JP6463335B2 - 振動型角速度センサ - Google Patents
振動型角速度センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6463335B2 JP6463335B2 JP2016505138A JP2016505138A JP6463335B2 JP 6463335 B2 JP6463335 B2 JP 6463335B2 JP 2016505138 A JP2016505138 A JP 2016505138A JP 2016505138 A JP2016505138 A JP 2016505138A JP 6463335 B2 JP6463335 B2 JP 6463335B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- control circuit
- output
- side control
- temperature
- offset value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 15
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 15
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 8
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 8
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 3
- NAWXUBYGYWOOIX-SFHVURJKSA-N (2s)-2-[[4-[2-(2,4-diaminoquinazolin-6-yl)ethyl]benzoyl]amino]-4-methylidenepentanedioic acid Chemical compound C1=CC2=NC(N)=NC(N)=C2C=C1CCC1=CC=C(C(=O)N[C@@H](CC(=C)C(O)=O)C(O)=O)C=C1 NAWXUBYGYWOOIX-SFHVURJKSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/567—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode
- G01C19/5677—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode of essentially two-dimensional vibrators, e.g. ring-shaped vibrators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Description
まず、図1を参照して、第1実施形態による振動型角速度センサ100の構成について説明する。この第1実施形態では、振動型角速度センサ100のセンサ出力をアナログ的に処理することにより、補正を行う例について説明する。
次に、図7を参照して、第2実施形態による振動型角速度センサ101の構成について説明する。第2実施形態では、1次側制御回路2のループフィルタ23の出力をデジタル的に処理することにより、補正を行う例について説明する。
2 1次側制御回路
3 2次側制御回路
23 ループフィルタ(1次側ループフィルタ)
34 ループフィルタ(2次側ループフィルタ)
100、101 振動型角速度センサ
Claims (8)
- 振動子と、
閉じた制御ループを有し、前記閉じた制御ループの出力が前記振動子に1次振動を誘起させる1次側制御回路と、
前記振動子に印加される角速度に起因して前記振動子に発生する2次振動を検出する閉じた制御ループを有する2次側制御回路と、を備え、
前記2次側制御回路の閉じた制御ループに、前記振動子の利得の温度変化に反比例する前記1次側制御回路の閉じた制御ループの前記出力に基づくオフセット値を加算することによって、前記振動子の利得の温度変化の2乗に反比例する前記2次側制御回路からのセンサ出力の補正を行うように構成されている、振動型角速度センサ。 - 前記1次側制御回路および前記2次側制御回路は、それぞれ、前記閉じた制御ループ内に、1次側ループフィルタおよび2次側ループフィルタを含み、
前記2次側ループフィルタの入力に、前記振動子の利得の温度変化に反比例する前記1次側ループフィルタの出力に基づく前記オフセット値を加算することによって、前記センサ出力の補正を行うように構成されている、請求項1に記載の振動型角速度センサ。 - 前記センサ出力をアナログ的に補正する場合には、前記2次側制御回路の閉じた制御ループに、前記2次側制御回路からの前記振動子の利得の温度変化の2乗に反比例するセンサ出力の補正を行うために、前記振動子の利得の温度変化に反比例する前記1次側制御回路の前記出力に基づく第1オフセット値と、前記2次側制御回路からの前記振動子の利得の温度変化に反比例するセンサ出力の補正を行うために、温度に依存しない一定の信号に基づく第2オフセット値とを加算するとともに、前記第1オフセット値および前記第2オフセット値の加算量を調整することによって、前記センサ出力の補正を行うように構成されている、請求項1に記載の振動型角速度センサ。
- 前記1次側制御回路および前記2次側制御回路は、それぞれ、前記閉じた制御ループ内に、1次側ループフィルタおよび2次側ループフィルタを含み、
前記2次側ループフィルタの入力に、前記振動子の利得の温度変化に反比例する前記1次側ループフィルタの出力に基づく前記第1オフセット値と、温度に依存しない前記一定の信号に基づく前記第2オフセット値とを加算するとともに、前記第1オフセット値および前記第2オフセット値の加算量を調整することによって、アナログ的に前記センサ出力の補正を行うように構成されている、請求項3に記載の振動型角速度センサ。 - 前記振動子の温度に依存する利得をGR(T)とし、A、BおよびCを温度に依存しない一定値とした場合に、前記2次側制御回路を構成する回路ブロックから生じるエラー信号により前記2次側制御回路の閉じた制御ループに生じる前記センサ出力の誤差と前記1次側制御回路から前記2次側制御回路へのクロストークにより前記2次側制御回路の閉じた制御ループに生じる前記センサ出力の誤差の合計VOut_Total_Errorは、以下の式(1)で表され、式(1)の第1項であるA/GR 2(T)を0または略0にするように、前記振動子の利得の温度変化に反比例する前記1次側制御回路の前記出力に基づく前記第1オフセット値の加算量を調整するとともに、式(1)の第2項であるB/GR(T)を0または略0にするように、温度に依存しない前記一定の信号に基づく前記第2オフセット値の加算量を調整することによって、アナログ的に前記センサ出力の補正を行うように構成されている、請求項4に記載の振動型角速度センサ。
- 前記センサ出力をデジタル的に補正する場合には、前記振動子の利得の温度変化に反比例する前記1次側制御回路の前記出力を量子化するとともに、量子化した前記1次側制御回路の前記出力に対して、温度変化による前記センサ出力の誤差を0または略0にする前記オフセット値を、前記2次側制御回路に加算することによって、前記センサ出力の補正を行うように構成されている、請求項1に記載の振動型角速度センサ。
- 各温度において、前記センサ出力の誤差が0または略0になる前記オフセット値を予め算出するとともに、算出された各温度における前記オフセット値と、各温度における量子化された前記1次側制御回路の前記出力との関係式を多項式近似により求め、求められた前記関係式に基づいて、前記オフセット値を、前記2次側制御回路に加算することによって、デジタル的に前記センサ出力の補正を行うように構成されている、請求項6に記載の振動型角速度センサ。
- 前記振動子は、リング型の振動子を含む、請求項1に記載の振動型角速度センサ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014034906 | 2014-02-26 | ||
JP2014034906 | 2014-02-26 | ||
PCT/JP2015/053815 WO2015129464A1 (ja) | 2014-02-26 | 2015-02-12 | 振動型角速度センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015129464A1 JPWO2015129464A1 (ja) | 2017-03-30 |
JP6463335B2 true JP6463335B2 (ja) | 2019-01-30 |
Family
ID=54008787
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016505138A Active JP6463335B2 (ja) | 2014-02-26 | 2015-02-12 | 振動型角速度センサ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10161751B2 (ja) |
EP (1) | EP3112804B1 (ja) |
JP (1) | JP6463335B2 (ja) |
WO (1) | WO2015129464A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021193600A1 (ja) | 2020-03-24 | 2021-09-30 | 住友精密工業株式会社 | 振動型角速度センサ |
WO2023037559A1 (ja) | 2021-09-13 | 2023-03-16 | 住友精密工業株式会社 | 振動型角速度センサ |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6219545B1 (ja) * | 2017-03-10 | 2017-10-25 | 住友精密工業株式会社 | 振動型角速度センサ |
US10164618B1 (en) * | 2017-12-28 | 2018-12-25 | Micron Technology, Inc. | Jitter cancellation with automatic performance adjustment |
EP3786581B1 (en) | 2019-08-29 | 2023-06-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Offset-cancelling capacitive mems gyroscope |
JP6761140B1 (ja) * | 2020-03-24 | 2020-09-23 | 住友精密工業株式会社 | 振動型角速度センサ |
JP7404124B2 (ja) * | 2020-03-24 | 2023-12-25 | 住友精密工業株式会社 | 方位角姿勢角計測装置 |
WO2023037554A1 (ja) * | 2021-09-13 | 2023-03-16 | 住友精密工業株式会社 | 振動型角速度センサ |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03279809A (ja) * | 1990-03-28 | 1991-12-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 方位検出装置 |
JP3536497B2 (ja) | 1995-12-21 | 2004-06-07 | 株式会社デンソー | 振動型角速度検出装置 |
GB2327265B (en) * | 1997-07-11 | 2001-07-18 | British Aerospace | Process for reducing bias error in a vibrating structure sensor |
US6698271B1 (en) | 1998-07-13 | 2004-03-02 | Bae Systems, Plc. | Process for reducing bias error in a vibrating structure sensor |
JP2000221040A (ja) * | 1999-02-03 | 2000-08-11 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
GB0227098D0 (en) * | 2002-11-20 | 2002-12-24 | Bae Systems Plc | Method of calibrating bias drift with temperature for a vibrating structure gyroscope |
JP2005127841A (ja) * | 2003-10-23 | 2005-05-19 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | リング型振動式角速度センサ |
JP4331211B2 (ja) | 2004-02-04 | 2009-09-16 | アトランティック・イナーシャル・システムズ・リミテッド | 振動構造ジャイロスコープにおけるバイアス誤差を低減する方法 |
JP2007255890A (ja) * | 2004-04-20 | 2007-10-04 | Murata Mfg Co Ltd | ジャイロ装置 |
DE102005043025B4 (de) * | 2005-09-09 | 2014-07-31 | Continental Automotive Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Ermitteln einer Drehrate |
JP5286676B2 (ja) * | 2007-03-08 | 2013-09-11 | セイコーエプソン株式会社 | 検出装置、センサ及び電子機器 |
WO2009037499A1 (en) * | 2007-09-18 | 2009-03-26 | Atlantic Inertial Systems Limited | Improvements in or relating to angular velocity sensors |
-
2015
- 2015-02-12 JP JP2016505138A patent/JP6463335B2/ja active Active
- 2015-02-12 EP EP15755663.0A patent/EP3112804B1/en active Active
- 2015-02-12 US US15/121,426 patent/US10161751B2/en active Active
- 2015-02-12 WO PCT/JP2015/053815 patent/WO2015129464A1/ja active Application Filing
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021193600A1 (ja) | 2020-03-24 | 2021-09-30 | 住友精密工業株式会社 | 振動型角速度センサ |
US20230123765A1 (en) * | 2020-03-24 | 2023-04-20 | Sumitomo Precision Products Co., Ltd. | Vibration-Type Angular Velocity Sensor |
WO2023037559A1 (ja) | 2021-09-13 | 2023-03-16 | 住友精密工業株式会社 | 振動型角速度センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3112804A4 (en) | 2017-11-01 |
EP3112804A1 (en) | 2017-01-04 |
US10161751B2 (en) | 2018-12-25 |
WO2015129464A1 (ja) | 2015-09-03 |
EP3112804B1 (en) | 2020-05-06 |
JPWO2015129464A1 (ja) | 2017-03-30 |
US20160377433A1 (en) | 2016-12-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6463335B2 (ja) | 振動型角速度センサ | |
JP5365173B2 (ja) | 物理量測定装置および電子機器 | |
US5806364A (en) | Vibration-type angular velocity detector having sensorless temperature compensation | |
US20150030104A1 (en) | Apparatus and method for compensating output signals of magnetic encoder using digital phase-locked loop | |
JP4996063B2 (ja) | 周波数トラッキングによる回転レートセンサ | |
JP2006177963A (ja) | マイクロメカニカル回転速度センサ | |
JP2009229152A (ja) | 角速度センサ | |
JP2007255890A (ja) | ジャイロ装置 | |
US10775169B2 (en) | Vibrating structure angular rate sensor | |
EP2572162B1 (en) | Angular rate sensor with improved ageing properties | |
US20110056291A1 (en) | Angular Velocity Detecting Apparatus | |
JP2012159429A (ja) | 音叉振動型角速度センサ | |
EP2461139B1 (en) | Coriolis mass flowmeter | |
WO2023037559A1 (ja) | 振動型角速度センサ | |
WO2021193600A1 (ja) | 振動型角速度センサ | |
JP2010054404A (ja) | 振動型ジャイロセンサ | |
JP2000337924A (ja) | R/dコンバータ | |
JP2009168588A (ja) | 検出回路、物理量測定装置、ジャイロセンサおよび電子機器 | |
JP5208063B2 (ja) | 振動型ジャイロセンサ | |
JPH0814916A (ja) | 振動ジャイロ検出回路 | |
US20230304796A1 (en) | Physical Quantity Detection Circuit And Physical Quantity Detection Device | |
JP2006023268A (ja) | ジャイロセンサの感度調整方法 | |
RU2300739C2 (ru) | Способ компенсации аддитивной температурной погрешности датчика с вибрирующим элементом | |
RU2307329C2 (ru) | Способ компенсации мультипликативной температурной погрешности датчика с вибрирующим элементом | |
JPH08178670A (ja) | 振動型角速度検出器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181225 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181228 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6463335 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |