JP2004233825A - ガルバノスキャナ及びレーザ加工機 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電磁揺動アクチュエータ部110を挟み一方の側にミラー部を、他方の側に角度検出器部を配置する場合、ミラー取付部104に保持させるミラー部(ミラーマウントとミラーとからなる)の慣性モーメントと、グレーティング円板121(角度検出器部)の慣性モーメントを比較し、ミラー部と角度検出部のうち慣性モーメントの大きい側から電磁揺動アクチュエータ部110に到る区間の軸径を他の区間の軸径よりも大径に形成する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転自在の軸にミラーを保持させたガルバノスキャナ及びガルバノスキャナによりレーザ光を位置決めするようにしたレーザ加工機に関する。
【0002】
【従来の技術】
プリント基板に穴を加工するレーザ加工機やレーザマーカ等のレーザ加工機ではレーザ発振器を固定しておき、レーザビームを位置決め自在のミラーに反射させて目標位置に照射する。このようなレーザ加工機を図面に基づいて説明する。
【0003】
図6は、プリント基板に穴を加工する従来のレーザ加工機の構成図、図7は、従来のガルバノスキャナの正面断面図、図8は、従来のガルバノミラーサーボ機構の構成を示すブロック図である。
【0004】
図6において、レーザ発振器210から出力されたレーザビーム30は、ミラー213a、ミラー213bを介して、コリメータ212やアパーチャ214等で構成される光学的ビーム処理系を経て整形され、さらにミラー213c、ミラー213d、ミラー213e、ミラー213fを介して第一のガルバノスキャナ23のミラー23aに入射する。ミラー23aは中立位置のときに図中右方向から入射するレーザビーム30を図中前方向に反射する。そして、ミラー23aの角度を変えることにより、レーザビーム30の進路を図中水平面内、すなわちXYテーブル上のスポット位置では図中左右方向(Y軸方向)に変化させることができる。
【0005】
ミラー23aで反射されたレーザビーム30は、次に第二のガルバノスキャナ23のミラー23bに入射する。ミラー23bは中立位置のときに図中奥方向から入射するレーザビーム30を図中下方向に反射する。そして、ミラー23bの角度を変えることにより、レーザビーム30の進路を図中前後方向の垂直面内、すなわちXYテーブル上のスポット位置では図中前後方向(X軸方向)に変化させることができる。ミラー23bで反射されたレーザビーム30は、Fθレンズ241を介して、XYテーブル253上に載置されたプリント基板252に照射される。XYテーブル253はY軸駆動機構254によりY軸方向に、Y軸駆動機構254はX軸駆動機構255によりX軸方向にそれぞれ駆動され、ベッド256上をXY方向に位置決め自在である。
【0006】
図7に示すように、揺動軸101は、一対の軸受103a、103bにより揺動可能に支持されている。揺動軸101は、(軸受103a、103bを)位置決めするための止め輪用溝部を除き、直径がdである。揺動軸101の左端は、ミラー取付部104としてハウジングの端部から突出している。揺動軸101の軸方向の中央部には、コイル111が配置されている。コイル111の両端は一対のエンドリング113a、113bに結合されており、エンドリング113a、113bは揺動軸101に結合されている。コイル111の外側には、永久磁石112がハウジングを兼ねたアウターヨーク115に固定されている。永久磁石112は、コイル111に直交する磁界を形成する。コイル111の内側に配置されたインナーヨーク114は、エンドリング113a、113bのハブ部と外輪部を結合するスポークの隙間を貫通するピン116により、ハウジングに固定されている。コイル111、エンドリング113a、113b、永久磁石112、アウターヨーク115およびインナーヨーク114により電磁揺動アクチュエータ(駆動トルク発生部)110が構成されている。そして、コイル111に電流を流すと、電流によって生じるローレンツ力によりコイル111に駆動トルクが加わり、コイル111、エンドリング113aおよびエンドリング113bが揺動軸101と共に揺動する。
【0007】
角度検出器120は、グレーティング円板121と検出ユニット122とから構成されている。グレーティング円板121は、ハブ123を介して揺動軸101の右端に固定されている。検出ユニット122はグレーティング円板121に対向するようにしてハウジング側に固定されている。そして、検出ユニット122は、揺動軸101の揺動に伴って検出部を通過するグレーティングにより、揺動軸101の揺動角を検出する。以下、角度検出器120のグレーティング円板121を「角度検出器部」ともいう。
【0008】
図8に示すように、揺動軸101のミラー取付部104には、ミラーマウント131を介してミラー23a(またはミラー23b)が装着される。以下、ミラー23a(またはミラー23b)とミラーマウント131を合わせて「ミラー部」という。
【0009】
このように、揺動軸101には、ミラー部、電磁揺動アクチュエータ部(以下、「駆動トルク発生部」という。)および角度検出器部という3つの慣性モーメントが大きい構成要素が直列に配置された構造になっている。以下、ミラー部、駆動トルク発生部および角度検出器部を載置した揺動軸を「揺動体」という。
【0010】
次に、従来のガルバノスキャナの動作を説明する。
【0011】
図8に示すように、上位制御装置10は、NCプログラムを解釈して、レーザビーム30を位置決めすべき対象物上の位置(目標位置)に応じて、ガルバノスキャナ23に目標位置決め角度11を指令する。ガルバノスキャナ制御装置20は、指令された目標位置決め角度11に基づいて目標軌道をリアルタイムで計算すると共に、角度検出器120の出力22から揺動軸101(すなわちミラー23a)の偏向角を検出し、これからレーザビームの現在位置を算出する。
【0012】
また、レーザビームの目標位置と現在位置の差に基づいてガルバノスキャナ23に対する駆動信号21を出力する。これらの処理を繰り返すことにより、レーザビーム30を目標位置に位置決めする。位置決めが完了すると、ガルバノスキャナ制御装置20は上位制御装置10に位置決め完了信号12を出力する。
【0013】
なお、電磁アクチュエータとしては、図示のように揺動軸にコイルを取り付け固定部側に磁石を配置したムービングコイル型のものと、揺動軸に磁石を取り付け、固体部側にコイルを配置したムービングマグネット型のものがある。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
近年、レーザ加工機のようなガルバノスキャナ応用製品の加工効率向上への要求は益々高くなっており、ガルバノスキャナにも高速応答が求められている。
そこで、ミラーを高速に位置決めするために駆動トルク発生部で発生させるトルクを大きくすると、コイルとミラーの間、あるいはコイルと検出器の間の揺動軸のねじり変形量が増大して位置決めの際の残留振動が大きくなる。このため、位置決め時間の短縮が限界付けられてしまう。
【0015】
揺動軸のねじり剛性は揺動軸の径を大きくすれば解決できるが、揺動軸と直交する方向に多くの構成要素(インナーヨーク、コイルとその揺動ギャップ、永久磁石、アウターヨーク)を配置する必要があるため、スキャナが大径になり、実装の面で問題を生じる。また、揺動体の慣性モーメントが増加するため、かえって応答が遅くなるという問題があった。
【0016】
本発明の目的は、上記従来技術における課題を解決し、ミラーを高速に位置決めすることができるガルバノスキャナおよび生産性に優れるレーザ加工機を提供するにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明の第一の手段は、ミラー部と角度検出部と駆動トルク発生部とが直列に配置された軸を前記駆動トルク発生部の両側で回転自在に支持し、前記駆動トルク発生部で発生される駆動トルクにより前記ミラー部を回転方向に位置決めするようにしたガルバノスキャナにおいて、前記駆動トルク発生部の一方に前記ミラー部を、他方に前記角度検出部を配置し、前記ミラー部と前記角度検出部のうち慣性モーメントの大きい側から前記駆動トルク発生部に到る区間の軸径を他の区間の軸径よりも大径に形成することを特徴とする。
【0018】
また、本発明の第二の手段は、レーザ加工機に第一の手段によるガルバノスキャナによりレーザ光を位置決めすることを特徴とする。
【0019】
【発明の実施の形態】
(第一の実施形態)
図1は、本発明に係るガルバノスキャナの正面断面図であり、図7と同じものは同一の符号を付して説明を省略する。なお、第一の実施形態は、ミラー部の慣性モーメントが角度検出器部の慣性モーメント以上である場合に適用される。
【0020】
第一の実施形態における揺動軸201は、従来技術で説明した揺動軸101に対し、駆動トルク発生部の左端(エンドリング113aのハブの左端)からミラー取り付け部104までの区間が他の区間(直径d)よりも大径の直径Dの大径部202に形成されており、また軸受け103Aを位置決めするための直径が直径Dよりもさらに大径のフランジ202aが形成されている。
【0021】
図2は、揺動軸201のねじり振動特性の改善効果を説明する模式図であり、上側は揺動体の構造図、下側は揺動体のねじり振動1次モードの代表点のねじり変形量を示すグラフである。
【0022】
このグラフにおいて、横軸は揺動軸201の位置に対応し、縦軸は角度検出器部の変形量を−1として正規化した相対的ねじり変形量を示している。
【0023】
また、図中の実線は本実施形態の場合を、2点鎖線は従来の場合(断面が一様な場合)を示している。
【0024】
同図に示されているように、従来の場合、変形量が0となる節の位置は、ミラー側のエンドリング113aの近傍にある。これに対し、本実施形態の場合、大径部202の効果により、ねじり振動の節の位置がコイル111の中央付近に移動している。角度検出器部側の構造は同じであるから、節とグレーティング円板121の間の距離が短くなった分、揺動体の固有振動数が高くなっていることがわかる。
【0025】
したがって、このガルバノスキャナを用いて、角度検出器部(グレーティング円板121)よりも大きな慣性モーメントを有するミラー部を駆動するサーボ機構を構成すると、位相余裕の拡大や残留振動の低減が可能となり、より高速な応答を得ることができる。
【0026】
(第二の実施形態)
図3は、本発明に係るガルバノスキャナの他の正面断面図であり、図7と同じものは同一の符号を付して説明を省略する。この、第二の実施形態は、角度検出部の慣性モーメントがミラー部の慣性モーメント以上である場合に適用される。
【0027】
第二の実施形態における揺動軸301は、従来技術で説明した揺動軸101に対し、駆動トルク発生部の右端(エンドリング113bのハブの右端)から角度検出器部(グレーティング円板121)取り付け部までの区間が他の区間(直径d)よりも大径の直径Dの大径部302に形成されており、また軸受け103Bを位置決めするための直径が直径Dよりもさらに大径のフランジ302aが形成されている。
【0028】
図4は、揺動軸301のねじり振動特性の改善効果を説明する模式図であり、上側は揺動体の構造を示し、下側は揺動体のねじり振動1次モードの代表点のねじり変形量を示すグラフである。このグラフにおいて、横軸は揺動軸301上の位置に対応し、縦軸はミラー部の変形量を1として正規化した相対的ねじり変形量を示している。
【0029】
また、図中の実線はこの実施形態の場合を、2点鎖線は従来の場合(断面が一様な場合)を示している。
【0030】
同図に示されているように、従来の場合、変形量が0となる節の位置は、エンドリング113bの近傍にある。これに対し、この実施形態の場合、大径部302の効果により、ねじり振動の節の位置がコイル111の中央付近に移動している。ミラー部側の構造は同じであるから、節とグレーティング円板121の間の距離が短くなった分、揺動体の固有振動数が高くなっていることがわかる。
【0031】
したがって、このガルバノスキャナを用いて、角度検出器部(グレーティング円板121)よりも小さな慣性モーメントを有するミラー部を駆動するサーボ機構を構成すると、位相余裕の拡大や残留振動の低減が可能となり、より高速な応答を得ることができる。
【0032】
(第三の実施形態)
図5は、本発明に係るガルバノスキャナのさらに他の正面断面図であり、図7と同じものは同一の符号を付して説明を省略する。なお、第三の実施形態は、ミラー部と角度検出器部とが駆動トルク発生部に関して同じ側に配置される場合に適用される。
【0033】
この実施例では、駆動トルク発生部の左端(エンドリング113aのハブの左端)からミラー取り付け部104までの区間が他の区間(直径d)よりも大径の直径Dの大径部402に形成され、軸受け103Aを位置決めするための直径が直径Dよりもさらに大径のフランジ402aが形成されている。なお、グレーティング円板121を固定するハブの内径は直径Dに嵌合する径になっている。これによって、このガルバノスキャナを用いてミラーを駆動するサーボ機構を構成した場合に、位相余裕の拡大や残留振動の低減が可能となり、より高速な応答が得られる効果がある。
【0034】
次に、ミラーの大きさについて説明する。
【0035】
例えば、図6に示したレーザ加工機における第一のガルバノスキャナ23の場合、入射するレーザビーム30の位置は変化しないから、ミラー23aは小さいものでよい。一方、第二のガルバノスキャナ23は、入射するレーザビーム30の位置が回転軸の方向に変化するため、ミラー23bの大きさはミラー23aよりも大きくする必要があり、質量も大きくなる。したがって、搭載するミラー部と角度検出器部の慣性モーメントの大きさを比較し、第一と第二の実施形態で説明したガルバノスキャナを選択して採用すると、ミラーの位置決めを高速化することができ、生産性を向上することができる。
【0036】
なお、以上の実施形態では、揺動軸201、301、401よりも大径のフランジ部201a、301a、401aを設けたが、内径が直径d以上の溝にしてもよい。
【0037】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ガルバノスキャナの外形寸法を従来の場合と同じにして高速応答化を図ることができる。したがって、このようなガルバノスキャナをレーザ加工機に適用することにより、生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るガルバノスキャナの正面断面図である。
【図2】図1に示す揺動軸のねじり振動特性を説明する模式図である。
【図3】本発明に係る他のガルバノスキャナの正面断面図である。
【図4】図3に示す揺動軸のねじり振動特性を説明する模式図である。
【図5】本発明に係るさらに他のガルバノスキャナの正面断面図である。
【図6】従来のレーザ加工機の構成図である。
【図7】従来のガルバノスキャナの正面断面図である。
【図8】従来のガルバノミラーサーボ機構の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
104 ミラー取付部
110 電磁揺動アクチュエータ部
121 グレーティング円板(角度検出器部)
Claims (2)
- ミラー部と角度検出部と駆動トルク発生部とが直列に配置された軸を前記駆動トルク発生部の両側で回転自在に支持し、前記駆動トルク発生部で発生される駆動トルクにより前記ミラー部を回転方向に位置決めするようにしたガルバノスキャナにおいて、
前記駆動トルク発生部の一方に前記ミラー部を、他方に前記角度検出部を配置し、
前記ミラー部と前記角度検出部のうち慣性モーメントの大きい側から前記駆動トルク発生部に到る区間の軸径を他の区間の軸径よりも大径に形成することを特徴とするガルバノスキャナ。 - 請求項1に記載のガルバノスキャナによりレーザ光を位置決めすることを特徴とするレーザ加工機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003024160A JP2004233825A (ja) | 2003-01-31 | 2003-01-31 | ガルバノスキャナ及びレーザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003024160A JP2004233825A (ja) | 2003-01-31 | 2003-01-31 | ガルバノスキャナ及びレーザ加工機 |
Publications (1)
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---|---|
JP2004233825A true JP2004233825A (ja) | 2004-08-19 |
Family
ID=32952769
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003024160A Pending JP2004233825A (ja) | 2003-01-31 | 2003-01-31 | ガルバノスキャナ及びレーザ加工機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004233825A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008043133A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Hitachi Via Mechanics Ltd | 揺動アクチュエータ装置およびレーザ加工装置 |
JP2013186452A (ja) * | 2012-03-12 | 2013-09-19 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ガルバノスキャナ |
-
2003
- 2003-01-31 JP JP2003024160A patent/JP2004233825A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008043133A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Hitachi Via Mechanics Ltd | 揺動アクチュエータ装置およびレーザ加工装置 |
JP2013186452A (ja) * | 2012-03-12 | 2013-09-19 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ガルバノスキャナ |
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