JP4533640B2 - ガルバノスキャナの制御方法およびガルバノスキャナ - Google Patents
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Description
図2は、本発明に係るゲイン計測信号処理部の構成を示すブロック図である。
第1のディジタルフィルタ273の入力側は信号接続遮断処理部271に接続され、出力信号は第1のピークホールド277を介して除算処理部279に入力される。第2のディジタルフィルタ274の入力側は信号接続遮断処理272に接続され、出力信号は第2のピークホールド278を介して除算処理部279に入力される。第1および第2のディジタルフィルタ273,274は、加振信号生成処理部260によって生成される正弦波の周波数と同一の周波数成分を通過させ、他の成分は遮断するバンドパス特性を持っている。なお、図2における283はタイミング信号である。
上記したように、揺動角度に応じてトルク定数が変化する。したがって、応答波形の変動を抑制するためには、個々のスキャナ及びそのセッティングに応じて図8に示したトルク定数の変動を計測する必要がある。
KC=a1θ4+a2θ3+a3θ2+a4θ+a5・・・式1
とおく。ただし、KCは制御対象のゲインの逆数、θは揺動角度、a1、a2、a3、a4、a5は係数である。一連の計測により、揺動角度
θ=〔θ1,θ2,・・・θn〕・・・式2
においてゲイン
KC=〔KC1,KC2,・・・KCn〕・・・式3
が得られたとすると、n=5ならa1、a2、a3、a4、a5は一義的に定まるし、nがもっと多ければ最小自乗法によりを定めることができる。これらによって得られた係数の推定値をAとすると、次の式によって補正係数が計算できる。
このように構成する場合、トルク定数変動補償300は揺動角度と係数とから補正係数を計算し、操作量信号226に乗算して、D/A変換器230に引き渡す。これによって、原点でのトルク定数に対する各揺動角度でのトルク定数の変化を補償し、サーボ機構の動特性を一定に保つことができる。
215 指令信号
242 現在位置
Claims (2)
- 指令信号と現在位置との偏差に基づいてミラーを揺動させるアクチュエータを動作させ、前記ミラーに入射する光の出射角を制御するガルバノスキャナの制御方法において、
揺動角度に応じた前記アクチュエータのゲイン変化を実動作に先立って計測する工程と、
計測されたゲイン変化を実動作に先立って記憶する工程と、
実動作時に前記記憶工程により記憶された前記ゲイン変化をなくすように、前記アクチュエータの操作量を補正する工程と、
を備えていることを特徴とするガルバノスキャナの制御方法。 - 指令信号と現在位置との偏差に基づいてミラーを揺動させるアクチュエータを動作させ、前記ミラーに入射する光の出射角を制御するようにしたガルバノスキャナにおいて、
揺動角度に応じた前記アクチュエータのゲイン変化を計測する計測手段と、
前記計測手段によって実動作に先立って計測されたゲイン変化を記憶する記憶手段と、
実動作時に前記記憶手段に記憶されたゲイン変化をなくすように前記アクチュエータの操作量を補正する補正手段と、
を備えていることを特徴とするガルバノスキャナ。
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