JP2006093989A - ミラー制御回路およびそれを用いた光空間伝送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】MEMSミラー10に入力される制御信号を生成し、制御信号生成回路110と補償回路120とを備えたMEMSミラー制御回路100を提供する。制御信号生成回路110は、MEMSミラー10の偏向の目標値を示す信号を生成する。補償回路120は、MEMSミラー10の伝達関数の逆数に比例する補償伝達関数を有し、制御信号生成回路110から出力された信号をその補償伝達関数に入力することによってMEMSミラー10を制御する信号を生成する。
【選択図】 図1
Description
まず、実施の形態1にかかるMEMSミラー制御回路について説明する。図1は、実施の形態1にかかるMEMSミラー制御回路とその周辺要素とを示したブロック図である。図1において、光源12は、伝送情報を表す電気信号を受け取り、その電気信号によって変調された信号光を出射する。光源12は、例えば、半導体レーザによって構成することができ、出射する信号光は指向性の高い光ビームである。
次に、実施の形態2にかかるMEMSミラー制御回路について説明する。実施の形態2にかかるMEMSミラー制御回路は、図3に示したLPF222と逆伝達特性回路224とから構成された補償回路220を、記憶回路と加算回路とからなる簡単な構成によって実現することを特徴とする。
次に、実施の形態3にかかるMEMSミラー制御回路について説明する。実施の形態3にかかるMEMSミラー制御回路は、補償回路が有する上記した補償伝達関数の温度補償を行なうことを特徴とする。
次に、実施の形態4にかかる光空間伝送装置について説明する。実施の形態4にかかる光空間伝送装置は、光送信装置の光偏向系として、MEMSミラーと実施の形態1〜3にかかるMEMSミラー制御回路とを用いたことを特徴とする。
12 光源
14 受信器
21 支持基板
22 環状基板
23 ミラー部
32 受光素子
34 光位置検出器
36 送信器
100,200,300,400,500 MEMSミラー制御回路
110,210,310,410,510 制御信号生成回路
120,220,320,420,520 補償回路
222,522 LPF
224,524 逆伝達特性回路
322,422 記憶回路
324,424 加算回路
426 増幅回路
530 温度測定回路
540 係数補正回路
Claims (10)
- 偏向角を制御することができるミラーの所望の角度への偏向を示す第1制御信号を生成する制御信号生成回路と、
前記ミラーの第1の伝達関数の逆数に略比例する第2の伝達関数を有し、前記第1制御信号と前記第2の伝達関数とから、前記ミラーの偏向角を制御する第2制御信号を生成する補償回路と、
を備えることを特徴とするミラー制御回路。 - 前記補償回路は、
第3の伝達関数を有し、前記第1制御信号を通過させる2次以上の低域通過フィルタと、
前記第1の伝達関数に略逆比例する第4の伝達関数を有し、前記低域通過フィルタを通過した前記第1制御信号と、前記第4の伝達関数とから、前記第2制御信号を生成する逆伝達特性回路と、
を備え、
前記第2の伝達関数は、前記第3の伝達関数と前記第4の伝達関数との積で表わされることを特徴とする請求項1に記載のミラー制御回路。 - 前記補償回路は、
第3の伝達関数を有する2次以上の低域通過フィルタに前記第1制御信号を通過させた際に得られる信号と前記第1の伝達関数に略逆比例する第4の伝達関数とから生成した基本信号波形を記憶する記憶回路と、
前記第1制御信号と前記基本信号波形とを加算して前記第2制御信号を生成する加算回路と、
を備え、
前記第2の伝達関数は、前記第3の伝達関数と前記第4の伝達関数との積で表わされることを特徴とする請求項1に記載のミラー制御回路。 - 前記補償回路は、
第3の伝達関数を有する2次以上の低域通過フィルタに前記第1制御信号を通過させた際に得られる信号と前記第1の伝達関数に略逆比例する第4の伝達関数とから生成した基本信号波形を記憶する記憶回路と、
前記基本信号波形を任意のタイミングで且つ任意の利得で増幅する増幅回路と、
前記第1制御信号と、前記増幅回路によって増幅された前記基本信号波形とを加算して前記第2制御信号を生成する加算回路と、
を備え、
前記第2の伝達関数は、前記第3の伝達関数と前記第4の伝達関数との積で表わされることを特徴とする請求項1に記載のミラー制御回路。 - 前記補償回路は、
第3の伝達関数を有する2次以上の低域通過フィルタに前記第1制御信号を通過させた際に得られる信号と前記第1の伝達関数に略逆比例する第4の伝達関数とから生成した基本信号波形を記憶する記憶回路と、
前記第1制御信号を任意のタイミングで且つ任意の利得で増幅する増幅回路と、
前記増幅回路によって増幅された前記第1制御信号と、前記基本信号波形とを加算して前記第2制御信号を生成する加算回路と、
を備え、
前記第2の伝達関数は、前記第3の伝達関数と前記第4の伝達関数との積で表わされることを特徴とする請求項1に記載のミラー制御回路。 - 前記ミラーまたはその周辺の温度を測定する温度測定回路と、
前記温度に基いて前記補償回路の前記第2伝達関数の係数を補正する係数補正回路とをさらに備えることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載のミラー制御回路。 - 前記ミラーは、MEMSミラーであり、前記温度測定回路は、前記MEMSミラーと同一の半導体基板に集積されることを特徴とする請求項6に記載のミラー制御回路。
- 前記ミラーは、MEMSミラーであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載のミラー制御回路。
- 前記第2制御信号は、前記第1制御信号と前記第2の伝達関数とから得られるアナログ制御信号を、デジタル化した信号であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一つに記載のミラー制御回路。
- 伝送対象となる信号によって変調された光ビームを出射する光源と、
偏向角を制御することができ、前記光源から出射された光ビームを前記偏向角で反射するミラーと、
前記光ビームを受光する受光素子と、
前記光ビームの前記受光素子での入射位置を検出する光位置検出器と、
前記光位置検出器によって検出された入射位置に基いて、前記ミラーの所望の角度への偏向を示す第1制御信号を生成する制御信号生成回路と、
前記ミラーの第1の伝達関数の逆数に略比例する第2の伝達関数を有し、前記第1制御信号と前記第2の伝達関数とから、前記ミラーの偏向角を制御する第2制御信号を生成する補償回路と、
を備えることを特徴とする光空間伝送装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012200745A (ja) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Hitachi Via Mechanics Ltd | レーザ加工方法及び加工装置 |
JP2013182143A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-12 | Seiko Epson Corp | 波長可変干渉フィルターの駆動方法、光学モジュール、及び電子機器 |
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DE112012000507B4 (de) | 2011-01-19 | 2023-04-20 | Oji Holdings Corporation | Polypropylenfilm für einen Kondensator |
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---|---|---|---|---|
WO2010007814A1 (ja) * | 2008-07-16 | 2010-01-21 | ブラザー工業株式会社 | 駆動信号発生器及びそれを備えた光走査装置並びに画像表示装置 |
JP2010026095A (ja) * | 2008-07-16 | 2010-02-04 | Brother Ind Ltd | 駆動信号発生器及びそれを備えた光走査装置並びに画像表示装置 |
US8238009B2 (en) | 2008-07-16 | 2012-08-07 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Drive signal generator and optical scanning device provided with drive signal generator, and image display device |
DE112012000507B4 (de) | 2011-01-19 | 2023-04-20 | Oji Holdings Corporation | Polypropylenfilm für einen Kondensator |
JP2012200745A (ja) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Hitachi Via Mechanics Ltd | レーザ加工方法及び加工装置 |
JP2013182143A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-12 | Seiko Epson Corp | 波長可変干渉フィルターの駆動方法、光学モジュール、及び電子機器 |
JP2014056072A (ja) * | 2012-09-12 | 2014-03-27 | Seiko Epson Corp | 光学モジュール及び電子機器 |
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