JP4795925B2 - 超音波厚さ測定方法および装置 - Google Patents
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Description
本発明の上記以外の目的および構成については、本明細書の記述および添付図面にてあきらかにする。
第1の解決手段は、被測定物の母材部分の厚さとその母材の表面に付着しているスケールの厚さを、その被測定物の厚さ方向における超音波共鳴周波数スペクトルに基づいて測定する超音波厚さ測定方法であって、次の工程を特徴とする超音波厚さ測定方法。
(1)被測定物の厚さ方向における超音波共鳴周波数を2以上の共鳴次数で測定する。
(2)各共鳴次数について共鳴周波数と母材音速から与えられる見かけ厚さを求める。
(3)共鳴周波数に対する見かけ厚さの特性曲線に近似する多項式を生成する。
(4)上記多項式の定数項から母材の厚さを決定するとともに、上記多項式の変数項の極値からスケールの厚さを決定する。
y=−ax2+bx+c ・・・(A)
ただし、a,b,cは正の定数、xは共鳴周波数、yは見かけ厚さである。
(1)被測定物の厚さ方向における超音波共鳴周波数を2以上の共鳴次数で測定する第1の手段。
(2)各共鳴次数について共鳴周波数と母材音速から与えられる見かけ厚さを求める第2の手段。
(3)共鳴周波数に対する見かけ厚さの特性曲線に近似する多項式を生成する第3の手段。
(4)上記多項式の定数項から母材の厚さを決定するとともに、上記多項式の変数項の極値からスケールの厚さを決定する第4の手段。
(5)上記第4の手段によって決定された母材および/またはスケールの厚さの出力手段。
本発明の上記以外の作用/効果については、本明細書の記述および添付図面にてあきらかにする。
y=−ax2+bx+c ・・・(A)
ただし、a,b,cは正の定数、xは共鳴周波数fn、yは見かけ厚さDnである。
上記超音波送受信ユニット21の検出信号をスペクトル解析処理することにより、同図に示すように、被測定物10の振動強度レベルがほぼ一定の周波数間隔ごとに特異的に増大する周波数スペクトルを得ることができる。この周波数スペクトルにて振動強度レベルのピーク点が現れるところが共鳴周波数fnである。この共鳴周波数fnと母材11の音速Cから測定物10の見かけ厚さDnを求めることができる。
y=−0.0139x2+0.0861x+5.0558 ・・・(a1)
y=−0.0001x2+0.0002x+5.0046 ・・・(a2)
11 母材
g 母材の厚さ
12 スケール
h スケールの厚さ
21 超音波送受信ユニット
31〜34 第1〜第4の処理手段
36 出力装置
40 測定装置
41 携帯パソコン
42 可変周波数発生回路
43 ゲーテッドパワーアンプ
44 プリアンプ
45 バンドパスフィルタ(BPF)
46 位相検出器
47 ローパスフィルタ(LPF)
48 積分器
51〜53 乗算器
49 中間周波数発生回路
Claims (2)
- 被測定物の母材部分の厚さとその母材の表面に付着しているスケールの厚さを、その被測定物の厚さ方向における超音波共鳴周波数スペクトルに基づいて測定する超音波厚さ測定方法であって、次の工程を特徴とする超音波厚さ測定方法。
(1)被測定物の厚さ方向における超音波共鳴周波数を2以上の共鳴次数で測定する。
(2)各共鳴次数について共鳴周波数と母材音速から与えられる見かけ厚さを求める。
(3)共鳴周波数に対する見かけ厚さの特性曲線に近似する、下式(A)によって表される二次式の多項式を生成する。
y=−ax2+bx+c ・・・(A)
ただし、a,b,cは正の定数、xは共鳴周波数、yは見かけ厚さである。
(4)上記多項式の定数項から母材の厚さを決定するとともに、上記多項式の変数項の極値からスケールの厚さを決定する。 - 被測定物の母材部分の厚さとその母材の表面に付着しているスケールの厚さを、その被測定物の厚さ方向における超音波共鳴周波数スペクトルに基づいて測定する超音波厚さ測定装置であって、次の手段を備えたことを特徴とする超音波厚さ測定装置。
(1)被測定物の厚さ方向における超音波共鳴周波数を2以上の共鳴次数で測定する第1の手段。
(2)各共鳴次数について共鳴周波数と母材音速から与えられる見かけ厚さを求める第2の手段。
(3)共鳴周波数に対する見かけ厚さの特性曲線に近似する、下式(A)によって表される二次式の多項式を生成する第3の手段。
y=−ax2+bx+c ・・・(A)
ただし、a,b,cは正の定数、xは共鳴周波数、yは見かけ厚さである。
(4)上記多項式の定数項から母材の厚さを決定するとともに、上記多項式の変数項の極値からスケールの厚さを決定する第4の手段。
(5)上記第4の手段によって決定された母材および/またはスケールの厚さの出力手段。
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