JP6893891B2 - 回転角度センサ及びそれを用いたロボット - Google Patents

回転角度センサ及びそれを用いたロボット Download PDF

Info

Publication number
JP6893891B2
JP6893891B2 JP2018018776A JP2018018776A JP6893891B2 JP 6893891 B2 JP6893891 B2 JP 6893891B2 JP 2018018776 A JP2018018776 A JP 2018018776A JP 2018018776 A JP2018018776 A JP 2018018776A JP 6893891 B2 JP6893891 B2 JP 6893891B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotation angle
angle sensor
wave
propagating
sensor according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2018018776A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2019138629A (ja
Inventor
隆浩 長井
隆浩 長井
平野 克彦
克彦 平野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi GE Nuclear Energy Ltd
Original Assignee
Hitachi GE Nuclear Energy Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi GE Nuclear Energy Ltd filed Critical Hitachi GE Nuclear Energy Ltd
Priority to JP2018018776A priority Critical patent/JP6893891B2/ja
Publication of JP2019138629A publication Critical patent/JP2019138629A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6893891B2 publication Critical patent/JP6893891B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Description

本発明は、駆動部を有する機械装置の回転角度を遠隔で認識する回転角度センサ及びそれを用いたロボットに係わる。
人間の立ち入りが困難な災害現場においては、遠隔地にいるオペレータが遠隔操作ロボットを操作し作業を行っている。その際、遠隔操作ロボットを制御するために、ロボットのアームの関節状態量や移動部の駆動量を回転角度に変換してセンシングしている。従来では、ロボット駆動量をセンシングするため、電子機器で構成されたセンサを用いてセンシングがされている。
回転角度センサ装置に関する技術として、例えば、特許文献1には、アクチュエータの関節機構部の回転子に角度センサ(エンコーダ)を配置し、指部の変化を角度センサにより、回転角度を検出するロボットハンド機構が開示されている。特許文献2には、回転子に角度をずらして配置した2つのトルク検出素子による位相差による検出出力の違いを利用して回転角を検出する技術が開示されている。特許文献3には、少なくとも1つのセンサ(超音波センサ等)が、定値発生器の進んだ距離を検出し、距離が回転構成部材の回転角を表すセンサ装置が開示されている。
特開2015−74046号公報
特開平10−19554号公報
特開2013−171050号公報
上記従来技術においては、通常作業向けのセンシング技術である。しかしながら、高放射線環境等の苛酷環境では故障の発生、または遮蔽の必要があり、適用が困難であった。
本発明が解決しようとする課題は、高放射線環境等の過酷環境に適用可能な素子を用いた回転角度センサを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明では、高放射線環境に耐性のある1対の伝播波センサの伝搬時間で回転を計測する。1対の伝播波センサは、楕円形状のプレートの焦点部位に設置され、送信側は回転部を有し送信方向が回転とともに変化し、もう一方の受信側は、広い角度からの受信を可能とする。送受信の設置位置やプレートの媒質を調整することで、伝播波信号の遅延時間から回転角度を計測し、直動関節や回転関節の状態を検出するものである。
本発明によれば、高放射線環境に設置したアームの関節状態量を遠隔で認識することができる。
実施例1に係るセンサ装置の構成図である。 実施例1の計算結果である。 図2での計算を行った際のセンサ構成図である。 実施例2に係るセンサ装置の構成図である。 実施例2の計算結果である。 図5での計算を行った際のセンサ構成図である。 ロボットアームの回転関節にセンサ装置を取り付けた概略図である。
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。
本実施例では、構成を用いて検出原理を説明しながら、センサ装置の内容を述べる。図1は、実施例1に係るセンサ装置の構成図である。
図1においては、1対の超音波センサを有するセンサ装置として説明する。実施例1では、伝播波を超音波としているが、レーザ等の光波を用いることも可能である。センサ装置1は楕円形プレート11内に、回転部14と円形の超音波受信器16を有しており、回転部14の円周外側の一箇所に超音波送信器15が埋め込まれている。回転子の中心位置は楕円形プレート11の楕円焦点19に設置し、超音波受信器16の受信器中心21を、もう一方の楕円焦点19からずらして設置する。なお、超音波送信器15は伝播波送信器として、超音波発生装置とした場合には圧電素子、探触子、光波発生装置とした場合には光ファイバー、レーザ、LED、音波発生装置とした場合にはスピーカとすることができる。超音波受信器16は伝播波受信器として、超音波受信装置とした場合には圧電素子、光波受信装置とした場合には光ファイバー、ダイオード、半導体、音波受信装置とした場合にはマイクロホンとすることができる。
超音波導波路17は、楕円焦点19からの伝播波は楕円外側端面で反射後、もう一方の楕円焦点19へ集束される。そのため、回転部14の任意の回転角度20で、超音波送信器15から発信された超音波は楕円外側端面で反射し、超音波受信器16に到達する。このとき、超音波受信器16の受信器中心21は楕円焦点19からずれて設置しているため、回転部14の回転角度20に応じて超音波導波路17の導波長が変化する。導波長が変化すると、超音波の伝播波信号の遅延時間が変化するため、回転角度に変換することができる。
図2は、実施例1の計算結果を示す。図3は図2での計算を行った際のセンサ構成図である。図2での計算結果時のセンサ構成では、図3に示すように楕円形プレート11の長径を4cm、短径を3.4cmとし、回転部14の半径を1cm、超音波受信器16の半径0.5cmとし、楕円焦点19と超音波受信器16との偏差を0.25cmとした。また、楕円形プレート11の媒質をアルミニウムとして、遅延時間ごとの回転部14の回転角度20を計算した。計算の結果、遅延時間から回転部14の回転角度20を求めることができる。実施例1で示した媒質、寸法は実装体系や計測精度に応じて設定可能である。なお、回転角度20は別途設けた回転角度を算出する回転角度算出部22にて求める。
本実施例によれば、高放射線環境等の過酷環境に適用可能な素子を用いてセンサを構成しているため、高放射線環境に設置したアームの関節状態量を遠隔で認識することができる。
図4は、実施例2に係るセンサ装置の構成図である。図4において、1対の超音波センサを有するセンサ装置として説明する。実施例2では、伝播波を超音波としているが、レーザ等の光波を用いることも可能である。センサ装置1は楕円形プレート11内に、回転部14と円形の超音波受信器16を有しており、回転部14の円周外側の一箇所に超音波送信器15が埋め込まれている。回転子の中心位置、および、超音波受信器16の受信器中心21は楕円形プレート11の楕円焦点19に設置する。また、楕円形プレートの媒質をプレート内で2種類としている。
図5は、実施例2の計算結果を示す。図6は図5での計算を行った際のセンサ構成図である。図5の計算結果時のセンサ構成では、図6に示すように楕円形プレート11の長径を4cm、短径を3.4cmとし、回転部14の半径を1cm、超音波受信器16の半径0.5cmとした。また、楕円形プレート11を短辺方向に等分し、媒質をそれぞれ、回転部14を含む領域をアルミニウム(媒質A12)、超音波受信器16を含む領域を黄銅(媒質B13)とした。遅延時間ごとの回転部14の回転角度20を計算した結果、遅延時間から回転部14の回転角度20を求めることがでる。実施例2で示した媒質、寸法、媒質形状は実装体系や計測精度に応じて設定可能である。なお、回転角度20は別途設けた回転角度を算出する回転角度算出部22(図示せず)にて求める。
本実施例によれば、実施例1の効果に加えて、異なる媒質で超音波導波路を構成したことにより、遅延時間の回転角度に依存するばらつきを抑え、より計測精度が向上できる。
図7は、ロボットのアーム部の回転関節にセンサ装置を取り付けた概略図である。図7において、ロボットはアーム部3の間に回転関節部2を有し、回転関節部2の中心に回転関節軸4がある。センサ装置1の回転部14の中心と回転関節軸4の中心を連結することで、ロボットアームの回転関節の回転角を計測する。なお、実施例3で示した体系は回転関節についてであるが、直動関節を回転運動に変換する機構を設ければ、センサ装置1を適用することが可能である。
以上のように構成した本実施例の効果を説明する。従来技術においては、通常作業向けのセンシング技術である。しかしながら、高放射線環境等の苛酷環境では故障の発生、または遮蔽の必要があり、適用が困難であった。これに対して、本実施例に係るセンサ装置では、高放射線環境に設置したアームの関節状態量を遠隔で認識することを可能とする。
なお、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な例(媒質、寸法、伝播波の種類等)が含まれる。上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも全ての機能に限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である
1:センサ装置
2:回転関節部
3:アーム部
4:回転関節軸
11:楕円形プレート
12:媒質A
13:媒質B
14:回転部
15:超音波送信器
16:超音波受信器
17:超音波導波路
19:楕円焦点
20:回転角度
21:受信器中心
22:回転角度算出部

Claims (7)

  1. 伝播波が伝播する楕円形状プレートと、
    前記楕円形状プレートの焦点部位に設置した駆動部と連動する回転部と、
    前記回転部の回転角度をセンシングする一組の伝播波送信器と伝播波受信器と
    前記伝播波の信号の伝播時間差から回転角度を算出する算出部を備えた回転角度センサ。
  2. 請求項1に記載の回転角度センサにおいて、
    前記楕円形状プレートは、金属、有機物、液体、気体、真空を含む伝播波を伝播する媒質であり、前記楕円形状プレート内に1種類、または複数含むことを特徴とする回転角度センサ。
  3. 請求項1に記載の回転角度センサにおいて、
    前記伝播波は、音波、超音波、光波を含むことを特徴とする回転角度センサ。
  4. 請求項1に記載の回転角度センサにおいて、
    前記伝播波送信器は、超音波発生装置としての圧電素子、探触子、又は、光波発生装置としての光ファイバー、レーザ、LED、又は、音波発生装置としてのスピーカのいずれか一つを備えることを特徴とする回転角度センサ。
  5. 請求項1に記載の回転角度センサにおいて、
    前記伝播波受信器は、超音波受信装置としての圧電素子、又は、光波受信装置としての光ファイバー、ダイオード、半導体、又は、音波受信装置としてのマイクロホンのいずれか一つを備えることを特徴とする回転角度センサ。
  6. 請求項1に記載の回転角度センサにおいて、
    前記伝播波送信器及び伝播波受信器は、発信、受信位置を回転角度センサと有線、又は無線接続することを特徴とする回転角度センサ。
  7. 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の回転角度センサと、
    前記回転角度センサが設け垂れた回転関節部と、
    前記回転関節部に設けられたアームとを備えたロボット。
JP2018018776A 2018-02-06 2018-02-06 回転角度センサ及びそれを用いたロボット Active JP6893891B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018018776A JP6893891B2 (ja) 2018-02-06 2018-02-06 回転角度センサ及びそれを用いたロボット

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018018776A JP6893891B2 (ja) 2018-02-06 2018-02-06 回転角度センサ及びそれを用いたロボット

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019138629A JP2019138629A (ja) 2019-08-22
JP6893891B2 true JP6893891B2 (ja) 2021-06-23

Family

ID=67695196

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018018776A Active JP6893891B2 (ja) 2018-02-06 2018-02-06 回転角度センサ及びそれを用いたロボット

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6893891B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112570947A (zh) * 2020-12-24 2021-03-30 上海燊星机器人科技有限公司 一种机器人智能装配焊接系统及方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH074935A (ja) * 1993-06-15 1995-01-10 Nikon Corp 回転角検出装置
JPH1019554A (ja) * 1996-06-28 1998-01-23 Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd 撓み噛み合い式歯車装置の回転角検出装置
US6124709A (en) * 1998-06-05 2000-09-26 Cts Corporation Magnetic position sensor having a variable width magnet mounted into a rotating disk and a hall effect sensor
FR2845469B1 (fr) * 2002-10-07 2005-03-11 Moving Magnet Tech Capteur de position analogique a reluctance variable
JP2015074046A (ja) * 2013-10-08 2015-04-20 株式会社豊田自動織機 ロボットハンド機構

Also Published As

Publication number Publication date
JP2019138629A (ja) 2019-08-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100633160B1 (ko) 비콘을 이용하여 위치 및 방향 인식이 가능한 로봇시스템
CN103562687B (zh) 超声波发送接收器及超声波流量计
WO2004098234A1 (ja) 超音波センサ
JP6893891B2 (ja) 回転角度センサ及びそれを用いたロボット
EP2418482A1 (en) Surface acoustic wave humidity sensor
KR101031253B1 (ko) 광섬유 격자 센서를 이용한 압력측정장치
JP5755993B2 (ja) 超音波センサ
US9885610B2 (en) Thermowell system with vibration detection
JP6089550B2 (ja) 風向風速計測装置
JP5287513B2 (ja) 超音波流量計
JP2012185145A (ja) 測定装置
JP2020518810A (ja) 回転部品の角度を決定する装置
JP2008107251A (ja) 位置検出システム
JP5658061B2 (ja) 力学量センサ
JP2018173280A (ja) 超音波式気体センサ装置
JP3114397B2 (ja) 光学装置
JP2008175642A (ja) 振動検出装置
TW202219468A (zh) 超音波流量測量裝置
JP5390744B2 (ja) 位置検出システム
WO2020230270A1 (ja) 振動センサ
JP2020165705A (ja) 対象物位置検出センサ
JP2016080433A (ja) 超音波流量計
CN114440749B (zh) 磁致伸缩位移传感器
JP2006015822A (ja) タイヤ歪み検出用センサシステム
JP2013130407A (ja) 超音波流量計位置決め金具

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180207

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200707

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20200715

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20200721

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200713

TRDD Decision of grant or rejection written
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20210526

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210601

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210602

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6893891

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150