JP2012200745A - レーザ加工方法及び加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パルス状のレーザとガルバノスキャナを用いて溝を加工するレーザ加工方法において、前記ガルバノスキャナによるビームスキャン速度に同期させてレーザビームのパルス高さを増減させることで、レーザ光によるワークの加工溝幅、深さを均一に加工することができ、ワークに対する加工品質を向上させることができる。
【選択図】図5
Description
図8はデジタルフィルタ112の周波数伝達関数を求める演算部702での処理動作を説明するフローチャートであり、次に、これについて説明する。
11 fθレンズ
101 積分補償器
102 比例補償器
103 DAC
104 電流制御回路
105、115 ロータリアクチュエータ
106、116 ロータリエンコーダ
107、117 ガルバノミラー
110 デジタルサーボコントローラ
111 インタフェース
112 デジタルフィルタ
113 遅延器
114 フィードバック制御系
129 変調器
130 レーザ発振器
140 レーザシャッタ
151 XYテーブル
152 ワーク
160 数値制御装置
171、172 ガルバノスキャナ
701 記憶部
702 演算部
Claims (4)
- パルス状のレーザとガルバノスキャナを用いて溝を加工するレーザ加工方法において、
前記ガルバノスキャナによるビームスキャン速度に同期させてレーザビームのパルス高さを増減させることを特徴とするレーザ加工方法。 - 前記ガルバノスキャナを制御するための角度指令データが入力されるデジタルフィルタと、レーザシャッタの出力を制御する変調器とによってパルス高さを増減させることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工方法。
- 前記ガルバノスキャナを制御するフィードバック制御系に入力される角度指令データを、前記デジタルフィルタに入力される角度指令データよりも遅延させることを特徴とする請求項2に記載のレーザ加工方法。
- パルス状のレーザとガルバノスキャナを用いて溝を加工するレーザ加工装置において、
前記ガルバノスキャナを制御するフィードバック制御系と、
レーザシャッタの出力を制御する変調器と、
前記フィードバック制御系に入力される角度指令データ及び前記ガルバノスキャナの角度検出データを用いて予め求めた前記フィードバック制御系の周波数伝達関数で動作するデジタルフィルタと、
前記フィードバック制御系に入力される角度指令データを、前記デジタルフィルタに入力される角度指令データより予め求めた時間だけ遅延させる遅延手段と、を備えることを特徴とするレーザ加工装置。
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