JP5163678B2 - ガルバノスキャナ - Google Patents

Description

この発明は、ガルバノミラーを任意角度に回動させるガルバノスキャナに関し、特に、ガルバノミラーの高速位置決め技術に関する。

ミラーを往復揺動させて光を走査し、光路を連続的に変化させる光スキャナは、レーザ加工機、コピー機、ディスプレイ等でよく用いられている。シャフトに固定されたガルバノミラーは、ガルバノスキャナのシャフト駆動部によって必要な角度に回動される。

特許文献１は、シャフトが一対の軸受により回動可能に支持されているガルバノスキャナを開示している。シャフトの左端は、ミラー取付部としてハウジングの端部から突出している。一対の軸受けの間に設けられた駆動トルク発生部（シャフト駆動部）はコイルと永久磁石とから構成されている。シャフトの軸方向の中央部に配置されたコイルに電流を流すと、電流によって生じるローレンツ力によりシャフトに駆動トルクが加わり、シャフトが回動する。駆動トルク発生部には、磁石が固定されコイルが可動する可動コイル型と、コイルが固定され磁石が可動する可動マグネット型がある。

ガルバノスキャナは、ミラーを必要な角度に回動させるために、ミラーの角度を測定する角度センサを備えている。角度センサは、グレーティング円板と検出ユニットとから構成されている。グレーティング円板は、ハブを介してシャフトの右端に接着固定されている。検出ユニットはグレーティング円板に対向するようにしてハウジング側に固定されている。検出ユニットは、シャフトの回動に伴って検出部を通過するグレーティングにより、シャフトの回動角を検出する。

一方、角度指令発生手段から出力された角度指令データはサーボアンプに入力され、角度センサから入力されたガルバノミラーの角度のデータと比較される。サーボアンプは、目的の角度にガルバノミラーを回動させるように駆動トルク発生部をフィードバック制御する。即ち、目的の角度にガルバノミラーを回動させるのに必要な電力がサーボアンプからコイルに入力され、この電力によって発生した駆動力がシャフトを駆動して、ガルバノミラーを目的の角度に回動させる。このようにして、ガルバノスキャナによってガルバノミラーは所定の角度に制御される

特許文献２は、特許文献１と同様に、光学式の角度センサを備えたガルバノスキャナを開示している。ガルバノスキャナの回動角度は一般的に±２０度程度あれば、十分である。特許文献２の角度センサでは、回動軸回りの慣性モーメントの低減を図るため、グレーティング板には必要な回動角度の分だけしかグレーティングパターンが設けられていない。グレーティング板にはシャフト穴があり、ハブとはドーナツ形状の接着面で接着固定してある。

エンコーダ（角度センサ）は投光部と受光部がグレーティングを挟んで対向配置された透過型である。グレーティング板はハブのモータ（シャフト駆動部）から遠い右端面に固定してある。ハブの右端にグレーティング板を固定する場合、ハブの端面全面をグレーティング板との接着面に使用できる。ハブ径は最小化され、ハブの慣性モーメントが小さくなる。このような理由から、ハブの右端面にグレーティング板が固定されている。

特開２００４−２３３８２５号公報（図１０参照） 特開２００３−３０７７００号公報（図１１参照）

近年、レーザ加工機のようなガルバノスキャナ応用製品は加工効率向上への要求が益々高くなっており、ガルバノスキャナにも高速応答が求められている。特許文献１の円板状のグレーティング板は、回動部分のイナーシャ（慣性モーメント）が大きすぎるため、モータとエンコーダの間のシャフトがねじれるモードでは共振周波数が低くなる。その結果、サーボアンプによるサーボ制御のゲインを上げることができないので、このガルバノスキャナは高速動作には不向きといえる。

特許文献２のグレーティング板は回動角度の一部に設けられているので、特許文献１よりは遙かに低慣性だが、さらなる高速応答が望まれている。そこで、この発明においては、共振周波数を向上させ、高速位置決めが可能なガルバノスキャナを提供することを課題とする。

本発明に関わるガルバノスキャナは、回動するシャフトが設けられているシャフト駆動部と、シャフト駆動部に連結されるミラーと、中空状の円筒部に立設する背板を有し、シャフトに挿入固定されるハブと、表面に反射パターンが形成されているグレーティング板と、シャフトの端部側に配置され、グレーティング板の表面に光を照射する投光部と、グレーティング板から反射された光を検出する受光部を備えていて、ハブの背板はハブのシャフト駆動部側に設けられていて、ハブの背板にはグレーティング板の裏面が接着固定され、グレーティング板の底辺と上辺はシャフトの回動軸に対して同じ側にある。

本発明では、グレーティング板を接着固定するためのハブ背板をハブのシャフト駆動部側に設けたため、グレーティング板とシャフト駆動部との距離が近くなり、その間のねじれ剛性が向上し、共振周波数が高くなる。また、検出部であるグレーティング板がねじれ振動モードの節の位置に近づくため、共振ピークが検出されにくい。結果、サーボのノッチフィルタによる位相遅れが低減するので、サーボゲインが向上し、高速位置決めが可能となる。

ガルバノスキャナの構成を概略的に説明する図である。 実施の形態１を説明する図で、ガルバノスキャナの構成を示す断面図(ａ)、グレーティング板の形態を示す正面図（ｂ）、グレーティング板の別形態を示す正面図（ｃ）である。 ハブ背板とグレーティング板の関係を比較する図で、ハブ背板が円筒部の右端に設けられた場合(ａ)とハブ背板が円筒部の左端に設けられて場合(ｂ)とハブの外径とグレーティング板の横幅の関係を説明する図（ｃ）である。 ガルバノスキャナに起こるシャフトのねじれ振動モードを説明する図である。 ガルバノスキャナに起こるシャフトの曲げ振動モードを説明する図で、ハブの断面を示す図（ａ）とグレーティング板の正面を示す図（ｂ）である。 実施の形態２を説明する図で、ガルバノスキャナの構成を示す断面図(ａ)、グレーティング板の形態を示す正面図（ｂ）である。 グレーティング板に設けられる３種類の光吸収体の構造を説明する図で、基材の裏面側に光吸収膜が形成されている構成を説明する図(ａ)と、基材の表面側に光吸収膜が形成されている構成を説明する図(ｂ)と、基材が光吸収体であることを説明する図(ｃ)である。 実施の形態３を説明する図で、ガルバノスキャナの構成を示す断面図(ａ)、グレーティング板の形態を示す正面図（ｂ）である。 実施の形態４を説明する図で、ガルバノスキャナの構成を示す断面図である。

実施の形態１．
図１は、ガルバノスキャナの構成を概略的に示している。ガルバノスキャナ４０はガルバノミラー１と、シャフト駆動部４４と、角度センサ４５と、制御部４６から構成されている。シャフト駆動部４４は、一対の軸受け２、コイル３、シャフト４、ハブ５、一対の永久磁石１１およびミラーマウント４７から構成されていて、ガルバノミラー１を必要な角度に回動するトルクを発生する。角度センサ４５は、グレーティング板７、投光部８、受光部９から構成されている。制御部４６は、角度指令発生器３０、サーボアンプ３１、アンプ４７、カウンタ４８およびＬＥＤドライバ４９から構成されている。

コイル３の両側には、２本のシャフト４が連結されている。シャフト４は、軸受け２により回動可能に支持されている。図中、右側のシャフト４には中空状のハブ５が挿入固定されている。ハブ５には、シャフトの回動軸に垂直な方向に円筒部から延出したハブ背板６が設けられている。ハブ背板６にはグレーティング板７が接着固定される。グレーティング板７の表面にはグレーティングを利用した反射パターン１０が形成されている。この図では、反射パターン１０の下端はハブ背板６の外周側面６ｂよりも低い位置に設けられている。コイル３と一対の永久磁石１１はシャフトの軸受け側に配置される。

投光部８はグレーティング板７に光を照射するＬＥＤ（発光ダイオード）等の光源である。受光部９はＰＤ（フォトダイオード）等の受光素子であり、グレーティング板７から反射された光を受光して電流に変換する。反射光学式エンコーダである角度センサ４５は、グレーティング板７を小径にしても、十分に高い分解能が得られる。投光部８に、ＬＥＤに代えて、コヒーレント光を発するレーザを用いれば、ノイズが少ない高分解能な位置検出信号が得られる。

投光部８にはＬＥＤドライバ４９が接続されている。ＬＥＤドライバ４９は投光部８に電力を供給してＬＥＤを発光させる。投光部８と受光部９は、グレーティング板７の右側（右側シャフトの端部側）に、グレーティング板７から所定のギャップを介して配置されている。左側のシャフト４には、ミラーマウント４７が取り付けられている。ミラーマウント４７はガルバノミラー１を保持している。ガルバノミラー１に入射した光は表面で反射される。

次に、図１に基づいてガルバノスキャナ４０の動作を説明する。サーボアンプ３１からコイル３に電流を流すと、電流によって生じるローレンツ力により、コイル３と永久磁石７の間で反発力または吸引力が生じる。コイル３に駆動トルクが加わり、コイル３と一体にガルバノミラー１、シャフト４、ハブ５、グレーティング板７が回動する。ハブ５が回動すると、反射パターン１０で反射され、受光部９に達する光量が周期的に変化する。このため受光部９は、グレーティング板７が回動するときに周期時間信号を生じる。光量の周期的変化はアンプ４７で増幅されて、カウンタ４８で回動角度としてカウントされる。

角度指令発生器３０から出力された角度指令データはサーボアンプ３１に入力される。サーボアンプ３１は、カウンタ４８から入力されるガルバノミラー１の角度データと比較し、目的の角度にガルバノミラー１を回動させるようにフィードバック制御を行う。このようにして、ガルバノスキャナ４０のガルバノミラー１は目的の角度に制御される。

なお、実施の形態１では、シャフト駆動部４４は、永久磁石１１が固定されコイル３が可動する可動コイル型で説明しているが、コイル３が固定され永久磁石１１が可動する可動マグネット型でもよい。

ハブ５とグレーティング板７の構造を図２に基づいて詳細に説明する。ハブ５は、シャフト４との圧入接着面があるハブ円筒部５ａと、グレーティング板７が接着されるハブ背板６とからなる。ハブ背板６は中空状のハブ円筒部５ａに立設している。ハブ５の材料にはアルミやステンレス等を用いている。グレーティング板７の表面には反射パターン１０が所定間隔で放射状に設けられている。反射パターン１０は、アルミニウム等の金属薄膜を基材に蒸着して形成される。アルミ層の代わりに誘電体による増反射多層膜で形成してもよい。グレーティング板７の反射パターン１０は投光部８と受光部９に対向している。投光部８と受光部９は、ガルバノスキャナの筐体５０に固定されている。実施の形態１では、反射パターン１０の底辺はハブ背板６の外周側面６ｂよりも高い位置（回動軸から遠ざかる方向）に形成されている。

ハブ背板６にはグレーティング板７の裏面が接着固定される。ハブ５の軸方向長さ（厚み）ｌｈは、軸に対するハブ背板６の直角度を出すため、シャフト４の直径と同程度の長さが必要である。短いと、圧入時に斜めに挿入され、回動時に位置によって光学系（投光部８および受光部９）と反射パターン１０とのギャップが変動し、位置検出誤差が発生する。図中、符号ｐｈはハブ５の回動軸方向の中心位置を、符号ｐｇはグレーティング板７がハブ背板６に取り付けられる回動軸方向の位置を、それぞれ、表している。ハブ背板６はハブ５のシャフト駆動部側（或いは軸受け側）に設けられている。ハブ５の中心位置ｐｈはハブ背板６のグレーティング板取り付け位置ｐｇよりも右側シャフトの端部側にある。

グレーティング板７は、図２（ｂ）に示すように、ドーナツ円板の回動角度の一部を切り出したもので、ハブ背板６との接着面も、シャフト４の回り全周のドーナツ面ではなく一部となっており、シャフト穴がない構造である。グレーティング板７は、図２（ｂ）に示した扇形のほかに、図２（ｃ）のように側面が平行であってもよい。図２（ｂ）のようにグレーティング板７の横幅ｗｂはハブ円筒部５ａの外径ｄｈよりも小さい。

シャフト４にグレーティング板７を取り付ける際には、先にシャフト４にハブ５を圧入接着固定し、後からグレーティング板７をハブ背板６に接着する。このため、ハブ５の右側に接着代を設ける必要がある。シャフト４にハブ５を接着した後からグレーティング板７を接着するのは、先に付けると、シャフト４に圧入接着する際にグレーティング板７が接着剤で汚れるためである。

グレーティング板にシャフト穴がある場合とない場合の比較を図３に基づいて説明する。図３（ａ）〜図３（ｃ）はグレーティング板にシャフト穴（内径=シャフト径ｒｓ）がある場合のハブの形態を示している。図３（ａ）は、ハブ背板をハブ円筒部の右端に円筒部全周囲に配置した場合である。グレーティング板の反射パターン１０は受光部９を向いていて、ハブ背板の右側面に接着固定されている。図３（ｂ）は、ハブ背板をハブ円筒部の左端に円筒部全周囲に配置した場合である。投光部８と受光部９は反射パターン１０と対向している。図３（ｃ）は、図３（ｂ）に示したグレーティング板７を正面から見た状態を表している。ハブ背板６は円筒部の全周に設けられている。グレーティング板７はドーナツ円板から一部延出した部分を有する形状を呈している。反射パターン１０は延出した部分に設けられている。グレーティング板７の横幅ｗｂはハブ円筒部５ａの外径ｄｈよりも大きい。

図３（ａ）に示す透過型エンコーダでは、グレーティング板のシャフト駆動部側に投光部８か受光部９のどちらかを配置する必要がある。投光部８或いは受光部９が、軸受け２と干渉するため、グレーティング板７をシャフト駆動部４４に接近させることができない。反射型は、光源系をグレーティング板のシャフト駆動部４４から遠い側に配置できるため、機械的干渉を回避し、グレーティング板７をシャフト駆動部側に接近させることができる。

図３（ｂ）の形態は、図３（ａ）に比べて、シャフト穴の内径がハブ円筒部の肉厚ｔｈの分大きくなるため、グレーティング板の外径ｒｇ及びｒｇｐが、肉厚ｔｈの分大きくなる。結果、慣性モーメントが増加する。この問題を回避するために、本実施の形態では、グレーティング板にシャフト穴がない。シャフト穴がない場合、グレーティング板７の底辺と上辺はシャフト４の回動軸に対して同じ側にある。またグレーティング板の横幅ｗｂはハブ円筒部の外径ｄｈよりも小さい。グレーティング板７の横幅ｗｂが小さくなれば、ハブ背板６も小さくなり、その分、グレーティング板７とハブ背板６が軽量化され、慣性モーメントの増加を抑えることができる。

なお、シャフト穴があった方が、その穴でシャフト４とグレーティング板の位置あわせができるため、グレーティング板を回動軸に対して精度良く固定できる。これに対して、シャフト穴がない本実施の形態では位置あわせ精度が悪化する懸念があるが、ガルバノスキャナのように回動角度が小さい場合に限っては、その影響は小さく問題にならない。

図４はガルバノスキャナに発生するねじれ振動モードを説明する図である。この図では、ドーナツ円板状の背板６をシャフトの端部側４ａに設けている。シャフト駆動部４４と角度センサ４５との間が逆位相でねじれる振動モードは、シャフト４のねじれ振動の２次モードとして表れる。サーボゲインを高くするためには、この共振ピークをサーボアンプ３１の信号処理回路によるノッチフィルタで除去する必要がある。ノッチフィルタによる位相遅れがゲイン向上のネックとなるため、この共振周波数を高くすることが、位置決めの高速化につながる。

本発明では、ハブ背板６をハブ５のシャフト駆動部側に設けている。ハブ背板６のグレーティング板取り付け位置ｐｇは、ハブ５の中心位置ｐｈはよりもシャフト駆動部側にした。その結果、グレーティング板７とシャフト駆動部４４との距離が近くなるので、その間のシャフト４のねじれ剛性が向上し、共振周波数が高くなる。また、グレーティング板７がねじれ振動モードの節の位置に近づくため、共振ピークが検出されにくい効果がある。検出されなければ、フィードバックで振動が励起する問題は発生しない。

図５はシャフト４の曲げ振動モードを説明する図である。図に示すように、軸受け２を固定端として、シャフト４が曲がるモードを扱っている。ハブ５とグレーティング板７の重心位置（図中に黒丸で表示）から軸受け２までの距離ｌｗや、偏芯距離ｈｗや、ハブ５とグレーティング板７の重量の増加に応じて、共振周波数が低下する。円板の一部を切り取ったグレーティング板７は偏芯（ｈｗ>０）が発生するため、特に共振周波数が低下する。

本発明では、ハブ５とグレーティング板７の重心位置と軸受け２との距離ｌｗが短いため、曲げモードの共振周波数が高い。また検出位置であるグレーティング板７がこの振動モードの節の位置に近いため、この振動が検出されにくい。本発明の構造では、ねじれモード及び曲げモードの共振周波数が向上し、また、検出されにくいため、サーボアンプ３１のノッチフィルタを弱めることができる。ノッチフィルタによる位相遅れは低減し、サーボゲインが向上するので、高速位置決めが可能となる。

実施の形態２．
図６と図７に基づいて実施の形態２を説明する。図６に示すように、実施の形態２では反射パターン１０の位置が実施の形態１と異なる。反射パターン１０の下端（底辺）はハブ背板６の外周側面６ｂよりも低い位置に設けられている。図７（ａ）〜図７（ｃ）はグレーティング板７の断面構造を示している。図７（ａ）では、基材２３の表面に反射パターン１０が形成され、基材２３の裏面には光吸収膜２１がそれぞれ形成されている。光吸収膜２１は基材２３に蒸着された酸化クロム膜などを表している。グレーティング板７の基材２３にはガラスや樹脂等を用いる。接着剤２０はハブ背板６と光吸収膜２１を固定している。

図７（ｂ）は光吸収膜２１の表面に反射パターン１０が形成されていることを示している。接着剤２０はハブ背板６と基材２３を固定している。図７（ｃ）では、基材２３を例えば黒色として、基材２３に光吸収特性を持たせている。ハブ背板６と基材２３は接着剤２０で固定されている。

仮に、光吸収膜２１がなくて、反射パターン１０の裏側にハブ背板６が存在するとすれば、反射パターン１０を透過した光の一部はハブ背板６で反射される。反射光は、受光部９にノイズ光を生じるので、位置検出誤差が発生する。グレーティング板７に設けた光吸収膜２１は、反射パターン１０を通過した光を吸収するので、ハブ背板６で反射されるノイズ光による位置検出誤差の発生を防止する。結果、反射パターン１０をハブ背板６に重ねることが可能となり、グレーティング板７の外径を小さくできる。反射パターン１０の小径化に伴い、慣性モーメントが低下するので、ねじれ共振周波数が高くなる。また、外径が小さくなると、グレーティング板７の重心が軸心に近づくため、偏芯が低減する。

グレーティング板７のたわみには面倒れ共振のモードがある。面倒れ共振のモードは、グレーティング板７を梁（はり）、ハブ５との接着剤２０を固定端と考え、方向２２（図３参照）にグレーティング板７がたわむモード形状である。この振動モードが発生すれば、角度センサの光学系（投光部８と受光部９）とグレーティング板７の間のギャップが変化し検出誤差が発生するため、グレーティング板７の厚みを薄くすることはできない。逆に厚みを厚くした場合は、グレーティング板７の製造時の厚みばらつきが大きくなる。

光吸収膜２１は反射パターン１０を透過した光がハブ背板６で反射することを防止するうえに、反射パターン１０の裏側にハブ背板６があるため、グレーティング板７の面倒れ共振が防止でき、グレーティング板の薄肉化、ひいては低慣性化が可能になる。薄板は厚みばらつきが小さいため、グレーティング板７と光学系とのギャップ誤差が小さく高精度な検出が可能になる。接着剤２０とグレーティング部を重ねられるので、グレーティング板７の小径化低慣性化が可能である。また、偏芯が低減するため、シャフトの曲げ振動も低減できる。ハブ背板６とグレーティング板７を完全に重ねた場合は、グレーティング板７に剛性が不要となるので、テープ状のグレーティングでもよい。

これに対し、図３（ａ）に示す透過型エンコーダの場合は、グレーティング板のパターン面がハブ５との接着面と同じである。グレーティング板７の厚みが変化しても、グレーティングパターン面と受光部とのギャップが変化しないので、問題とならない。しかし、本実施例のような反射型エンコーダの場合は、グレーティングパターン面がハブ５との接着面からグレーティング板７の厚み分離れているため、グレーティング板の厚みが変化すれば、ギャップ誤差が発生する。特にグレーティング板７が円板の一部しかない場合、幅が狭いため、グレーティング板７の曲げ剛性が弱く面倒れ振動は大きくなる。これを防止するためには、板厚を厚くする必要があった。つまり、グレーティング板７が円板の一部しかない場合で角度センサ４５が反射型の場合は、特にギャップ誤差が大きくなり、検出誤差が発生した。

本実施の形態では、グレーティング板７の背面接着部に光吸収膜２１を設け、反射パターン１０とハブ背板６を重ねたことによって、グレーティング板７の外径ｒｇｐを小さくした。外径が小さくなれば、梁の理論により、グレーティング板７を薄肉化できる。薄板は厚みばらつきが小さいため、組立後のギャップ誤差が小さくなり、高精度な検出が可能となる。

つまり、反射型で回転角度の一部しかないグレーティング板を用いた構成のデメリットである、組立時のギャップばらつきを防止できる。また、薄肉化によって、グレーティング板７が軽量化し、回動方向の慣性モーメントが低減し、ねじり共振周波数は向上する。軽量化によって、グレーティング板の偏芯量が小さくなるため、シャフトの曲げ振動モードも低減できる。また、グレーティング板の径ｒｇｐが小径になるため、グレーティング板の偏芯量が小さくなる。

実施の形態３．
図８に基づいて実施の形態３を説明する。ここでは、グレーティング板７がシャフト４の回動中心に対して対称に２個設けられている。慣性モーメントは、幾分増えるが偏芯が完全になくなるため、シャフト４の曲げ振動が発生しない。グレーティング板７が前にあるため、ねじれ共振周波数が高い等、実施例１と同様の効果が得られる。

実施の形態４．
実施の形態１〜３では、ガルバノミラー１がガルバノスキャナ４０の左端にある場合で説明したが、図９のように、ガルバノミラー１を右端に固定した場合でも、シャフト駆動部４４とグレーティング板７との距離が短いため、この間のシャフト４のねじれ剛性が向上し、同様の効果が得られる。軸受け２を固定端としたシャフト４の曲げ振動モードについても、グレーティング板７が軸受けに近いため、実施例１と同様の効果が得られる。

１ ガルバノミラー、２ 軸受け、３ コイル、４ シャフト、５ ハブ、５ａ ハブ円筒部、６ ハブ背板、６ｂ 外周側面、７ グレーティング板、８ 投光部、９ 受光部、１０ 反射パターン、１１ マグネット、２０ 接着剤、 ２１ 光吸収膜、２２ 面倒れ振動方向、２３ 基材、４４ シャフト駆動部

Claims (9)

1. 回動するシャフトが設けられているシャフト駆動部と、前記シャフト駆動部に連結されるミラーと、中空状の円筒部に立設する背板を有していて、前記シャフトに挿入固定されるハブと、表面に反射パターンが形成されているグレーティング板と、前記シャフトの端部側に配置され、前記グレーティング板の表面に光を照射する投光部と、前記グレーティング板から反射された光を検出する受光部を備えているガルバノスキャナであって、
   前記ハブの背板はハブのシャフト駆動部側に設けられていて、前記ハブの背板には前記グレーティング板の裏面が接着固定され、前記グレーティング板の底辺と上辺は前記シャフトの回動軸に対して同じ側にあることを特徴とするガルバノスキャナ。
2. グレーティング板とハブの背板との接着面は、ハブの長さ方向の中央位置よりもシャフト駆動部側に設けられたことを特徴とする請求項１に記載のガルバノスキャナ。
3. グレーティング板の幅はハブの円筒部の外径よりも小さいことを特徴とする請求項１又は２に記載のガルバノスキャナ。
4. 反射パターンの底辺は背板の外周側面よりもシャフトの回動軸側にあることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のガルバノスキャナ。
5. グレーティング板の基材には裏面側に光吸収膜が形成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載のガルバノスキャナ。
6. グレーティング板の基材には表面側に光吸収膜が形成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載のガルバノスキャナ。
7. グレーティング板の基材は光吸収体であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載のガルバノスキャナ。
8. ミラーとハブがシャフト駆動部の両側に別れて配置されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載のガルバノスキャナ。
9. ミラーとハブがシャフト駆動部の同じ側に配置されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載のガルバノスキャナ。

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