DE102004016731A1 - Dämpfungsvorrichtung zum Dämpfen mechanischer Schwingungen und entsprechendes Dämpfungsverfahren - Google Patents

Dämpfungsvorrichtung zum Dämpfen mechanischer Schwingungen und entsprechendes Dämpfungsverfahren Download PDF

Info

Publication number
DE102004016731A1
DE102004016731A1 DE200410016731 DE102004016731A DE102004016731A1 DE 102004016731 A1 DE102004016731 A1 DE 102004016731A1 DE 200410016731 DE200410016731 DE 200410016731 DE 102004016731 A DE102004016731 A DE 102004016731A DE 102004016731 A1 DE102004016731 A1 DE 102004016731A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
damping
actuator
damping device
vibrations
control loop
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE200410016731
Other languages
English (en)
Inventor
Jens Dr. Hamann
Theo Reichel
Elmar Dr. Schäfers
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE200410016731 priority Critical patent/DE102004016731A1/de
Priority to PCT/EP2005/051258 priority patent/WO2005098263A1/de
Publication of DE102004016731A1 publication Critical patent/DE102004016731A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16FSPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/005Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion using electro- or magnetostrictive actuation means
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16FSPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)

Abstract

An dem so genannten Tool Center Point, an dem sich bei Werkzeugmaschinen das Werkzeug und das Werkstück berühren, soll die Dämpfung von Eigenschwingungen verbessert werden. Hierzu ist vorgesehen, dass die Schwingungen von Mikroaktoren (5), die in der Nähe dieses Tool Center Points platziert sind, erfasst und mit einem entsprechenden Regelkreis gedämpft werden. Für den Mehrachskopf einer Werkzeugmaschine bedeutet dies, dass die Mikroaktoren (5), die zur Positionierung des Kopfs verwendet werden, gleichzeitig auch zur Erfassung und Dämpfung von Eigenschwingungen eingesetzt werden. Somit kann auf eine eigene Steuereinrichtung zur Ansteuerung von Dämpfungsaktoren verzichtet werden, da die zu dämpfenden Schwingungen unmittelbar vor Ort aufgenommen werden können.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Dämpfungsvorrichtung zum Dämpfen mechanischer Schwingungen mit mindestens einem Aktor zur Ausführung von Dämpfungsbewegungen und einem Regelkreis, der an den mindestens einen Aktor zu dessen Betätigung angeschlossen ist. Darüber hinaus betrifft die vorliegende Erfindung ein entsprechendes Verfahren zum Dämpfen mechanischer Schwingungen.
  • Zur Bewegung von Maschinenachsen kommen Aktoren (z.B. elektrisch oder hydraulisch) zum Einsatz, die zum Stellen großer Bewegungen in der Lage sind. Diese Aktoren werden im folgenden Makroaktoren genannte. Die Genauigkeit von Maschinen wird jedoch durch Mikrobewegungen an dem sogenannten TCP (Tool Center Point), dem Punkt, an dem das Werkzeug das Werkstück berührt, bestimmt. Bei Werkzeugmaschinen liegen die Mikrobewegungen in der Größenordnung von bis zu 50 μm. Die Mikrobewegungen entstehen dadurch, dass schwachgedämpfte Eigenfrequenzen angeregt werden. Die Anregung erfolgt entweder durch Prozess- oder Störkräfte oder durch die Kräfte, welche durch Makroaktoren zur Bewegung der Maschinenachsen eingebracht werden.
  • Eine aktive Bedämpfung schwach gedämpfter Eigenfrequenzen durch Makroaktoren kann beispielsweise durch ein Verfahren erfolgen, das in der deutschen Patentschrift 102 46 093 C1 beschrieben und auch unter dem Namen APC (Advanced Position Control) bekannt ist. In manchen Fällen ist jedoch die aktive Bedämpfung nicht oder nur sehr schwer möglich. Hierfür gibt es im wesentlichen zwei Gründe:
    Zum einen kann ein Aktor grundsätzlich nur Eigenfrequenzen bedämpfen, die durch seine Bewegung auch angeregt werden kön nen. Ist die zu einer kritischen Eigenfrequenz gehörige Eigenbewegung orthogonal zur Wirkrichtung aller vorhandenen Makroaktoren, können diese nicht zur aktiven Dämpfung verwendet werden. Eine Anregung derartiger, kritischer Eigenfrequenzen kann allerdings durch Prozess- oder Störkräfte erfolgen, so dass eine aktive Bedämpfung hilfreich wäre.
  • Zum anderen muss ein Makroaktor, wenn er auch zur aktiven Schwingungsdämpfung verwendet werden soll, eine Bewegung durchführen, welche der störenden Mikrobewegung so entgegenwirkt, dass die kritischen Eigenfrequenzen hinreichend bedämpft werden. Regelungstechnisch bedeutet dies eine gezielte Verschiebung eines Streckeneigenwerts in Bereiche höherer Dämpfung. Manche Makroaktoren sind allerdings – erzwungen durch ihre eigentliche Aufgabe, dem Stellen großer Bewegungen – konstruktiv so in ein Maschinenkonzept eingebunden, dass die Einleitung der Bewegung weit entfernt von dem TCP erfolgt. Die Regelstrecken, die daraus für eine aktive Bedämpfung mittels Makroaktoren folgt, ist daher in diesen Fällen schwer zu beherrschen. Eine Bedämpfung ist dann nicht oder nur eingeschränkt möglich.
  • Für die Ansteuerung der Makroaktoren ist eine eigene Steuereinrichtung bzw. -einheit vorzusehen. Die Ansteuerung erfolgt auf der Basis bekannter Schwingungsamplituden bzw. Schwingungsbäuche an der jeweiligen Maschine.
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht somit darin, die Schwingungsdämpfung gerade im Bereich eines TCP zu verbessern.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst durch eine Dämpfungsvorrichtung mit einem Regelkreis, der an den mindestens einen Aktor zu dessen Betätigung angeschlossen ist, und einem Sensor zur Erfassung der spezifischen Schwingungen und zum Liefern eines entsprechenden Erfassungssignals als Istgröße an den Regelkreis.
  • Darüber hinaus ist gemäß der vorliegenden Erfindung vorgesehen ein Verfahren zum Dämpfen mechanischer Schwingungen durch Bereitstellen mindestens eines Aktors, Betätigen des mindestens einen Aktors über einen Regelkreis, Erfassen einer Schwingung mit einem Sensor unter Bereitstellen eines Erfassungssignals und Liefern des Erfassungssignals als Istgröße an den Regelkreis.
  • Erfindungsgemäß ist es damit möglich, dass auf eine eigene Ansteuerelektronik zur Steuerung von Dämpfungsaktoren mit Erzeugung eines speziellen Austauschsignals verzichtet werden kann. Die störenden Schwingungen werden unmittelbar am Ort des Geschehens erfasst und zur Erzeugung eines entsprechenden Dämpfungssignals für den Aktor verwendet.
  • Bei einer bevorzugten Ausgestaltung ist der mindestens eine Aktor gleichzeitig der Sensor. Somit kann die Anzahl der Bauelemente reduziert werden.
  • Vorzugsweise umfasst der Aktor ein Piezoelement oder ein magnetorestriktives Element. Mit diesen Elementen ist es möglich, sowohl mechanische Schwingungen in elektrische Signale als auch umgekehrt, elektrische Signale in mechanische Bewegung umzusetzen.
  • In bestimmten Fällen kann es vorteilhaft sein, für die Dämpfungsvorrichtung einen Makroaktor, der insbesondere elektrisch oder hydraulisch betrieben wird, einschließlich einer entsprechenden Steuervorrichtung einzusetzen. Dies ist insbesondere dann günstig, wenn die Schwingungen durch Bewegungen des Makroaktors selbst hervorgerufen werden.
  • Entsprechend einer besonders bevorzugten Ausführungsform sind mehrere geregelte Aktoren zur Dämpfung in mehreren Richtungen vorgesehen. Damit können sämtliche Schwingungen, die beispielsweise bei einer Werkzeugmaschine störend wirken, durch geeignete Dämpfung hinreichend unterdrückt werden.
  • Der Regelkreis der Dämpfungsvorrichtung kann mehrere zuschaltbare Rückführglieder umfassen. Diese werden günstigerweise jeweils mit einer Bandsperre ausgestattet, wobei die einzelnen Bandsperren unterschiedliche Sperrfrequenzen besitzen. Damit ist es möglich, spezifische Schwingungen in definierbare Situationen zu einem ebenfalls definierbaren Maß zu unterdrücken.
  • Bei einer besonders bevorzugten Ausgestaltung wird die erfindungsgemäße Dämpfungsvorrichtung in einem Mehrachskopf einer Werkzeugmaschine eingesetzt. Dabei dient der mindestens eine Aktor auch zur Positionierung des Mehrachskopfes. Damit ist es möglich, den Mikroaktoren, die in dem Mehrachskopf angeordnet sind, eine doppelte Funktionalität zuzuweisen: Sie dienen zum Positionieren und Dämpfen.
  • Die vorliegende Erfindung wird nun anhand der beigefügten Zeichnungen näher erläutert, in denen zeigen:
  • 1 einen Querschnitt durch einen erfindungsgemäßen 5-Achs-Kopf einer Werkzeugmaschine und
  • 2 ein Blockschaltbild eines Regelkreises für die Aktoren des 5-Achs-Kopfs von 1.
  • Die nachfolgend näher geschilderten Ausführungsbeispiele stellen bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung dar.
  • Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, Mikroaktoren, die für die Positionierung des Kopfs einer Werkzeugmaschine eingesetzt werden und damit sehr nahe am TCP wirken, zur aktiven Bedämpfung schwach gedämpfter Eigenfrequenzen einzusetzen. Unabhängig davon können die auch zur Positionierung verwendeten Makroaktoren ebenfalls zur Dämpfung herangezogen werden.
  • In 1 ist beispielhaft ein zu bedämpfender 5-Achs-Kopf einer Werkzeugmaschine dargestellt. 5-Achs-Köpfe können bei entsprechender Spindelleistung eine Masse von mehr als einer Tonne aufweisen. Mit der Bewegung eines derartigen Kopfes ist – beispielsweise bei Portal-Gantry-Maschinen – in den einzelnen Achsen ein Verfahren grosser Massen erforderlich. Dabei sind die elektrischen bzw. hydraulischen Makroaktoren weit von dem TCP entfernt, so dass eine Dämpfung in dem TCP im allgemeinen nicht ausreichend möglich ist.
  • Der in 1 dargestellte 5-Achs-Kopf wird üblicherweise an eine Pinole zur Bewegung in z-Richtung mit einer entsprechenden Verbindungseinrichtung 1 angeschraubt. Die Verbindungseinrichtung 1 ist mit einem ersten Kopfbereich 2 starr verbunden. Über eine Führung 3 ist der erste Kopfbereich mit einem zweiten Kopfbereich 4 in y-Richtung verschiebbar verbunden. Mikroaktoren 5, die an dem ersten Kopfbereich 2 und dem zweiten Kopfbereich 4 angreifen, sorgen für eine entsprechende Verschiebung der beiden Bereiche zueinander beispielsweise in y-Richtung. Der Übersicht halber ist in 1 lediglich eine Anordnung skizziert, die eine Bewegung des Kopfs in y-Richtung ermöglicht. Die Mikroaktoren 5 gewährleisten aber nicht nur eine Bewegung im Feinbereich in y-Richtung, sondern ermöglichen erfindungsgemäß auch eine Dämpfung in y-Richtung.
  • Unterhalb des zweiten Kopfbereichs 4 ist ein Drehlager 6 angeordnet, das einen dritten Kopfbereich 7 um eine C-Achse, entsprechend dem eingezeichneten Pfeil drehbar lagert. An das untere Ende des dritten Kopfbereichs 7 ist ein Drehlager 8 montiert, mit dem ein vierter Kopfbereich 9 um eine B-Achse 10 gemäß dem ebenfalls eingezeichneten Pfeil schwenkbar gelagert ist. In der Mitte des unteren Bereichs des vierten Kopfabschnitts 9 ist eine Spindel 11 angedeutet. Ein Beschleunigungssensor 12 an dem vierten Kopfbereich 9 erfasst dessen Beschleunigung in y-Richtung.
  • Mit den zur Dämpfung verwendeten Mikroaktoren 5, die in den 5-Achs-Kopf integriert sind, ergibt sich ein mechatronisches Gesamtsystem, das als „aktiv gedämpfter 5-Achs-Kopf" bezeich net werden kann. Mit entsprechend angeordneten Mikroaktoren zur Mikrobewegung auch in x- und z-Richtung können dann sämtliche Schwingungen in x-, y- und z-Richtung bedämpft werden.
  • Die Auslenkung der Mikroaktoren 5 wird mit einer geeigneten Regelstruktur derart kommandiert, dass die Amplitude der kritischen Schwingung am Messpunkt (in 1 die Position des Beschleunigungssensors 12) reduziert wird. Eine hierfür geeignet Regelstruktur ist in 2 als Blockdiagramm dargestellt. Sie greift im wesentlichen den Regelmechachnismus auf, der sich im Zusammenhang mit der eingangs erwähnten APC bewährt hat.
  • Die Regelstrecke RS setzt sich aus dem Aktor A (den Mikroaktoren 5) und der Mechanik M (5-Achs-Kopf einschließlich Antrieb) zusammen. Die Übertragungsfunktion der Regelstrecke RS ist mit GS gekennzeichnet. Der Aktor A wird mit einem Sollwert xasoll, der normalerweise gleich null ist, angesteuert und liefert einen Wert xaist an die Mechanik M. Diese reagiert mit einem entsprechenden Beschleunigungswert av. Der Beschleunigungswert av kann über unterschiedliche Rückführglieder Ri(j2πf) rückgekoppelt werden. Dafür ist eine beliebige Anzahl an Rückkoppelungszweigen mit den Rückführgliedern R1(j2πf), R2(j2πf) bis Rn(j2πf) mit den entsprechenden Schaltern S1, S2 bis Sn vorgesehen. Optional sind somit unterschiedliche Rückführglieder in die Rückkoppelung schaltbar. Der oder die rückgekoppelten Werte werden in einem Subtrahierer SUB von der Ruhelänge xa0 subtrahiert, so dass sich der Sollwert xasoll ergibt.
  • Grundsätzliche Anforderungen an die Eigenschaften der Rückführglieder Ri(j2πf) lassen sich anhand der Übertragungsfunktion des geschlossenen Regelkreises anschaulich herleiten. Schließt man die erste Rückführung R1(j2πf) mit Schalter S1, ergibt sich für den geschlossenen Kreis, der als stabil vorausgesetzt wird, die Beziehung
    Figure 00070001
  • Die Aktoren sollen ihre Ruhelänge xa0 nur in den Frequenzbereichen ändern, in denen kritische Resonanzen für Überhöhungen sorgen. Dies wird durch die Rückführungen Rij(j2πf) erreicht, die – wie bei einer RPC-Regelstruktur – verallgemeinerte Bandpässe bzw. Bandsperren darstellen. Nur in den Frequenzbereichen, in denen eine Dämpfung erreicht werden soll, wird der offene Regelkreis über 0dB angehoben. Stabilität und Dämpfung des geregelten Systems können mit Frequenzkennlinien beurteilt werden, die daher auch zur Parametrierung der Regelung herangezogen werden.

Claims (12)

  1. Dämpfungsvorrichtung zum Dämpfen mechanischer Schwingungen mit – mindestens einem Aktor (5) zur Ausführung von Dämpfungsbewegungen für die Dämpfung spezifischer Schwingungen, gekennzeichnet durch – einen Regelkreis, der an den mindestens einen Aktor (5) zu dessen Betätigung angeschlossen ist, und – einen Sensor zur Erfassung der spezifischen Schwingungen und zum Liefern eines entsprechenden Erfassungssignals als Istgröße an den Regelkreis.
  2. Dämpfungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der mindestens eine Aktor (5) gleichzeitig als der Sensor dient.
  3. Dämpfungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Aktor (5) ein Piezoelement oder magnetorestriktives Element umfasst.
  4. Dämpfungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, die mindestens einen weiteren Makroaktor einschließlich Steuervorrichtung aufweist, der ausschließlich gesteuert wird.
  5. Dämpfungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, die mehrere geregelte Aktoren zur Dämpfung in mehreren Richtungen aufweist.
  6. Dämpfungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Regelkreis mehrere zuschaltbare Rückführglieder (R1, R2, Rn) umfasst.
  7. Dämpfungsvorrichtung nach Anspruch 5, wobei die Rückführglieder (R1, R2, Rn) jeweils einen Bandpass umfassen, und die Bandpässe voneinander unterschiedlich sind.
  8. Mehrachskopf einer Werkzeugmaschine mit einer Dämpfungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der mindestens eine Aktor (5) zur Feinpositionierung des Mehrachskopfs dient.
  9. Verfahren zum Dämpfen mechanischer Schwingungen durch Bereitstellen mindestens eines Aktors (5) gekennzeichnet durch – Betätigen des mindestens einen Aktors (5) über einen Regelkreis, – Erfassen einer Schwingung mit einem Sensor unter Bereitstellen eines Erfassungssignals und – Liefern des Erfassungssignals als Istgröße an den Regelkreis.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, wobei der mindestens eine Aktor (5) gleichzeitig auch als Sensor dient.
  11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, wobei mit mehreren geregelten Aktoren (5) Schwingungen in mehreren Richtungen gedämpft werden.
  12. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11, wobei die Rückkoppelung des Regelkreises über mehrere zuschaltbare Rückführlieder (R1, R2, Rn) erfolgt, die vorzugsweise jeweils als Bandpass ausgestaltet sind.
DE200410016731 2004-04-05 2004-04-05 Dämpfungsvorrichtung zum Dämpfen mechanischer Schwingungen und entsprechendes Dämpfungsverfahren Withdrawn DE102004016731A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200410016731 DE102004016731A1 (de) 2004-04-05 2004-04-05 Dämpfungsvorrichtung zum Dämpfen mechanischer Schwingungen und entsprechendes Dämpfungsverfahren
PCT/EP2005/051258 WO2005098263A1 (de) 2004-04-05 2005-03-17 Dämpfungsvorrichtung zum dämpfen mechanischer schwingungen und entsprechendes dämpfungsverfahren

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200410016731 DE102004016731A1 (de) 2004-04-05 2004-04-05 Dämpfungsvorrichtung zum Dämpfen mechanischer Schwingungen und entsprechendes Dämpfungsverfahren

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102004016731A1 true DE102004016731A1 (de) 2005-10-27

Family

ID=34961781

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE200410016731 Withdrawn DE102004016731A1 (de) 2004-04-05 2004-04-05 Dämpfungsvorrichtung zum Dämpfen mechanischer Schwingungen und entsprechendes Dämpfungsverfahren

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102004016731A1 (de)
WO (1) WO2005098263A1 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020094409A1 (de) * 2018-11-05 2020-05-14 Siemens Aktiengesellschaft Bedienerdefinierte rattervermeidung
EP3708297A1 (de) * 2019-03-14 2020-09-16 Siemens Aktiengesellschaft Optimierte ansteuerung eines aktiven schwingungsdämpfers
US11898616B2 (en) 2020-06-24 2024-02-13 Siemens Aktiengesellschaft Vibration damping system and machine tool

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5604413A (en) * 1994-09-07 1997-02-18 Polytechnic University Apparatus for improving operational performance of a machine or device
US5826864A (en) * 1997-02-26 1998-10-27 Gte Internetworking Incorporated Active vibration mount
JP2000158282A (ja) * 1998-11-25 2000-06-13 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 工作機械の主軸頭及び主軸頭の制振方法
EP1159768A1 (de) * 1999-02-26 2001-12-05 Active Control Experts Inc. Gehäuster zugaktuator
AU2002220074A1 (en) * 2000-11-22 2002-06-03 Quality Research, Development And Consulting, Inc. Active management and steering of structural vibration energy
DE10246093C1 (de) 2002-10-02 2003-11-27 Siemens Ag Verfahren zur Dämpfung mechanischer Schwingungen von Achsen von Werkzeugmaschinen, Produktionsmaschinen oder Robotern

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020094409A1 (de) * 2018-11-05 2020-05-14 Siemens Aktiengesellschaft Bedienerdefinierte rattervermeidung
US11822317B2 (en) 2018-11-05 2023-11-21 Siemens Aktiengesellschaft Operator-defined avoidance of chatter
EP3708297A1 (de) * 2019-03-14 2020-09-16 Siemens Aktiengesellschaft Optimierte ansteuerung eines aktiven schwingungsdämpfers
WO2020182394A1 (de) 2019-03-14 2020-09-17 Siemens Aktiengesellschaft Optimierte ansteuerung eines aktiven schwingungsdämpfers
US11898616B2 (en) 2020-06-24 2024-02-13 Siemens Aktiengesellschaft Vibration damping system and machine tool

Also Published As

Publication number Publication date
WO2005098263A1 (de) 2005-10-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69826406T2 (de) Rastersondenmikroskop mit Feinstellungsvorrichtung
DE102006049867B4 (de) Werkzeugmaschine und Verfahren zur Unterdrückung von Ratterschwingungen
DE102004010083B4 (de) Tastkopf vom messenden Typ für ein Koordinatenmessgerät
DE102007025934B4 (de) Werkzeugmaschine
DE102009014766A1 (de) Überlagerte Achsen bei einer Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstücks mit einem Werkzeug
EP1803969A2 (de) Schwingungsisolationssystem
EP2874786B1 (de) Werkzeugmaschine mit einem spindelkopf sowie verfahren zum positionieren eines spindelkopfes einer werkzeugmaschine
WO2006013170A1 (de) Vorrichtung zum entkoppeln eines anbauelements von einem bewegbaren maschinenelement
DE102009035877B4 (de) Ausgleichsaktorik
DE102009039201B3 (de) Einrichtung zur Kompensation von Beschleunigungskräften mittels Impulsentkopplung bei Mess- und Werkzeugmaschinen in mindestens einer translatorisch wirksamen Maschinenachse
EP1977295B1 (de) Verfahren zur achsregelung
WO2011131375A1 (de) Betrieb einer koordinatenmessmaschine oder einer werkzeugmaschine
DE102008050863A1 (de) Positionssteuerungsvorrichtung
DE102004016731A1 (de) Dämpfungsvorrichtung zum Dämpfen mechanischer Schwingungen und entsprechendes Dämpfungsverfahren
DE102004016121B4 (de) Bedienvorrichtung zum Verfahren mindestens einer Maschinenachse einer Werkzeug- oder Produktionsmaschine
DE102012210309A1 (de) Positionsmesseinrichtung
DE102019202709A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Schwingungsisolierung einer Positioniereinrichtung
EP4367783A1 (de) Planarantriebssystem
DE102005040223B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Bewegen eines Mess- oder Arbeitskopfes
AT506758B1 (de) Verfahren zur dämpfung von maschinenresonanzen
EP1228838A1 (de) Kinematische Vorrichtung zum Bewegen eines Trägers
DE69824532T2 (de) Steuerverfahren für linearen Schwingspulenbetätiger
DE102008017388B4 (de) Vorrichtung zum Bewegen eines Werkstücks oder eines Werkzeugs sowie Kreuztisch
DE102013015610A1 (de) Aktor für Schwingungsentkopplung
DE102013211484A1 (de) Verfahren zur Schwingungsdämpfung bei einer mobilen Arbeitsmaschine

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8130 Withdrawal