JP2003084225A - ガルバノスキャナの制御方法、装置、及び、ガルバノスキャナ - Google Patents
ガルバノスキャナの制御方法、装置、及び、ガルバノスキャナInfo
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- JP2003084225A JP2003084225A JP2001275330A JP2001275330A JP2003084225A JP 2003084225 A JP2003084225 A JP 2003084225A JP 2001275330 A JP2001275330 A JP 2001275330A JP 2001275330 A JP2001275330 A JP 2001275330A JP 2003084225 A JP2003084225 A JP 2003084225A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 トルクリップルによらない一定の駆動特性を
実現して、スループットを低下させることなく、ガルバ
ノスキャナの位置決め精度を向上させ、精度良く加工を
行う。 【解決手段】 モータ２０によりミラー２２を駆動し
て、レーザ光線の照射位置を走査するためのガルバノス
キャナの制御に際して、指令トルクと実際のトルクをそ
れぞれ演算し、その差からトルクの変動を求めて、モー
タ２０に与える電流指令値を補正する。
実現して、スループットを低下させることなく、ガルバ
ノスキャナの位置決め精度を向上させ、精度良く加工を
行う。 【解決手段】 モータ２０によりミラー２２を駆動し
て、レーザ光線の照射位置を走査するためのガルバノス
キャナの制御に際して、指令トルクと実際のトルクをそ
れぞれ演算し、その差からトルクの変動を求めて、モー
タ２０に与える電流指令値を補正する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、モータによりミラ
ーを駆動してレーザ光線の照射位置を走査するためのガ
ルバノスキャナの制御方法、装置、及び、ガルバノスキ
ャナに係り、特に、レーザ光線を照射してプリント基板
配線などに複数の穴明け加工を行うレーザドリルマシン
に用いるのに好適な、ガルバノスキャナの制御方法、装
置、及び、これを用いたガルバノスキャナに関する。
ーを駆動してレーザ光線の照射位置を走査するためのガ
ルバノスキャナの制御方法、装置、及び、ガルバノスキ
ャナに係り、特に、レーザ光線を照射してプリント基板
配線などに複数の穴明け加工を行うレーザドリルマシン
に用いるのに好適な、ガルバノスキャナの制御方法、装
置、及び、これを用いたガルバノスキャナに関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザにより加工を行う際、ガルバノス
キャナによって照射位置を移動させる方法を採ると、高
速な加工が可能となる。
キャナによって照射位置を移動させる方法を採ると、高
速な加工が可能となる。
【０００３】図１は、一般的なレーザドリルマシンの構
成例である。本構成例は、図示しないレーザ発振器から
照射される、例えばパルス状のレーザ光線１２を、所定
の方向（図１では紙面に垂直な方向）に走査するための
ミラー１５を含む第１ガルバノスキャナ１４と、該第１
ガルバノスキャナ１４によって紙面に垂直な方向に走査
されたレーザ光線１２を、前記第１ガルバノスキャナ１
４による走査方向と垂直な方向（図１では紙面と平行な
方向）に走査するためのミラー１７を含む第２ガルバノ
スキャナ１６と、前記第１及び第２ガルバノスキャナ１
４、１６により２方向に走査されたレーザ光線を、加工
対象物１０の表面に対して垂直な方向に偏光するための
ｆ−θレンズ１８とを備えている。
成例である。本構成例は、図示しないレーザ発振器から
照射される、例えばパルス状のレーザ光線１２を、所定
の方向（図１では紙面に垂直な方向）に走査するための
ミラー１５を含む第１ガルバノスキャナ１４と、該第１
ガルバノスキャナ１４によって紙面に垂直な方向に走査
されたレーザ光線１２を、前記第１ガルバノスキャナ１
４による走査方向と垂直な方向（図１では紙面と平行な
方向）に走査するためのミラー１７を含む第２ガルバノ
スキャナ１６と、前記第１及び第２ガルバノスキャナ１
４、１６により２方向に走査されたレーザ光線を、加工
対象物１０の表面に対して垂直な方向に偏光するための
ｆ−θレンズ１８とを備えている。
【０００４】このガルバノスキャナにおいては、第１及
び第２ガルバノスキャナ１４、１６で、レーザ光線１２
を加工対象物１０の表面内の任意の位置に移動すること
ができる。ミラー１５、１７により偏向したレーザ光線
は、ｆ−θレンズ１８を通過すると、加工対象物１０の
表面に集光する。このため、二つのガルバノスキャナ１
４、１６を制御することにより、加工対象物１０表面の
任意の箇所をレーザ加工することが可能となる。
び第２ガルバノスキャナ１４、１６で、レーザ光線１２
を加工対象物１０の表面内の任意の位置に移動すること
ができる。ミラー１５、１７により偏向したレーザ光線
は、ｆ−θレンズ１８を通過すると、加工対象物１０の
表面に集光する。このため、二つのガルバノスキャナ１
４、１６を制御することにより、加工対象物１０表面の
任意の箇所をレーザ加工することが可能となる。
【０００５】基板の穴明け等では高いスループットが要
求されるため、加工対象物１０を移動させる方法に比べ
て、レーザ光線を移動させることにより、高速に処理を
行うことが可能な、ガルバノスキャナを用いることが多
い。
求されるため、加工対象物１０を移動させる方法に比べ
て、レーザ光線を移動させることにより、高速に処理を
行うことが可能な、ガルバノスキャナを用いることが多
い。
【０００６】一方で、ガルバノスキャナに生じる僅かな
角度変化が加工面に大きく投影されるため、精度良く加
工を行うためには、ガルバノスキャナに高い位置決め精
度が要求される。
角度変化が加工面に大きく投影されるため、精度良く加
工を行うためには、ガルバノスキャナに高い位置決め精
度が要求される。
【０００７】このようなガルバノスキャナの角度によっ
てレーザ光線の照射位置を移動させる加工方法では、ガ
ルバノスキャナが所望の角度に達した時点で、レーザ光
線を照射して加工を行う。
てレーザ光線の照射位置を移動させる加工方法では、ガ
ルバノスキャナが所望の角度に達した時点で、レーザ光
線を照射して加工を行う。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一般
に、ガルバノスキャナには、トルクリップルと呼ばれ
る、動作角度によるトルク定数の変動が存在する。この
ため、場所によってガルバノスキャナの整定特性が異な
り、残留振動を引き起こしたり、目標位置の到達時間が
遅れたりすることにより、加工精度の低下を引き起こし
ていた。
に、ガルバノスキャナには、トルクリップルと呼ばれ
る、動作角度によるトルク定数の変動が存在する。この
ため、場所によってガルバノスキャナの整定特性が異な
り、残留振動を引き起こしたり、目標位置の到達時間が
遅れたりすることにより、加工精度の低下を引き起こし
ていた。
【０００９】従来、このような加工精度の悪化に対する
対策として、特開平２０００−１１７４７６で提案した
ように、（１）整定待ち時間を延ばす、（２）特性の差
が出ないように駆動速度を遅くする、あるいは、（３）
加工エリアを狭くするというような対策が採られていた
が、いずれも、スループットが悪くなってしまうという
問題点を有していた。
対策として、特開平２０００−１１７４７６で提案した
ように、（１）整定待ち時間を延ばす、（２）特性の差
が出ないように駆動速度を遅くする、あるいは、（３）
加工エリアを狭くするというような対策が採られていた
が、いずれも、スループットが悪くなってしまうという
問題点を有していた。
【００１０】なお、出願人は特開平１１−３１０１４に
おいて、外乱補償器を用いてトルクリップルを補正した
位置及び速度の制御方式を提案しているが、本発明のよ
うに、ガルバノスキャナに適用したものではなかった。
おいて、外乱補償器を用いてトルクリップルを補正した
位置及び速度の制御方式を提案しているが、本発明のよ
うに、ガルバノスキャナに適用したものではなかった。
【００１１】本発明は、前記従来の問題点を解消するべ
くなされたもので、スループットを低下させることな
く、ガルバノスキャナの位置決め精度を向上させ、精度
良く加工を行うことができるようにすることを課題とす
る。
くなされたもので、スループットを低下させることな
く、ガルバノスキャナの位置決め精度を向上させ、精度
良く加工を行うことができるようにすることを課題とす
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、モータにより
ミラーを駆動して、レーザ光線の照射位置を走査するた
めのガルバノスキャナの制御方法において、指令トルク
と実際のトルクをそれぞれ演算し、その差からトルクの
変動を求めて、モータに与える電流指令値を補正するよ
うにして、前記課題を解決したものである。
ミラーを駆動して、レーザ光線の照射位置を走査するた
めのガルバノスキャナの制御方法において、指令トルク
と実際のトルクをそれぞれ演算し、その差からトルクの
変動を求めて、モータに与える電流指令値を補正するよ
うにして、前記課題を解決したものである。
【００１３】又、前記指令トルクを、モータに流れる電
流値を測定して、これから演算するようにしたものであ
る。
流値を測定して、これから演算するようにしたものであ
る。
【００１４】又、前記実際のトルクを、ミラーの角度を
測定して、これから演算するようにしたものである。
測定して、これから演算するようにしたものである。
【００１５】本発明は、又、モータによりミラーを駆動
して、レーザ光線の照射位置を走査するためのガルバノ
スキャナの制御装置において、指令トルクを求める手段
と、実際のトルクを求める手段と、指令トルクと実際の
トルクの差からトルクの変動を求める手段と、求められ
たトルク変動に応じてモータに与える電流指令値を補正
する手段とを備えることにより、前記課題を解決したも
のである。
して、レーザ光線の照射位置を走査するためのガルバノ
スキャナの制御装置において、指令トルクを求める手段
と、実際のトルクを求める手段と、指令トルクと実際の
トルクの差からトルクの変動を求める手段と、求められ
たトルク変動に応じてモータに与える電流指令値を補正
する手段とを備えることにより、前記課題を解決したも
のである。
【００１６】又、前記指令トルクを求める手段が、２階
の擬似微分演算器を含むようにしたものである。
の擬似微分演算器を含むようにしたものである。
【００１７】又、前記実際のトルクを求める手段が、前
記擬似微分演算器と同じ時定数を持つローパスフィルタ
を含むようにしたものである。
記擬似微分演算器と同じ時定数を持つローパスフィルタ
を含むようにしたものである。
【００１８】又、前記電流指令値を補正する手段が、前
記擬似微分演算器とローパスフィルタの出力の差に、所
定のゲインを乗じて電流指令値を補正するようにしたも
のである。
記擬似微分演算器とローパスフィルタの出力の差に、所
定のゲインを乗じて電流指令値を補正するようにしたも
のである。
【００１９】又、前記各手段を、アナログ回路により構
成して、高速動作を可能としたものである。
成して、高速動作を可能としたものである。
【００２０】本発明は、又、前記の制御装置を含むこと
を特徴とするガルバノスキャナを提供するものである。
を特徴とするガルバノスキャナを提供するものである。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本発明の実
施形態を詳細に説明する。
施形態を詳細に説明する。
【００２２】本実施形態は、図２に示す如く、モータ２
０によって回転駆動されるミラー２２の角度を検出する
ミラー角度センサ２４と、モータ２０に流れる駆動電流
をモニタする電流モニタ２６と、図示されていない上位
のシステムから入力される目標角度（参照角度と称す
る）、前記ミラー角度センサ２４によって計測される計
測角度信号、及び、前記電流モニタ２６で計測される電
流モニタ信号に基づいて電流指令を算出する制御装置３
０と、該制御装置３０から出力される電流指令に従って
駆動電流を作り出してモータ２０に供給するためのパワ
ーアンプ５０とを備えている。
０によって回転駆動されるミラー２２の角度を検出する
ミラー角度センサ２４と、モータ２０に流れる駆動電流
をモニタする電流モニタ２６と、図示されていない上位
のシステムから入力される目標角度（参照角度と称す
る）、前記ミラー角度センサ２４によって計測される計
測角度信号、及び、前記電流モニタ２６で計測される電
流モニタ信号に基づいて電流指令を算出する制御装置３
０と、該制御装置３０から出力される電流指令に従って
駆動電流を作り出してモータ２０に供給するためのパワ
ーアンプ５０とを備えている。
【００２３】前記ミラー２２の角度は、ミラー角度セン
サ２４により計測され、その結果は制御装置３０に入力
される。一方、ミラー２２の参照角度は、図示されてい
ない上位のシステムから制御装置３０に入力される。
又、モータ２０に印加された駆動電流は、電流モニタ２
６で計測され、制御装置３０に入力される。制御装置３
０では、以上の入力から、電流指令を算出する。パワー
アンプ５０により、該電流指令に従った駆動電流が作り
出され、モータ２０が駆動され、ミラー２２が回転す
る。
サ２４により計測され、その結果は制御装置３０に入力
される。一方、ミラー２２の参照角度は、図示されてい
ない上位のシステムから制御装置３０に入力される。
又、モータ２０に印加された駆動電流は、電流モニタ２
６で計測され、制御装置３０に入力される。制御装置３
０では、以上の入力から、電流指令を算出する。パワー
アンプ５０により、該電流指令に従った駆動電流が作り
出され、モータ２０が駆動され、ミラー２２が回転す
る。
【００２４】前記制御装置３０は、図３に詳細に示す如
く、上位のシステムから入力される参照角度と、前記ミ
ラー角度センサ２４から入力される計測角度の差に対し
てＰＩＤ演算を行い、理想電流指令を算出するＰＩＤ制
御部３２と、前記計測角度信号の加速度から実際のトル
ク（実トルクとも称する）を算出するための、例えば２
階の擬似微分演算器からなる第１のフィルタ３４と、前
記電流モニタ２６から入力される電流モニタ信号から指
令トルクを算出するための、例えば前記第１のフィルタ
３４と同じ時定数を持つローパスフィルタからなる第２
のフィルタ３６と、該第２のフィルタ３６で求められる
指令トルクと前記第１のフィルタ３４で求められる実ト
ルクの差を求める減算器３８と、該減算器３８の出力を
電流指令へ変換するための変換係数をゲインとして乗ず
る乗算器４０と、前記ＰＩＤ制御部３２から出力される
理想電流指令に、前記乗算器４０によって計算された補
正値を加える加算器４２と、該加算器４２より出力され
る補正された電流指令を通過させて、最終的な電流指令
を算出するための第３のフィルタ４４とから構成されて
いる。
く、上位のシステムから入力される参照角度と、前記ミ
ラー角度センサ２４から入力される計測角度の差に対し
てＰＩＤ演算を行い、理想電流指令を算出するＰＩＤ制
御部３２と、前記計測角度信号の加速度から実際のトル
ク（実トルクとも称する）を算出するための、例えば２
階の擬似微分演算器からなる第１のフィルタ３４と、前
記電流モニタ２６から入力される電流モニタ信号から指
令トルクを算出するための、例えば前記第１のフィルタ
３４と同じ時定数を持つローパスフィルタからなる第２
のフィルタ３６と、該第２のフィルタ３６で求められる
指令トルクと前記第１のフィルタ３４で求められる実ト
ルクの差を求める減算器３８と、該減算器３８の出力を
電流指令へ変換するための変換係数をゲインとして乗ず
る乗算器４０と、前記ＰＩＤ制御部３２から出力される
理想電流指令に、前記乗算器４０によって計算された補
正値を加える加算器４２と、該加算器４２より出力され
る補正された電流指令を通過させて、最終的な電流指令
を算出するための第３のフィルタ４４とから構成されて
いる。
【００２５】前記第３のフィルタ４４には、ノイズ除去
を目的とするローパスフィルタや、共振回避を目的とす
るノッチフィルタ、あるいは、その双方を用いることが
できる。
を目的とするローパスフィルタや、共振回避を目的とす
るノッチフィルタ、あるいは、その双方を用いることが
できる。
【００２６】前記ＰＩＤ制御部３２では、参照角度と計
測角度の差に対してＰＩＤ演算を行い、理想電流指令を
算出する。一方、第１のフィルタ３４では、計測角度か
ら実トルクが算出され、第２のフィルタ３６では、電流
モニタ値から指令トルクが算出される。指令トルクと実
トルクの差がトルクリップルであり、乗算器４０でゲイ
ンを乗じた後、加算器４２で理想電流指令に加算するこ
とにより、トルクリップルが補正された電流指令を算出
する。前記加算器４２によって得られる補正された電流
指令が第３のフィルタ４４を通過することにより、最終
的な電流指令が算出される。
測角度の差に対してＰＩＤ演算を行い、理想電流指令を
算出する。一方、第１のフィルタ３４では、計測角度か
ら実トルクが算出され、第２のフィルタ３６では、電流
モニタ値から指令トルクが算出される。指令トルクと実
トルクの差がトルクリップルであり、乗算器４０でゲイ
ンを乗じた後、加算器４２で理想電流指令に加算するこ
とにより、トルクリップルが補正された電流指令を算出
する。前記加算器４２によって得られる補正された電流
指令が第３のフィルタ４４を通過することにより、最終
的な電流指令が算出される。
【００２７】例えば、前記第１のフィルタ３４の伝達関
数は、次式（１）、第２のフィルタの伝達関数は次式
（２）、前記乗算器４０のゲインは次式（３）によって
表わされる。
数は、次式（１）、第２のフィルタの伝達関数は次式
（２）、前記乗算器４０のゲインは次式（３）によって
表わされる。
【００２８】Ｉｓ2／（Ｔｓ＋１）3 …（１）
Ｋ／（Ｔｓ＋１）3 …（２）
１／Ｋ …（３）
ここで、Ｉは駆動部の慣性モーメント、Ｔはフィルタの
時定数、Ｋはモータのトルク定数、ｓはラプラス変換子
である。
時定数、Ｋはモータのトルク定数、ｓはラプラス変換子
である。
【００２９】なお、ガルバノスキャナを利用したレーザ
加工装置では、Ｘ軸、Ｙ軸で、ガルバノスキャナの動作
特性は非干渉であるので、上記の処理は、Ｘ軸、Ｙ軸別
々に行うこともできる。
加工装置では、Ｘ軸、Ｙ軸で、ガルバノスキャナの動作
特性は非干渉であるので、上記の処理は、Ｘ軸、Ｙ軸別
々に行うこともできる。
【００３０】シミュレーションによる検証結果を図４に
示す。従来は、加工点１においてオーバーシュートと、
これに伴う振動が発生し、加工点２においてアンダーシ
ュートが発生していたのに対し、本発明による方法によ
れば、加工点１、２のいずれにおいても、目標値からの
誤差が許容範囲内の良好な制御結果を得ることができ
た。
示す。従来は、加工点１においてオーバーシュートと、
これに伴う振動が発生し、加工点２においてアンダーシ
ュートが発生していたのに対し、本発明による方法によ
れば、加工点１、２のいずれにおいても、目標値からの
誤差が許容範囲内の良好な制御結果を得ることができ
た。
【００３１】なお、前記実施形態においては、制御装置
３０が、ＰＩＤ制御によるフィードバックを行っていた
が、フィードバック制御の方法はこれに限定されない。
３０が、ＰＩＤ制御によるフィードバックを行っていた
が、フィードバック制御の方法はこれに限定されない。
【００３２】又、前記実施形態においては、電流モニタ
２６により指令トルクを得るようにしていたが、電流指
令より電流モニタ信号を得るようにして、電流モニタを
省略することも可能である。
２６により指令トルクを得るようにしていたが、電流指
令より電流モニタ信号を得るようにして、電流モニタを
省略することも可能である。
【００３３】前記制御装置３０は、高速動作が可能なア
ナログ回路、任意の処理が可能なデジタル計算機、又
は、それらの混合によって実現可能である。
ナログ回路、任意の処理が可能なデジタル計算機、又
は、それらの混合によって実現可能である。
【００３４】前記実施形態においては、本発明が、レー
ザドリルマシンに適用されていたが、本発明の適用対象
はこれに限定されず、ガルバノスキャナを用いるもので
あれば、例えばマーキングマシン等、他の機会にも同様
に適用できることは明らかである。
ザドリルマシンに適用されていたが、本発明の適用対象
はこれに限定されず、ガルバノスキャナを用いるもので
あれば、例えばマーキングマシン等、他の機会にも同様
に適用できることは明らかである。
【００３５】
【発明の効果】本発明によれば、ガルバノスキャナのト
ルクリップルの影響を抑えることができるため、動作す
る場所によらない一様な駆動特性とすることができる。
従って、スループットを遅くすることなく、レーザの照
射位置を安定させ、加工精度を向上することができる。
ルクリップルの影響を抑えることができるため、動作す
る場所によらない一様な駆動特性とすることができる。
従って、スループットを遅くすることなく、レーザの照
射位置を安定させ、加工精度を向上することができる。
【００３６】本発明によるトルクリップルの補正は、動
作角度や温度変化によるトルクの変動、ベアリングの摩
擦、ミラーの空気抵抗等、ガルバノスキャナで発生する
全てのトルクの変動に対して効果がある。
作角度や温度変化によるトルクの変動、ベアリングの摩
擦、ミラーの空気抵抗等、ガルバノスキャナで発生する
全てのトルクの変動に対して効果がある。
【図１】本発明の適用対象の一例であるレーザドリルマ
シンの要部構成を示す正面図
シンの要部構成を示す正面図
【図２】本発明に係るガルバノスキャナ制御装置の実施
形態の構成を示すブロック図
形態の構成を示すブロック図
【図３】前記実施形態の制御装置の詳細を示すブロック
線図
線図
【図４】従来例と本発明におけるシミュレーションによ
る検証結果を比較して示す線図
る検証結果を比較して示す線図
１０…加工対象物
１２…レーザ光線
１４、１６…ガルバノスキャナ
１５、１７、２２…ミラー
２０…モータ
２４…ミラー角度センサ
２６…電流モニタ
３０…制御装置
３２…ＰＩＤ制御部
３４、３６、４４…フィルタ
３８…減算器
４０…乗算器
４２…加算器
５０…パワーアンプ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 冨田 良幸
神奈川県横須賀市夏島町19番地 住友重機
械工業株式会社横須賀製造所内
(72)発明者 田中 研太
神奈川県平塚市久領堤１番15号 住友重機
械工業株式会社平塚事業所内
Ｆターム(参考） 2H045 AB03 AB53 BA12
4E068 AF00 CB01 CD11 CE03
Claims (9)
- 【請求項１】モータによりミラーを駆動して、レーザ光
線の照射位置を走査するためのガルバノスキャナの制御
方法において、 指令トルクと実際のトルクをそれぞれ演算し、 その差からトルクの変動を求めて、モータに与える電流
指令値を補正することを特徴とするガルバノスキャナの
制御方法。 - 【請求項２】前記指令トルクを、モータに流れる電流値
を測定して、これから演算することを特徴とする請求項
１に記載のガルバノスキャナの制御方法。 - 【請求項３】前記実際のトルクを、ミラーの角度を測定
して、これから演算することを特徴とする請求項１に記
載のガルバノスキャナの制御方法。 - 【請求項４】モータによりミラーを駆動して、レーザ光
線の照射位置を走査するためのガルバノスキャナの制御
装置において、 指令トルクを求める手段と、 実際のトルクを求める手段と、 指令トルクと実際のトルクの差からトルクの変動を求め
る手段と、 求められたトルク変動に応じて、モータに与える電流指
令値を補正する手段と、 を備えたことを特徴とするガルバノスキャナの制御装
置。 - 【請求項５】前記指令トルクを求める手段が、２階の擬
似微分演算器を含むことを特徴とする請求項４に記載の
ガルバノスキャナの制御装置。 - 【請求項６】前記実際のトルクを求める手段が、前記擬
似微分演算器と同じ時定数を持つローパスフィルタを含
むことを特徴とする請求項５に記載のガルバノスキャナ
の制御装置。 - 【請求項７】前記電流指令値を補正する手段が、前記擬
似微分演算器とローパスフィルタの出力の差に、所定の
ゲインを乗じて電流指令値を補正することを特徴とする
請求項６に記載のガルバノスキャナの制御装置。 - 【請求項８】前記各手段が、アナログ回路により構成さ
れていることを特徴とする請求項４乃至７のいずれかに
記載のガルバノスキャナの制御装置。 - 【請求項９】請求項４乃至８のいずれかに記載の制御装
置を含むことを特徴とするガルバノスキャナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001275330A JP4580600B2 (ja) | 2001-09-11 | 2001-09-11 | ガルバノスキャナの制御方法、装置、及び、ガルバノスキャナ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001275330A JP4580600B2 (ja) | 2001-09-11 | 2001-09-11 | ガルバノスキャナの制御方法、装置、及び、ガルバノスキャナ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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