JP2007266585A - ステージ装置 - Google Patents
ステージ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007266585A JP2007266585A JP2007040653A JP2007040653A JP2007266585A JP 2007266585 A JP2007266585 A JP 2007266585A JP 2007040653 A JP2007040653 A JP 2007040653A JP 2007040653 A JP2007040653 A JP 2007040653A JP 2007266585 A JP2007266585 A JP 2007266585A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- pivot shaft
- linear motor
- bearing
- surface plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000007665 sagging Methods 0.000 abstract 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 3
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 2
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
【解決手段】ステージ装置10Aは、定盤20の上を移動するステージ30と、ステージ30上に載置されたθテーブル40とを有する。ステージ30は、Y方向に移動するYステージ36と、Y方向と直交するX方向に移動するXステージ38とを有する。Xステージ38の上面からはピボット軸80が垂直に起立している。このピボット軸80は、図示しないネジによってXステージ38にネジ止めされる。このピボット軸80の上端には、軸受82が取り付けられており、この軸受82によって、θテーブル40とピボット軸80とが軸支され、θテーブル40がθz方向に回動可能にされている。また、θテーブル40の下面から垂下方向に延在する4本の支柱60と、各支柱60の下端に設けられるエアパッド70とを備える。
【選択図】図1
Description
図1は、実施の形態1のステージ装置を示す斜視図である。図2は、実施の形態1のステージ装置を示す正面図である。図3は、実施の形態1のステージ装置を示す平面図である。
図5は、実施の形態2のステージ装置を示す正面図である。図6は、実施の形態2のステージ装置の側断面を示す図である。なお、図5及び図6において、実施の形態1と同一の要素には同一符号を付してその説明を省略する。
図7は、本実施の形態の変形例のステージ装置を示す正面図である。この変形例のステージ装置は、図5に示すステージ装置とは支柱60とエアパッド70の位置関係が上下逆である。具体的には、4本の支柱60は、Xステージ38に固着され、このXステージ38の上面から垂直に起立している。また、エアパッド70は、各支柱60の上端にそれぞれ配設され、θテーブル40を静圧浮上させる。このように、支柱60をXステージ38側に取り付け、その上端に配設されるエアパッド70でθテーブル40を静圧浮上させる構成でも、図5及び図6に示すステージ装置と同様に、θテーブル40が回動する際に、ピボット軸80を支点として揺動することを防止でき、その上面42の水平精度を維持することができる。
図8は実施の形態3のステージ装置を示す正面図である。図9は実施の形態3のステージ装置の側断面を示す図である。なお、図8及び図9において、上記実施の形態1,2と同一の要素には同一符号を付してその説明を省略する。
20 定盤
28 Y方向ガイドレール
30 ステージ
32 スライダ
34、70 エアパッド
36 Yステージ
38 Xステージ
40 θテーブル
50 Yリニアモータ
60 支柱
80 ピボット軸
82 軸受
84 θリニアモータ
86 マグネットヨーク
88 コイルユニット
122 Xガイドレール
124 Xリニアモータ
Claims (8)
- 定盤上を移動するステージと、当該ステージと共に移動可能かつ当該ステージ上で回動可能なθテーブルとを有するステージ装置において、
前記ステージと前記θテーブルとの間で垂直に起立するピボット軸と、
前記ステージに対して前記θテーブルが回動可能となるように、前記ピボット軸と前記θテーブルとの間、又は、前記ステージと前記ピボット軸との間を軸支する軸受と、
前記θテーブルを下面側から回転駆動するθリニアモータと
を含むステージ装置。 - 定盤上を移動するステージと、当該ステージと共に移動可能かつ当該ステージ上で回動可能なθテーブルとを有するステージ装置において、
前記ステージの上面から垂直に起立するピボット軸と、
前記ピボット軸と前記θテーブルとの間を軸支する軸受と、
前記θテーブルを下面側から前記ステージに対して回転駆動するθリニアモータと
を含むステージ装置。 - 前記定盤又は前記ステージとの間で前記θテーブルを支持する支持手段をさらに備える請求項1又は2に記載のステージ装置。
- 前記支持手段は、
前記θテーブルの下面から垂直に延在する複数の支柱と、
前記複数の支柱の各々の下端に配設され、前記定盤上又は前記ステージ上を静圧浮上する複数のエアパッドと
を含む請求項3に記載のステージ装置。 - 前記支持手段は、
前記定盤又は前記ステージから垂直上方に延在する複数の支柱と、
該支柱の上端に配設され、前記θステージを静圧浮上させる複数のエアパッドと
を含む請求項3に記載のステージ装置。 - 前記軸受は、クロスローラベアリングで構成される、請求項1乃至5のいずれかの項に記載のステージ装置。
- 前記θリニアモータの固定子は前記ステージ上に配設され、
前記θリニアモータの可動子は前記θテーブルの下面に配設される、請求項1乃至6のいずれかの項に記載のステージ装置。 - 前記ステージは、前記定盤上で当該ステージの上面を相直交する2軸方向に平行移動可能なXYステージであり、
前記XYステージは、
Y方向に移動するYステージと、
前記Yステージの上に搭載され、X方向に移動するXステージと
を含み、前記θ方向リニアモータの固定子は、前記Xステージの上に搭載される、請求項7に記載のステージ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007040653A JP4782710B2 (ja) | 2006-03-02 | 2007-02-21 | ステージ装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006056722 | 2006-03-02 | ||
JP2006056722 | 2006-03-02 | ||
JP2007040653A JP4782710B2 (ja) | 2006-03-02 | 2007-02-21 | ステージ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007266585A true JP2007266585A (ja) | 2007-10-11 |
JP4782710B2 JP4782710B2 (ja) | 2011-09-28 |
Family
ID=38639221
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007040653A Expired - Fee Related JP4782710B2 (ja) | 2006-03-02 | 2007-02-21 | ステージ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4782710B2 (ja) |
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009241192A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Xyステージ装置 |
KR100933793B1 (ko) | 2009-10-12 | 2009-12-24 | 서정석 | 세팅조정장치 |
JP2010115741A (ja) * | 2008-11-12 | 2010-05-27 | Toshiba Mach Co Ltd | 高硬度材料の切削加工方法および切削加工機械 |
JP2010160327A (ja) * | 2009-01-08 | 2010-07-22 | Hitachi High-Technologies Corp | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板位置決め方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
JP2010219390A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Xyステージ装置、半導体検査装置、及び半導体露光装置 |
CN101417393B (zh) * | 2008-11-21 | 2011-05-04 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 气脚支撑工作台的设计方法 |
KR101045426B1 (ko) | 2009-08-18 | 2011-06-30 | 한국항공우주산업 주식회사 | 7축 제어 장치 |
WO2012073463A1 (ja) * | 2010-11-29 | 2012-06-07 | Thk株式会社 | アライメントステージ |
JP2013183153A (ja) * | 2012-03-05 | 2013-09-12 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ステージ装置 |
JP2014099607A (ja) * | 2012-11-13 | 2014-05-29 | Ap Systems Inc | 基板搬送装置及び基板処理装置 |
JP2014113646A (ja) * | 2012-12-07 | 2014-06-26 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 回転テーブルの支持機構 |
TWI455789B (ja) * | 2011-11-22 | 2014-10-11 | ||
JP2015020220A (ja) * | 2013-07-16 | 2015-02-02 | 日立金属株式会社 | ステージ装置 |
CN104440343A (zh) * | 2014-11-26 | 2015-03-25 | 广东工业大学 | 直线电机共定子双驱动宏微一体化高速精密运动一维平台 |
CN104578677A (zh) * | 2015-02-10 | 2015-04-29 | 浙江理工大学 | 新型支撑装置 |
CN105957823A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-09-21 | 昆山国显光电有限公司 | 基板偏离校正装置、基板偏离校正方法及具有基板偏离校正装置的载台 |
CN106002312A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-10-12 | 广东工业大学 | 一种单驱动刚柔耦合精密运动平台及其实现方法及应用 |
JP2016187055A (ja) * | 2016-07-19 | 2016-10-27 | 株式会社新川 | 実装装置 |
CN104451586B (zh) * | 2013-09-18 | 2017-02-08 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 载台升降装置、反应腔室及等离子体加工设备 |
JPWO2021044505A1 (ja) * | 2019-09-03 | 2021-03-11 | ||
WO2021100857A1 (ja) * | 2019-11-22 | 2021-05-27 | 株式会社ナガセインテグレックス | 工作機械 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0839375A (ja) * | 1994-07-27 | 1996-02-13 | Mitsutoyo Corp | テーブル装置 |
JP2000155186A (ja) * | 1998-11-24 | 2000-06-06 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | X−yステージ装置 |
JP2001356187A (ja) * | 2000-06-14 | 2001-12-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | XYθステージ装置及びその制御方法 |
JP2002300766A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Hitachi Metals Ltd | 揺動モータおよびステージ装置 |
JP2002328191A (ja) * | 2001-05-02 | 2002-11-15 | Nippon Thompson Co Ltd | リニアモータを内蔵したステージ装置 |
JP2002341076A (ja) * | 2001-05-16 | 2002-11-27 | Nippon Thompson Co Ltd | 角度調整テーブル装置 |
JP2003028974A (ja) * | 2001-07-13 | 2003-01-29 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ステージ装置 |
JP2004072960A (ja) * | 2002-08-09 | 2004-03-04 | Nippon Thompson Co Ltd | リニアモータを内蔵したアライメントステージ装置 |
JP2004317485A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-11-11 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | X−yステージ装置 |
JP2006297545A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Nsk Ltd | 位置決めテーブル装置 |
-
2007
- 2007-02-21 JP JP2007040653A patent/JP4782710B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0839375A (ja) * | 1994-07-27 | 1996-02-13 | Mitsutoyo Corp | テーブル装置 |
JP2000155186A (ja) * | 1998-11-24 | 2000-06-06 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | X−yステージ装置 |
JP2001356187A (ja) * | 2000-06-14 | 2001-12-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | XYθステージ装置及びその制御方法 |
JP2002300766A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Hitachi Metals Ltd | 揺動モータおよびステージ装置 |
JP2002328191A (ja) * | 2001-05-02 | 2002-11-15 | Nippon Thompson Co Ltd | リニアモータを内蔵したステージ装置 |
JP2002341076A (ja) * | 2001-05-16 | 2002-11-27 | Nippon Thompson Co Ltd | 角度調整テーブル装置 |
JP2003028974A (ja) * | 2001-07-13 | 2003-01-29 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ステージ装置 |
JP2004072960A (ja) * | 2002-08-09 | 2004-03-04 | Nippon Thompson Co Ltd | リニアモータを内蔵したアライメントステージ装置 |
JP2004317485A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-11-11 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | X−yステージ装置 |
JP2006297545A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Nsk Ltd | 位置決めテーブル装置 |
Cited By (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009241192A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Xyステージ装置 |
JP2010115741A (ja) * | 2008-11-12 | 2010-05-27 | Toshiba Mach Co Ltd | 高硬度材料の切削加工方法および切削加工機械 |
US8662959B2 (en) | 2008-11-12 | 2014-03-04 | Toshiba Kikai Kabushiki Kaisha | Cutting method and cutting device for hard material |
CN101417393B (zh) * | 2008-11-21 | 2011-05-04 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 气脚支撑工作台的设计方法 |
JP2010160327A (ja) * | 2009-01-08 | 2010-07-22 | Hitachi High-Technologies Corp | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板位置決め方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
JP2010219390A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Xyステージ装置、半導体検査装置、及び半導体露光装置 |
US8517363B2 (en) | 2009-03-18 | 2013-08-27 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | XY stage device, semiconductor inspection apparatus, and semiconductor exposure apparatus |
TWI412099B (zh) * | 2009-03-18 | 2013-10-11 | Sumitomo Heavy Industries | XY stage apparatus, the semiconductor inspection apparatus and semiconductor device exposure |
KR101045426B1 (ko) | 2009-08-18 | 2011-06-30 | 한국항공우주산업 주식회사 | 7축 제어 장치 |
KR100933793B1 (ko) | 2009-10-12 | 2009-12-24 | 서정석 | 세팅조정장치 |
WO2012073463A1 (ja) * | 2010-11-29 | 2012-06-07 | Thk株式会社 | アライメントステージ |
CN103228404A (zh) * | 2010-11-29 | 2013-07-31 | Thk株式会社 | 对准载物台 |
JP5887278B2 (ja) * | 2010-11-29 | 2016-03-16 | Thk株式会社 | アライメントステージ |
US9548638B2 (en) | 2010-11-29 | 2017-01-17 | Thk Co., Ltd. | Alignment stage |
TWI455789B (ja) * | 2011-11-22 | 2014-10-11 | ||
JP2013183153A (ja) * | 2012-03-05 | 2013-09-12 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ステージ装置 |
JP2014099607A (ja) * | 2012-11-13 | 2014-05-29 | Ap Systems Inc | 基板搬送装置及び基板処理装置 |
JP2014113646A (ja) * | 2012-12-07 | 2014-06-26 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 回転テーブルの支持機構 |
JP2015020220A (ja) * | 2013-07-16 | 2015-02-02 | 日立金属株式会社 | ステージ装置 |
CN104451586B (zh) * | 2013-09-18 | 2017-02-08 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 载台升降装置、反应腔室及等离子体加工设备 |
CN104440343A (zh) * | 2014-11-26 | 2015-03-25 | 广东工业大学 | 直线电机共定子双驱动宏微一体化高速精密运动一维平台 |
CN104578677A (zh) * | 2015-02-10 | 2015-04-29 | 浙江理工大学 | 新型支撑装置 |
CN104578677B (zh) * | 2015-02-10 | 2017-02-01 | 浙江理工大学 | 支撑装置 |
CN105957823A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-09-21 | 昆山国显光电有限公司 | 基板偏离校正装置、基板偏离校正方法及具有基板偏离校正装置的载台 |
CN106002312A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-10-12 | 广东工业大学 | 一种单驱动刚柔耦合精密运动平台及其实现方法及应用 |
JP2016187055A (ja) * | 2016-07-19 | 2016-10-27 | 株式会社新川 | 実装装置 |
JPWO2021044505A1 (ja) * | 2019-09-03 | 2021-03-11 | ||
WO2021044505A1 (ja) * | 2019-09-03 | 2021-03-11 | 株式会社ニコン | 移動体装置及び加工システム |
JP7435613B2 (ja) | 2019-09-03 | 2024-02-21 | 株式会社ニコン | 移動体装置及び加工システム |
WO2021100857A1 (ja) * | 2019-11-22 | 2021-05-27 | 株式会社ナガセインテグレックス | 工作機械 |
CN114728388A (zh) * | 2019-11-22 | 2022-07-08 | 长濑因特格莱斯株式会社 | 机床 |
CN114728388B (zh) * | 2019-11-22 | 2023-09-05 | 长濑因特格莱斯株式会社 | 机床 |
JP7408128B2 (ja) | 2019-11-22 | 2024-01-05 | 株式会社ナガセインテグレックス | 工作機械 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4782710B2 (ja) | 2011-09-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4782710B2 (ja) | ステージ装置 | |
KR101087529B1 (ko) | 스테이지장치 | |
KR101176781B1 (ko) | Xy 스테이지장치, 반도체 검사장치, 및 반도체 노광장치 | |
CN100580545C (zh) | 用于样本检测和处理的高分辨率动态定位机构 | |
KR100909585B1 (ko) | 스테이지장치 | |
JPH0737771A (ja) | 支持装置 | |
JP4899469B2 (ja) | 平面ステージ装置 | |
JP4877925B2 (ja) | ステージ装置 | |
JP2010153644A (ja) | 昇降テーブル | |
JP2012051054A (ja) | 位置決めテーブル | |
JP2007232648A (ja) | ステージ装置 | |
CN102333615A (zh) | 用于短冲程载物台的挠曲件导引轴承 | |
JP2011112625A (ja) | 2軸直交案内装置、3軸直交案内装置、3軸直交・回転案内装置及びテーブル装置 | |
JP4402078B2 (ja) | ステージ装置 | |
JP2006084355A (ja) | ステージガイド機構 | |
JP3732763B2 (ja) | ステージ装置 | |
CN210486802U (zh) | 一种用于大尺寸晶圆厚度检测平台 | |
JP4756446B2 (ja) | ステージ装置 | |
JP2006083964A (ja) | ステージスライダ機構 | |
JP4220505B2 (ja) | ステージ装置(stageapparatus) | |
JP4231436B2 (ja) | 移動ステージ、xyステージ、ヘッドキャリッジおよび、磁気ヘッドあるいは磁気ディスクのテスタ | |
JP5406507B2 (ja) | 平面移動ステージ装置 | |
JP2023114174A (ja) | テーブル装置 | |
JP2004015904A (ja) | リニアステージ、リニアポジショナおよびリニアスピンスタンド | |
JP4897008B2 (ja) | ステージ装置、半導体検査装置、及び半導体露光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090416 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101117 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101124 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110705 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110707 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140715 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4782710 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |