JP2008298857A - スキャナ装置及びレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ミラーを駆動する揺動アクチュエータ装置から駆動トルクの反作用が周期的に作用する場合であっても、ミラーの振動を抑制することができるようにする。
【解決手段】揺動アクチュエータ装置10の回転軸11にミラー13支持させ、ミラー13を回転軸11の軸線12の回りに位置決めするようにしたスキャナ装置において、揺動アクチュエータ装置10を固定支持するサポート20と、揺動アクチュエータ装置10、ミラー13及びサポート20とからなる支持構造系の共振周波数に等しい固有振動数を有する動吸振器40と、を設け、動吸振器40をサポート20に固定する。
【選択図】図1
【解決手段】揺動アクチュエータ装置10の回転軸11にミラー13支持させ、ミラー13を回転軸11の軸線12の回りに位置決めするようにしたスキャナ装置において、揺動アクチュエータ装置10を固定支持するサポート20と、揺動アクチュエータ装置10、ミラー13及びサポート20とからなる支持構造系の共振周波数に等しい固有振動数を有する動吸振器40と、を設け、動吸振器40をサポート20に固定する。
【選択図】図1
Description
本発明は、ミラーを回転軸の回りに位置決めするようにしたスキャナ装置及びスキャナ装置によりレーザを位置決めして被加工物を加工するレーザ加工装置に関する。
プリント配線板の製造工程において穴あけ加工を行うレーザ加工装置では、被加工物の複数の加工位置にレーザ光を次々と照射するための位置決め制御機構が必要であり、高い加工スループットと高精度な加工を実現するためにスキャナ装置が多く用いられている。スキャナ装置は、ミラーを負荷要素としてシャフトに固定した揺動アクチュエータ装置、揺動アクチュエータ装置をレーザ加工装置内部に固定する支持構造物、ミラーの角度を指令値に追従制御するサーボ制御装置から構成される。
レーザ加工装置は通常、階層的な制御構造を有する数値制御(CNC)装置であって、スキャナ装置はその最下位の階層に含まれる。上位階層の制御装置(以下、上位制御と呼ぶ)では、プリント配線板のCAM(Computer Aided Manufacturing)データに基づき、二次元の穴位置座標が加工される順番でNCプログラムに記述される。加工が始まると、上位制御はNCプログラム中の穴位置座標を次々に座標変換し、スキャナ装置に対して時系列的な角度指令データを送信する。穴を真円に加工するには、ミラーが角度指令データで指定された角度で静止した後に、レーザ光を照射する必要がある。このため角度指令データの送信とレーザ光の照射制御は、上位制御の内部で同期を取って行われる。スキャナ装置は、ミラーの角度が角度指令データに対して誤差無く位置決めするように動作する。特許文献1は、スキャナ装置を用いたレーザ加工装置のスループットを向上するために、穴加工の順序を最適化する技術を開示している。
揺動アクチュエータ装置は、ミラーを固定するシャフトを有し、電磁気的な動作原理のものが多く用いられる。さらにミラーの角度を検出するセンサを内蔵しており、このセンサからの角度検出データはサーボ制御装置に送られる。このサーボ制御装置はオペアンプからなるアナログ制御で実現されることもあるし、マイクロ・プロセッサとプログラムを合わせたディジタル制御ファームウェアによる実現の場合もある。特に近年は、後者の構成によって短期間で柔軟に制御プログラムを高性能化して、製品競争力の向上が図られている。また、ミラーの位置決め時間を短縮するために、フィードバック・ループを広帯域化する技術が使われている。揺動アクチュエータ装置では、シャフトに取り付けられたミラー、センサ、可動コイルまたは可動磁石が慣性負荷として作用するので、高速動作では軸ねじり振動を発生することがある。数kHz以上の領域に複数のねじり振動モードが存在するので、従来のスキャナ装置のサーボ制御装置では振動モードの安定化補償器によって、フィードバック・ループを広帯域化するものがある(特許文献2)。
また従来のスキャナ装置では、スキャナ装置に入力する移動指令値に対してフィルタ処理を行い、振動を低減するものがある(特許文献3)。
また、スキャナ装置の動作が共振周波数を励起するような動作パターンになる場合、整定時間を調整することで共振の発生を回避するスキャナ装置がある(特許文献4)。
さらに精密産業機械、半導体製造設備、超高層建築物などでは、構造物に発生した振動を速やかに減衰させる動吸振器が用いられている。動吸振器には質量とバネと減衰材の受動要素のみで構成されるパッシブ方式と、フィードバック制御機構によりロバスト性を高めたアクティブ方式がある(非特許文献1)。そして従来のレーザ加工装置には、可動テーブルの移動による加工装置の構造振動をアクティブ動吸振器によって抑制するものがある(特許文献5)。
ここで、従来から実施されている揺動アクチュエータ装置の固定方法について説明する。
図5は従来の揺動アクチュエータ装置をレーザ加工装置内部に固定する支持構造系を示す図、図6は図5のA−A断面図である。揺動アクチュエータ装置10は円筒形に形成され、回転軸11の先端にはミラー13が固定されている。サポート20には揺動アクチュエータ装置10の外径よりも僅かに大径の穴20hと回転軸11の回転の軸線12と平行なスリット20sとが形成されている。スリット20sに垂直な方向には穴20aとねじ穴20jが形成されている。そして、ねじ穴20jに螺合するボルト50を締め付けることによりサポート20を弾性変形させ、摩擦力により揺動アクチュエータ装置10をサポート20に支持させている。サポート20は、ミラー13の軸線12がレーザ30の光路と交差するようにして、背面側が図示を省略するボルトにより、ハッチングで示すレーザ加工機の支持部材60に固定されている。
図5は従来の揺動アクチュエータ装置をレーザ加工装置内部に固定する支持構造系を示す図、図6は図5のA−A断面図である。揺動アクチュエータ装置10は円筒形に形成され、回転軸11の先端にはミラー13が固定されている。サポート20には揺動アクチュエータ装置10の外径よりも僅かに大径の穴20hと回転軸11の回転の軸線12と平行なスリット20sとが形成されている。スリット20sに垂直な方向には穴20aとねじ穴20jが形成されている。そして、ねじ穴20jに螺合するボルト50を締め付けることによりサポート20を弾性変形させ、摩擦力により揺動アクチュエータ装置10をサポート20に支持させている。サポート20は、ミラー13の軸線12がレーザ30の光路と交差するようにして、背面側が図示を省略するボルトにより、ハッチングで示すレーザ加工機の支持部材60に固定されている。
図示の揺動アクチュエータ装置10は図6から分かるように4極式であり、回転軸11には、中心角90度の扇形断面の可動磁石16が4個固定されている。N極から放射状に出た磁束はコイル17を通過し、ハウジング14に入る。このハウジング14は機能的に継鉄を兼ねており、磁束を円周方向に導く。その磁束は再びコイル17を通過して可動磁石16のS極に入り、隣接するN極に戻ることで閉ループとなる。コイル17に流れる駆動電流は図6の紙面に垂直な方向であり、N極に対向するコイルとS極に対向するコイルでは逆向きである。これによりフレミング左手則の反作用による駆動トルクが可動磁石16に作用し、回転軸11を介してミラー13が駆動される。
特開2003−245843号公報
特開2002−40358号公報
特開2003−43404号公報
特許第3519278号公報
特開2003−181739号公報
背戸・松本共著、パソコンで解く振動の制御、3章、6章、丸善、1999年
一方、駆動トルクの反作用は、コイル17からハウジング14を介して、サポート20に伝わる。サポート20は背面で固定されているが、駆動トルクの反作用が繰り返し伝わると、サポート20の弾性変形による構造振動が起きることがある。特に最悪ケースでは、駆動トルクの繰り返し周波数が図5に示した支持構造系(ここでは、サポート20)の共振周波数に一致することも起こり得る。駆動トルクの繰り返し周波数が支持構造系の共振周波数に一致すると、構造振動が特に励起されてミラー13も振動する。この結果、レーザ光30の反射角が所望の角度に対して振動し、加工位置精度が低下する。
しかし、特許文献2ないし4に開示されている技術では、ミラーの移動時間や整定時間が長くなる場合があり、レーザ加工装置のスループットを低下させることがある。また特許文献5に開示されたアクティブ動吸振器は、レーザ加工装置の可動テーブルの動作による装置全体の構造振動や床との連成振動を抑制することはできるが、スキャナ装置の動作で発生する局所的な振動を抑えるには不適である。
本発明の目的は、上記課題を解決し、ミラーを駆動する揺動アクチュエータ装置から駆動トルクの反作用が周期的に作用する場合であっても、ミラーの振動を抑制することができるようにし、加工精度を上げることにある。
上記課題を解決するために、本発明の第1の手段は、揺動アクチュエータ装置の回転軸にミラー支持させ、このミラーを前記回転軸の軸線の回りに位置決めするようにしたスキャナ装置において、前記揺動アクチュエータ装置を支持するサポートと、前記サポートの共振周波数に等しい固有振動数を有する動吸振器と、を設け、前記動吸振器を前記サポートに固定したことを特徴とする。
この場合、前記動吸振器をウェイト部と弾性ヒンジ部とを備える形状とし、前記ウェイト部の振動方向が前記回転軸の軸線に直交するようにして前記サポートに固定させるようにしてもよいし、前記動吸振器に前記ウェイト部の振動を減衰させる振動減衰材を備えるようにしてもよい。
また、本発明の第2の手段は、第1の手段に係るスキャナ装置を備え、前記スキャナ装置によりレーザを位置決めして被加工物を加工するレーザ加工装置を特徴とする。
本発明によれば、ミラーの振動が減少する結果、レーザの位置決め精度が向上し、加工精度が向上する。
以下、本発明の実施形態について説明する。
図1は本実施形態における実施例1に係るスキャナの斜視図、図2は図1におけるB−B断面図、図3は揺動アクチュエータ装置の内部構造を示す断面図である。これらの図において、前述の図5及び図6に示した各部と同等な各部には同一の符号を付して説明を省略する。
始めに、揺動アクチュエータ装置の内部構造について説明する。図3に示すように、回転軸11は軸受150と軸受151を介してハウジング14に支持されており、軸線12回りの揺動動作が可能である。回転軸11の一端には、エンコーダ18のスケール180が固定されている。このスケール180はヘッド181で読み取られ、前記スケール180とヘッド181によって前記エンコーダ18が構成されている。ヘッド181はハウジング14に固定されたカバー182に固定されている。エンコーダ18は回転軸11(すなわち、ミラー13)の角度変位を検出し、検出した結果をサーボ制御機構に出力する。回転軸11の中央部には可動磁石16が取付けられている。上記したように、可動磁石16、ハウジング14、及びハウジング14に固定されたコイル17は磁気回路を構成している。回転軸11の他端にはミラー13が固定されている。
図1に示すように、サポート20には動吸振器40が固定されている。この動吸振器40は長手方向(軸線方向)に直角な断面が略H形であり、ウェイト部41と弾性ヒンジ部42と台座部43とから構成されている。台座部43は、図示を省略するボルトにより、動吸振器40をサポート20に固定する部位である。なお、動吸振器40は、弾性ヒンジ部42の長手方向が軸線12に平行になるようにしてサポート20に固定されている。
図2を用いて、さらに詳しく説明する。
この動吸振器40の場合、弾性ヒンジ部42は撓みバネとして機能する。ウェイト部41と弾性ヒンジ部42は1自由度振動系であるので、弾性ヒンジ部42が撓むことによりウェイト部41は図2の紙面では左右、つまり軸線12に直交する方向に振動する。
動吸振器40の固有振動数は、ウェイト部41の質量、及び弾性ヒンジ部42の寸法を設計パラメータとして、所望の値に設計できる。そこで、予め、加速度センサや振動センサを用いたサポート20及び揺動アクチュエータ装置10の振動の実測(すなわち、実験モード解析法)、あるいは有限要素法による構造振動解析(すなわち、理論モード解析法)を用いて、揺動アクチュエータ装置(ミラー13を含む)を支持させたサポート20の共振周波数を定量的に把握する。そして、得られた共振周波数に一致するように、動吸振器40を設計しておく。
固有振動数がサポート20の共振周波数に等しい動吸振器40の場合、駆動トルクの反作用で励起された支持構造系の振動の力学的エネルギーは、動吸振器40のウェイト部41と弾性ヒンジ部42による振動系に吸収される。このため支持構造系本体の振動が弱まり、ミラー13はほとんど振動しない。
なお、この実施例では、弾性ヒンジ部42の長手方向が軸線12に平行になるようにしてサポート20に固定して、図2においてウェイト部41を左右に振動させる例を示したが、ウェイト部41の振動方向はこれに限定するものではない。すなわち、実験モード解析法や理論モード解析法の解析結果を元にして、より効果的に振動を低減する向きに動吸振器40を取り付けることが望ましい。
次に、本発明の実施例2について説明する。
図4は、本発明の実施例2に係るスキャナ装置の断面図で、実施例1における図2の構成に対応する。
この実施例では、動吸振器40のウェイト部41と台座部43との隙間に防振ゴム等の振動減衰材44、45を配置し、隙間に充填した状態にしてある。
このようにすると、ウェイト部41の振動の力学的エネルギーは振動減衰材の粘性抵抗により熱に変換され、消散するので、振動を速やかに減衰させることができる。
10 揺動アクチュエータ装置
11 回転軸
12 軸線
13 ミラー
20 サポート
40 動吸振器
11 回転軸
12 軸線
13 ミラー
20 サポート
40 動吸振器
Claims (4)
- 揺動アクチュエータ装置の回転軸にミラー支持させ、このミラーを前記回転軸の軸線の回りに位置決めするスキャナ装置において、
前記揺動アクチュエータ装置を支持するサポートと、
前記サポートの共振周波数に等しい固有振動数を有する動吸振器と、
を備え、前記動吸振器が前記サポートに固定されていることを特徴とするスキャナ装置。 - 前記動吸振器はウェイト部と弾性ヒンジ部とを備え、前記ウェイト部の振動方向が前記回転軸の軸線に直交するように前記サポートに固定されることを特徴とする請求項1に記載のスキャナ装置。
- 前記動吸振器に前記ウェイト部の振動を減衰させる振動減衰材が設けられていることを特徴とする請求項1または2記載のスキャナ装置。
- 請求項1ないし3のいずれか1項に記載のスキャナ装置を備え、
前記スキャナ装置によりレーザを位置決めして被加工物を加工することを特徴とするレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007142052A JP2008298857A (ja) | 2007-05-29 | 2007-05-29 | スキャナ装置及びレーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007142052A JP2008298857A (ja) | 2007-05-29 | 2007-05-29 | スキャナ装置及びレーザ加工装置 |
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ID=40172468
Family Applications (1)
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2007
- 2007-05-29 JP JP2007142052A patent/JP2008298857A/ja active Pending
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