JP2006227415A - スキャナ装置およびレーザ加工機 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 センターヨーク9の両端に配置した軸受け10a、10bの外輪側に中空円筒形状の中空フレーム5を支持させてロータとする。この場合、中空フレーム5の材質をセラミックスにしてコイル4を配置し、磁石14を固定子にしてもよいし、中空フレーム5の材質を着磁した磁石材料にしてコイルを固定子にしてもよい。このように構成されたロータは、軸としてのねじり剛性を大きくできるので、ねじれ振動の固有振動数が大きくなる。また、回転軸としての曲げ剛性を大きくできるので、コイルの発熱に起因するロータの熱変形や、ミラー1に存在するの左右の質量アンバランスに起因するミラーの倒れ振動を低減することができる。
【選択図】 図1
Description
すなわち、ミラーが大型化することにより慣性モーメントが増大すると、回転軸の剛性が不足になり、ミラーを含めたロータ系のねじれ振動の固有振動数が低下する。固有振動数が低いと、サーボ系の制御帯域(サーボ帯域)を上げることができず、高速の位置決めができない。回転軸の剛性は回転軸の軸径を太くすることにより大きくできるが、コイルおよび磁気回路の取り合い等スペース上の制約がある。また、軸径を太くすると回転軸の慣性モーメントも増大し、駆動電流の増大などの弊害が発生する。このため、従来の構造では、回転軸の軸径を太くすることが困難である。
次に、実施例1の変型例について説明する。
4 コイル
5 中空フフレーム
9 センターヨーク
10a、10b 軸受け
14 磁石
Claims (5)
- ロータと固定子とからなり、前記ロータを回動させるアクチュエータと、前記ロータの回動角度を検出する角度センサと、目標値と前記角度センサの出力値とを比較して前記ロータの回動位置を制御する制御手段と、を備え、前記ロータにミラーを保持させたスキャナ装置において、
前記ロータが中空部材からなることを特徴とするスキャナ装置。 - 前記中空部材が略中空円筒形状に形成されていることを特徴とする請求項1記載のスキャナ装置。
- 前記ロータをセラミックスで形成すると共にコイルを配置し、前記固定子を磁石とすることを特徴とする請求項1または2に記載のスキャナ装置。
- 前記ロータを磁性材料で形成し、前記固定子をコイルとすることを特徴とする請求項1または2に記載のスキャナ装置。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載のスキャナ装置を備え、このスキャナ装置によりレーザを加工部に位置決めするようにしたことを特徴とするレーザ加工機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005042723A JP2006227415A (ja) | 2005-02-18 | 2005-02-18 | スキャナ装置およびレーザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005042723A JP2006227415A (ja) | 2005-02-18 | 2005-02-18 | スキャナ装置およびレーザ加工機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006227415A true JP2006227415A (ja) | 2006-08-31 |
Family
ID=36988825
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005042723A Pending JP2006227415A (ja) | 2005-02-18 | 2005-02-18 | スキャナ装置およびレーザ加工機 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2006227415A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011203632A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Mitsubishi Electric Corp | ガルバノスキャナ |
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-
2005
- 2005-02-18 JP JP2005042723A patent/JP2006227415A/ja active Pending
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