JP4045585B2 - 振動変位検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体中に含まれる物体の振動変位を検出する振動変位検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
振動変位を検出する従来のセンサは、接触型と非接触型の2つに分類される。微小変位測定用の電気マイクロメータ、微小変位測定用のデジタルゲージ、回転軸測定用のロータリエンコーダ、長変位測定用リニアスケールなどは接触型センサに属する。ロータリエンコーダは回転する被測定物の回転数や回転速度を制御するために用いられ、電気マイクロメータ、デジタルゲージおよびロータリエンコーダは被測定物の長さの基準用などとして用いられている。これらの接触型センサは測定精度、応答時間などに問題を有する。レーザ型センサおよび電気音響型センサなどは非接触型センサに属する。レーザ型センサは、被測定物の変位であってレーザ光の伝搬方向に対し垂直な方向に沿った変位の測定などに用いられているが、レーザ光自身のゆらぎによる光路長の増大により測定精度が悪化するなどの欠点を有するとともに、装置の規模が大きいことや測定方法が複雑であることなどの問題を有している。電気音響型センサは被測定部物の変位の測定範囲が狭いという欠点を有するとともに、測定精度にも問題がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、小型軽量で、検出感度が高く、高速応答に優れ、低消費電力駆動が可能な振動変位検出装置を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の振動変位検出装置は、圧電基板、入力用すだれ状電極、出力用すだれ状電極、前記入力用すだれ状電極と前記出力用すだれ状電極の間に電気的に接続された信号検出手段、および前記信号分析手段に接続された表示画面から成る振動変位検出装置であって、前記入力用および出力用すだれ状電極は、前記圧電基板の上端面に設けられており、それぞれが円弧状を成すとともに互いに同心を有する位置関係を形成し、前記圧電基板の厚さは前記入力用および出力用すだれ状電極の電極周期長よりも小さく、前記入力用すだれ状電極は、前記電極周期長に対応する中心周波数にほぼ等しい周波数の入力電圧信号を印加されることにより前記圧電基板に漏洩弾性波を励振し、前記漏洩弾性波を前記圧電基板の下端面に接触する液体中に縦波として照射し、前記縦波を前記液体中に含まれる物体で反射させ、前記出力用すだれ状電極は、反射された前記縦波を遅延電気信号に変換し、前記信号検出手段は、前記物体の振動変位を前記遅延電気信号の変化によって検出し、前記表示画面は前記遅延電気信号の変化を表示する。
【0005】
請求項2に記載の振動変位検出装置は、前記圧電基板が圧電セラミックで成り、前記圧電セラミックの分極軸の方向がその厚さ方向と平行である。
【0006】
請求項3に記載の振動変位検出装置は、 前記圧電基板が圧電性高分子フィルムで成る。
【0007】
請求項4に記載の振動変位検出装置は、前記圧電基板が、圧電セラミック薄板とアクリル薄板との2層体で成る。
【0008】
請求項5に記載の振動変位検出装置は、前記液体が細胞質で成り、前記物体が血管で成る。
【0009】
請求項6に記載の振動変位検出装置は、前記信号分析手段が増幅器および周波数カウンタで成り、前記増幅器によって増幅された前記遅延電気信号の一部は、前記入力用すだれ状電極に再び印加され、前記増幅器、前記入力用および出力用すだれ状電極は遅延線発振器を構成し、前記周波数カウンタは、前記遅延電気信号の周波数の変化によって前記振動変位を検出する。
【0010】
請求項7に記載の振動変位検出装置は、前記信号分析手段が増幅器および周波数/電圧変換器で成り、前記増幅器によって増幅された前記遅延電気信号の一部は、前記入力用すだれ状電極に再び印加され、前記増幅器、前記入力用および出力用すだれ状電極は遅延線発振器を構成し、前記周波数/電圧変換器は、前記遅延電気信号の周波数を電圧に変換し、前記電圧の変化によって前記振動変位を検出する。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明の振動変位検出装置は、圧電基板、入力用すだれ状電極、出力用すだれ状電極、信号分析手段および表示画面から成る簡単な構造を有する。信号分析手段は入力用および出力用すだれ状電極の間に電気的に接続されており、表示画面は信号分析手段に接続されている。入力用および出力用すだれ状電極は、圧電基板の上端面に設けられており、それぞれが円弧状を成すとともに互いに同心を有する位置関係を形成している。圧電基板の厚さは入力用および出力用すだれ状電極の電極周期長よりも小さい。もしも、入力用すだれ状電極の電極周期長に対応する中心周波数にほぼ等しい周波数の入力電圧信号を入力用すだれ状電極に印加すると、圧電基板に漏洩弾性波が励振される。この漏洩弾性波は圧電基板の下端面と接触する液体中に縦波として照射される。このとき、入力用すだれ状電極が円弧状を成すことにより、漏洩弾性波が効率よく液体中に縦波としてモード変換される。液体中の縦波は液体中に含まれる物体で反射される。反射された縦波は、出力用すだれ状電極が円弧状を成すことと、入力用および出力用すだれ状電極が互いに同心を有する位置関係にあることから、出力用すだれ状電極によって効率よく遅延電気信号に変換される。液体中の物体が振動すると縦波の伝搬路長が変化することから、遅延電気信号も変化する。この遅延電気信号の変化は信号分析手段によって検出され、表示画面に表示される。このようにして、本発明の振動変位検出装置によれば液体中の物体の振動変位を電気信号で表すことが可能となる。
【0012】
本発明の振動変位検出装置では、圧電基板が圧電セラミックまたは圧電性高分子フィルムで成る構造が可能である。このような構造を採用することにより、液体中の物体の振動変位の検出感度を向上させることが可能となるばかりでなく、装置の小型軽量化を促進することができる。
【0013】
本発明の振動変位検出装置では、圧電基板が、圧電セラミック薄板とアクリル薄板との2層体で成る構造が可能である。このような層状構造基板の採用により、機械的強度を高めることが可能となる。また、アクリル薄板の使用は液体層との音響結合のための整合性において好都合である。
【0014】
本発明の振動変位検出装置では、液体が細胞質で成り、物体が血管で成る構造が可能である。このようにして、細胞質中にある血管の振動変位、つまり人の脈拍を測定することが可能となる。
【0015】
本発明の振動変位検出装置では、信号分析手段が、増幅器および周波数カウンタで成る構造が可能である。このような構造では、増幅器によって増幅された遅延電気信号の一部が入力用すだれ状電極に再び印加されることから、増幅器、入力用および出力用すだれ状電極によって遅延線発振器が構成される。また、遅延電気信号の残部は周波数カウンタに伝えられ、その周波数が測定される。このようにして、液体中の物体の振動変位は、周波数カウンタにおいて遅延電気信号の周波数の変化によって検出される。
【0016】
本発明の振動変位検出装置では、信号分析手段が、増幅器および周波数/電圧(F/V)変換器で成る構造が可能である。このような構造では、増幅器によって増幅された遅延電気信号の一部が入力用すだれ状電極に再び印加されることから、増幅器、入力用および出力用すだれ状電極によって遅延線発振器が構成される。また、遅延電気信号の残部はF/V変換器に伝えられ、遅延電気信号の周波数は電圧に変換される。このようにして液体中の物体の振動変位は、F/V変換された電気信号の電圧の変化によって検出される。
【0017】
【実施例】
図1は本発明の振動変位検出装置の一実施例を示す構成図である。本実施例は圧電基板1、入力用すだれ状電極2、出力用すだれ状電極3、信号分析手段4および表示画面5から成る。信号分析手段4は入力用すだれ状電極2と出力用すだれ状電極3の間に電気的に接続されている。圧電基板1は圧電セラミック薄板で成る。本実施例では圧電基板1として圧電セラミック薄板が用いられているが、圧電性の高分子フィルムを用いたり、あるいは圧電セラミック薄板とアクリル薄板から成る2層構造基板を用いることも可能である。入力用すだれ状電極2および出力用すだれ状電極3はともに円弧状のアルミニウム薄板で成り、圧電基板1の上端面に設けられている。もしも、液体中にある物体の振動変位を測定する場合、その液体を圧電基板1の下端面に接触させる必要がある。たとえば人の脈拍を測定する場合、すなわち、細胞質中にある血管の振動変位を測定する場合には、人の手首の内側に圧電基板1の下端面を接触させる。このとき、手首の内側の皮膚に予めジェル溶液を塗っておき、皮膚と圧電基板1との間に空間ができないようにするとよい。このようにして、図1の振動変位検出装置は小型軽量で構造も簡単である。
【0018】
図2は圧電基板1、入力用すだれ状電極2および出力用すだれ状電極3で成るデバイスを上方から見たときの平面図である。入力用すだれ状電極2と出力用すだれ状電極3の離間距離は6mmで、それらはともに5対の電極指を有し、開口角が45°、電極周期長が340μmである。また、入力用すだれ状電極2および出力用すだれ状電極3は、互いに同心を有するように配置されている。人の脈拍を測定する場合には、人の手首の内側のちょうど血管のある部分の上に入力用すだれ状電極2および出力用すだれ状電極3の中心が位置するように圧電基板1の下端面を接触させる。
【0019】
図3は信号分析手段4の第1の実施例を示す構成図である。本実施例では、信号分析手段4は増幅器6および周波数カウンタ7から成る。
【0020】
図3の信号分析手段4を備えた図1の振動変位検出装置において、入力用すだれ状電極2の電極周期長に対応する中心周波数にほぼ等しい周波数の入力電気信号が入力用すだれ状電極2に印加されると、圧電基板1に漏洩弾性波が励振される。この漏洩弾性波は入力用すだれ状電極2の電極周期長にほぼ対応する波長を有しており、細胞質中にジェル溶液を介して縦波として伝搬される。つまり、細胞質中において漏洩弾性波から縦波へのモード変換が起こる。この縦波は血管壁によって反射され、反射された縦波は、出力用すだれ状電極3によって出力用すだれ状電極3の電極周期長にほぼ対応する周波数を有する遅延電気信号として検出される。遅延電気信号は増幅器6によって増幅され、増幅された遅延電気信号の一部は再び入力用すだれ状電極2に印加される。このようにして、増幅器6、入力用すだれ状電極2および出力用すだれ状電極3は自励発振型の遅延線発振器を構成する。増幅された遅延電気信号の残部は周波数カウンタ7に伝搬される。遅延電気信号の周波数は血管の連続的な伸縮によって変化することから、血管の振動変位は遅延電気信号の周波数の変化から検出され、その遅延電気信号の周波数の変化は表示画面5に表示される。
【0021】
図4は細胞質中を伝搬する縦波の伝搬路を矢印で示した図である。血管の連続的な伸縮は細胞質中の縦波の伝搬路長の変化をもたらす。この伝搬路長の変化は遅延電気信号の周波数を変化させることから、この周波数の変化によって振動変位が高感度で検出され、その遅延電気信号の周波数の変化は表示画面5に表示される。
【0022】
図5は圧電基板1に励振される各モードの弾性波の位相速度の理論値と、周波数との関係を示す特性図である。圧電基板1中を伝搬する横波の速度は2,450m/sであり、縦波の速度は4,390m/sである。各モードにおいて大きな速度分散が認められる。
【0023】
図6は細胞質中への縦波照射の実効変換効率ηの理論値と、周波数との関係を示す特性図である。 S0モードにおいて9.5MHz近傍で最も高いピークがみられ、このピークの周波数は最適な動作周波数を示している。
【0024】
図1の振動変位検出装置によれば、液体中にある弾性チューブの中に水を注入することによる振動変位を検出することができる。この場合、その液体は、図1における細胞質とジェル溶液との液層に対応し、弾性チューブは血管に対応する。もしも、弾性チューブの中に水を注入すると、弾性チューブの径が変化することから、液体中の縦波の伝搬路長も変化する。従って、遅延電気信号の周波数も変化する。このようにして、弾性チューブの振動変位を検出することができる。
【0025】
図7は液体中にある弾性チューブの中に水を注入した場合における遅延電気信号の周波数と、その弾性チューブの半径の変化との関係を示す特性図である。この場合、水は弾性チューブの一方の端から注入され、もう一方の端は密閉されている。図7より、周波数と半径の変化の間に直線的な相関関係があることが分かる。このようにして、弾性チューブに水を注入することによる振動変位を周波数の変化で表すことが可能となる。
【0026】
図8は信号分析手段4の第2の実施例を示す構成図である。本実施例では、信号分析手段は増幅器8および周波数/電圧(F/V)変換器9から成る。
【0027】
図8の信号分析手段4を備えた図1の振動変位検出装置において、入力電気信号が入力用すだれ状電極2に印加されると、圧電基板1に漏洩弾性波が励振される。この漏洩弾性波は細胞質中にジェル溶液を介して縦波として照射され、その縦波は血管壁によって反射された後、出力用すだれ状電極3において遅延電気信号として検出される。遅延電気信号は増幅器8によって増幅され、増幅された遅延電気信号の一部は再び入力用すだれ状電極2に印加される。このようにして、増幅器8、入力用すだれ状電極2および出力用すだれ状電極3は自励発振型の遅延線発振器を構成する。増幅された遅延電気信号の残部はF/V変換器9に伝搬され、このようにして遅延電気信号の周波数は電圧に変換される。この電圧は血管の連続的な伸縮によって変化することから、電圧の変化によって血管の振動変位が検出される。電圧の変化は表示画面5に表示される。
【0028】
【発明の効果】
本発明の振動変位検出装置は、圧電基板、入力用すだれ状電極、出力用すだれ状電極、信号分析手段および表示画面から成り、液体中の物体の振動変位を電気信号で表すことができる。もしも、入力用すだれ状電極に入力電圧信号を印加すると、圧電基板に漏洩弾性波が励振される。この漏洩弾性波は圧電基板の下端面と接触する液体中に縦波として照射される。この縦波は液体中に含まれる物体で反射される。反射された縦波は、出力用すだれ状電極によって遅延電気信号に変換される。もしも液体中の物体が振動すると、たとえば細胞質中の血管が振動すると、遅延電気信号が変化する。この遅延電気信号の変化は信号分析手段によって検出され、表示画面に表示される。このようにして、本発明の振動変位検出装置によれば液体中の物体の振動変位、たとえば人の脈拍を電気信号で表すことが可能となる。また、圧電基板が圧電セラミックまたは圧電性高分子フィルムで成る構造を採用することにより、液体中の物体の振動変位の検出感度を向上させることが可能となるばかりでなく、装置の小型軽量化を促進することが可能となる。さらに、圧電基板が圧電セラミック薄板とアクリル薄板との2層体で成る構造を採用することにより、基板自体の機械的強度を高めることができるだけでなく、アクリル薄板の使用は液体層との音響結合のための整合性において好都合である。
【0029】
本発明の振動変位検出装置では、信号分析手段が、増幅器および周波数カウンタで成る構造を採用することにより、増幅器、入力用および出力用すだれ状電極によって遅延線発振器を構成することができる。また、液体中の物体の振動変位は、周波数カウンタにおいて遅延電気信号の周波数の変化によって検出される。
【0030】
本発明の振動変位検出装置では、信号分析手段が、増幅器および周波数/電圧(F/V)変換器で成る構造を採用することにより、増幅器、入力用および出力用すだれ状電極によって遅延線発振器が構成される。また、液体中の物体の振動変位は、F/V変換された電気信号の電圧の変化によって検出される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の振動変位検出装置の一実施例を示す構成図。
【図2】圧電基板1、入力用すだれ状電極2および出力用すだれ状電極3で成るデバイスを上方から見たときの平面図。
【図3】信号分析手段4の第1の実施例を示す構成図。
【図4】細胞質中を伝搬する縦波の伝搬路を矢印で示した図。
【図5】圧電基板1に励振される各モードの弾性波の位相速度の理論値と、周波数との関係を示す特性図。
【図6】細胞質中への縦波照射の実効変換効率ηの理論値と、周波数との関係を示す特性図。
【図7】液体中にある弾性チューブの中に水を注入した場合における遅延電気信号の周波数と、その弾性チューブの半径の変化との関係を示す特性図。
【図8】信号分析手段4の第2の実施例を示す構成図。
【符号の説明】
1 圧電基板
2 入力用すだれ状電極
3 出力用すだれ状電極
4 信号分析手段
5 表示画面
6 増幅器
7 周波数カウンタ
8 増幅器
9 F/V変換器
Claims (7)
- 圧電基板、入力用すだれ状電極、出力用すだれ状電極、前記入力用すだれ状電極と前記出力用すだれ状電極の間に電気的に接続された信号検出手段、および前記信号分析手段に接続された表示画面から成り、液体を含む測定対象中に存在する測定対象物体の振動変位検出装置であって、前記圧電基板の下端面を液体を含む測定対象への接触面とし、前記入力用および出力用すだれ状電極は、前記圧電基板の上端面に設けられており、それぞれが円弧状を成すとともに互いに同心を有する位置関係を形成し、前記圧電基板の厚さは前記入力用および出力用すだれ状電極の電極周期長よりも小さく、前記入力用すだれ状電極は、前記電極周期長に対応する中心周波数にほぼ等しい周波数の入力電圧信号を印加されることにより前記圧電基板に漏洩弾性波を励振し、前記漏洩弾性波を該測定対象に含まれる液体中に縦波として照射し、前記縦波を前記測定対象物体で反射させる機能を有し、前記出力用すだれ状電極は、反射された前記縦波を遅延電気信号に変換し、前記信号検出手段は、前記測定対象物体の振動変位を前記遅延電気信号の変化によって検出する機能を有し、前記表示画面は前記遅延電気信号の変化に伴う情報を表示する機能を有することを特徴とする振動変位検出装置。
- 前記圧電基板が圧電セラミックで成り、前記圧電セラミックの分極軸の方向がその厚さ方向と平行である請求項1に記載の振動変位検出装置。
- 前記圧電基板が圧電性高分子フィルムで成る請求項1に記載の振動変位検出装置。
- 前記圧電基板が、圧電セラミック薄板とアクリル薄板との2層体で成る請求項1に記載の振動変位検出装置。
- 前記液体が細胞質で成り、前記物体が血管で成る請求項1,2,3または4に記載の振動変位検出装置。
- 前記信号分析手段が増幅器および周波数カウンタで成り、前記増幅器によって増幅された前記遅延電気信号の一部は、前記入力用すだれ状電極に再び印加され、前記増幅器、前記入力用および出力用すだれ状電極は遅延線発振器を構成し、前記周波数カウンタは、前記遅延電気信号の周波数の変化によって前記振動変位を検出する請求項1,2,3,4または5に記載の振動変位検出装置。
- 前記信号分析手段が増幅器および周波数/電圧変換器で成り、前記増幅器によって増幅された前記遅延電気信号の一部は、前記入力用すだれ状電極に再び印加され、前記増幅器、前記入力用および出力用すだれ状電極は遅延線発振器を構成し、前記周波数/電圧変換器は、前記遅延電気信号の周波数を電圧に変換し、前記電圧の変化によって前記振動変位を検出する請求項1,2,3,4または5に記載の振動変位検出装置。
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