコイル39が左右に振動する場合について説明したが、これに限られず、磁石を振動させることも可能である。
図6は、本発明の実施の形態3に従うセンサ部2bを説明する概略構成図である。
図6を参照して、本発明の実施の形態3に従うセンサ部2bは、図2で説明した実施の形態1に従うセンサ部2と比較して、第2の磁石38を第2の磁石38aに置換するとともに第2の連結部材40は、第2の磁石38aと連結される点が異なる。また、保持部材33を新たに設けて、第2のコイル39は保持部材33に保持されるとともに固定されているものとする。また、第2の磁石38aは、固定された第2のコイル39の中心付近において紙面の左右に動くように設けられているものとする。
図6を参照して、本発明の実施の形態3に従うセンサ部2bは、図2で説明した実施の形態1に従うセンサ部2と比較して、第2の磁石38を第2の磁石38aに置換するとともに第2の連結部材40は、第2の磁石38aと連結される点が異なる。また、保持部材33を新たに設けて、第2のコイル39は保持部材33に保持されるとともに固定されているものとする。また、第2の磁石38aは、固定された第2のコイル39の中心付近において紙面の左右に動くように設けられているものとする。
上述したように第1のコイル36は、振動膜34の変位に従って第1の磁石37の磁界中を紙面の左右に動くように設けられているものとする。この第1のコイル36の移動によって生じる鎖交磁界の時間的変化に応じて、第1のコイル36に電力が発生する。
そして、第2のコイル39は、第1のコイル36と互いに接続され、第1のコイル36で発生した電力が第2のコイルに伝達される。この第1のコイル36で発生した電力に基づいて第2のコイル39は、磁界を生じさせる。この第2のコイル39で発生した磁界中に第2の磁石38が設けられることとなるため第2のコイル39と第2の磁石38との間で生じる電磁力により第2の磁石38は左右に動くことになる。第2の磁石38は、第2の連結部材40を介して連結棒41と連結されているため第2の磁石38の変位に従って連結棒41の位置が動くことになる。
そして、上述したように光フィルタ膜32は、回転軸42を中心として回転可能なように支持されており、この連結棒41の位置が変化することにより、光フィルタ膜32は回転軸42を中心として回転する。
当該構成により、上述したように光フィルタ膜32は、外部から受けた音波振動の変位に対応付けられた波長をもつ第2の光信号を生成することになる。
具体的には、上述しように外部から受けた音波振動の変位に従って第1のコイル37に電力が生じ、第1のコイル37で生じた電力に基づいて第2の磁石38aに生じる電磁力により連結棒41が左右に振動することになる。この連結棒41の変位に従って光フィルタ膜32が回転され、透過光路長が変化して第1の光信号から変換される第2の光信号の波長が変化することになる。
したがって、本実施の形態3に従う構成においても、実施の形態1と同様の効果を得ることができる。
なお、上記においては、第1のコイルが第1の磁石の磁界中を外部からの振動に従って変位することにより第1のコイルに電力が発生して第2のコイルに伝達される場合について説明したが、特にこれに限られず、第1の磁石を外部からの振動に従って変位させることも同様に可能である。また、いずれか一方のみならず第1のコイルおよび第1の磁石の両方を変位させて第1のコイルに電力を発生させることも可能である。なお、第2の磁石および第2のコイルについても同様にいずれか一方が変位する場合のみならず両方が変位する構成とすることも可能である。
また、この発明の実施の形態1〜3においては、外部の音源から受けた音波の振動を検出する構成について説明したが、機械的・電気的に発生するさまざまな振動の検出に適応できることは言うまでもない。たとえば、発電機やモータなどの回転機の軸受部に生じる振動を検出することで、その寿命や劣化状態を判定することができる。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 本体部、2,2#,2a,2b センサ部、3,4 光伝送路、20 光源、26 光電気変換部、28 光受信部、30 筐体、32 光フィルタ膜、34 振動膜、35,40 連結部材、36,39 コイル、37,38 磁石、41 連結棒、42 回転軸、43,44 コリメータレンズ、101〜103 振動検出装置。
Claims (5)
- 光伝送路と、
前記光伝送路を介して第1の光信号を与える光信号供給手段と、
前記光信号供給手段により与えられた前記第1の光信号を受け、外部から受けた振動の変位に対応付けられた波長をもつ第2の光信号を出力させるセンサ部と、
前記センサ部において生成される前記第2の光信号に基づいて前記センサ部が受けた振動の変位に応じた検出信号を生成する光検知部とを備え、
前記センサ部は、
第1の磁石と、
前記第1の磁石の磁界中に設けられ、外部から受けた振動に応じて電気信号を生じさせる第1のコイルと、
第2の磁石と、
前記第2の磁石の磁界中に設けられ、前記第1のコイルと接続されて前記第1のコイルに生じた電気信号に基づいて前記第2の磁石との間で生じる電磁力に従って振動する第2のコイルと、
前記第2のコイルの振動の変位に応じて、透過させる光の波長を変化させるフィルタ部とを含む、振動検出装置。 - 前記フィルタ部は、
前記光信号供給手段により与えられた前記第1の光信号が入射されるフィルタ膜と、
前記フィルタ膜を支持し、支持点を中心にして回転可能な回転軸と、
前記フィルタ膜の一部と連結され、前記第2のコイルとともに振動する連結棒とを含み、
前記第2のコイルの振動の変位に応じて、前記フィルタ膜に入射する前記第1の光信号の透過光路が変化する、請求項1記載の振動検出装置。 - 前記フィルタ部は、
前記光信号供給手段により与えられた前記第1の光信号が入射され、位置に応じて膜厚が異なる台形状のフィルタ膜と、
前記台形状のフィルタ膜を支持し、前記第2のコイルとともに振動する支持台とを含み、
前記第2のコイルの振動の変位に応じて、前記台形状のフィルタ膜に入射される位置が変化する、請求項1記載の振動検出装置。 - 前記フィルタ部は、
前記フィルタ膜を透過した光信号を反射して再び前記フィルタ膜に入射するための反射鏡をさらに含み、
前記反射鏡により反射され、前記フィルタ膜を透過した前記第2の光信号は、前記光伝送路を介して伝送される、請求項2または3記載の振動検出装置。 - 光伝送路と、
前記光伝送路を介して第1の光信号を与える光信号供給手段と、
前記光信号供給手段により与えられた前記第1の光信号を受け、外部から受けた振動の変位に対応付けられた波長をもつ第2の光信号を出力させるセンサ部と、
前記センサ部において生成される前記第2の光信号に基づいて前記センサ部が受けた振動の変位に応じた検出信号を生成する光検知部とを備え、
前記センサ部は、
第1の磁石と、
前記第1の磁石の磁界中に設けられ、前記外部から受けた振動に基づいて電気信号を発生させる第1のコイルと、
第2の磁石と、
前記第2の磁石の磁界中に設けられ、前記第1のコイルと接続される第2のコイルとを含み、
前記電気信号は、前記外部から受けた振動に基づいて前記第1の磁石および前記第1のコイルの少なくとも一方が変位して発生し、
前記第2のコイルは、前記第1のコイルに発生した電気信号に従って磁界を発生させ、 前記第2のコイルが発生した磁界と、前記第2の磁石の磁界との間で生じる電磁力に従って前記第2の磁石および前記第2のコイルの少なくとも一方が変位し、
前記第2の磁石および前記第2のコイルの少なくとも一方の変位に応じて、透過させる光の波長を変化させるフィルタ部をさらに含む、振動検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007008332A JP2008175642A (ja) | 2007-01-17 | 2007-01-17 | 振動検出装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101094639B1 (ko) | 2009-08-31 | 2011-12-20 | 경상대학교산학협력단 | 축결함측정장치 |
JP2016134670A (ja) * | 2015-01-16 | 2016-07-25 | 株式会社レーベン販売 | 光マイクロフォン、および補聴器 |
CN111595432A (zh) * | 2020-06-23 | 2020-08-28 | 徐孟然 | 一种振动探测机构 |
-
2007
- 2007-01-17 JP JP2007008332A patent/JP2008175642A/ja not_active Withdrawn
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