JP2001304952A - 超音波音圧センサ - Google Patents
超音波音圧センサInfo
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- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 claims abstract description 81
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 56
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 44
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 17
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 16
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 8
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 claims description 6
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 46
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000004204 blood vessel Anatomy 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H11/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties
- G01H11/06—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means
- G01H11/08—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means using piezoelectric devices
-
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- A—HUMAN NECESSITIES
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- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B2562/00—Details of sensors; Constructional details of sensor housings or probes; Accessories for sensors
- A61B2562/02—Details of sensors specially adapted for in-vivo measurements
- A61B2562/0204—Acoustic sensors
-
- A—HUMAN NECESSITIES
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- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B7/00—Instruments for auscultation
- A61B7/02—Stethoscopes
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Abstract
を感知すること。 【解決手段】 入力用すだれ状電極2に入力電気信号を
印加すると、圧電基板1に弾性波が励振される。この弾
性波の漏洩成分は貯蔵室6の液体中に縦波として伝搬さ
れ、弾性膜5によって反射され、第1出力用すだれ状電
極3によって第1遅延電気信号として検出される。弾性
波の非漏洩成分は第2出力用すだれ状電極4によって第
2遅延電気信号として検出される。もしも弾性膜5が音
圧を感知すると、第1および第2遅延電気信号の間に差
が生じる。この差は信号分析手段7によって検出され
る。
Description
ことにより伝搬される音圧を感知する超音波音圧センサ
に関する。
接触型と非接触型がある。微小変位測定用の電気マイク
ロメータやデジタルゲージ、回転軸測定用のロータリエ
ンコーダ、長変位測定用のリニアスケールなどは接触型
センサに属する。ロータリエンコーダは回転する被測定
物の回転数や回転速度を制御するために用いられ、電気
マイクロメータ、デジタルゲージおよびロータリエンコ
ーダは被測定物の長さの基準用などとして用いられてい
る。これらの接触型センサは測定精度、応答時間などに
問題を有する。レーザ型センサや電気音響型センサなど
は非接触型センサに属する。レーザ型センサは、レーザ
光自身のゆらぎによる光路長の増大による測定精度の悪
化、装置の規模の小型化が困難であること、測定方法の
複雑さなどの問題点を有している。電気音響型センサは
変位の測定範囲の狭さや測定精度にも問題点を有してい
る。
軽量でしかも簡便なデバイス構成を実現でき、検出感度
が高く、高速応答に優れ、低消費電力駆動が可能な超音
波音圧センサを提供することにある。
音圧センサは、圧電基板、入力用すだれ状電極、第1出
力用すだれ状電極、第2出力用すだれ状電極、弾性膜、
貯蔵室および信号分析手段から成る超音波音圧センサで
あって、前記入力用すだれ状電極と、前記第1および第
2出力用すだれ状電極は、前記圧電基板の一方の端面に
設けられており、前記貯蔵室は、前記圧電基板のもう一
方の端面および前記弾性膜の内面と接触する液体を貯蔵
し、前記入力用すだれ状電極は、入力電気信号を印加さ
れることにより前記圧電基板に弾性波を励振し、前記弾
性波のうちの漏洩成分を前記液体中に縦波として照射
し、前記弾性膜は前記縦波を反射し、前記第1出力用す
だれ状電極は、前記弾性膜で反射された前記縦波を第1
遅延電気信号に変換し、前記第2出力用すだれ状電極
は、前記弾性波のうちの非漏洩成分を第2遅延電気信号
として検出し、前記信号分析手段は、前記弾性膜の外面
を介して外部から伝搬される音圧を前記第1遅延電気信
号と前記第2遅延電気信号との差から感知する。
電基板、入力用すだれ状電極、第1出力用すだれ状電
極、第2出力用すだれ状電極、弾性膜、貯蔵室および信
号分析手段から成る超音波音圧センサであって、前記入
力用すだれ状電極と、前記第1および第2出力用すだれ
状電極は、前記圧電基板の一方の端面に設けられてお
り、前記貯蔵室は液体室、気体室およびそれらを分ける
仕切り膜で成り、前記液体室は前記圧電基板のもう一方
の端面と接触する液体を貯蔵し、前記気体室には弾性膜
が設けられており、前記入力用すだれ状電極は、入力電
気信号を印加されることにより前記圧電基板に弾性波を
励振し、前記弾性波のうちの漏洩成分を前記液体中に縦
波として照射し、前記仕切り膜は前記縦波を反射し、前
記第1出力用すだれ状電極は、前記仕切り膜で反射され
た前記縦波を第1遅延電気信号に変換し、前記第2出力
用すだれ状電極は、前記弾性波のうちの非漏洩成分を第
2遅延電気信号として検出し、前記信号分析手段は、前
記弾性膜を介して外部から伝搬される音圧を前記第1遅
延電気信号と前記第2遅延電気信号との差から感知す
る。
記入力用すだれ状電極および前記第2出力用すだれ状電
極の間に増幅器が設けられ、前記増幅器は前記第2遅延
電気信号を増幅し、前記入力用すだれ状電極、前記第2
出力用すだれ状電極および前記増幅器は遅延線発振器を
構成する。
記入力用すだれ状電極および前記第1出力用すだれ状電
極の間に増幅器が設けられ、前記増幅器は前記第1遅延
電気信号を増幅し、前記入力用すだれ状電極、前記第1
出力用すだれ状電極および前記増幅器は遅延線発振器を
構成する。
記信号分析手段が位相比較器で成り、前記位相比較器は
前記第1遅延電気信号の位相および前記第2遅延電気信
号の位相を比較し、前記音圧を前記第1遅延電気信号と
前記第2遅延電気信号との位相差から感知する。
記入力用すだれ状電極と、前記第1および第2出力用す
だれ状電極は、それぞれが円弧状を成すとともに互いに
同心を有する位置関係を形成する。
記圧電基板が圧電セラミック薄板で成り、前記圧電セラ
ミック薄板の分極軸の方向がその厚さ方向と平行であ
る。
記圧電基板が圧電性高分子薄板で成る。
記弾性膜が高分子フィルムで成る。
前記弾性膜が金属製フィルムで成る。
電基板、入力用すだれ状電極、第1出力用すだれ状電
極、第2出力用すだれ状電極、弾性膜、貯蔵室および信
号分析手段から成る簡単な構造を有する。入力用すだれ
状電極と、第1および第2出力用すだれ状電極は、圧電
基板の一方の端面に設けられている。貯蔵室は、圧電基
板のもう一方の端面および弾性膜の内面と接触する液体
を貯蔵している。もしも、入力用すだれ状電極に入力電
気信号が印加されると、圧電基板に弾性波が励振され
る。この弾性波のうちの漏洩成分は液体中に縦波として
照射され、この縦波は弾性膜によって反射され、第1出
力用すだれ状電極によって第1遅延電気信号として検出
される。弾性波のうちの非漏洩成分は、第2出力用すだ
れ状電極によって第2遅延電気信号として検出される。
信号分析手段は、弾性膜の外面を介して外部から伝搬さ
れる音圧を第1遅延電気信号と第2遅延電気信号との差
から感知する。
圧電基板、入力用すだれ状電極、第1出力用すだれ状電
極、第2出力用すだれ状電極、弾性膜、貯蔵室および信
号分析手段から成り、貯蔵室が液体室と、弾性膜が備え
られた気体室と、液体室および気体室を分ける仕切り膜
で成る簡単な構造を有する。入力用すだれ状電極と、第
1および第2出力用すだれ状電極は、圧電基板の一方の
端面に設けられている。液体室は圧電基板のもう一方の
端面と接触する液体を貯蔵している。もしも、入力用す
だれ状電極に入力電気信号が印加されると、圧電基板に
弾性波が励振される。この弾性波のうちの漏洩成分は液
体中に縦波として照射され、この縦波は仕切り膜によっ
て反射され、第1出力用すだれ状電極によって第1遅延
電気信号として検出される。弾性波のうちの非漏洩成分
は、第2出力用すだれ状電極によって第2遅延電気信号
として検出される。信号分析手段は、弾性膜の外面を介
して外部から伝搬される音圧を第1遅延電気信号と第2
遅延電気信号との差から感知する。
だれ状電極および第2出力用すだれ状電極の間に増幅器
を備えた構造が可能である。このとき、第2遅延電気信
号は増幅器によって増幅された後、入力用すだれ状電極
に再び印加される。このようにして、入力用すだれ状電
極、第2出力用すだれ状電極および増幅器は遅延線発振
器を構成する。従って、デバイスの小型軽量化が促進さ
れ、低消費電力駆動が可能となる。
だれ状電極および第1出力用すだれ状電極の間に増幅器
を備えた構造が可能である。このとき、第1遅延電気信
号は増幅器によって増幅された後、入力用すだれ状電極
に再び印加される。このようにして、入力用すだれ状電
極、第1出力用すだれ状電極および増幅器は遅延線発振
器を構成する。従って、デバイスの小型軽量化が促進さ
れ、低消費電力駆動が可能となる。
手段が位相比較器で成る構造が可能である。位相比較器
は第1遅延電気信号の位相および第2遅延電気信号の位
相を比較し、弾性膜の外面を介して伝搬される音圧を第
1遅延電気信号と第2遅延電気信号との位相差から感知
する。このようにして、高感度なデバイスを提供するこ
とができる。
だれ状電極と、前記第1および第2出力用すだれ状電極
が、それぞれ円弧状を成すとともに互いに同心を有する
構造が可能である。このような構造を採用することによ
り、圧電基板に励振された弾性波のうちの漏洩成分が効
率よく液体中に縦波としてモード変換されるばかりでな
く、液体中において弾性膜または仕切り膜によって反射
された縦波が第1出力用すだれ状電極によって効率よく
第1遅延電気信号に変換される。従って、音圧の検出感
度を向上させることが可能となる。
が圧電セラミック薄板で成り、その分極軸の方向が厚さ
方向と平行である構造、または圧電基板が圧電性高分子
薄板で成る構造が可能である。このような構造を採用す
ることにより、音圧の検出感度を向上させることが可能
となるばかりでなく、装置の小型軽量化を促進すること
ができる。
高分子フィルムまたは金属製フィルムで成る構造が可能
である。このような構造を採用することにより、音圧の
検出感度を向上させることが可能となる。
施例を示す構成図である。本実施例は圧電基板1、入力
用すだれ状電極2、第1出力用すだれ状電極3、第2出
力用すだれ状電極4、弾性膜5、貯蔵室6、信号分析手
段7、位相偏移器8および信号発生器9から成る。圧電
基板1は圧電セラミック薄板または圧電性高分子薄板で
成る。入力用すだれ状電極2、第1出力用すだれ状電極
3および第2出力用すだれ状電極4は、それぞれが円弧
状を成し、アルミニウム薄膜で成り、圧電基板1の一方
の端面上に設けられている。弾性膜5は燐青銅または高
分子フィルムで成る。貯蔵室6に貯蔵されている液体は
圧電基板1のもう一方の端面および弾性膜5の内面と接
触している。信号分析手段7は位相比較器で成る。図1
の超音波音圧センサを用いて、たとえば人の脈拍を測定
する場合、すなわち血管の振動による音圧を測定する場
合には、人の手首の内側などに弾性膜5の外面を接触さ
せることにより測定を行う。このようにして、図1の超
音波音圧センサは小型軽量で構造も簡単である。
2、第1出力用すだれ状電極3および第2出力用すだれ
状電極4で成るデバイスを上方から見たときの平面図で
ある。入力用すだれ状電極2と第1出力用すだれ状電極
3の離間距離は6mmで、開口角は45°である。入力
用すだれ状電極2、第1出力用すだれ状電極3および第
2出力用すだれ状電極4はともに5対の電極指を有し、
電極周期長は340μmで、それらは互いに同心を有す
るように配置されている。
すだれ状電極2の電極周期長に対応する中心周波数にほ
ぼ等しい周波数の入力電気信号が信号発生器9から入力
用すだれ状電極2に印加されると、圧電基板1に弾性波
が励振される。この弾性波は入力用すだれ状電極2の電
極周期長にほぼ対応する波長を有しており、この弾性波
のうちの漏洩成分が貯蔵室6の液体中に縦波として伝搬
される。つまり、液体中において漏洩弾性波から縦波へ
のモード変換が起こる。この縦波は弾性膜5によって反
射され、反射された縦波は、第1出力用すだれ状電極3
によって第1出力用すだれ状電極3の電極周期長にほぼ
対応する周波数を有する第1遅延電気信号として検出さ
れる。一方、弾性波の非漏洩成分は第2出力用すだれ状
電極4において第2遅延電気信号として検出される。第
1遅延電気信号の位相と第2遅延電気信号の位相は信号
分析手段7において比較される。この場合、第1遅延電
気信号の位相は、音圧が検出されないときには、第2遅
延電気信号の位相と一致するように位相偏移器8によっ
て予め調整されている。
印で示した図である。もしも弾性膜5が外部からの音圧
を感知すると、弾性膜5は機械的に振動する。従って、
縦波の伝搬路長も変化する。伝搬路長の変化は第1遅延
電気信号と第2遅延電気信号との位相差をもたらすこと
から、この位相差によって音圧が高感度で検出される。
また、このような位相比較による音圧検出システムは温
度変化による影響の軽減にも対応しうる。
ドの弾性波の位相速度と、弾性波の周波数fおよび圧電
基板1の厚さdの積fdとの関係を示す特性図である。
圧電基板1中を伝搬する横波の速度は2,450m/s
であり、縦波の速度は4,390m/sである。
ηと、fd値との関係を示す特性図である。S0モード
においては1.5MHz・mm近傍で最も高いピークが
みられることが分かる。
る別のデバイスを上方から見たときの平面図である。図
6のデバイスは圧電基板1、入力用すだれ状電極10、
第1出力用すだれ状電極11および第2出力用すだれ状
電極12で成り、図2のデバイスと同様な機能を果た
す。
実施例を示す構成図である。本実施例は圧電基板1、入
力用すだれ状電極2、第1出力用すだれ状電極3、第2
出力用すだれ状電極4、弾性膜5、貯蔵室6、信号分析
手段7、位相偏移器8および増幅器13から成る。増幅
器13は入力用すだれ状電極2および第2出力用すだれ
状電極4の間に接続されている。
すだれ状電極2に入力電気信号が印加されると、圧電基
板1に弾性波が励振される。この弾性波のうちの漏洩成
分が貯蔵室6の液体中に縦波として伝搬され、この縦波
は弾性膜5によって反射され、反射された縦波は、第1
出力用すだれ状電極3によって第1遅延電気信号として
検出される。一方、弾性波の非漏洩成分は第2出力用す
だれ状電極4において第2遅延電気信号として検出され
る。第2遅延電気信号の一部は増幅器13によって増幅
された後、入力電気信号として再び入力用すだれ状電極
2に印加される。このようにして、入力用すだれ状電極
2、第2出力用すだれ状電極4および増幅器13は帰還
型の遅延線発振器を構成する。第2遅延電気信号の残部
は信号分析手段7に伝えられる。信号分析手段7では第
1遅延電気信号の位相と第2遅延電気信号の位相が比較
される。このとき、第1遅延電気信号の位相は、音圧が
検出されないときには、第2遅延電気信号の位相と一致
するように位相偏移器8によって予め調整されている。
もしも、弾性膜5が音圧を感知すると、信号分析手段7
において第1遅延電気信号と第2遅延電気信号の位相差
が検出される。このようにして、小型軽量で、低消費電
力駆動が可能で、感度が良好な超音波音圧センサが可能
となる。
実施例を示す構成図である。本実施例は増幅器13の接
続位置を除いて図7の超音波音圧センサと同様な構造を
有する。図8において、増幅器13は入力用すだれ状電
極2および第1出力用すだれ状電極3の間に接続されて
いる。図8の超音波音圧センサにおいては、第1出力用
すだれ状電極3で検出された第1遅延電気信号の一部
は、増幅器13によって増幅された後、入力電気信号と
して再び入力用すだれ状電極2に印加される。このよう
にして、入力用すだれ状電極2、第1出力用すだれ状電
極3および増幅器13は帰還型の遅延線発振器を構成す
る。もしも弾性膜5が音圧を感知すると、信号分析手段
7において第1遅延電気信号と第2遅延電気信号の位相
差が検出される。
実施例を示す構成図である。本実施例は圧電基板1、入
力用すだれ状電極2、第1出力用すだれ状電極3、第2
出力用すだれ状電極4、信号分析手段7、位相偏移器
8、信号発生器9および貯蔵室から成る。この貯蔵室は
液体室14、弾性膜16を備えた気体室15、および液
体室14と気体室15を分ける仕切り膜17で成る。弾
性膜16は高分子フィルムで成り、仕切り膜17はゴム
製フィルムで成る。入力用すだれ状電極2、第1出力用
すだれ状電極3および第2出力用すだれ状電極4は、圧
電基板1の一方の端面上に設けられている。液体室14
に貯蔵されている液体は圧電基板1のもう一方の端面と
接触している。気体室15には気体が貯蔵されている。
図9の超音波音圧センサを用いて、たとえば人の鼓動を
測定する場合、弾性膜16の外面を胸部に接触させるこ
とにより測定を行う。このようにして、図9の超音波音
圧センサは小型軽量で構造も簡単である。
気信号が信号発生器9から入力用すだれ状電極2に印加
されると、圧電基板1に弾性波が励振される。この弾性
波のの漏洩成分が液体室14の液体中に縦波として伝搬
され、この縦波は仕切り膜17によって反射され、反射
された縦波は、第1出力用すだれ状電極3によって第1
遅延電気信号として検出される。一方、弾性波の非漏洩
成分は第2出力用すだれ状電極4において第2遅延電気
信号として検出される。もしも弾性膜16が音圧を感知
すると弾性膜16は機械的に振動し、それにつれて仕切
り膜17も振動する。従って、縦波の伝搬路長が変化す
る。伝搬路長の変化は第1遅延電気信号と第2遅延電気
信号との位相差をもたらすことから、この位相差によっ
て音圧が高感度で検出される。また、このような位相比
較による音圧検出システムは温度変化による影響の軽減
にも対応しうる。
図8のような構造、すなわち信号発生器9が増幅器13
に置き換わった構造が可能である。このようにして、帰
還型の遅延線発振器が構成される。従って、小型軽量
で、低消費電力駆動が可能で、感度が良好な超音波音圧
センサが構成される。
しも入力用すだれ状電極に入力電気信号が印加される
と、圧電基板に弾性波が励振される。この弾性波のうち
の漏洩成分は貯蔵室に貯蔵されている液体中に縦波とし
て照射され、この縦波は弾性膜によって反射され、第1
出力用すだれ状電極によって第1遅延電気信号として検
出される。弾性波のうちの非漏洩成分は、第2出力用す
だれ状電極によって第2遅延電気信号として検出され
る。もしも弾性膜を接触することにより音圧が生ずる
と、この音圧は信号分析手段において第1遅延電気信号
と第2遅延電気信号の差として感知される。信号分析手
段が位相比較器で成る場合には、第1遅延電気信号と第
2遅延電気信号の位相差として感知されることから、高
感度なデバイスを提供することが可能となる。
液体室と、弾性膜が備えられた気体室と、液体室および
気体室を分ける仕切り膜で成る構造が可能である。この
場合、弾性波のうちの漏洩成分は液体中に縦波として照
射され、この縦波は仕切り膜によって反射され、第1出
力用すだれ状電極によって第1遅延電気信号として検出
される。弾性波のうちの非漏洩成分は、第2出力用すだ
れ状電極によって第2遅延電気信号として検出される。
もしも弾性膜を接触することにより音圧が生ずると、こ
の音圧は、仕切り膜に伝搬されることから、信号分析手
段において第1遅延電気信号と第2遅延電気信号の差と
して感知される。
だれ状電極および第2出力用すだれ状電極の間、または
入力用すだれ状電極および第1出力用すだれ状電極の間
に増幅器を備えた構造が可能である。このような構造は
遅延線発振器の構成を可能にする。従って、デバイスの
小型軽量化が促進され、低消費電力駆動が可能となる。
だれ状電極と、前記第1および第2出力用すだれ状電極
が、それぞれ円弧状を成すとともに互いに同心を有する
構造が可能である。このような構造を採用することによ
り、圧電基板に励振された弾性波のうちの漏洩成分が効
率よく液体中に縦波としてモード変換されるばかりでな
く、液体中において弾性膜または仕切り膜によって反射
された縦波が第1出力用すだれ状電極によって効率よく
第1遅延電気信号に変換される。従って、音圧の検出感
度を向上させることが可能となる。
が圧電セラミック薄板で成り、その分極軸の方向が厚さ
方向と平行である構造、または圧電基板が圧電性高分子
薄板で成る構造が可能である。このような構造を採用す
ることにより、音圧の検出感度を向上させることが可能
となるばかりでなく、装置の小型軽量化を促進すること
ができる。
高分子フィルムまたは金属製フィルムで成る構造が可能
である。このような構造を採用することにより、音圧の
検出感度を向上させることが可能となる。
す構成図。
用すだれ状電極3および第2出力用すだれ状電極4で成
るデバイスを上方から見たときの平面図。
図。
の位相速度と、弾性波の周波数fおよび圧電基板1の厚
さdの積fdとの関係を示す特性図。
値との関係を示す特性図。
イスを上方から見たときの平面図。
す構成図。
す構成図。
す構成図。
Claims (10)
- 【請求項1】 圧電基板、入力用すだれ状電極、第1出
力用すだれ状電極、第2出力用すだれ状電極、弾性膜、
貯蔵室および信号分析手段から成る超音波音圧センサで
あって、前記入力用すだれ状電極と、前記第1および第
2出力用すだれ状電極は、前記圧電基板の一方の端面に
設けられており、前記貯蔵室は、前記圧電基板のもう一
方の端面および前記弾性膜の内面と接触する液体を貯蔵
し、前記入力用すだれ状電極は、入力電気信号を印加さ
れることにより前記圧電基板に弾性波を励振し、前記弾
性波のうちの漏洩成分を前記液体中に縦波として照射
し、前記弾性膜は前記縦波を反射し、前記第1出力用す
だれ状電極は、前記弾性膜で反射された前記縦波を第1
遅延電気信号に変換し、前記第2出力用すだれ状電極
は、前記弾性波のうちの非漏洩成分を第2遅延電気信号
として検出し、前記信号分析手段は、前記弾性膜の外面
を介して外部から伝搬される音圧を前記第1遅延電気信
号と前記第2遅延電気信号との差から感知する超音波音
圧センサ。 - 【請求項2】 圧電基板、入力用すだれ状電極、第1出
力用すだれ状電極、第2出力用すだれ状電極、弾性膜、
貯蔵室および信号分析手段から成る超音波音圧センサで
あって、前記入力用すだれ状電極と、前記第1および第
2出力用すだれ状電極は、前記圧電基板の一方の端面に
設けられており、前記貯蔵室は液体室、気体室およびそ
れらを分ける仕切り膜で成り、前記液体室は前記圧電基
板のもう一方の端面と接触する液体を貯蔵し、前記気体
室には弾性膜が設けられており、前記入力用すだれ状電
極は、入力電気信号を印加されることにより前記圧電基
板に弾性波を励振し、前記弾性波のうちの漏洩成分を前
記液体中に縦波として照射し、前記仕切り膜は前記縦波
を反射し、前記第1出力用すだれ状電極は、前記仕切り
膜で反射された前記縦波を第1遅延電気信号に変換し、
前記第2出力用すだれ状電極は、前記弾性波のうちの非
漏洩成分を第2遅延電気信号として検出し、前記信号分
析手段は、前記弾性膜を介して外部から伝搬される音圧
を前記第1遅延電気信号と前記第2遅延電気信号との差
から感知する超音波音圧センサ。 - 【請求項3】 前記入力用すだれ状電極および前記第2
出力用すだれ状電極の間に増幅器が設けられ、前記増幅
器は前記第2遅延電気信号を増幅し、前記入力用すだれ
状電極、前記第2出力用すだれ状電極および前記増幅器
は遅延線発振器を構成する請求項1または2に記載の超
音波音圧センサ。 - 【請求項4】 前記入力用すだれ状電極および前記第1
出力用すだれ状電極の間に増幅器が設けられ、前記増幅
器は前記第1遅延電気信号を増幅し、前記入力用すだれ
状電極、前記第1出力用すだれ状電極および前記増幅器
は遅延線発振器を構成する請求項1または2に記載の超
音波音圧センサ。 - 【請求項5】 前記信号分析手段が位相比較器で成り、
前記位相比較器は前記第1遅延電気信号の位相および前
記第2遅延電気信号の位相を比較し、前記音圧を前記第
1遅延電気信号と前記第2遅延電気信号との位相差から
感知する請求項1,2,3または4に記載の超音波音圧
センサ。 - 【請求項6】 前記入力用すだれ状電極と、前記第1お
よび第2出力用すだれ状電極は、それぞれが円弧状を成
すとともに互いに同心を有する位置関係を形成する請求
項1,2,3,4または5に記載の超音波音圧センサ。 - 【請求項7】 前記圧電基板が圧電セラミック薄板で成
り、前記圧電セラミック薄板の分極軸の方向がその厚さ
方向と平行である請求項1,2,3,4,5または6に
記載の超音波音圧センサ。 - 【請求項8】 前記圧電基板が圧電性高分子薄板で成る
請求項1,2,3,4,5または6に記載の超音波音圧
センサ。 - 【請求項9】 前記弾性膜が高分子フィルムで成る請求
項1,2,3,4,5,6,7または8に記載の超音波
音圧センサ。 - 【請求項10】 前記弾性膜が金属製フィルムで成る請
求項1,2,3,4,5,6,7または8に記載の超音
波音圧センサ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/557,057 US6393920B1 (en) | 2000-04-21 | 2000-04-21 | Sound pressure sensing device |
JP2000120667A JP4214551B2 (ja) | 2000-04-21 | 2000-04-21 | 超音波音圧センサ |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/557,057 US6393920B1 (en) | 2000-04-21 | 2000-04-21 | Sound pressure sensing device |
JP2000120667A JP4214551B2 (ja) | 2000-04-21 | 2000-04-21 | 超音波音圧センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001304952A true JP2001304952A (ja) | 2001-10-31 |
JP4214551B2 JP4214551B2 (ja) | 2009-01-28 |
Family
ID=26590529
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000120667A Expired - Fee Related JP4214551B2 (ja) | 2000-04-21 | 2000-04-21 | 超音波音圧センサ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6393920B1 (ja) |
JP (1) | JP4214551B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020213055A1 (ja) * | 2019-04-16 | 2020-10-22 | 三菱電機株式会社 | 振動センサ及び振動検知装置 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4640627B2 (ja) * | 1999-09-06 | 2011-03-02 | 耕司 戸田 | 超音波ドップラー流速計 |
US6637268B1 (en) * | 2002-05-20 | 2003-10-28 | Kohji Toda | Vibration displacement sensing system |
US6640631B1 (en) * | 2002-05-20 | 2003-11-04 | Kohji Toda | System and measuring sound velocity in material |
KR20090116039A (ko) * | 2008-05-06 | 2009-11-11 | 한국표준과학연구원 | 음향 임피던스 변화를 이용한 압력측정장치 |
WO2020230270A1 (ja) * | 2019-05-14 | 2020-11-19 | 三菱電機株式会社 | 振動センサ |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3745812A (en) * | 1971-07-07 | 1973-07-17 | Zenith Radio Corp | Acoustic imaging apparatus |
CS267053B1 (en) * | 1985-06-24 | 1990-02-12 | Capek Jan | Palpable sensing element for robot |
WO1989008336A1 (en) * | 1988-02-29 | 1989-09-08 | The Regents Of The University Of California | Plate-mode ultrasonic sensor |
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-
2000
- 2000-04-21 JP JP2000120667A patent/JP4214551B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2000-04-21 US US09/557,057 patent/US6393920B1/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020213055A1 (ja) * | 2019-04-16 | 2020-10-22 | 三菱電機株式会社 | 振動センサ及び振動検知装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4214551B2 (ja) | 2009-01-28 |
US6393920B1 (en) | 2002-05-28 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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