JPH07146447A - レーザースキャニングミラーアクチュエータ - Google Patents
レーザースキャニングミラーアクチュエータInfo
- Publication number
- JPH07146447A JPH07146447A JP29347793A JP29347793A JPH07146447A JP H07146447 A JPH07146447 A JP H07146447A JP 29347793 A JP29347793 A JP 29347793A JP 29347793 A JP29347793 A JP 29347793A JP H07146447 A JPH07146447 A JP H07146447A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- permanent magnet
- mirror
- gimbal
- axis direction
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- Withdrawn
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ２次元平面上の任意の位置にレーザースポッ
トの走査が可能な２軸同時駆動型レーザースキャニング
ミラーアクチュエータを提供する。 【構成】 ミラーの機能を有する永久磁石１０と、永久
磁石１０を支持する薄板製のＸ，Ｙ２軸型のジンバル２
０と、ジンバル２０のＸ軸及びＹ軸上にそれぞれ配設し
たコイル磁石３１，３２，４１，４２とから成る。
トの走査が可能な２軸同時駆動型レーザースキャニング
ミラーアクチュエータを提供する。 【構成】 ミラーの機能を有する永久磁石１０と、永久
磁石１０を支持する薄板製のＸ，Ｙ２軸型のジンバル２
０と、ジンバル２０のＸ軸及びＹ軸上にそれぞれ配設し
たコイル磁石３１，３２，４１，４２とから成る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザー発振器から発
したレーザー光線を２次元的に走査するレーザースキャ
ニングミラーアクチュエータに関するものである。
したレーザー光線を２次元的に走査するレーザースキャ
ニングミラーアクチュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、ガルバノミラーやポリゴンミラ
ーに代表される従来のミラーアクチュエータは、レーザ
ー発振器から発したレーザー光線を２次元的に走査する
際、２つのミラーアクチュエータを組み合わせる方式を
採用している。
ーに代表される従来のミラーアクチュエータは、レーザ
ー発振器から発したレーザー光線を２次元的に走査する
際、２つのミラーアクチュエータを組み合わせる方式を
採用している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従って、従来は、光軸
合わせ及び位置合わせが非常に面倒である。また、その
ために組立工程が複雑となり、小型化が困難である。そ
して、高価なものが多い。本発明は、係る従来の問題を
克服するためになされたものであり、その目的は、２次
元平面上の任意の位置にレーザースポットの走査が可能
な２軸同時駆動型レーザースキャニングミラーアクチュ
エータを提供することにある。
合わせ及び位置合わせが非常に面倒である。また、その
ために組立工程が複雑となり、小型化が困難である。そ
して、高価なものが多い。本発明は、係る従来の問題を
克服するためになされたものであり、その目的は、２次
元平面上の任意の位置にレーザースポットの走査が可能
な２軸同時駆動型レーザースキャニングミラーアクチュ
エータを提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成し得る
本発明のレーザースキャニングミラーアクチュエータ
は、ミラーの機能を有する永久磁石と、該永久磁石を支
持する薄板製のＸ，Ｙ２軸型のジンバルと、該ジンバル
のＸ軸及びＹ軸上にそれぞれ配設したコイル磁石とから
成ることを特徴とする。
本発明のレーザースキャニングミラーアクチュエータ
は、ミラーの機能を有する永久磁石と、該永久磁石を支
持する薄板製のＸ，Ｙ２軸型のジンバルと、該ジンバル
のＸ軸及びＹ軸上にそれぞれ配設したコイル磁石とから
成ることを特徴とする。
【０００５】上記の構成からなるレーザースキャニング
ミラーアクチュエータは、Ｘ軸，Ｙ軸上に配設した２組
のコイル磁石によって薄板製のＸ，Ｙ２軸型のジンバル
に支持したミラーの機能を有する永久磁石を制御するこ
とにより、レーザー発進器から発したレーザー光線を
Ｘ，Ｙ軸方向に同時走査できる。
ミラーアクチュエータは、Ｘ軸，Ｙ軸上に配設した２組
のコイル磁石によって薄板製のＸ，Ｙ２軸型のジンバル
に支持したミラーの機能を有する永久磁石を制御するこ
とにより、レーザー発進器から発したレーザー光線を
Ｘ，Ｙ軸方向に同時走査できる。
【０００６】
【実施例】以下、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。図１において、Ａはミラーアクチュエータで
あり、ミラーアクチュエータＡは、ミラーの機能を有す
る永久磁石１０と、この永久磁石１０を支持する薄板製
のＸ，Ｙ２軸型のジンバル２０と、ジンバル２０のＸ軸
上に配設したコイル磁石３１，３２と、ジンバル２０の
Ｙ軸上に配設したコイル磁石４１，４２とから成ってい
る。
説明する。図１において、Ａはミラーアクチュエータで
あり、ミラーアクチュエータＡは、ミラーの機能を有す
る永久磁石１０と、この永久磁石１０を支持する薄板製
のＸ，Ｙ２軸型のジンバル２０と、ジンバル２０のＸ軸
上に配設したコイル磁石３１，３２と、ジンバル２０の
Ｙ軸上に配設したコイル磁石４１，４２とから成ってい
る。
【０００７】このジンバル２０は、外枠２１と、内枠２
２と、その中間に位置する中間枠２３の３重の枠体から
成り、更に、外枠２１と中間枠２３とは、Ｘ軸方向の２
つのヒンジ２４，２４によって連結し、内枠２２と中間
枠２３とは、Ｙ軸方向の２つのヒンジ２５，２５によっ
て連結している。このジンバル２０は、Ｘ軸方向及びＹ
軸方向の２組みのヒンジ２４，２４及び２５，２５のね
じり或いは曲げによる弾性変形を利用するため、金属製
の薄板を湿式エッチング加工することにより形成する。
２と、その中間に位置する中間枠２３の３重の枠体から
成り、更に、外枠２１と中間枠２３とは、Ｘ軸方向の２
つのヒンジ２４，２４によって連結し、内枠２２と中間
枠２３とは、Ｙ軸方向の２つのヒンジ２５，２５によっ
て連結している。このジンバル２０は、Ｘ軸方向及びＹ
軸方向の２組みのヒンジ２４，２４及び２５，２５のね
じり或いは曲げによる弾性変形を利用するため、金属製
の薄板を湿式エッチング加工することにより形成する。
【０００８】そして、内枠２２の前面中央に、上記の永
久磁石１０を取り付ける。更に、永久磁石１０の前面に
円板形の反射鏡１１を取り付ける。なお、反射鏡１１の
代わりに永久磁石１０の前面を鏡面仕上げしても良い。
一方、永久磁石１０の前方には、レーザー発振器５０を
設置し、このレーザー発振器５０から発したレーザー光
線Ｌは、永久磁石１０前面の反射鏡１１によって反射さ
れた後、ハーフミラー６０を貫通して図示しない２次元
平面上に照射される。
久磁石１０を取り付ける。更に、永久磁石１０の前面に
円板形の反射鏡１１を取り付ける。なお、反射鏡１１の
代わりに永久磁石１０の前面を鏡面仕上げしても良い。
一方、永久磁石１０の前方には、レーザー発振器５０を
設置し、このレーザー発振器５０から発したレーザー光
線Ｌは、永久磁石１０前面の反射鏡１１によって反射さ
れた後、ハーフミラー６０を貫通して図示しない２次元
平面上に照射される。
【０００９】その際、永久磁石１０は、Ｘ軸方向のコイ
ル磁石３１，３２及びＹ軸方向のコイル磁石４１，４２
によってＸ軸及びＹ軸を軸とする回転モーメントが与え
られて偏角し、上記レーザー光線ＬをＸ軸及びＹ軸方向
に同時走査する。上記のミラーアクチュエータＡでは、
コイル磁石３１，３２及び４１，４２に流れる電流を制
御するため、レーザー光線Ｌの一部をハーフミラー６０
を介してＰＳＤセンサ７０に入力させ、その位置をセン
シングしてコイル磁石３１，３２及び４１，４２にフィ
ードバックさせている。
ル磁石３１，３２及びＹ軸方向のコイル磁石４１，４２
によってＸ軸及びＹ軸を軸とする回転モーメントが与え
られて偏角し、上記レーザー光線ＬをＸ軸及びＹ軸方向
に同時走査する。上記のミラーアクチュエータＡでは、
コイル磁石３１，３２及び４１，４２に流れる電流を制
御するため、レーザー光線Ｌの一部をハーフミラー６０
を介してＰＳＤセンサ７０に入力させ、その位置をセン
シングしてコイル磁石３１，３２及び４１，４２にフィ
ードバックさせている。
【００１０】以上の説明では、レーザー光線を２次元的
に走査する場合について説明したが、Ｚ軸方向にコイル
磁石を配置することにより、レーザ光線のスポットの焦
点合わせも１つのミラーアクチュエータで可能になる。
また、上述したジンバル構造は、金属製の薄板で形成さ
せる以外にも、機械加工等の方法で作成した外枠、内枠
と、これらを支持する微小な２組の軸受で構成させるこ
とも可能である。
に走査する場合について説明したが、Ｚ軸方向にコイル
磁石を配置することにより、レーザ光線のスポットの焦
点合わせも１つのミラーアクチュエータで可能になる。
また、上述したジンバル構造は、金属製の薄板で形成さ
せる以外にも、機械加工等の方法で作成した外枠、内枠
と、これらを支持する微小な２組の軸受で構成させるこ
とも可能である。
【００１１】
【発明の効果】上記のように、本発明は、ミラーの機能
を有する永久磁石と、該永久磁石を支持する薄板製の
Ｘ，Ｙ２軸型のジンバルと、該ジンバルのＸ軸及びＹ軸
上にそれぞれ配設したコイル磁石とから構成したので、
次のような効果を奏する。即ち、 Ｘ軸及びＹ軸の２軸方向に同時走査が可能である。
を有する永久磁石と、該永久磁石を支持する薄板製の
Ｘ，Ｙ２軸型のジンバルと、該ジンバルのＸ軸及びＹ軸
上にそれぞれ配設したコイル磁石とから構成したので、
次のような効果を奏する。即ち、 Ｘ軸及びＹ軸の２軸方向に同時走査が可能である。
【００１２】 構造が簡単で、レーザー光線の光軸合
わせが容易である。 装置の小型化が容易であり、装置を安価に提供でき
る。 ジンバルを湿式エッチング法によるバッチプロセス
で製造可能なため、安価な提供が可能である。
わせが容易である。 装置の小型化が容易であり、装置を安価に提供でき
る。 ジンバルを湿式エッチング法によるバッチプロセス
で製造可能なため、安価な提供が可能である。
【図１】本発明に係るレーザースキャニングミラーアク
チュエータの斜視図である。
チュエータの斜視図である。
１１ 反射鏡 １０ 永久磁石 ２０ ジンバル ３１，３２，４１，４２ コイル磁石
Claims (1)
- 【請求項１】 ミラーの機能を有する永久磁石と、該永
久磁石を支持する薄板製のＸ，Ｙ２軸型のジンバルと、
該ジンバルのＸ軸及びＹ軸上にそれぞれ配設したコイル
磁石とから成るレーザースキャニングミラーアクチュエ
ータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29347793A JPH07146447A (ja) | 1993-11-24 | 1993-11-24 | レーザースキャニングミラーアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29347793A JPH07146447A (ja) | 1993-11-24 | 1993-11-24 | レーザースキャニングミラーアクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07146447A true JPH07146447A (ja) | 1995-06-06 |
Family
ID=17795250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29347793A Withdrawn JPH07146447A (ja) | 1993-11-24 | 1993-11-24 | レーザースキャニングミラーアクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07146447A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6188502B1 (en) | 1998-03-26 | 2001-02-13 | Nec Corporation | Laser pointing apparatus and on-fulcrum drive apparatus |
| US7201824B2 (en) * | 1996-08-12 | 2007-04-10 | Maynard Ronald S | Hybrid optical multi-axis beam steering apparatus |
| CN110178038A (zh) * | 2017-01-10 | 2019-08-27 | 国立大学法人大阪大学 | 扫描仪及扫描型探针显微镜 |
-
1993
- 1993-11-24 JP JP29347793A patent/JPH07146447A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7201824B2 (en) * | 1996-08-12 | 2007-04-10 | Maynard Ronald S | Hybrid optical multi-axis beam steering apparatus |
| US6188502B1 (en) | 1998-03-26 | 2001-02-13 | Nec Corporation | Laser pointing apparatus and on-fulcrum drive apparatus |
| US6445481B2 (en) | 1998-03-26 | 2002-09-03 | Nec Corporation | On-fulcrum movement drive apparatus |
| CN110178038A (zh) * | 2017-01-10 | 2019-08-27 | 国立大学法人大阪大学 | 扫描仪及扫描型探针显微镜 |
| CN110178038B (zh) * | 2017-01-10 | 2021-09-21 | 国立大学法人大阪大学 | 扫描仪及扫描型探针显微镜 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010130 |