WO2006027317A1 - Führungsvorrichtung mit massverkörperung zur führung eines bewegbaren maschinenelements einer maschine - Google Patents

Führungsvorrichtung mit massverkörperung zur führung eines bewegbaren maschinenelements einer maschine Download PDF

Info

Publication number
WO2006027317A1
WO2006027317A1 PCT/EP2005/054213 EP2005054213W WO2006027317A1 WO 2006027317 A1 WO2006027317 A1 WO 2006027317A1 EP 2005054213 W EP2005054213 W EP 2005054213W WO 2006027317 A1 WO2006027317 A1 WO 2006027317A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
machine
guide device
bearing
material measure
guiding
Prior art date
Application number
PCT/EP2005/054213
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Gerhard Forster
Jens Hamann
Dietmar Stoiber
Original Assignee
Siemens Aktiengesellschaft
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Aktiengesellschaft filed Critical Siemens Aktiengesellschaft
Priority to US11/574,788 priority Critical patent/US7891112B2/en
Publication of WO2006027317A1 publication Critical patent/WO2006027317A1/de

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/04—Ball or roller bearings
    • F16C29/06—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load
    • F16C29/0633—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C41/00—Other accessories, e.g. devices integrated in the bearing not relating to the bearing function as such
    • F16C41/007—Encoders, e.g. parts with a plurality of alternating magnetic poles
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34746—Linear encoders
    • G01D5/34753—Carriages; Driving or coupling means

Definitions

  • the invention relates to a guide device for guiding a movable machine element of a machine and a machine with such a guide device.
  • a movable machine element for example a guide carriage
  • a guide device which may be e.g. in the form of a guide rail vor ⁇ can be moved position-controlled.
  • FIG. 1 a commercially available machine tool is shown schematically, with only the elements necessary for understanding the invention being shown for the sake of clarity.
  • the machine element 1 is provided with a drive (not shown for reasons of clarity), for example a linear drive, with the aid of which the machine element 1 can be moved in position-controlled manner by a control and / or regulation system along the guide device 3.
  • the Hopkinssvorrich ⁇ device 3 is mechanically fixed verbun ⁇ with a machine bed 4, which stands on a bottom 5.
  • the guide device 3 To determine the position of the machine element 1 ent ⁇ long the guide device 3 is a material measure 6, which may be present for example in the form of a band provided with a regular pitch, mechanically fixedly connected to the guide device 3.
  • the material measure 6 is provided, for example in the form of lines, with a so-called part, which is separated from a reading head 2 connected to the machine. nenelement 1 is connected, can be read.
  • the Rush ⁇ embodiment 6 thus allows in conjunction with the Lese ⁇ head 2 an accurate position determination of the machine element. 1
  • the machine element 1 which in the exemplary embodiment is in the form of a so-called guide carriage
  • a commercially available machine there are further structures, eg in the form of a spindle with tools, which can be moved along the guide direction 3 with the aid of the machine element 1 , available.
  • the workpiece to be machined is often anchored directly to the ground in such a machine.
  • the machine element 1 and the structures fastened to it form a so-called tool slide.
  • a tool carriage not only a single carriage, but have a plurality of carriages.
  • the machine slides must be positioned with high accuracy and high speed while maintaining given travel profiles.
  • the given travel profiles contain speed changes that require high acceleration forces.
  • the rapid change of the acceleration forces stimulates the mechanics of the machine, in particular the machine bed 4, to oscillate.
  • the machine bed 1 is stressed particularly strongly by the reaction forces of the movement guidance. Due to the influence of the acceleration forces of the tool carriage, the machine bed deviates in the opposite direction. Often it deforms and / or it starts to swing. Even if the machine element 1 can be exactly positioned relative to the machine bed 4, the machine bed 4 itself oscillates in relation to the floor 5. If the machine is, for example, a portal milling machine in which the workpiece to be machined is firmly anchored to the floor, then the vibrations of the machine bed 4 on the workpiece are to be seen, even if the machine element 1 exactly complies with the prescribed position relative to the machine bed 4.
  • the vibrations of the machine bed 4 are so unfavorable that the control properties ofxs ⁇ leadership of the machine element 1 is severely impaired and not even a sufficiently precise motion control of the machine element 1 relative to the machine bed 4 were ⁇ can achieved. In this case, the vibrations of the machine bed 4 occurring during the movement guidance have a doubly detrimental effect.
  • Feed drives which are constructed according to this technical teaching, are used, for example, in machine tools in which the tool carriage is subjected to high accelerations.
  • Feed drives which are constructed according to this technical teaching, are used, for example, in machine tools in which the tool carriage is subjected to high accelerations.
  • the required movable anchoring of Motor reaction surface of the linear direct drive caused considerable costs and effort.
  • the published patent application DE 198 10 996 A1 proposes to improve the motion guidance in a machine with a vibratory machine bed, to decouple the motor reaction surface from the machine bed.
  • the measuring system reacts very sensitively to a change in the distance between Vintagever ⁇ body and guide device, because, for example, the graduation attached to the graduation (a division can be present, for example in the form of attached to the graduation lines vorlie ⁇ ) no longer exactly from the read head can be read.
  • This has a strongly negative effect on the positioning accuracy of the machine element.
  • the invention has for its object to provide a politicianssvor ⁇ direction for guiding a movable machine element of a machine, which allows an exact positioning of the movable Maschinen ⁇ even with vibrations of Maschinen ⁇ bed.
  • a guide device for guiding a movable machine element of a machine, wherein the guide device is mechanically fixedly connected to a machine bed, wherein a material measure for determining a position of the machine element is arranged along at least a part of the guide device, wherein the guide device and the material measure are movable relative to each other, wherein at least a part of the Titan ⁇ embodiment is directly or via a bearing with the Samuels ⁇ device in contact.
  • a first advantageous embodiment of the invention is characterized in that the bearing is designed as a plain bearing. Sliding bearings are to be realized particularly cost-effectively compared to other types of bearings.
  • the bearing is designed as a rolling element bearing, since in this way a particularly precise guidance of the material measure along the réellesvor ⁇ direction is ensured.
  • the Tetrachlor ⁇ body is connected to an arranged outside the machine bed anchoring. This ensures that the material measure is anchored to the vibrating machine bed dormant.
  • a workpiece to be machined is provided as anchoring, since then the position of the machine element with respect to the workpiece is measured directly. Furthermore, it proves to be advantageous if a holding-down device exerts a pressure in the direction of the guide device on the measuring body, since then the material measure always maintains a uniform contact with the bearing.
  • the use of the guide device according to the invention in machine tools, production machines and / or robots is advantageous, since a high positioning accuracy of the machine element is often required on these technical devices.
  • guide device can also be used in machines that are in other technical fields.
  • FIG. 1 a machine with the guide device according to the invention is shown in the form of a schematic representation.
  • the embodiment shown in FIG. 2 corresponds essentially to the embodiment described above with reference to the basic structure. The same elements are therefore provided in FIG. 2 with the same reference numerals as in FIG. 1.
  • the essential difference with respect to the embodiment shown in FIG. 1 is that the dimensional tolerances tion 6 is not mechanically firmly connected to the guide device 3 but the guide device 3 and the Vietnamese ⁇ body 6 are movable relative to each other, at least a part of the material measure 6 is ger directly or via a La ⁇ with the guide device 3 in contact.
  • the guide device 3 and the measuring element 6 can be moved relative to one another by the bearing and, on the other hand, the distance between the reading head 2 and the measuring standard 6 is determined exactly along the entire measuring standard 3 and does not fluctuate.
  • the measuring standard 6 is connected to an anchoring arranged outside the machine bed 4, which is present in the embodiment in the form of the two supports 7a and 7b. Since the anchoring is spatially separated from the machine bed 4, this does not vibrate with the machine bed and thus ensures a stationary anchoring of felicitverkörpe ⁇ tion 6.
  • the material measure 6 but not as in the exemplary embodiment Aus ⁇ always along the entire effetsvorrich ⁇ 3, but can also be arranged only along part of the guide device 3.
  • the guide device 3 is mechanically fixedly connected to the machine bed 4.
  • the guide device 3 according to the invention is shown in the form of a cross-sectional drawing.
  • the guide device 3 is designed in the exemplary embodiment according to FIG. 3 in the form of a guide rail.
  • the movable machine element 1, which in the exemplary embodiment is in the form of a guide carriage, is movably connected to the guide device 3 via four rows of balls IIa, IIb, IIc and Hd.
  • the machine element 1 is guided in its movement along the guide device 3 through it.
  • the drive system of the machine element 1 for moving the machine element 1 along the guide device 3 is not shown for the sake of clarity, since it is immaterial to the understanding of the invention.
  • the Machine element 1 normally located structures, such as a spindle and / or tools are Koch ⁇ sake of clarity and as they are not necessary for understanding the vor ⁇ underlying invention, not shown.
  • the reading head 2 is screwed by means of two screws 12a and 12b to the machine element 1.
  • the reading head 2 scans with the aid of a light beam 8, the material measure 6, which is present in the form of a band in the embodiment.
  • the material measure 6 is mounted on the guide device 3 via a bearing 9 and is thus movably connected to the guide rail 3.
  • the bearing 9 is formed as a roller bearing. There are thus a plurality of rolling elements, via which the material measure 6 is in contact with the guide device 3. Because the measuring standard 6 is mounted on the guide device 3 by means of the bearing 9, the distance between the reading head 2 and the measuring standard 6 along the entire material measure 6 is identical and is not subject to any fluctuations. The mecanicverkör ⁇ ment 6 can thus be read exactly from the read head 2 at any Posi ⁇ tion.
  • Two hold-down devices 10a and 10b which are connected to the reading head 2 in the exemplary embodiment and exert a slight pressure in the direction of the guide device on the material measure 6, ensure that the material measure 6 always maintains uniform contact with the bearing 9.
  • the two hold-down devices 10a and 10b only a single hold-down device could be provided or additional hold-down devices could be used.
  • the bearing 9 is designed as a rolling body bearing, it being possible for the balls or rollers to serve as rolling bodies, for example.
  • the bearing 9 can also be designed as a plain bearing, with a lubricating medium between the guide device 3 and the measuring standard 6 serving, for example, as an oil-containing substance.
  • the Guide device 3 and / or measuring standard 6 are also coated with ei ⁇ ner lubricious coating such as Teflon and thus a slide bearing can be realized without Geleitstoff.
  • the measuring scale 6 and / or the guiding device 3 itself may also be e.g. the measuring scale 6 and / or the guiding device 3 itself also without coating e.g. have a smooth Ober ⁇ surface by a corresponding grinding, so that the necessary sliding properties between the guide device 3 and measuring scale 6 are also oh ⁇ ne the use of a bearing given.
  • the symposiumverkörpe ⁇ tion 6 is in this case directly in contact with the Füh ⁇ rungsvorraum. 3
  • the guide device 3 according to the invention is shown in the form of a plan view.
  • the machine element 1 can be moved along the guide device 3.
  • the reading head 2 is screwed by means of two screws 12a and 12b.
  • the material measure 6 is screwed by means of two screws 13a and 13b to the respectively associated support 7a and 7b, which are located outside of the machine bed according to FIG. 2, so that the material measure 6 is resting on the supports 7a and 7b, which have an anchoring bil ⁇ that is anchored.
  • the guide device according to FIG. 1 it is also conceivable to use the guide device according to FIG. 1 to solve the task according to the invention, in which the material measure 6 is mechanically firmly connected to the guide device 3.
  • the reading head 2 according to FIG. 1 generates a first position signal.
  • a sensor which measures the position between the stationary support and the oscillating machine bed and thus generates a second position signal, is attached to a support, which is arranged outside the machine bed, as shown in FIG.
  • the two position signals are now added in an electronic circuit and in this way the position of the machine element with respect to a stationary reference system, that is to say in this case in relation to the support, is determined.
  • the signal processing time of the electronic circuit should be short in order not to adversely affect downstream control processes.

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Führungsvorrichtung (3) zur Führung eines bewegbaren Maschinenelements (1) einer Maschine, wobei die Führungsvorrichtung (3) mechanisch fest mit einem Maschinenbett (4) verbunden ist, wobei eine Massverkörperung (6) zur Ermittelung einer Position des Maschinenelements (1) entlang zumindest eines Teils der Führungsvorrichtung (3) angeordnet ist, wobei die Führungsvorrichtung (3) und die Massverkörperung (6) relativ zueinander bewegbar sind, wobei zumindest ein Teil der Massverkörperung (6) direkt oder über ein Lager (9) mit der Führungsvorrichtung (3) in Kontakt steht. Die Erfindung schafft somit eine Führungsvorrichtung (3) zur Führung eines bewegbaren Maschinenelements (1), die auch bei Schwingungen des Maschinenbetts (4) eine exakte Positionierung des bewegbaren Maschinenelements (1) ermöglicht. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Maschine mit einer solchen Führungsvorrichtung (3).

Description

FÜHRUNGSVORRICHTUNG MIT MASSVERKORPERUNG ZUR FUHRUNG EINES BEWEGBAREN MASCHINENE LEMETNS EINER MASCHINE
Die Erfindung betrifft eine Führungsvorrichtung zur Führung eines bewegbaren Maschinenelements einer Maschine sowie eine Maschine mit einer solchen FührungsVorrichtung.
Bei Maschinen wie z.B. Werkzeugmaschinen, Produktionsmaschi¬ nen und/oder Robotern muss häufig ein bewegbares Maschinen¬ element wie zum Beispiel ein Führungswagen entlang einer Füh¬ rungsvorrichtung, die z.B. in Form einer Führungsschiene vor¬ liegen kann, lagegeregelt verfahren werden. In FIG 1 ist schematisiert eine handelsübliche Werkzeugmaschine darge¬ stellt, wobei der Übersichtlichkeit halber nur die für die zum Verständnis der Erfindung notwendigen Elemente darge¬ stellt sind. Ein bewegliches Maschinenelement 1, das in dem Ausführungsbeispiel bei der handelsüblichen Maschine in Form eines Führungswagens ausgebildet ist, wird von einer Füh¬ rungsvorrichtung 3, die in dem Ausführungsbeispiel in Form einer Führungsschiene gegeben ist, geführt. Das Maschinenele¬ ment 1 ist mit einem der Übersichtlichkeit halber nicht dar¬ gestellten Antrieb, zum Beispiel einem Linearantrieb ausges¬ tattet, mit Hilfe dessen das Maschinenelement 1 entlang der Führungsvorrichtung 3 lagegeregelt von einer Steuerung und/oder Regelung verfahren werden kann. Die Führungsvorrich¬ tung 3 ist mechanisch fest mit einem Maschinenbett 4 verbun¬ den, das auf einem Boden 5 steht.
Zur Ermittlung der Position des Maschinenelements 1 ist ent¬ lang der Führungsvorrichtung 3 eine Maßverkörperung 6, die zum Beispiel in Form eines mit einer regelmäßigen Teilung versehenen Bandes vorliegen kann, mechanisch fest mit der Führungsvorrichtung 3 verbunden. Die Maßverkörperung 6 ist zum Beispiel in Form von Strichen mit einer so genannten Tei¬ lung versehen, die von einem Lesekopf 2, der mit dem Maschi- nenelement 1 verbunden ist, ausgelesen werden kann. Die Ma߬ verkörperung 6 erlaubt somit im Zusammenspiel mit dem Lese¬ kopf 2 eine genaue Positionsbestimmung des Maschinenelements 1.
Auf dem Maschinenelement 1, das in dem Ausführungsbeispiel in Form eines so genannten Führungswagens vorliegt, sind bei ei¬ ner handelsüblichen Maschine weitere Aufbauten, z.B. in Form einer Spindel mit Werkzeugen, die mit Hilfe des Maschinenele¬ ments 1 längs der Führungsrichtung 3 verfahren werden können, vorhanden. Das zu bearbeitende Werkstück ist bei einer sol¬ chen Maschine oftmals direkt am Boden verankert. Das Maschi¬ nenelement 1 und die an ihm befestigten Aufbauten bilden ei¬ nen so genannten Werkzeugschlitten. Gegebenenfalls kann ein Werkzeugschlitten nicht nur einen einzigen Führungswagen, sondern mehrere Führungswagen aufweisen. Bei Maschinen, wie z.B. Werkzeugmaschinen, Produktionsmaschinen und/oder Roboter müssen die Maschinenschlitten mit hoher Genauigkeit und hoher Geschwindigkeit unter Einhaltung von vorgegebenen Verfahr¬ profilen positioniert werden. Die vorgegebenen Verfahrprofile enthalten Geschwindigkeitsänderungen, die hohe Beschleuni¬ gungskräfte erforderlich machen. Der schnelle Wechsel der Be¬ schleunigungskräfte regt die Mechanik der Maschine, ins¬ besondere das Maschinenbett 4 zu Schwingungen an. Oftmals wird das Maschinenbett 1 von den Reaktionskräften der Bewe¬ gungsführung besonders stark beansprucht. Durch den Einfluss der Beschleunigungskräfte des Werkzeugschlittens weicht das Maschinenbett in die Gegenrichtung aus. Häufig verformt es sich dabei und/oder es fängt an zu schwingen. Selbst wenn das Maschinenelement 1 relativ zum Maschinenbett 4 exakt positio¬ niert werden kann, so schwingt doch das Maschinenbett 4 selbst gegenüber dem Boden 5. Wenn die Maschine beispielswei¬ se eine Portalfräsmaschine ist, bei der das zu bearbeitende Werkstück fest am Boden verankert ist, dann sind die Schwin¬ gungen des Maschinenbetts 4 auf dem Werkstück zu sehen, auch wenn das Maschinenelement 1 die vorgeschriebene Position re¬ lativ zum Maschinenbett 4 exakt einhält. Häufig wirken sich die Schwingungen des Maschinenbetts 4 so ungünstig aus, dass die Regelungseigenschaften der Bewegungs¬ führung des Maschinenelements 1 stark beeinträchtigt wird und nicht einmal eine ausreichend präzise Bewegungsführung des Maschinenelements 1 relativ zum Maschinenbett 4 erreicht wer¬ den kann. In diesem Fall wirken sich die bei der Bewegungs¬ führung auftretenden Schwingungen des Maschinenbetts 4 dop¬ pelt nachteilig auf.
Nach dem Stand der Technik ist man bestrebt unerwünschte Schwingungen des Maschinenbetts durch einen entsprechend steifen und schweren Aufbau des Maschinenbetts zu unter¬ drücken. Das Maschinenbett wird dadurch aber schwer, auf¬ wendig und teuer.
Wenn ein Lineardirektantrieb als Antriebssystem für das Ma¬ schinenelement verwendet wird, dann ist es möglich, die Reak¬ tionsfläche des Motors vom Maschinenbett zu trennen. Dieser Sachverhalt ist in der Offenlegungsschrift DE 198 10 996 Al offenbart. In der Druckschrift wird eine Entkopplung der Mo¬ torreaktionsfläche vom Maschinenbett vorgeschlagen, wobei der Bezugspunkt der Achsregelung auf dem Maschinenbett verbleibt. In der Druckschrift wird vorgeschlagen, die Motorreaktions¬ fläche gegenüber dem Maschinenbett beweglich zu verankern. Dadurch wird die Reaktionskraft, die sich als direkte Folge der Beschleunigungsvorgänge ergibt, in der beweglich gestal¬ teten Motorreaktionsfläche aufgefangen und solchermaßen vom Maschinenbett ferngehalten. Das Maschinenbett bleibt dadurch auch bei heftigen Geschwindigkeitsänderungen des Werkzeug¬ schlittens in Ruhe, wodurch die Genauigkeit der Bewegungsfüh¬ rung des Werkzeugschlittens erheblich verbessert wird. Der Bezugspunkt zu Positionsbestimmung verbleibt dabei z.B. für die Regelung unverändert am Maschinenbett. Vorschubantriebe, die nach dieser technischen Lehre aufgebaut sind, werden z.B. bei Werkzeugmaschinen, bei denen der Werkzeugschlitten hohen Beschleunigungen ausgesetzt ist, eingesetzt. Es hat sich aber gezeigt, dass die erforderliche bewegliche Verankerung der Motorreaktionsfläche des linearen Direktantriebs erhebliche Kosten und Aufwand verursacht. Insbesondere als Vorrichtung zur Vermeidung von Schwingungen bei kostengünstig und leicht aufgebauten Maschinenbetten finden sie daher keine Verwen¬ dung.
In der Offenlegungsschrift DE 198 10 996 Al wird vorgeschla¬ gen um die Bewegungsführung bei einer Maschine mit einem schwingfähigen Maschinenbett zu verbessern, die Motorreakti¬ onsfläche vom Maschinenbett abzukoppeln.
Aus der Offenlegungsschrift WO 91/16594 ist bekannt, ein La¬ gemesssystem in eine Wälzkörperführung zu integrieren. Die Maßverkörperung des Lagemesssystems ist hierbei fest an der Führungsleiste der Wälzkörperführung verankert.
Aus der Zeitschrift "Werkstatt und Betrieb", Seite 160 bis 164, Jahrgang 133 (2000)6, Carl Hansa Verlag, München, ist eine auf einem ersten Portal befindliche Führungsvorrichtung zur Führung eines bewegbaren Maschinenelements bekannt, wobei eine Maßverkörperung an einem zweiten räumlich vom ersten Portal getrennten zweiten Portal angebracht ist. Die Maßver¬ körperung und die Führungsvorrichtung sind dabei bedingt durch den Abstand der beiden Portale voneinander räumlich ge¬ trennt. Der räumlich weite und relativ unregelmäßige Abstand zwischen beiden Portalen hat zu Folge, dass der Abstand zwi¬ schen Maßverkörperung und dem Lesekopf des Maschinenelementes Schwankungen unterworfen ist. Das Messsystem reagiert aber sehr empfindlich auf Änderung des Abstands zwischen Maßver¬ körperung und Führungsvorrichtung, weil z.B. die auf der Ma߬ verkörperung angebrachte Teilung (eine Teilung kann z.B. in Form von an der Maßverkörperung angebrachten Strichen vorlie¬ gen) nicht mehr exakt von dem Lesekopf abgelesen werden kön¬ nen. Dies hat eine stark negative Auswirkung auf die Positio¬ niergenauigkeit des Maschinenelements zur Folge. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Führungsvor¬ richtung zur Führung eines bewegbaren Maschinenelements einer Maschine anzugeben, die auch bei Schwingungen des Maschinen¬ betts eine exakte Positionierung des bewegbaren Maschinen¬ elements ermöglicht.
Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Führungsvorrichtung zur Führung eines bewegbaren Maschinenelements einer Maschine, wobei die Führungsvorrichtung mechanisch fest mit einem Ma¬ schinenbett verbunden ist, wobei eine Maßverkörperung zur Er¬ mittlung einer Position des Maschinenelements entlang zu¬ mindest eines Teils der Führungsvorrichtung angeordnet ist, wobei die Führungsvorrichtung und die Maßverkörperung relativ zueinander bewegbar sind, wobei zumindest ein Teil der Ma߬ verkörperung direkt oder über ein Lager mit der Führungs¬ vorrichtung in Kontakt steht.
Eine erste vorteilhafte Ausbildung der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass das Lager als Gleitlager ausgebildet ist. Gleitlager sind gegenüber anderen Lagerarten besonders kostengünstig zu realisieren.
Ferner erweist es sich als vorteilhaft, wenn das Lager als Wälzkörperlager ausgebildet ist, da hierdurch eine besonders exakte Führung der Maßverkörperung entlang der Führungsvor¬ richtung sichergestellt ist.
Weiterhin erweist es sich als vorteilhaft, wenn die Maßver¬ körperung mit einer außerhalb des Maschinenbetts angeordneten Verankerung verbunden ist. Hierdurch ist sichergestellt, dass die Maßverkörperung gegenüber dem schwingenden Maschinenbett ruhend verankert ist.
Weiterhin erweist es sich als vorteilhaft, wenn als Veranke¬ rung ein zu bearbeitendes Werkstück vorgesehen ist, da dann direkt die Position des Maschinenelements im Bezug auf das Werkstück gemessen wird. Ferner erweist es sich als vorteilhaft, wenn ein Niederhalter einen Druck in Richtung der Führungsvorrichtung auf die Ma߬ verkörperung ausübt, da dann die Maßverkörperung stets einen gleichmäßigen Kontakt mit dem Lager hält.
Es erweist sich dabei als vorteilhaft, eine Maschine mit der erfindungsgemäßen FührungsVorrichtung auszustatten.
Insbesondere ist der Einsatz der erfindungsgemäßen Führungs¬ vorrichtung bei Werkzeugmaschinen, Produktionsmaschinen und/oder Roboter von Vorteil, da auf diesen technischen Ge¬ bieten oftmals eine hohe Positioniergenauigkeit des Maschi¬ nenelements verlangt wird. Selbstverständlich ist die erfin¬ dungsgemäße Führungsvorrichtung jedoch auch bei Maschinen, die auf anderen technischen Gebieten liegen, einsetzbar.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im Folgenden näher erläutert. Dabei zei¬ gen:
FIG 1 eine schematisiert dargestellte Maschine nach dem Stand der Technik,
FIG 2 eine schematisiert dargestellte Maschine mit der er¬ findungsgemäßen FührungsVorrichtung,
FIG 3 eine Querschnittszeichnung der erfindungsgemäßen Füh¬ rungsvorrichtung und
FIG 4 eine Draufsicht der erfindungsgemäßen Führungsvorrich¬ tung.
In FIG 1 ist in Form einer schematisierten Darstellung eine Maschine mit der erfindungsgemäßen Führungsvorrichtung dar¬ gestellt. Die in FIG 2 dargestellte Ausführungsform ent¬ spricht bezüglich des Grundaufbaus im Wesentlichen der vor¬ stehend in FIG 1 beschriebenen Ausführungsform. Gleiche Ele¬ mente sind daher in FIG 2 mit gleichen Bezugszeichen versehen wie in FIG 1. Der wesentliche Unterschied gegenüber der Aus¬ führungsform gemäß FIG 1 besteht darin, dass die Maßverkörpe- rung 6 nicht mechanisch fest mit der Führungsvorrichtung 3 verbunden ist sondern die Führungsvorrichtung 3 und die Ma߬ verkörperung 6 relativ zueinander bewegbar sind, wobei zumin¬ dest ein Teil der Maßverkörperung 6 direkt oder über ein La¬ ger mit der Führungsvorrichtung 3 in Kontakt steht. Durch das Lager ist einerseits die Führungsvorrichtung 3 und die Ma߬ verkörperung 6 relativ zueinander bewegbar und andererseits ist der Abstand zwischen Lesekopf 2 und der Maßverkörperung 6 exakt entlang der gesamten Maßverkörperung 3 bestimmt und un¬ terliegt keinen Schwankungen. Weiterhin wird in der Ausfüh¬ rungsform gemäß FIG 2 gegenüber der Ausführungsform gemäß FIG 1 die Maßverkörperung 6 mit einer außerhalb des Maschinen¬ betts 4 angeordneten Verankerung, die in dem Ausführungsbei¬ spiel in Form der beiden Stützen 7a und 7b vorliegt, verbun¬ den. Da die Verankerung räumlich von dem Maschinenbett 4 ge¬ trennt ist, schwingt diese nicht mit dem Maschinenbett mit und sorgt somit für eine ruhende Verankerung der Maßverkörpe¬ rung 6. Die Maßverkörperung 6 braucht aber nicht wie im Aus¬ führungsbeispiel immer entlang der gesamten Führungsvorrich¬ tung 3 angeordnet sein, sondern kann auch nur entlang eines Teils der Führungsvorrichtung 3 angeordnet sein. Die Füh¬ rungsvorrichtung 3 ist mechanisch fest mit dem Maschinenbett 4 verbunden.
In FIG 3 ist in Form einer Querschnittszeichnung die er¬ findungsgemäße Führungsvorrichtung 3 dargestellt. Die Füh¬ rungsvorrichtung 3 ist in dem Ausführungsbeispiel gemäß FIG 3 in Form einer Führungsschiene ausgebildet. Das bewegbare Ma¬ schinenelement 1, das in dem Ausführungsbeispiel in Form ei¬ nes Führungswagens vorliegt, ist über vier Kugelreihen IIa, IIb, llc und Hd mit der Führungsvorrichtung 3 bewegbar ver¬ bunden. Das Maschinenelement 1 wird in seiner Bewegung ent¬ lang der Führungsvorrichtung 3 durch diese geführt. Das An¬ triebssystem des Maschinenelements 1 zum Verfahren des Ma¬ schinenelements 1, längs der Führungsvorrichtung 3, wird der Übersichtlichkeit halber, da es für das Verständnis der Er¬ findung unwesentlich ist, nicht dargestellt. Die auf dem Ma- schinenelement 1 sich normalerweise befindlichen Aufbauten, wie zum Beispiel eine Spindel und/oder Werkzeuge sind Über¬ sichtlichkeit halber und da sie für das Verständnis der vor¬ liegenden Erfindung nicht notwendig sind, nicht dargestellt. Der Lesekopf 2 ist mittels zweier Schrauben 12a und 12b an das Maschinenelement 1 angeschraubt. Der Lesekopf 2 tastet mit Hilfe eines Lichtstrahls 8 die Maßverkörperung 6, die in dem Ausführungsbeispiel in Form eines Bandes vorliegt, ab. Die Maßverkörperung 6 ist über ein Lager 9 auf der Führungs¬ vorrichtung 3 gelagert und solchermaßen mit der Führungs¬ schiene 3 beweglich verbunden.
In dem Ausführungsbeispiel gemäß FIG 3 ist das Lager 9 als Wälzkörperlager ausgebildet. Es sind somit eine Vielzahl von Wälzkörpern vorhanden, über die die Maßverkörperung 6 mit der Führungsvorrichtung 3 in Kontakt steht. Dadurch, dass die Maßverkörperung 6 mittels des Lagers 9 an der Führungsvor¬ richtung 3 gelagert ist, ist der Abstand zwischen Lesekopf 2 und Maßverkörperung 6 längs der gesamten Maßverkörperung 6 identisch und unterliegt keinen Schwankungen. Die Maßverkör¬ perung 6 kann somit vom Lesekopf 2 an jeder beliebigen Posi¬ tion exakt abgelesen werden. Zwei Niederhalter 10a und 10b, die in dem Ausführungsbeispiel mit dem Lesekopf 2 verbunden sind und einen leichten Druck in Richtung der Führungsvor¬ richtung auf die Maßverkörperung 6 ausüben, sorgen dafür, dass die Maßverkörperung 6 stets einen gleichmäßigen Kontakt mit dem Lager 9 hält. Selbstverständlich könnten anstatt der beiden Niederhalter 10a und 10b auch nur ein einziger Nieder¬ halter vorgesehen sein oder es können zusätzliche Niederhal¬ ter verwendet werden.
In der Ausführungsform gemäß FIG 3 ist das Lager 9 als Walz¬ körperlager ausgebildet, wobei als Walzkörper zum Beispiel Kugeln oder Walzen dienen können. Alternativ kann das Lager 9 aber auch als Gleitlager ausgebildet sein, wobei als Gleit¬ mittel zwischen Führungsvorrichtung 3 und Maßverkörperung 6 z.B. eine ölhaltige Substanz dienen kann. Alternativ kann die Führungsvorrichtung 3 und/oder Maßverkörperung 6 auch mit ei¬ ner Gleitbeschichtung wie z.B. Teflon beschichtet werden und solchermaßen auch ohne Geleitmittel ein Gleitlager realisiert werden.
Alternativ kann aber auch z.B. die Maßverkörperung 6 und/oder die Führungsvorrichtung 3 selbst auch ohne Beschichtung z.B. durch eine entsprechende Schleifbearbeitung eine glatte Ober¬ fläche aufweisen, so dass die notwendigen Gleiteigenschaften zwischen Führungsvorrichtung 3 und Maßverkörperung 6 auch oh¬ ne die Verwendung eines Lagers gegeben sind. Die Maßverkörpe¬ rung 6 steht in diesem Fall direkt in Kontakt mit der Füh¬ rungsvorrichtung 3.
In FIG 4 ist die erfindungsgemäße Führungsvorrichtung 3 in Form einer Draufsicht dargestellt. Das Maschinenelement 1 kann längs der Führungsvorrichtung 3 bewegt werden. An das Maschinenelement 1 ist mit Hilfe zweier Schrauben 12a und 12b der Lesekopf 2 angeschraubt. Die Maßverkörperung 6 ist mit Hilfe zweier Schrauben 13a und 13b an die jeweilig zugehörige Stütze 7a und 7b, die sich gemäß FIG 2 außerhalb des Maschi¬ nenbetts befinden, angeschraubt, so dass die Maßverkörperung 6 ruhend auf den Stützen 7a und 7b, die eine Verankerung bil¬ den, verankert ist.
Natürlich ist es auch denkbar, als Verankerung für die Ma߬ verkörperung ein zu bearbeitende Werkstück vorzusehen. Die Position des Maschinenelements 1 wird dann direkt auf das Werkstück bezogen gemessen.
Mit Hilfe der vorliegenden Erfindung ist es nicht mehr not¬ wendig, um eine exakte Positionierung des Maschinenelements relativ zu einem ruhenden Bezugssystem sicher zu stellen, das Maschinenbett selbst entsprechend schwingungsresistent auf¬ zubauen. Die Schwingfähigkeit des Maschinenbetts kann zu Gunsten eines leichten und kostengünstigen Aufbaus des Ma¬ schinenbetts toleriert werden ohne dass die Qualität eines zu bearbeitenden Werkstücks darunter leidet. Da die Maschinen- bettschwingung durch die erfindungsgemäße Führungsvorrichtung sich nicht mehr negativ auf die Messung der Position des be¬ wegbaren Maschinenelements der Maschine auswirken, kann z.B. auch die Regelverstärkung des für die Positionierung des Ma¬ schinenelements verantwortlichen Lagereglers erhöht werden, so dass eine dynamischere Bewegungsführung des Maschinenele¬ ments realisiert werden kann, was schnellere Bearbeitungszei¬ ten ermöglicht.
Alternativ zu der beschriebenen erfindungsgemäßen Führungs¬ vorrichtung ist es auch denkbar, zur Lösung der erfindungsge¬ mäßen Aufgabe, die Führungsvorrichtung gemäß FIG 1 zu verwen¬ den, bei der die Maßverkörperung 6 mechanisch fest mit der Führungsvorrichtung 3 verbunden ist. Der Lesekopf 2 gemäß FIG 1 erzeugt dabei ein erstes Lagesignal. An eine, wie zum Bei¬ spiel wie in FIG 2 gezeichnete, außerhalb des Maschinenbetts angeordneten Stütze, wird ein Messgeber angebracht, der die Lage zwischen der ruhenden Stütze und dem schwingenden Ma¬ schinenbett misst und solchermaßen ein zweites Lagesignal er¬ zeugt. Im Weiteren werden nun die beiden Lagesignale in einer elektronischen Schaltung addiert und solchermaßen die Positi¬ on des Maschinenelements im Bezug auf ein ruhendes Bezugssys¬ tem, das heißt in diesem Fall im Bezug auf die Stütze, be¬ stimmt. Die Signalverarbeitungszeit der elektronischen Schal¬ tung sollte kurz sein, um nachgeschaltete Regelungsprozesse nicht nachteilig zu beeinflussen.

Claims

Patentansprüche
1. Führungsvorrichtung (3) zur Führung eines bewegbaren Ma¬ schinenelements (1) einer Maschine, wobei die Führungsvor¬ richtung (3) mechanisch fest mit einem Maschinenbett (4) ver¬ bunden ist, wobei eine Maßverkörperung (6) zur Ermittelung einer Position des Maschinenelements (1) entlang zumindest eines Teils der Führungsvorrichtung (3) angeordnet ist, wobei die Führungsvorrichtung (3) und die Maßverkörperung (6) rela¬ tiv zueinander bewegbar sind, wobei zumindest ein Teil der Maßverkörperung (6) direkt oder über ein Lager (9) mit der Führungsvorrichtung (3) in Kontakt steht.
2. Führungsvorrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass das Lager (9) als Gleit¬ lager ausgebildet ist.
3. Führungsvorrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass das Lager (9) als Walz¬ körperlager ausgebildet ist.
4. Führungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden An¬ sprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass die Maßverkörperung (6) mit einer außerhalb des Maschi¬ nenbetts (4) angeordneten Verankerung (7a, 7b) verbunden ist.
5. Führungsvorrichtung nach Anspruch 4, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass als Verankerung (7a, 7b) ein zu bearbeitendes Werkstück vorgesehen ist.
6. Führungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden An¬ sprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass ein Niederhalter (10a, 10b) einen Druck in Richtung der Führungsvorrichtung (3) auf die MaßVerkörperung (6) ausübt.
7. Maschine mit einer Führungsvorrichtung (3) nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
8. Maschine nach Anspruch 7, d a d u r c h g e k e n n ¬ z e i c h n e t , dass die Maschine als Werkzeugmaschine, Produktionsmaschine und/oder als Roboter ausgebildet ist.
PCT/EP2005/054213 2004-09-06 2005-08-26 Führungsvorrichtung mit massverkörperung zur führung eines bewegbaren maschinenelements einer maschine WO2006027317A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/574,788 US7891112B2 (en) 2004-09-06 2005-08-26 Guiding device with measuring scale for guiding a moveable machine element of a machine

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102004043055.1 2004-09-06
DE102004043055A DE102004043055B4 (de) 2004-09-06 2004-09-06 Führungsvorrichtung zur Führung eines bewegbaren Maschinenelementes einer Maschine

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2006027317A1 true WO2006027317A1 (de) 2006-03-16

Family

ID=35658856

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2005/054213 WO2006027317A1 (de) 2004-09-06 2005-08-26 Führungsvorrichtung mit massverkörperung zur führung eines bewegbaren maschinenelements einer maschine

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7891112B2 (de)
DE (1) DE102004043055B4 (de)
WO (1) WO2006027317A1 (de)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2574821B1 (de) 2011-09-30 2013-10-30 Siemens Aktiengesellschaft Aktiver Schwingungsdämpfer ohne direkte Beschleunigungserfassung
EP2574820B1 (de) 2011-09-30 2014-04-16 Siemens Aktiengesellschaft Bearbeitungsmaschine mit Schwingungskompensation beweglicher mechanischer Strukturen
JP6125298B2 (ja) * 2013-04-04 2017-05-10 株式会社東芝 移動式炉心内計装用弁支持装置および移動式炉心内計装装置
JP6584990B2 (ja) * 2016-03-29 2019-10-02 住友重機械工業株式会社 ステージ装置
DE102018207638A1 (de) * 2018-05-16 2019-11-21 Robert Bosch Gmbh Führungswagen für eine Linearbewegungsvorrichtung, eine Linearbewegungs-vorrichtung und ein Verfahren

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4570346A (en) * 1983-04-27 1986-02-18 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Length or angle measuring device
US4584773A (en) * 1984-07-18 1986-04-29 Rsf Elektronik Gesellschaft M.B.H. Linear measuring system
DE4241111A1 (de) * 1992-12-07 1994-06-09 Leitz Mestechnik Gmbh Fotoelektrischer Auflicht-Schrittgeber
EP0905486A2 (de) * 1997-09-24 1999-03-31 INA Wälzlager Schaeffler oHG Linearlager mit einer Einrichtung zum Messen
EP1111346A2 (de) * 1999-11-30 2001-06-27 RENISHAW plc Vorrichtung zum Festhalten eines Massstabs
US20020066201A1 (en) * 1999-03-19 2002-06-06 Ludwig Boge Position measuring device
DE10214426A1 (de) * 2002-03-30 2003-10-09 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längenmesseinrichtung und Linearführungseinheit
DE10243021A1 (de) * 2002-09-17 2004-03-25 Ina-Schaeffler Kg Führungsschiene eines Linearwälzlagers

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4037325A (en) * 1975-01-13 1977-07-26 Quality Measurement Systems, Inc. Linear glass scale height gage
DE2712421C2 (de) * 1977-03-22 1982-06-24 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Gekapselte Längenmeßeinrichtung
DE3625795A1 (de) * 1986-07-30 1988-02-04 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Laengenmesseinrichtung
DE3635511A1 (de) * 1986-10-18 1988-04-28 Zeiss Carl Fa Halterung fuer mass- und formverkoerperung
CH686322A5 (de) * 1990-04-25 1996-02-29 Schneeberger Ag Maschf Fuehrungsvorrichtung mit Messeinrichtung.
IL98310A (en) 1990-06-08 1996-08-04 Astra Ab Medicinal preparations containing a history of cystine
DE29522402U1 (de) * 1994-10-25 2003-01-02 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Führung
DE19512892C2 (de) * 1995-04-06 1998-11-05 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE19810996A1 (de) * 1998-03-13 1999-09-16 Krauss Maffei Ag Impulsentkoppelter Direktantrieb
DE59804883D1 (de) * 1998-04-25 2002-08-29 Inst Fertigungstechnik Der Tu Messvorrichtung zum Messen der Positionier- und Bahngenauigkeit eines bewegten Maschinenteils
JP3517185B2 (ja) * 2000-07-19 2004-04-05 株式会社ミツトヨ スケール部材、その製造方法及びそれを用いた変位計
JP4434452B2 (ja) * 2000-08-15 2010-03-17 ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社 測尺装置
DE10254358B4 (de) * 2001-12-17 2005-04-14 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Trägerkörper für eine Positionsmessvorrichtung
JP4509483B2 (ja) * 2002-03-30 2010-07-21 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング リニアエンコーダ及びリニアガイドユニット
DE10236381A1 (de) * 2002-08-08 2004-02-19 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Längenmesseinrichtung
US7207121B2 (en) * 2003-05-05 2007-04-24 Barry Wixey Digital measurement system
DE102005028872B3 (de) * 2005-06-22 2006-08-03 Siemens Ag Maschine mit einem entlang einer Traverse bewegbaren Maschinenelement

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4570346A (en) * 1983-04-27 1986-02-18 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Length or angle measuring device
US4584773A (en) * 1984-07-18 1986-04-29 Rsf Elektronik Gesellschaft M.B.H. Linear measuring system
DE4241111A1 (de) * 1992-12-07 1994-06-09 Leitz Mestechnik Gmbh Fotoelektrischer Auflicht-Schrittgeber
EP0905486A2 (de) * 1997-09-24 1999-03-31 INA Wälzlager Schaeffler oHG Linearlager mit einer Einrichtung zum Messen
US20020066201A1 (en) * 1999-03-19 2002-06-06 Ludwig Boge Position measuring device
EP1111346A2 (de) * 1999-11-30 2001-06-27 RENISHAW plc Vorrichtung zum Festhalten eines Massstabs
DE10214426A1 (de) * 2002-03-30 2003-10-09 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längenmesseinrichtung und Linearführungseinheit
DE10243021A1 (de) * 2002-09-17 2004-03-25 Ina-Schaeffler Kg Führungsschiene eines Linearwälzlagers

Also Published As

Publication number Publication date
DE102004043055A1 (de) 2006-03-30
US7891112B2 (en) 2011-02-22
DE102004043055B4 (de) 2009-04-02
US20090050782A1 (en) 2009-02-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4495551C2 (de) Z-Achsen-Antrieb für eine Werkzeugmaschine
DE102006049867B4 (de) Werkzeugmaschine und Verfahren zur Unterdrückung von Ratterschwingungen
DE102012008106B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Prüfung des Kippspiels eines Kugelgewindetriebs
EP2924721B1 (de) Positioniereinrichtung in Portalbauweise
DE102012222586A1 (de) Werkzeugmaschine
WO2006027317A1 (de) Führungsvorrichtung mit massverkörperung zur führung eines bewegbaren maschinenelements einer maschine
EP3448140B1 (de) Positioniereinrichtung in portalbauweise
DE102005028872B3 (de) Maschine mit einem entlang einer Traverse bewegbaren Maschinenelement
EP0140003B1 (de) Führungsvorrichtung
EP1381823B1 (de) Lagerung für ein koordinatenmessgerät
EP1920876B1 (de) Träger für eine Werkzeugspindel
DE102007037886B4 (de) Feldgeführter planarer Präzisionsantrieb mit einem luftgelagerten Läufer
AT519718A1 (de) Knickarmroboter und Verfahren zum spanenden Bearbeiten eines Werkstückes mittels dem Knickarmroboter
EP2623257B1 (de) Werkzeugmaschine mit einer Positionsausgleichsvorrichtung
WO2008011970A2 (de) Lageveränderliche werkstückauflage für eine maschine und bearbeitungsanlage mit einer entsprechenden werkstückauflage
DE102013210739B3 (de) Koordinatenmessgerät und Verfahren zur Vermessung eines Werkstücks mit einer selbstfahrenden Antriebseinheit und einer fahrbaren Messeinheit
DE102004059844B4 (de) Linearführungsanordnung
DE10217720C1 (de) Vorrichtung zum Testen einer Radaufhängung an einem Fahrzeug
DE102007032088A1 (de) Vorschubeinrichtung für einen Mehrkoordinaten-Messtisch und Verfahren zur Steuerung einer derartigen Vorschubeinrichtung
DE10159482A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Positionierung von Füge- oder Bearbeitungseinheiten
DE102011016304B4 (de) Vorrichtung für einen Mehrkoordinatenantrieb
DE102014212748A1 (de) Lagerbaugruppe für eine lineare Fluidlagerführung eines Koordinatenmessgerätes und Koordinatenmessgerät
DE102007053475B4 (de) Positioniersystem
DE102016113959B4 (de) Koordinatenmessgerät
DE102017100282B4 (de) Spindeltrieb zum Bewegen von Objekten in einer Hochvakuum-Umgebung

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BW BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK DM DZ EC EE EG ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KM KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK MN MW MX MZ NA NG NI NO NZ OM PG PH PL PT RO RU SC SD SE SG SK SL SM SY TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN YU ZA ZM ZW

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): GM KE LS MW MZ NA SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 11574788

Country of ref document: US