JP6760720B2 - Xyテーブル装置 - Google Patents
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このXYテーブル装置は、上軸であるY軸方向に互いに離間しながら下軸のX軸方向に延在して基台上に配置された一対のX軸方向案内部と、これら一対のX軸方向案内部によりX軸方向に移動可能に支持されたX軸テーブルと、X軸テーブルをX軸方向に駆動するX軸駆動部と、互いにX軸方向に離間しながらY軸方向に延在してX軸テーブル上に配置された一対のY軸方向案内部と、これら一対のY軸方向案内部によりY軸方向に移動可能に支持されたXYステージと、XYステージをY軸方向に駆動するY軸駆動部と、を備えている。ここで、一対のX軸方向案内部は、互いにY軸方向に離間してX軸テーブルを気体によって支持・案内する空気軸受部と、互いにY軸方向に離間して非接触状態でX軸テーブルを前記基台に向けて吸引する吸引力発生部と、を備え、一対のY軸方向案内部も、互いにX軸方向に離間してXYステージを気体によって支持・案内する空気軸受部と、互いにX軸方向に離間して非接触状態でXYステージを前記X軸テーブルに向けて吸引する吸引力発生部と、を備えている。
このように、XYステージのY軸方向への移動によって一対のX軸方向案内部が振動すると、XYステージを高精度に2軸方向に移動することができず、半導体の製造・検査装置などの精密機械として使用することができない。
また、以下に示す第1〜第3実施形態は、本発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、本発明の技術的思想は、構成部品の材質、形状、構造、配置等を下記のものに特定するものでない。本発明の技術的思想は、特許請求の範囲に記載された請求項が規定する技術的範囲内において、種々の変更を加えることができる。
図1から図4は、本発明に係る第1実施形態のXYテーブル装置を示しており、これらの図においてX軸方向は水平面内の方向であり、Y軸方向は水平面内においてX軸方向に直交する方向であり、Z軸方向は水平面に直交する上下方向である。
図1は、第1実施形態のXYテーブル装置を平面視で示した図、図2は、第1実施形態のXYテーブル装置をX軸方向から見た図、図3は、第1実施形態のXYテーブル装置をY軸方向から見た図、図4は、第1実施形態のXYテーブル装置の要部を示す図である。
第1Y軸方向案内部5A及び第2Y軸方向案内部5Bは、図3に示すように、互いにX軸方向に平行に離間しながらY軸方向に延在してX軸テーブル3上に配置されており、これら第1Y軸方向案内部5A及び第2Y軸方向案内部5Bに、XYステージ6がY軸方向に移動可能に支持されている。
第1X軸方向案内部2Aは、図2の右側に示すように、上下方向空気軸受8と、一対の水平方向空気軸受9a,9bと、吸引力発生部10と、を備えている。
第1X軸方向案内部2Aを設けている基台1の上面に、X軸方向に延在する断面角形状のガイドレール11が固定されている。
また、第1X軸方向案内部2Aを設けているX軸テーブル3の下面に固定した案内固定板3aに、ガイドレール11を挟むように、ガイドレール11の各側面に所定隙間を開けて対向する対向面を持った対向部12、13がそれぞれ突設されている。
また、X軸テーブル3の下面に配置した対向部12、13のうちY軸方向の外側の対向部12の下面に、下方に向けて空気を吹き出す空気穴が設けられることで、対向部12の下面と基台1の上面との間に上下方向空気軸受8が形成されている。
また、図2の左側に配置されている第2X軸方向案内部2Bは、第1X軸方向案内部2Aに対してY軸方向に対称な位置に、前述したガイドレール11、対向部12、13、上下方向空気軸受8と、一対の水平方向空気軸受9a,9b及び吸引力発生部10を設けた構造としている。
第1Y軸方向案内部5Aは、図3の左側に示すように、上下方向空気軸受20と、一対の水平方向空気軸受21a,21bと、吸引力発生部22と、を備えている。
第1Y軸方向案内部5Aを設けているX軸テーブル3の上面に、Y軸方向に延在する断面角形状のガイドレール23が固定されている。
また、第1Y軸方向案内部5Aを設けているXYステージ6の下面に、ガイドレール23を挟むように、ガイドレール23の各側面に所定隙間を開けて対向する対向面を持った対向部24、25がそれぞれ突設されている。
また、XYステージ6の下面に配置した対向部24、25のうちX軸方向の外側の対向部24の下面に、下方に向けて空気を吹き出す空気穴が設けられることで、対向部13の下面とX軸テーブル3の上面との間に上下方向空気軸受20が形成されている。
また、図3の右側に配置され、第1Y軸方向案内部5AとともにXYステージ6をX軸方向に移動可能に支持している第2Y軸方向案内部5Bは、XYステージ6の下面に対向部31が突設され、対向部31の下面に、下方に向けて空気を吹き出す空気穴が設けられることで、対向部31の下面とX軸テーブル3の上面との間に上下方向空気軸受32が形成されている。また、上下方向空気軸受32に対してX軸方向の外側に、第1Y軸方向案内部5Aと同一構造の吸引力発生部22が配置されている。
L1 > L3 ……… (1)
L2 > L3 ……… (2)
の関係に設定されている。
第1実施形態のXYテーブル装置は、第1及び第2X軸方向案内部2A,2Bの上下方向空気軸受8及び吸引力発生部10によって、X軸テーブル3が基台1に対して上下方向に浮上支持され、第1及び第2X軸方向案内部2A,2Bの水平方向空気軸受9a,9bによって水平方向の支持がなされる。そして、X軸駆動部4の駆動によってX軸テーブル3及びXYステージ6がX軸方向に直線移動し、Y軸駆動部7の駆動によってXYステージ6がY軸方向に直線移動する。
ここで、第1及び第2X軸方向案内部2A,2Bの一対の上下方向空気軸受8がY軸方向に離間している距離L1が、XYステージ6がY軸方向に移動するストロークL3以上の距離であれば(L1≧>L3)、Y軸方向に移動する際のXYステージ6には重心変動が発生しにくい。また、第1及び第2X軸方向案内部2A,2BのY軸方向の外側の一対の水平方向空気軸受9aがY軸方向に離間している距離L2も、XYステージ6がY軸方向に移動するストロークL3以上の距離であれば(L2≧L3)、Y軸方向に移動する際のXYステージ6には重心変動が発生しにくい。
また、吸引力発生部22の吸引レール27を強磁性材から構成することで、小さな面積で吸引力を稼ぎ、且つ軽量化を図ることができる。また、吸引レール27が、上下方向空気軸受8の外方で平行な方向に延在していることから、吸引レール27は上下方向空気軸受8に対する外部からのごみ安堵の付着を防止する役割も持つ。
さらに、吸引力発生部22を構成している磁石保持部29は、XYステージ6の下面に固定ボルト28により着脱自在に固定されていることから、XYステージ6に搭載物が搭載した状態で磁石保持部29の脱着が可能となるとともに、磁石保持部29に埋設されている永久磁石30と吸引レール27との磁気吸引力の微調整を容易に行なうことができる。
次に、図5は、本発明に係る第2実施形態のXYテーブル装置をX軸方向から見た図である。なお、図1から図4で示した第1実施形態のXYテーブル装置と同一構成部分には同一符号を付して説明は省略する。
第2実施形態のXYテーブル装置は、第1実施形態のXYテーブル装置と比較して第1X軸方向案内部2Aが異なる。
すなわち、第2実施形態の第1X軸方向案内部2Aは、X軸テーブル3の下面に設けた案内固定板3aに対向部12のみが突設され、この対向部12にガイドレール11の一方の側面が対向している。そして、対向部12のガイドレール11の側面に対向する面に、ガイドレール11の側面に向けて水平に空気を吹き出す空気穴が設けられ、X軸テーブル3の水平方向を支持する水平方向空気軸受9aが形成されている。
この第2実施形態のXYステージ装置は、第1実施形態のXYステージ装置と同様に、第1及び第2X軸方向案内部2A,2Bの一対の上下方向空気軸受8がY軸方向に離間している距離L1が、XYステージ6がY軸方向に移動するストロークL3以上の距離であり(L1≧>L3)、第1及び第2X軸方向案内部2A,2BのY軸方向の一対の水平方向空気軸受9aがY軸方向に離間している距離L2も、XYステージ6がY軸方向に移動するストロークL3以上の距離とされている(L2≧L3)。これにより、軸方向に移動するXYステージ6に重心変動が発生せず、第1及び第2X軸方向案内部2A,2Bのヨーイング剛性を高めて、半導体の製造・検査装置などの精密機械として好適なXYテーブル装置を提供することができる。
さらに、図6は、本発明に係る第3実施形態のXYテーブル装置をX軸方向から見た図である。なお、この第3実施形態も、図1から図4で示した第1実施形態のXYテーブル装置と同一構成部分には同一符号を付して説明は省略する。
第3実施形態のXYテーブル装置は、第1実施形態のXYテーブル装置と比較して第1X軸方向案内部2A及び第2X軸方向案内部2Bが異なる。
すなわち、第3実施形態の第1X軸方向案内部2A及び第2X軸方向案内部2Bは、X軸テーブル3の下面に設けた案内固定板3bに対向部12のみが突設され、この対向部12にガイドレール11の一方の側面が対向している。そして、対向部12のガイドレール11の側面に対向する面に、ガイドレール11の側面に向けて水平に空気を吹き出す空気穴が設けられ、X軸テーブル3の水平方向を支持する水平方向空気軸受9aが形成されている。
この第3実施形態のXYステージ装置も、第1実施形態のXYステージ装置と同様に、第1及び第2X軸方向案内部2A,2Bの一対の上下方向空気軸受8がY軸方向に離間している距離L1が、XYステージ6がY軸方向に移動するストロークL3以上の距離であり(L1≧>L3)、第1及び第2X軸方向案内部2A,2BのY軸方向の一対の水平方向空気軸受9aがY軸方向に離間している距離L2も、XYステージ6がY軸方向に移動するストロークL3以上の距離とされている(L2≧L3)。これにより、軸方向に移動するXYステージ6に重心変動が発生せず、第1及び第2X軸方向案内部2A,2Bのヨーイング剛性を高めて、半導体の製造・検査装置などの精密機械として好適なXYテーブル装置を提供することができる。
2A 第1X軸方向案内部
2B 第2X軸方向案内部
3 X軸テーブル
3a,3b 案内固定板
4 X軸駆動部
5A 第1Y軸方向案内部
5B 第2Y軸方向案内部
6 XYステージ
7 Y軸駆動部
8 上下方向空気軸受
9a,9b 一対の水平方向空気軸受
10 吸引力発生部
11 ガイドレール
3a 案内固定板
12,13 対向部
14 固定ボルト
15 吸引レール
17 磁石保持部
18 永久磁石
20 上下方向空気軸受
21a,21b 水平方向空気軸受
22 吸引力発生部
23 ガイドレール
24、25 対向部
26 固定ボルト
27 吸引レール
28 固定ボルト
29 磁石保持部
30 永久磁石
31 対向部
32 上下方向空気軸受
Claims (5)
- 基台と、
前記基台上に、互いにY軸方向に平行に離間しながらX軸方向に延在して配置された一対のX軸方向案内部と、
前記一対のX軸方向案内部によりX軸方向に移動可能に支持されたX軸テーブルと、
前記X軸テーブルをX軸方向に駆動するX軸駆動部と、
前記X軸テーブル上に、互いにX軸方向に平行に離間しながらY軸方向に延在して配置された一対のY軸方向案内部と、
前記一対のY軸方向案内部によりY軸方向に移動可能に支持されたXYステージと、
前記XYステージをY軸方向に駆動するY軸駆動部と、を備え、
前記一対のX軸方向案内部は、前記基台に対して前記X軸テーブルを気体によって上下方向に浮上支持する互いにY軸方向に平行に離間して設けられている一対の上下方向空気軸受と、非接触状態で前記X軸テーブルを前記基台に向けて吸引する吸引力発生部と、前記X軸テーブルのX軸方向に直交する水平方向を気体によって支持・案内する一対の水平方向空気軸受と、を備えており、
前記一対の上下方向空気軸受がY軸方向に離間している距離が、前記XYステージがY軸方向に移動するストローク以上に設定されており、
Y軸方向の一方側に配置されている前記一対の水平方向空気軸受のY軸方向の外側と、Y軸方向の他方側に配置されている前記一対の水平方向空気軸受のY軸方向の外側とがY軸方向に離間している距離が、前記XYステージがY軸方向に移動するストローク以上に設定されているとともに、
前記基台から上方に突設して互いにY軸方向に離間してX軸方向に延在して配置された一対のガイドレールと、これらガイドレールのY軸方向外側のレール側面に所定間隔をあけて対向する前記X軸テーブルに形成した一対の対向部とを備え、
前記一対の水平方向空気軸受は、Y軸方向外側の前記レール側面と前記一対の対向部との間に設けられていることを特徴とするXYテーブル装置。 - 前記一対のガイドレールの互いに向かい合う前記レール側面の一方に、所定間隔をあけて対向する位置に、さらにもう一つの対向部を前記X軸テーブルに形成し、この対向部と前記レール側面の一方との間に、さらにもう一つの水平方向空気軸受を設けたことを特徴とする請求項1記載のXYテーブル装置。
- 前記一対の上下方向空気軸受は、前記水平方向空気軸受に対してY軸方向の外側に配置されていることを特徴とする請求項1又は2記載のXYテーブル装置。
- 前記一対の上下方向空気軸受は、前記基台に向けて空気を吹き出す空気穴を前記対向部の下面に設けて形成したことを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載のXYテーブル装置。
- 前記吸引力発生部は、前記基台上に配置され、前記一対のX軸方向案内部と平行に延びる強磁性体からなる吸引レールと、前記X軸テーブルの下面に着脱自在に固定され、前記吸引レールの上面と所定間隙を開けて対向した永久磁石と、を備えていることを特徴とする請求項1から請求項4の何れか1項に記載のXYテーブル装置。
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