JP2006020478A - ステージ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ステージ装置100は、基準面11a、11bと案内面12a、12bを有する定盤1と、基準面11a、11bに対向する面と案内面12a、12bに対向する面を有するスライドテーブル21を有するX軸ステージ2と、スライドテーブル21を基準面11a、11b及び案内面12a、12bに沿ってX軸方向に移動させるリニアモータ3と、スライドテーブル21の基準面11a、11b及び案内面12a、12bに対向する側に設けた複数のエアースライド部材4と、Y軸方向に移動するスライドテーブル51を有するY軸ステージ5を備え、エアースライド部材4はエアーを吹き出すエアーパッド41a〜41hと、これらのエアーパッドを基準面11a、11b又は案内面12a、12bに向って移動させるエアーシリンダ43と、連通孔45を有する。
【選択図】 図1
Description
2:X軸ステージ、21:スライドテーブル、21a、21b:案内部、21c:中間部、22a、22b:サイド部材、23a、23b:ブラケット、
3a、3b:リニアモータ、31a、31b:磁石ユニット、311a、311b:ヨーク部、312a、312b:永久磁石体、32a、32b:コイルユニット、
4:エアースライド部材、41a、41b・・・41h:エアーパッド、42:球体、43:エアーシリンダ、44:シリンダ収容穴、45:通気穴、46:Oリング
5:Y軸ステージ、51:スライドテーブル
Claims (4)
- 基準面及び案内面を有するベース部材と、前記基準面に対向する面と前記案内面に対向する面を有する第1のスライドテーブルを有する第1のステージと、前記第1のスライドテーブルを前記基準面及び前記案内面に沿って移動させる駆動手段と、前記第1のスライドテーブルの前記基準面及び前記案内面に対向する側に設けられた複数のエアースライド部材と、前記第1のスライドテーブルに対してその移動方向と交差する方向に移動する第2のスライドテーブルを有する第2のステージとを備え、前記エアースライド部材は、前記基準面又は前記案内面にエアーを吹き出すエアーパッドと、前記エアーパッドを前記基準面又は前記案内面に向って移動させるエアーシリンダと、前記エアーパッドと前記エアーシリンダにエアーを供給するエアー通路と、を有することを特徴とするステージ装置。
- 前記エアーシリンダと前記エアーパッドは、球体を介して接続されていることを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。
- 前記ベース部材及び前記第1のスライドテーブルは、グラナイトで形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載のステージ装置。
- 前記駆動手段は、前記ベース部材に固着された、前記第1のスライドテーブルの移動方向に沿って正弦波状の磁界分布が現出する磁気空隙を有する磁石ユニットと、前記第1のスライドテーブルに支持され、前記磁気空隙内に配置される多相コイルを含むコイルユニットを有するリニアモータからなることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のステージ装置。
Priority Applications (1)
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JP2004198390A JP2006020478A (ja) | 2004-07-05 | 2004-07-05 | ステージ装置 |
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Publications (1)
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JP2006020478A true JP2006020478A (ja) | 2006-01-19 |
Family
ID=35794199
Family Applications (1)
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JP2004198390A Pending JP2006020478A (ja) | 2004-07-05 | 2004-07-05 | ステージ装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2006020478A (ja) |
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2004
- 2004-07-05 JP JP2004198390A patent/JP2006020478A/ja active Pending
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