JP2000158282A - 工作機械の主軸頭及び主軸頭の制振方法 - Google Patents

工作機械の主軸頭及び主軸頭の制振方法

Info

Publication number
JP2000158282A
JP2000158282A JP10333579A JP33357998A JP2000158282A JP 2000158282 A JP2000158282 A JP 2000158282A JP 10333579 A JP10333579 A JP 10333579A JP 33357998 A JP33357998 A JP 33357998A JP 2000158282 A JP2000158282 A JP 2000158282A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spindle head
vibration
spindle
stress
amplitude
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP10333579A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Kurata
武 倉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP10333579A priority Critical patent/JP2000158282A/ja
Publication of JP2000158282A publication Critical patent/JP2000158282A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 主軸頭の振動を確実に抑制して加工時におけ
る工具の振動を抑える。 【解決手段】 加工反力等の外力による主軸頭5の振動
により生じる主軸頭5の根元部位の圧縮応力を加速度セ
ンサ14によって検出し、加速度センサ14の検出情報
に基づいて制御装置15により振幅を求め、振幅に応じ
て振動の位置を反転させた状態で圧電素子16に作動指
令を出力し、主軸頭5に加わる振動振幅を打ち消す状態
に圧電素子16を作動させて主軸頭5に応力を生じさせ
ることで振動を抑制し、主軸頭5の振動を確実に抑制し
て、加工時における工具の振動を抑え、加工精度を向上
させると共に工具の長寿命化を図る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転主軸を回転自
在に支持する工作機械の主軸頭及び主軸頭の制振方法に
関する。
【0002】
【従来の技術】マシニングセンタ等、工具を支持する回
転主軸が主軸頭に回転自在に支持されている工作機械で
は、軸受の剛性を高める等して回転主軸の支持剛性を高
めて回転主軸の振動を抑制し、加工精度を安定させる工
夫がなされている。また、加工反力に対する回転主軸の
主軸頭に対する変位を相殺し、回転主軸の主軸頭に対す
る振動を抑制し、加工精度を安定させる技術が種々提案
されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来から工作機械の分
野では、主軸頭に対する回転主軸の振動を抑制して加工
精度を安定させるようにしている。しかし、実際の加工
時には切削反力等により主軸頭自体にも振動が発生する
ため、回転主軸の振動を抑制しても被加工物に対して工
具が振動することになり、加工精度の安定は不十分であ
った。
【0004】本発明は上記状況に鑑みてなされたもの
で、自身の振動を抑制することができる工作機械の主軸
頭及び主軸頭の制振方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の工作機械の主軸頭の構成は、回転主軸を回転
自在に支持する主軸頭に該主軸頭の振動を検出するセン
サを設けると共に該主軸頭を変位させるアクチュエータ
を設け、前記センサの検出情報に応じて前記主軸頭の振
動を相殺する状態に前記アクチュエータを作動させて該
主軸頭に内部応力を発生させる制御手段を備えたことを
特徴とする。
【0006】そして、前記主軸頭の振動を検出するセン
サは該主軸頭の振幅を検出する振幅検出センサであるこ
とを特徴とする。また、前記主軸頭の振動を検出するセ
ンサは該主軸頭の応力を検出する応力センサであること
を特徴とする。また、前記主軸頭の振動を検出するセン
サは該主軸頭の振幅を検出する振幅検出センサ及び該主
軸頭の応力を検出する応力センサであることを特徴とす
る。更に、前記アクチュエータは圧電素子であることを
特徴とする。
【0007】上記目的を達成するための本発明の主軸頭
の制振方法は、回転主軸を回転自在に支持する主軸頭の
振動を振幅に基づいて検出し、振幅応力を相殺する状態
に主軸頭に応力を発生させることで主軸頭の制振を行う
ことを特徴とする。
【0008】また、上記目的を達成するための本発明の
主軸頭の制振方法は、回転主軸を回転自在に支持する主
軸頭の振動を応力に基づいて検出し、変位を相殺する状
態に主軸頭に応力を発生させることで主軸頭の制振を行
うことを特徴とする。
【0009】また、上記目的を達成するための本発明の
主軸頭の制振方法は、回転主軸を回転自在に支持する主
軸頭の振動を振幅及び応力に基づいて検出し、振幅また
は変位を相殺する状態に主軸頭に応力を発生させること
で主軸頭の制振を行うことを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】図1には本発明の第1実施形態例
に係る主軸頭を備えた工作機械の概略構成、図2には主
軸頭の断面、図3には図2中のIII-III 線矢視、図4に
は図2中のIV-IV 線矢視、図5には本発明の第1実施形
態例に係る主軸頭の制振方法を実施するブロック構成を
示してある。
【0011】図1に示すように、ベッド1上にはテーブ
ル2が設けられ、テーブル2には被加工物3が載置され
ている。ベッド1上にはテーブル2に対してコラム4が
接近離遠動自在に支持され、コラム4には主軸頭5が昇
降自在に支持されている。主軸頭5には回転主軸6が駆
動回転自在に設けられ、回転主軸6には被加工物3の加
工を行う工具7が取り付けられている。コラム4の移動
及び主軸頭5の昇降により、工具7が被加工物3に対し
て所定状態に移動され、回転主軸6の駆動回転により被
加工物3が工具7で加工される。
【0012】図2乃至図4に基づいて主軸頭5の構成を
詳細に説明する。
【0013】図2に示すように、主軸頭5には軸受1
1、12を介して回転主軸6が回転自在に支持され、回
転主軸6は図示しない駆動手段により駆動回転されるよ
うになっている。回転主軸6には工具取付穴13が形成
され、工具取付穴13に工具7が取り付けられる。
【0014】図2、図3に示すように、主軸頭5の先端
部位(図2中左端部位)には振幅検出センサとしての加
速度センサ14が円周方向の4等分箇所(鉛直方向上
下、水平方向左右)に設けられ、加速度センサ14によ
って主軸頭5の振れ状態が検出されるようになってい
る。加速度センサ14の検出情報は制御装置15に入力
され、制御装置15では加速度センサ14の検出情報に
基づいて主軸頭5の振幅が求められる。
【0015】図2、図4に示すように、主軸頭5の根元
部位(図2中右端部位)にはアクチュエータとしての圧
電素子16が円周方向の4等分箇所(鉛直方向上下、水
平方向左右)に設けられ、主軸頭5の根元部位には圧電
素子16によって回転主軸6の回転中心軸方向(図2中
矢印方向)の変位が与えられる。圧電素子16は制御装
置15の指令に基づいて電流が流されることで作動し、
主軸頭5の振幅を相殺するように主軸頭5を変位させ
る。即ち、主軸頭5が振れて圧縮応力が根元部位に加わ
ると、圧電素子16が作動して主軸頭5の変位が最小に
なるように応力を発生させる。
【0016】尚、アクチュエータとしては、圧電アクチ
ュエータや油圧等の流体圧アクチュエータ等、主軸頭5
を変位させるアクチュエータであれば、圧電素子16以
外のものを適用することも可能である。また、主軸頭5
の形態も、ベッド1に水平方向に支持されるもの等、コ
ラム4を介して昇降するものに限定されるものではな
く、様々な形態の工作機械の主軸頭が適用可能である。
更に、加速度センサ14及び圧電素子16は、少なくと
も円周方向の3等分箇所に設けられればよく、また、円
周方向の4等分箇所以上に設けることも可能である。
【0017】図5に基づいて上述した工作機械の主軸頭
5の制振方法を説明する。
【0018】回転主軸6の駆動回転により被加工物3が
工具7で加工されると、加工反力等の外力によって主軸
頭5が振動し、主軸頭5の根元部位に圧縮応力が加わ
る。主軸頭5の振動は加速度センサ14によって検出さ
れ、制御装置15によって振幅が求められる。制御装置
15では振幅に応じて振動の位置を反転させた状態で圧
電素子16に作動指令を出力し、主軸頭5に加わる変位
が最小になるように圧電素子16を作動させて主軸頭5
に応力を発生させることで振動を抑制する。
【0019】従って、加工反力等によって主軸頭5が振
動すると、振動の位相と正反対の位相で圧電素子16を
作動させて振動を相殺するようにしたので、主軸頭5の
振動を確実に抑制することができる。このため、加工時
における工具の振動を抑えることができ、加工精度が向
上すると共に工具の長寿命化が図れる。
【0020】図6乃至図8に基づいて本発明の第2実施
形態例に係る主軸頭及び主軸頭の制振方法を説明する。
図6には本発明の第2実施形態例に係る主軸頭の断面、
図7には図6中のVII-VII 線矢視、図8には本発明の第
2実施形態例に係る主軸頭の制振方法を実施するブロッ
ク構成を示してある。尚、図1乃至図5に示した部材と
同一部材には同一符号を付してある。
【0021】図6に示すように、主軸頭21には軸受1
1、12を介して回転主軸6が回転自在に支持され、回
転主軸6は図示しない駆動手段により駆動回転されるよ
うになっている。回転主軸6には工具取付穴13が形成
され、工具取付穴13に工具7が取り付けられる。主軸
頭21は、図1に示した主軸頭5と同様にコラム4に昇
降自在に支持される。
【0022】図6、図7に示すように、主軸頭21の根
元部位(図6中右端部位)には振動を検出するセンサと
しての応力センサ22が円周方向の4等分箇所(鉛直方
向上下、水平方向左右)に設けられ、応力センサ22に
よって主軸頭21の根元部位に加わる応力が検出される
ようになっている。応力センサ22の検出情報は制御装
置15に入力され、制御装置15では応力センサ22の
検出情報に基づいて主軸頭5の振動の状態が求められ
る。
【0023】図6、図7に示すように、主軸頭21の根
元部位(図6中右端部位)には応力センサ22に隣接し
てアクチュエータとしての圧電素子16が円周方向の4
等分箇所(鉛直方向上下、水平方向左右)に設けられ、
主軸頭21の根元部位には圧電素子16によって回転主
軸6の回転中心軸方向(図6中矢印方向)の変位を与え
ようとする力が加えられる。圧電素子16は制御装置1
5の指令に基づいて電流が流されることで作動し、主軸
頭21の振幅を相殺するように主軸頭21を変位させ
る。即ち、主軸頭21が振れて変位を生じると、圧電素
子16が作動してそれを打ち消す状態に主軸頭21の根
元部位に応力が加えられる。
【0024】尚、第1実施形態例と同様に、アクチュエ
ータとしては、圧電アクチュエータや油圧等の流体圧ア
クチュエータ等、主軸頭21を変位させるアクチュエー
タであれば、圧電素子16以外のものを適用することも
可能である。また、主軸頭21の形態も、ベッド1に水
平方向に支持されるもの等、コラム4を介して昇降する
ものに限定されるものではなく、様々な形態の工作機械
の主軸頭が適用可能である。更に、応力センサ22及び
圧電素子16は、少なくとも円周方向の3等分箇所に設
けられればよく、また、円周方向の4等分箇所以上に設
けることも可能である。
【0025】図8に基づいて上述した工作機械の主軸頭
21の制振方法を説明する。
【0026】回転主軸6の駆動回転により被加工物3が
工具7で加工されると、加工反力等の外力によって主軸
頭21が振動し、主軸頭21の根元部位に圧縮応力が加
わる。主軸頭21の根元部位に加わった圧縮応力は応力
センサ22によって検出されて制御装置15に入力され
る。制御装置15では応力に応じて振動の位置を反転さ
せた状態で圧電素子16に作動指令を出力し、主軸頭2
1に加わる圧縮変位を打ち消す状態に圧電素子16を作
動させて主軸頭21の根元部位に応力を発生させること
で振動を抑制する。
【0027】従って、加工反力等によって主軸頭21が
振動すると、振動の位相と正反対の位相で圧電素子16
を作動させて振動を相殺するようにしたので、主軸頭2
1の振動を確実に抑制することができる。このため、加
工時における工具の振動を抑えることができ、加工精度
が向上すると共に工具の長寿命化が図れる。
【0028】上述した実施形態例は、加速度センサ14
もしくは応力センサ22を個別に設けた例を挙げて説明
したが、主軸頭に加速度センサ14及び応力センサ22
を設け、加速度センサ14及び応力センサ22の検出情
報に基づいて主軸頭の振幅及び応力を検出し、振幅及び
応力を相殺する状態に圧電素子16を作動させて主軸頭
を変位させることで主軸頭の制振を行うようにすること
も可能である。振幅及び応力に基づいて主軸頭の制振を
行うことで、主軸頭の振動をより正確に抑制することが
可能となる。
【0029】
【発明の効果】本発明の工作機械の主軸頭は、回転主軸
を回転自在に支持する主軸頭に該主軸頭の振動を検出す
るセンサを設けると共に該主軸頭を変位させるアクチュ
エータを設け、前記センサの検出情報に応じて前記主軸
頭の振動を相殺する状態に前記アクチュエータを作動さ
せて該主軸頭に応力を発生させる制御手段を備えたの
で、加工反力等によって主軸頭が振動すると、振動の位
相と正反対の位相でアクチュエータを作動させて振動を
相殺するようにしたので、主軸頭の振動を確実に抑制す
ることができる。この結果、加工時における工具の振動
を抑えることができ、加工精度が向上すると共に工具の
長寿命化が図れる。
【0030】本発明の主軸頭の制振方法は、回転主軸を
回転自在に支持する主軸頭の振動を振幅に基づいて検出
し、振幅を相殺する状態に主軸頭に応力を生じさせるこ
とで主軸頭の制振を行うようにしたので、加工反力等に
よって主軸頭が振動すると、振幅に応じて振動の位相と
正反対の位相で振動を相殺することができる。この結
果、主軸頭の振動を確実に抑制することができ、加工時
における工具の振動が抑制されて加工精度が向上すると
共に工具の長寿命化が図れる。
【0031】また、本発明の主軸頭の制振方法は、回転
主軸を回転自在に支持する主軸頭の振動を応力に基づい
て検出し、応力を相殺する状態に主軸頭を変位させるこ
とで主軸頭の制振を行うようにしたので、加工反力等に
よって主軸頭が振動すると、応力に応じて振動の位相と
正反対の位相で振動を相殺することができる。この結
果、主軸頭の振動を確実に抑制することができ、加工時
における工具の振動が抑制されて加工精度が向上すると
共に工具の長寿命化が図れる。
【0032】また、本発明の主軸頭の制振方法は、回転
主軸を回転自在に支持する主軸頭の振動を振幅及び応力
に基づいて検出し、振幅を相殺する状態に主軸頭に応力
を生じさせることで主軸頭の制振を行うようにしたの
で、加工反力等によって主軸頭が振動すると、振幅に応
じて振動の位相と正反対の位相で振動を相殺することが
できる。この結果、主軸頭の振動をより正確に抑制する
ことができ、加工時における工具の振動が抑制されて加
工精度が向上すると共に工具の長寿命化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態例に係る主軸頭を備えた
工作機械の概略構成図。
【図2】主軸頭の断面図。
【図3】図2中のIII-III 線矢視図。
【図4】図2中のIV-IV 線矢視図。
【図5】本発明の第1実施形態例に係る主軸頭の制振方
法を実施するブロック構成図。
【図6】本発明の第2実施形態例に係る主軸頭の断面
図。
【図7】図6中のVII-VII 線矢視図。
【図8】本発明の第2実施形態例に係る主軸頭の制振方
法を実施するブロック構成図。
【符号の説明】
1 ベッド 2 テーブル 3 被加工物 4 コラム 5,22 主軸頭 6 回転主軸 7 工具 11,12 軸受 13 工具取付穴 14 加速度センサ 15 制御装置 16 圧電素子 22 応力センサ

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転主軸を回転自在に支持する主軸頭に
    該主軸頭の振動を検出するセンサを設けると共に該主軸
    頭を変位させるアクチュエータを設け、前記センサの検
    出情報に応じて前記主軸頭の振動を相殺する状態に前記
    アクチュエータを作動させて該主軸頭に応力を生じさせ
    る制御手段を備えたことを特徴とする工作機械の主軸
    頭。
  2. 【請求項2】 請求項1において、前記主軸頭の振動を
    検出するセンサは該主軸頭の振幅を検出する振幅検出セ
    ンサであることを特徴とする工作機械の主軸頭。
  3. 【請求項3】 請求項1において、前記主軸頭の振動を
    検出するセンサは該主軸頭の応力を検出する応力センサ
    であることを特徴とする工作機械の主軸頭。
  4. 【請求項4】 請求項1において、前記主軸頭の振動を
    検出するセンサは該主軸頭の振幅を検出する振幅検出セ
    ンサ及び該主軸頭の応力を検出する応力センサであるこ
    とを特徴とする工作機械の主軸頭。
  5. 【請求項5】 請求項1乃至請求項4のいずれか一項に
    おいて、前記アクチュエータは圧電素子であることを特
    徴とする工作機械の主軸頭。
  6. 【請求項6】 回転主軸を回転自在に支持する主軸頭の
    振動を振幅に基づいて検出し、振幅応力を相殺する状態
    に主軸頭に応力を生じさせることで主軸頭の制振を行う
    ことを特徴とする主軸頭の制振方法。
  7. 【請求項7】 回転主軸を回転自在に支持する主軸頭の
    振動を応力に基づいて検出し、応力を相殺する状態に主
    軸頭に応力を生じさせることで主軸頭の制振を行うこと
    を特徴とする主軸頭の制振方法。
  8. 【請求項8】 回転主軸を回転自在に支持する主軸頭の
    振動を振幅及び応力に基づいて検出し、振幅及び応力を
    相殺する状態に主軸頭に応力を生じさせることで主軸頭
    の制振を行うことを特徴とする主軸頭の制振方法。
JP10333579A 1998-11-25 1998-11-25 工作機械の主軸頭及び主軸頭の制振方法 Withdrawn JP2000158282A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10333579A JP2000158282A (ja) 1998-11-25 1998-11-25 工作機械の主軸頭及び主軸頭の制振方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10333579A JP2000158282A (ja) 1998-11-25 1998-11-25 工作機械の主軸頭及び主軸頭の制振方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000158282A true JP2000158282A (ja) 2000-06-13

Family

ID=18267632

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10333579A Withdrawn JP2000158282A (ja) 1998-11-25 1998-11-25 工作機械の主軸頭及び主軸頭の制振方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000158282A (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003004042A (ja) * 2001-06-19 2003-01-08 Nsk Ltd スピンドル装置及びその回転軸の振れを補正する方法
WO2005098263A1 (de) * 2004-04-05 2005-10-20 Siemens Aktiengesellschaft Dämpfungsvorrichtung zum dämpfen mechanischer schwingungen und entsprechendes dämpfungsverfahren
JP2008100326A (ja) * 2006-10-20 2008-05-01 Okuma Corp 主軸装置
WO2008148678A1 (de) * 2007-06-04 2008-12-11 Siemens Aktiengesellschaft Werkzeugmaschine
CN103731065A (zh) * 2013-12-13 2014-04-16 东南大学 基于振动发电的自供电型无线隧道健康监测装置
KR20170094308A (ko) * 2014-12-08 2017-08-17 산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비 측정 디바이스 및 칩 제거 기계 가공 공구의 작동 파라미터들을 선택하는 방법
JP2021041516A (ja) * 2019-09-13 2021-03-18 株式会社牧野フライス製作所 回転主軸の回転振れ制御方法および主軸装置
CN113671899A (zh) * 2021-08-12 2021-11-19 西安科技大学 一种元动作单元的压电致动振动抑制方法

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003004042A (ja) * 2001-06-19 2003-01-08 Nsk Ltd スピンドル装置及びその回転軸の振れを補正する方法
WO2005098263A1 (de) * 2004-04-05 2005-10-20 Siemens Aktiengesellschaft Dämpfungsvorrichtung zum dämpfen mechanischer schwingungen und entsprechendes dämpfungsverfahren
JP2008100326A (ja) * 2006-10-20 2008-05-01 Okuma Corp 主軸装置
WO2008148678A1 (de) * 2007-06-04 2008-12-11 Siemens Aktiengesellschaft Werkzeugmaschine
CN103731065A (zh) * 2013-12-13 2014-04-16 东南大学 基于振动发电的自供电型无线隧道健康监测装置
CN103731065B (zh) * 2013-12-13 2015-08-26 东南大学 基于振动发电的自供电型无线隧道健康监测装置
KR20170094308A (ko) * 2014-12-08 2017-08-17 산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비 측정 디바이스 및 칩 제거 기계 가공 공구의 작동 파라미터들을 선택하는 방법
JP2018502726A (ja) * 2014-12-08 2018-02-01 サンドビック インテレクチュアル プロパティー アクティエボラーグ 切屑除去機械加工ツールの測定装置及び操作パラメータ選択方法
KR102488941B1 (ko) * 2014-12-08 2023-01-13 산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비 측정 디바이스 및 칩 제거 기계 가공 공구의 작동 파라미터들을 선택하는 방법
JP2021041516A (ja) * 2019-09-13 2021-03-18 株式会社牧野フライス製作所 回転主軸の回転振れ制御方法および主軸装置
JP7416374B2 (ja) 2019-09-13 2024-01-17 株式会社牧野フライス製作所 回転主軸の回転振れ制御方法および主軸装置
CN113671899A (zh) * 2021-08-12 2021-11-19 西安科技大学 一种元动作单元的压电致动振动抑制方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5197614B2 (ja) 工作機械
JP4896153B2 (ja) 機械要素ないし加工物の振動低下方法
JP6572132B2 (ja) 低剛性ワーク機械加工支援システム
JP3416019B2 (ja) 機械システム安定化方法および装置
JP6442327B2 (ja) 工作機械、及び被加工物の加工方法
JP2006216051A (ja) 未加工品と工作機械の工具との間の相対運動の運動分割方法
JP4474328B2 (ja) 穴明け加工機
EP3078452A1 (en) System for suppressing chatter in a machine tool
JP2000158282A (ja) 工作機械の主軸頭及び主軸頭の制振方法
WO2011058645A1 (ja) 工作機械の制御方法および制御装置
JP6581162B2 (ja) 加工システム及び加工機の制御方法
JP4848393B2 (ja) 工作機械の制御方法および制御装置
JP2005121114A (ja) スピンドル装置
JPH079374A (ja) 多関節ロボットの制御方法及び多関節ロボット
JP2007075915A (ja) 切削加工方法および切削加工装置
JP3252450B2 (ja) 旋削工具
JP7344134B2 (ja) 振動抑制装置及び振動抑制方法
CN111687675B (zh) 具有优化取向的减振器的机床
JP4388534B2 (ja) 工作機械の制振装置
JP2006159345A (ja) 制御装置
WO2022009925A1 (ja) 工作機械の制御装置
WO2023007602A1 (ja) 工作機械の制御装置
JP2005199410A (ja) 砥石車を備えた研削機および回転刃を備えた工作機械における制振方法、並びに同制振装置
JP2002035967A (ja) レーザ加工機
JPH05146901A (ja) 回転多面鏡の加工方法

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20060207