JP2005221845A - 移動体のサーボ制御装置及びレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 上位の制御装置から出力されたステップ信号状の位置指令データと移動体の位置検出データとの差を積分補償器2により積分して移動体の位置決めをする。このとき、移動体が例えば、ガルバノミラーであるとすると、角変位の初期状態量を補償するディジタル・フィルタ10aと、角速度の初期状態量を補償するディジタル・フィルタ10bを設け、付加入力要素であるディジタル・フィルタ10a、10bの各インパルス応答を積分補償器2の出力側に加算する。この場合、ディジタル・フィルタ10aとディジタル・フィルタ10b各々の内部の状態変数を、角度(位置)指令データ8を受ける毎にゼロにクリアするとさらに有効である。
【選択図】 図1
Description
i :離散的時刻の経過を表すインデクス、
xp:m次の拡大制御対象の状態ベクトル、
u‘:拡大制御対象Sの入力信号、
y :拡大制御対象Sの出力信号、
Ap:m×mの実数行列、
Bp:m×1の実数行列、
Cp:1×mの実数行列、
である。
xc:n次の積分補償器の状態ベクトル、
r :角度指令データ、
Ac:n×nの実数行列、
Bc:n×1の実数行列、
Cc:1×n実数行列、
Dc:1×1の実数行列、
である。
z:z変換の複素変数、
R:角度指令データrのz変換、
Y:拡大制御対象Sの出力信号yのz変換、
D(z) :zに関する高次多項式
Nr(z):zに関する高次多項式、
Np(z)はzに関する1×m次の高次多項式行列、
Nc(z)はzに関する1×n次の高次多項式行列、
xp0:式1の状態変数ベクトルxp(i)の初期状態量xp(0)、
xc0:式3の状態変数ベクトルxc(i)の初期状態量xc(0)、
である。
Np1(z)〜Npm(z):それぞれ式5における高次多項式行列Np(z)の要素であり、zに関する高次多項式である。
xc01〜xc0n:式5における初期状態ベクトルxc0の各要素
である。
8 角度指令データ
9 角度検出データ
10a ディジタル・フィルタ
10b ディジタル・フィルタ
Claims (6)
- フィードバック・ループを備え、移動体を位置指令データに基づいて位置決めする移動体のサーボ制御装置において、
前記位置指令データ以外の付加入力信号を前記フィードバック・ループに入力する付加入力手段を有することを特徴とする移動体のサーボ制御装置。 - 前記付加入力手段は、前記フィードバック・ループの前記位置指令データを受けた時刻における状態量に対する伝達関数において、前記フィードバック・ループに固有の極を相殺するような零点を付加することを特徴とする請求項1に記載の移動体のサーボ制御装置。
- 前記付加入力要素は、前記位置指令データを受けた時刻における前記状態量の値に等しいインパルス信号を入力信号とするディジタル・フィルタであり、前記位置指令データを受けた時刻において、前記ディジタル・フィルタ内部の状態変数をゼロにクリアすることを特徴とする請求項1または2に記載の移動体のサーボ制御装置。
- 前記移動体がガルバノミラーであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の移動体のサーボ制御装置。
- 前記位置指令データがステップ信号状のデータであることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載のサーボ制御装置。
- 請求項4に記載のサーボ制御装置と、
前記ガルバノミラーの角度を制御する制御手段と、
を備え、前記ガルバノミラーで反射されるレーザ光の角度を前記制御手段によって制御して、被加工物の所定の位置に穴加工を行うことを特徴とするレーザ加工装置。
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