WO2005098263A1 - Dämpfungsvorrichtung zum dämpfen mechanischer schwingungen und entsprechendes dämpfungsverfahren - Google Patents

Dämpfungsvorrichtung zum dämpfen mechanischer schwingungen und entsprechendes dämpfungsverfahren Download PDF

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vibrations
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Jens Hamann
Theo Reichel
Elmar SCHÄFERS
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Siemens Aktiengesellschaft
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    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/005—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion using electro- or magnetostrictive actuation means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems

Definitions

  • Damping device for damping mechanical vibrations and corresponding damping method
  • the present invention relates to a damping device for damping mechanical vibrations with at least one actuator for performing damping movements and a control circuit which is connected to the at least one actuator for actuating it. Furthermore, the present invention relates to a corresponding method for damping mechanical vibrations.
  • Actuators e.g. electrical or hydraulic are used to move machine axes that are capable of making large movements. These actuators are called macro actuators in the following.
  • TCP Tool Center Point
  • the micro movements are of the order of up to 50 ⁇ m.
  • the micro-movements result from the fact that weakly damped natural frequencies are excited. The excitation occurs either through process or interference forces or through the forces that are introduced by macro actuators to move the machine axes.
  • Active damping of weakly damped natural frequencies by macro actuators can be carried out, for example, by a method which is described in German patent specification 102 46 093 C1 and is also known under the name APC (Advanced Position Control). In some cases, however, active damping is not possible or is very difficult. There are two main reasons for this:
  • an actuator can only vaporize natural frequencies that can also be excited by its movement. NEN. If the natural motion belonging to a critical natural frequency is orthogonal to the direction of action of all existing macro actuators, they cannot be used for active damping. Such critical natural frequencies can, however, be stimulated by process or interference forces, so that active damping would be helpful.
  • a macro actuator is also to be used for active vibration damping, it must perform a movement which counteracts the disruptive micro movement in such a way that the critical natural frequencies are adequately damped. From a control point of view, this means a targeted shift of an intrinsic value of the route into areas of higher damping.
  • a separate control device or unit must be provided for controlling the macro actuators.
  • the control takes place on the basis of known vibration amplitudes or antinodes on the respective machine.
  • the object of the present invention is therefore to improve vibration damping, particularly in the area of a TCP.
  • this object is achieved by a damping device with a control circuit which is connected to the at least one actuator for actuating it, and a sensor for detecting the specific vibrations and for supplying a corresponding detection signal as an actual variable to the control circuit.
  • the present invention provides a method for damping mechanical vibrations by providing at least one actuator, actuating the at least one actuator via a control loop, detecting a vibration with a sensor while providing a detection signal and supplying the detection signal as an actual variable to the control loop.
  • the at least one actuator is also the sensor.
  • the number of components can thus be reduced.
  • the actuator preferably comprises a piezo element or a magnetorestrictive element. With these elements it is possible to convert mechanical vibrations into electrical signals and vice versa to convert electrical signals into mechanical movements.
  • a macro actuator for the damping device which is operated in particular electrically or hydraulically, including a corresponding control device. This is particularly advantageous if the vibrations are caused by movements of the macro actuator itself.
  • control loop of the damping device can comprise a plurality of switchable feedback elements. These are expediently each equipped with a bandstop, the individual bandstresses having different blocking frequencies. This makes it possible to suppress specific vibrations in definable situations to an extent that is also de deinable.
  • the damping device according to the invention is used in a multi-axis head of a machine tool.
  • the at least one actuator also serves to position the multi-axis head. This makes it possible to assign a dual functionality to the microactuators that are arranged in the multi-axis head: they are used for positioning and damping.
  • FIG. 1 shows a cross section through a 5-axis head according to the invention of a machine tool
  • FIG. 2 shows a block diagram of a control circuit for the actuators of the 5-axis head from FIG. 1.
  • the invention is based on the idea of using microactuators, which are used for positioning the head of a machine tool and thus act very close to the TCP, for the active damping of weakly damped natural frequencies. Regardless of this, the macro actuators that are also used for positioning can also be used for damping.
  • 5-axis heads can be used corresponding spindle power have a mass of more than one ton.
  • the electrical or hydraulic macro actuators are far away from the TCP, so that damping in the TCP is generally not sufficiently possible.
  • the 5-axis head shown in FIG. 1 is usually screwed onto a quill for movement in the z direction with a corresponding connecting device 1.
  • the connecting device 1 is rigidly connected to a first head region 2.
  • the first head region is connected to a second head region 4 in the y direction by means of a guide 3.
  • Microactuators 5, which act on the first head region 2 and the second head region 4 ensure a corresponding displacement of the two regions relative to one another, for example in the y direction.
  • FIG. 1 Only one arrangement is sketched in FIG. 1 which enables the head to move in the y direction.
  • the microactuators 5 not only ensure a movement in the fine range in the y direction, but also enable damping in the y direction according to the invention.
  • a rotary bearing 6 Arranged below the second head region 4 is a rotary bearing 6, which rotatably supports a third head region 7 about a C axis, in accordance with the arrow shown.
  • a pivot bearing 8 At the lower end of the third head region 7, a pivot bearing 8 is mounted, with which a fourth head region 9 is pivotably mounted about a B axis 10 according to the arrow also drawn.
  • a spindle 11 is indicated in the middle of the lower region of the fourth head section 9.
  • An acceleration sensor 12 on the fourth head region 9 detects its acceleration in the y direction.
  • the microactuators 5 used for damping which are integrated in the 5-axis head, result in a mechatronic overall system which is referred to as an "actively damped 5-axis head". can be net. All vibrations in the x, y and z directions can then be damped with appropriately arranged micro actuators for micro movement in the x and z directions.
  • the deflection of the microactuators 5 is commanded with a suitable control structure in such a way that the amplitude of the critical oscillation at the measuring point (in FIG. 1 the position of the acceleration sensor 12) is reduced.
  • a control structure suitable for this is shown in FIG. 2 as a block diagram. It essentially takes up the rule mechanism us, which has proven itself in connection with the APC mentioned at the beginning.
  • the controlled system RS consists of actuator A (microactuators 5) and mechanics M (5-axis head including drive).
  • the transfer function of the controlled system RS is marked with Gs.
  • the actuator A is controlled with a setpoint value Xasoii, which is normally zero, and supplies a value x a ⁇ st to the mechanics M. This reacts with a corresponding acceleration value a v .
  • the acceleration value a v can be fed back via different feedback elements Ri (j2 ⁇ f). Any number of feedback branches with the feedback elements R ⁇ (j2 ⁇ f), R 2 ⁇ 2j ⁇ ) to R n (j2 ⁇ f) with the corresponding switches Si, S 2 to S n are provided for this purpose. Different feedback elements can thus optionally be switched into the feedback.
  • the feedback value or values are subtracted from the idle length x a o in a subtractor SUB, so that the desired value x aS oi ⁇ results.
  • the actuators should only change their idle length x a o in the frequency ranges in which critical resonances cause excessive increases. This is achieved through the repatriations Rij (j2j ⁇ f), which - as with an APC rule structure - represent generalized band passes or band locks.
  • the open control loop is raised via OdB only in the frequency ranges in which damping is to be achieved. The stability and damping of the controlled system can be assessed using frequency characteristics, which are therefore also used to parameterize the control.

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Abstract

An dem sogenannten Tool Center Point, an dem sich bei Werkzeugmaschinen das Werkzeug und das Werkstück berühren, soll die Dämpfung von Eigenschwingungen verbessert werden. Hierzu ist vorgesehen, dass die Schwingungen von Mikroaktoren (5), die in der Nähe dieses Tool Center Points platziert sind, er­fasst und mit einem entsprechenden Regelkreis gedämpft wer­den. Für den Mehrachskopf einer Werkzeugmaschine bedeutet dies, dass die Mikroaktoren (5) die zur Positionierung des Kopfs verwendet werden, gleichzeitig auch zur Erfassung und Dämpfung von Eigenschwingungen eingesetzt werden. Somit kann auf eine eigene Steuereinrichtung zur Ansteuerung von Dämpfungsaktoren verzichtet werden, da die zu dämpfenden Schwingungen unmittelbar vor Ort aufgenommen werden können.

Description

Beschreibung
Dämpfungsvorrichtung zum Dämpfen mechanischer Schwingungen und entsprechendes Dämpfungsverfahren
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Dämpfungsvorrichtung zum Dämpfen mechanischer Schwingungen mit mindestens einem Aktor zur Ausführung von Dämpfungsbewegungen und einem Regelkreis, der an den mindestens einen Aktor zu dessen Betätigung angeschlossen ist. Darüber hinaus betrifft die vorliegende Erfindung ein entsprechendes Verfahren zum Dämpfen mechanischer Schwingungen.
Zur Bewegung von Maschinenachsen kommen Aktoren (z.B. elek- trisch oder hydraulisch) zum Einsatz, die zum Stellen großer Bewegungen in der Lage sind. Diese Aktoren werden im folgenden Makroaktoren genannte. Die Genauigkeit von Maschinen wird jedoch durch Mikrobewegungen an dem sogenannten TCP (Tool Center Point) , dem Punkt, an dem das Werkzeug das Werkstück berührt, bestimmt. Bei Werkzeugmaschinen liegen die Mikrobewegungen in der Größenordnung von bis zu 50 μm. Die Mikrobewegungen entstehen dadurch, dass schwachgedämpfte Eigenfrequenzen angeregt werden. Die Anregung erfolgt entweder durch Prozess- oder Störkräfte oder durch die Kräfte, welche durch Makroaktoren zur Bewegung der Maschinenachsen eingebracht werden.
Eine aktive Bedä pfung schwach gedämpfter Eigenfrequenzen durch Makroaktoren kann beispielsweise durch ein Verfahren erfolgen, das in der deutschen Patentschrift 102 46 093 Cl beschrieben und auch unter dem Namen APC (Advanced Position Control) bekannt ist. In manchen Fällen ist jedoch die aktive Bedämpfung nicht oder nur sehr schwer möglich. Hierfür gibt es im wesentlichen zwei Gründe:
Zum einen kann ein Aktor grundsätzlich nur Eigenfrequenzen bedampfen, die durch seine Bewegung auch angeregt werden kön- nen. Ist die zu einer kritischen Eigenfrequenz gehörige Eigenbewegung orthogonal zur Wirkrichtung aller vorhandenen Makroaktoren, können diese nicht zur aktiven Dämpfung verwendet werden. Eine Anregung derartiger, kritischer Eigenfre- quenzen kann allerdings durch Prozess- oder Störkräfte erfolgen, so dass eine aktive Bedämpfung hilfreich wäre.
Zum anderen muss ein Makroaktor, wenn er auch zur aktiven Schwingungsdämpfung verwendet werden soll, eine Bewegung durchführen, welche der störenden Mikrobewegung so entgegenwirkt, dass die kritischen Eigenfrequenzen hinreichend bed mpft werden. Regelungstechnisch bedeutet dies eine gezielte Verschiebung eines Streckeneigenwerts in Bereiche höherer Dämpfung. Manche Makroaktoren sind allerdings - erzwungen durch ihre eigentliche Aufgabe, dem Stellen großer Bewegungen - konstruktiv so in ein Maschinenkonzept eingebunden, dass die Einleitung der Bewegung weit entfernt von dem TCP erfolgt. Die Regelstrecken, die daraus für eine aktive Bedämpfung mittels Makroaktoren folgt, ist daher in diesen Fällen schwer zu beherrschen. Eine Bedämpfung ist dann nicht oder nur eingeschränkt möglich.
Für die Ansteuerung der Makroaktoren ist eine eigene Steuereinrichtung bzw. -einheit vorzusehen. Die Ansteuerung erfolgt auf der Basis bekannter Schwingungsamplituden bzw. Schwingungsbäuche an der jeweiligen Maschine.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht somit darin, die Schwingungsdämpfung gerade im Bereich eines TCP zu verbessern.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst durch eine Dämpfungsvorrichtung mit einem Regelkreis, der an den mindestens einen Aktor zu dessen Betätigung angeschlossen ist, und einem Sensor zur Erfassung der spezifischen Schwingungen und zum Liefern eines entsprechenden Erfassungssignals als Istgröße an den Regelkreis . Darüber hinaus ist gemäß der vorliegenden Erfindung vorgesehen ein Verfahren zum Dämpfen mechanischer Schwingungen durch Bereitstellen mindestens eines Aktors, Betätigen des mindestens einen Aktors über einen Regelkreis, Erfassen einer Schwingung mit einem Sensor unter Bereitstellen eines Erfassungssignals und Liefern des Erfassungssignals als Istgröße an den Regelkreis.
Er indungsgemäß ist es damit möglich, dass auf eine eigene Ansteuerelektronik zur Steuerung von Dämpfungsaktoren mit Erzeugung eines speziellen Austauschsignals verzichtet werden kann. Die störenden Schwingungen werden unmittelbar am Ort des Geschehens erfasst und zur Erzeugung eines entsprechenden DämpfungsSignals für den Aktor verwendet.
Bei einer bevorzugten Ausgestaltung ist der mindestens eine Aktor gleichzeitig der Sensor. Somit kann die Anzahl der Bauelemente reduziert werden.
Vorzugsweise umfasst der Aktor ein Piezoelement oder ein magnetorestriktives Element. Mit diesen Elementen ist es möglich, sowohl mechanische Schwingungen in elektrische Signale als auch umgekehrt, elektrische Signale in mechanische Bewegung umzusetzen.
In bestimmten Fällen kann es vorteilhaft sein, für die Dämpfungsvorrichtung einen Makroaktor, der insbesondere elektrisch oder hydraulisch betrieben wird, einschließlich einer entsprechenden Steuervorrichtung einzusetzen. Dies ist insbe- sondere dann günstig, wenn die Schwingungen durch Bewegungen des Makroaktors selbst hervorgerufen werden.
Entsprechend einer besonders bevorzugten Ausführungsform sind mehrere geregelte Aktoren zur Dämpfung in mehreren Richtungen vorgesehen. Damit können sämtliche Schwingungen, die beispielsweise bei einer Werkzeugmaschine störend wirken, durch geeignete Dämpfung hinreichend unterdrückt werden. Der Regelkreis der Dämpfungsvorrichtung kann mehrere zuschaltbare Rückführglieder umfassen. Diese werden günstigerweise jeweils mit einer Bandsperre ausgestattet, wobei die einzelnen Bandsperren unterschiedliche Sperrfrequenzen besit- zen. Damit ist es möglich, spezifische Schwingungen in definierbare Situationen zu einem ebenfalls de inierbaren Maß zu unterdrücken .
Bei einer besonders bevorzugten Ausgestaltung wird die erfin- dungsgemäße Dämpfungsvorrichtung in einem Mehrachskopf einer Werkzeugmaschine eingesetzt. Dabei dient der mindestens eine Aktor auch zur Positionierung des Mehrachskopfes. Damit ist es möglich, den Mikroaktoren, die in dem Mehrachskopf angeordnet sind, eine doppelte Funktionalität zuzuweisen: Sie dienen zum Positionieren und Dämpfen.
Die vorliegende Erfindung wird nun anhand der beigefügten Zeichnungen näher erläutert, in denen zeigen:
FIG 1 einen Querschnitt durch einen erfindungsgemäßen 5-Achs- Kopf einer Werkzeugmaschine und FIG 2 ein Blockschaltbild eines Regelkreises für die Aktoren des 5-Achs-Kopfs von FIG 1.
Die nachfolgend näher geschilderten Ausführungsbeispiele stellen bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung dar.
Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, Mikroaktoren, die für die Positionierung des Kopfs einer Werkzeugmaschine eingesetzt werden und damit sehr nahe am TCP wirken, zur aktiven Bedämpfung schwach gedämpfter Eigenfrequenzen einzusetzen. Unabhängig davon können die auch zur Positionierung verwendeten Makroaktoren ebenfalls zur Dämpfung herangezogen werden.
In FIG 1 ist beispielhaft ein zu bed mpfender 5-Achs-Kopf einer Werkzeugmaschine dargestellt. 5-Achs-Köpfe können bei entsprechender Spindelleistung eine Masse von mehr als einer Tonne aufweisen. Mit der Bewegung eines derartigen Kopfes ist - beispielsweise bei Portal-Gantry-Maschinen — in den einzelnen Achsen ein Verfahren grosser Massen er orderlich. Dabei sind die elektrischen bzw. hydraulischen Makroaktoren weit von dem TCP entfernt, so dass eine Dämpfung in dem TCP im allgemeinen nicht ausreichend möglich ist.
Der in FIG 1 dargestellte 5-Achs-Kopf wird üblicherweise an eine Pinole zur Bewegung in z-Richtung mit einer entsprechenden Verbindungseinrichtung 1 angeschraubt . Die Verbindungseinrichtung 1 ist mit einem ersten Kopfbereich 2 starr verbunden. Über eine Führung 3 ist der erste Kopfbereich mit einem zweiten Kopfbereiσh 4 in y-Richtung verschiebbar verbun- den. Mikroaktoren 5, die an dem ersten Kopfbereich 2 und dem zweiten Kopfbereich 4 angreifen, sorgen für eine entsprechende Verschiebung der beiden Bereiche zueinander beispielsweise in y-Richtung. Der Übersicht halber ist in FIG 1 lediglich eine Anordnung skizziert, die eine Bewegung des Kopfs in y- Richtung ermöglicht. Die Mikroaktoren 5 gewährleisten aber nicht nur eine Bewegung im Feinbereiσh in y-Richtung, sondern ermöglichen erfindungsgemäß auch eine Dämpfung in y-Richtung.
Unterhalb des zweiten Kopfbereichs 4 ist ein Drehlager 6 an- geordnet, das einen dritten Kopfbereich 7 um eine C-Achse, entsprechend dem eingezeichneten Pfeil drehbar lagert. An das untere Ende des dritten Kopfbereichs 7 ist ein Drehlager 8 montiert, mit dem ein vierter Kopfbereich 9 um eine B-Achse 10 gemäß dem ebenfalls eingezeichneten Pfeil schwenkbar gela- gert ist. In der Mitte des unteren Bereichs des vierten Kopf- abschnitts 9 ist eine Spindel 11 angedeutet. Ein Beschleunigungssensor 12 an dem vierten Kopfbereich 9 erfasst dessen Beschleunigung in y-Richtung.
Mit den zur Dämpfung verwendeten Mikroaktoren 5, die in den 5-Achs-Kopf integriert sind, ergibt sich ein mechatronisches Gesamtsystem, das als '"aktiv gedämpfter 5-Achs-Kopf" bezeich- net werden kann. Mit entsprechend angeordneten Mikroaktoren zur Mikrobewegung auch in x- und z-Richtung können dann sämtliche Schwingungen in x-, y- und z-Richtung bedämpft werden.
Die Auslenkung der Mikroaktoren 5 wird mit einer geeigneten Regelstruktur derart kommandiert, dass die Amplitude der kritischen Schwingung am Messpunkt (in FIG 1 die Position des Beschleunigungssensors 12) reduziert wird. Eine hierfür geeignet Regelstruktur ist in FIG 2 als Blockdiagramm darge- stellt. Sie greift im wesentlichen den Regelmechachnis us auf, der sich im Zusammenhang mit der eingangs erwähnten APC bewährt hat .
Die Regelstrecke RS setzt sich aus dem Aktor A (den Mikroak- toren 5) und der Mechanik M (5-Achs-Kopf einschließlich Antrieb) zusammen. Die Übertragungsfunktion der Regelstrecke RS ist mit Gs gekennzeichnet. Der Aktor A wird mit einem Sollwert Xasoii, der normalerweise gleich null ist, angesteuert und liefert einen Wert xaιst an die Mechanik M. Diese reagiert mit einem entsprechenden Beschleunigungswert av. Der Beschleunigungswert av kann über unterschiedliche Rückführglieder Ri(j2τf) rückgekoppelt werden. Dafür ist eine beliebige Anzahl an Rückkoppelungszweigen mit den Rückführgliedern Rι(j2ιf), R2< 2jι ) bis Rn(j2ιf) mit den entsprechenden Schal- tern Si, S2 bis Sn vorgesehen. Optional sind somit unterschiedliche Rückführglieder in die Rückkoppelung schaltbar. Der oder die rückgekoppelten Werte werden in einem Subtrahierer SUB von der Ruhelänge xao subtrahiert, so dass sich der Sollwert xaSoiι ergibt .
Grundsätzliche Anforderungen an die Eigenschaften der Rückführglieder R, (j2ιf) lassen sich anhand der Übertragungsfunk- tion des geschlossenen Regelkreises anschaulich herleiten. Schließt man die erste Rückführung Rι(j2μf) mit Schalter Si, ergibt sich für den geschlossenen Kreis, der als stabil vorausgesetzt wird, die Beziehung
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1 + Gs (j 2 ιf) • Rx (j2 ιf)
Die Aktoren sollen ihre Ruhelänge xao nur in den Frequenzbereichen ändern, in denen kritische Resonanzen für Überhöhungen sorgen. Dies wird durch die Rückführungen Rij (j2jιf) er- reicht, die - wie bei einer APC-Regelstruktur - verallgemeinerte Bandpässe bzw. Bandsperren darstellen. Nur in den Frequenzbereichen, in denen eine Dämpfung erreicht werden soll, wird der offene Regelkreis über OdB angehoben. Stabilität und Dämpfung des geregelten Systems können mit Frequenzkennlinien beurteilt werden, die daher auch zur Parametrierung der Regelung herangezogen werden.

Claims

Patentansprüche
1. Dämpfungsvorrichtung zum Dämpfen mechanischer Schwingungen mit - mindestens einem Aktor (5) zur Ausführung von Dämpfungsbewegungen für die Dämpfung spezifischer Schwingungen, g e k e n n z e i c h n e t durch
- einen Regelkreis, der an den mindestens einen Aktor (5) zu dessen Betätigung angeschlossen ist, und - einen Sensor zur Erfassung der spezifischen Schwingungen und zum Liefern eines entsprechenden Erfassungssignals als Istgröße an den Regelkreis.
2. Dämpfungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der mindestens eine Aktor (5) gleichzeitig als der Sensor dient.
3. Dämpfungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Aktor (5) ein Piezoelement oder magnetorestriktives Element umfasst. . Dämpfungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, die mindestens einen weiteren Makroaktor einschließlich Steuervorrichtung aufweist, der ausschließlich gesteuert wird.
5. Dämpfungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, die mehrere geregelte Aktoren zur Dämpfung in mehreren Richtungen aufweist.
6. Dämpfungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Regelkreis mehrere zuschaltbare Rückführglieder (Rl,R2,Rn) umfasst.
7. Dämpfungsvorrichtung nach Anspruch 5, wobei die Rückführ- glieder (Rl,R2,Rn) jeweils einen Bandpass umfassen, und die Bandpässe voneinander unterschiedlich sind.
8. Mehrachskopf einer Werkzeugmaschine mit einer Dämpfungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der mindestens eine Aktor (5) zur Feinpositionierung des Mehrachskopfs dient.
9. Verfahren zum Dämpfen mechanischer Schwingungen durch Bereitstellen mindestens eines Aktors (5) g e k e n n z e i c h n e t durch Betätigen des mindestens einen Aktors (5) über einen Re- gelkreis. Erfassen einer Schwingung mit einem Sensor unter Bereitstellen eines Erfassungssignals und - Liefern des Erfassungssignals als Istgröße an den Regelkreis .
10. Verfahren nach Anspruch 9, wobei der mindestens eine Aktor (5) gleichzeitig auch als Sensor dient.
11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, wobei mit mehreren ge- regelten Aktoren (5) Schwingungen in mehreren Richtungen gedämpft werden.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11, wobei die Rückkoppelung des Regelkreises über mehrere zuschaltbare Rückführlieder (Rl,R2,Rn) erfolgt, die vorzugsweise jeweils als Bandpass ausgestaltet sind.
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