JP2011112625A - 2軸直交案内装置、3軸直交案内装置、3軸直交・回転案内装置及びテーブル装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】テーブルの水平移動、昇降、回転の各運動を単一の支持ユニットとして実現するのに好適な2軸直交案内装置、3軸直交案内装置、3軸直交・回転案内装置及びこれらを備えるテーブル装置を提供する。
【解決手段】一対の第1移動体10a、10bと、互いに直交する2軸を想定した場合に、該2軸のうちの第1の軸方向に一対の第1移動体10a、10bをそれぞれ独立して移動自在に案内する第1案内機構と、第2移動体20と、該第2移動体20を支持し、一対の第1移動体10a、10bにおける第1の軸方向の間隔を接近または離間させる方向に変化させる相対運動を第2移動体20における2軸のうちの第2の軸方向の運動に変換し、第2移動体20を第2の軸方向に沿って移動自在に案内する第2案内機構と、を備えることを特徴とする。
【選択図】図4
【解決手段】一対の第1移動体10a、10bと、互いに直交する2軸を想定した場合に、該2軸のうちの第1の軸方向に一対の第1移動体10a、10bをそれぞれ独立して移動自在に案内する第1案内機構と、第2移動体20と、該第2移動体20を支持し、一対の第1移動体10a、10bにおける第1の軸方向の間隔を接近または離間させる方向に変化させる相対運動を第2移動体20における2軸のうちの第2の軸方向の運動に変換し、第2移動体20を第2の軸方向に沿って移動自在に案内する第2案内機構と、を備えることを特徴とする。
【選択図】図4
Description
本発明は、2軸直交案内装置、3軸直交案内装置、3軸直交・回転案内装置及びこれらを用いたテーブル装置に関する。
特許文献1には、テーブルを三次元で位置決めできるように構成されたテーブル装置が開示されている。このテーブル装置は、顕微鏡による観察対象物や機械加工における加工対象物などを載せるためのテーブルと、テーブルの位置決め機構を構成する複数の運動装置を備えている。テーブルは、基台上に設置された直動駆動装置や昇降装置などの運動装置によって支持されている。
このテーブル装置は、テーブルの中央部真下に配置された昇降装置と該昇降装置を囲むように配置された複数の直動駆動装置が、それぞれ単独あるいは互いに協動して動作することにより、テーブルの水平移動(X、Y方向の移動)や昇降(Z方向の移動)、回転(θ方向の移動)を可能にしている。
しかしながら、上記テーブル装置は適用可能な用途が限定されてしまう問題がある。例えば、光学式検査装置などにおけるレンズの位置決め装置として使用する場合、テーブルに水平に固定されたレンズに対する光路を形成するためテーブル装置全体を貫通する開口部を設ける必要がある。しかし、上記テーブル装置では、昇降装置がテーブルの中央部真下に配置されているため、そのような開口部を設けることが困難である。
また、上記テーブル装置では、直動駆動装置と昇降装置とがテーブルに対して別々に連結されている。そのため、直動駆動装置と昇降装置は互いの動きを妨げないようにテーブルと連結される必要がある。上記テーブル装置では、直動駆動装置によるテーブルの水平移動及び回転が昇降装置によって妨げられないように、昇降装置とテーブルとの間に支持板を設け、該支持板とテーブルとの間に配設された小球群によりテーブルが昇降装置に対して水平移動及び回転可能に支持されるように構成されている。したがって、中間の連結部材が必要となる分、テーブル装置全体における位置決め機構の高さが高くなり、テーブル装置全体の高さの増大につながる。また、部材点数が増えることで位置決め精度に対する誤差要因も増大する。
上述の問題点を解決するために、例えば、1軸直線運動装置を3つ組み合わせて単一の3軸案内ユニットを形成することが考えられる。しかし、単純に1軸直線運動装置を積み重ねても、ユニットの高さが高くなりすぎてしまい、あまり実用的な構成とはいえない。
本発明は上記の従来技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、テーブルの水平移動、昇降、回転の各運動を単一の支持ユニットとして実現するのに好適な2軸直交案内装置、3軸直交案内装置、3軸直交・回転案内装置及びこれらを備えるテーブル装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明における2軸直交案内装置は、
一対の第1移動体と、
互いに直交する2軸を想定した場合に、該2軸のうちの第1の軸方向に前記一対の第1移動体をそれぞれ独立して移動自在に案内する第1案内機構と、
第2移動体と、
該第2移動体を支持し、前記一対の第1移動体における前記第1の軸方向の間隔を接近または離間させる方向に変化させる相対運動を前記第2移動体における前記2軸のうちの第2の軸方向の運動に変換し、前記第2移動体を前記第2の軸方向に沿って移動自在に案内する第2案内機構と、
を備えることを特徴とする。
一対の第1移動体と、
互いに直交する2軸を想定した場合に、該2軸のうちの第1の軸方向に前記一対の第1移動体をそれぞれ独立して移動自在に案内する第1案内機構と、
第2移動体と、
該第2移動体を支持し、前記一対の第1移動体における前記第1の軸方向の間隔を接近または離間させる方向に変化させる相対運動を前記第2移動体における前記2軸のうちの第2の軸方向の運動に変換し、前記第2移動体を前記第2の軸方向に沿って移動自在に案内する第2案内機構と、
を備えることを特徴とする。
本発明によれば、互いに直交する2つの軸方向の運動を、一対の第1移動体の運動のみによって実現することができる。したがって、第2移動体の運動のための専用の動力源は不要であり、2軸直交案内装置の構成をシンプルにすることができる。
上記目的を達成するために、本発明における3軸直交案内装置は、
上記の2軸直交案内装置と、
第3移動体と、
前記2軸を含む仮想平面と直交する第3の軸を想定した場合に、前記第3移動体を前記2軸直交案内装置に対して前記第3の軸方向に移動自在に組付ける第3案内機構と、
を備えたことを特徴とする。
上記の2軸直交案内装置と、
第3移動体と、
前記2軸を含む仮想平面と直交する第3の軸を想定した場合に、前記第3移動体を前記2軸直交案内装置に対して前記第3の軸方向に移動自在に組付ける第3案内機構と、
を備えたことを特徴とする。
これにより、第3移動体を互いに直交する3軸で移動させることができる。
上記目的を達成するために、本発明における3軸直交・回転案内装置は、
上記の3軸直交案内装置と、
回転体と、
該回転体と前記3軸直交案内装置とを前記第2の軸を中心にして相対回転自在に組付ける回転案内機構と、
を備えたことを特徴とする。
上記の3軸直交案内装置と、
回転体と、
該回転体と前記3軸直交案内装置とを前記第2の軸を中心にして相対回転自在に組付ける回転案内機構と、
を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、回転体を互いに直交する3軸で移動させることができるとともに、回転体を第2の軸を中心に回転させることができる。すなわち、回転体による3軸直交移動と回転の案内が可能となる。
上記目的を達成するために、本発明における3軸直交・回転案内装置は、
上記の3軸直交案内装置と、
前記3軸直交案内装置における2軸直交案内装置と第3案内機構とを前記第2の軸を中心にして相対回転自在に組付ける回転案内機構と、
を備えたことを特徴とする。
上記の3軸直交案内装置と、
前記3軸直交案内装置における2軸直交案内装置と第3案内機構とを前記第2の軸を中心にして相対回転自在に組付ける回転案内機構と、
を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、2軸直交案内装置に対して第3移動体を第2の軸を中心に回転させることができる。すなわち、第3移動体による3軸直交移動と回転の案内が可能となる。
上記目的を達成するために、本発明におけるテーブル装置は、
基台と、
テーブルと、
前記基台と前記テーブルとの間に組付けられる上記の3軸直交・回転案内装置と、
を備えることを特徴とする。
基台と、
テーブルと、
前記基台と前記テーブルとの間に組付けられる上記の3軸直交・回転案内装置と、
を備えることを特徴とする。
上記の3軸直交・回転案内装置によれば、テーブルの水平移動、昇降、回転、傾きの各運動を、単一の案内ユニットとして案内することができる。
本発明によれば、テーブルの水平移動、昇降、回転の各運動を単一の支持ユニットとして実現するのに好適な2軸直交案内装置、3軸直交案内装置、3軸直交・回転案内装置及びこれらを備えるテーブル装置を提供することができる。
以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
(実施例)
図1〜図26を参照して、本発明の実施例に係る2軸直交案内装置、3軸直交案内装置、3軸直交・回転案内装置及びテーブル装置について説明する。図1は、本発明の実施例に係るテーブル装置の平面図である。図2は、図1のA矢視図である。図3は、本発明の実施例に係る3軸直交・回転案内装置の平面図である。図4は、図3の3軸直交・回転案内装置をY軸方向にみた図である。図5は、図3の3軸直交・回転案内装置をX軸方向に
みた図である。図6〜図15は、それぞれ2軸直交案内装置の動作例を示す模式図である。図16は、球面軸受の構成を示す断面図である。図17は、直線案内装置の構成を示す斜視図である。図18は、直線案内装置を案内方向に見た断面図である。図19は、直線案内装置の無限循環路を示す断面図である。図20は、ねじ送り機構の構成を示す斜視図である。図21〜図26は、それぞれテーブル装置の動作例を示す模式的平面図である。
図1〜図26を参照して、本発明の実施例に係る2軸直交案内装置、3軸直交案内装置、3軸直交・回転案内装置及びテーブル装置について説明する。図1は、本発明の実施例に係るテーブル装置の平面図である。図2は、図1のA矢視図である。図3は、本発明の実施例に係る3軸直交・回転案内装置の平面図である。図4は、図3の3軸直交・回転案内装置をY軸方向にみた図である。図5は、図3の3軸直交・回転案内装置をX軸方向に
みた図である。図6〜図15は、それぞれ2軸直交案内装置の動作例を示す模式図である。図16は、球面軸受の構成を示す断面図である。図17は、直線案内装置の構成を示す斜視図である。図18は、直線案内装置を案内方向に見た断面図である。図19は、直線案内装置の無限循環路を示す断面図である。図20は、ねじ送り機構の構成を示す斜視図である。図21〜図26は、それぞれテーブル装置の動作例を示す模式的平面図である。
<テーブル装置>
図1及び図2に示すように、本実施例に係るテーブル装置1は、概略、基台2と、テーブル3と、3つの3軸直交・回転案内装置4と、から構成される。テーブル3は、基台2上に設置された3つの3軸直交・回転案内装置4によって支持されている。3つの3軸直交・回転案内装置4が互いに協動することにより、テーブル3は、基台2に対して種々の方向に移動・回転・傾動自在に構成されている。
図1及び図2に示すように、本実施例に係るテーブル装置1は、概略、基台2と、テーブル3と、3つの3軸直交・回転案内装置4と、から構成される。テーブル3は、基台2上に設置された3つの3軸直交・回転案内装置4によって支持されている。3つの3軸直交・回転案内装置4が互いに協動することにより、テーブル3は、基台2に対して種々の方向に移動・回転・傾動自在に構成されている。
図3〜図5に示すように、3軸直交・回転案内装置4には、2軸直交案内装置としての2軸直交案内部5と、該2軸直交案内部5を含む3軸直交案内装置としての3軸直交案内部6と、が含まれている。テーブル3は、3軸直交・回転案内装置4によって、互いに直交する3軸方向(X−Y−Z軸方向)の移動、回転(θ方向)、傾動(α方向)の各運動が自在に支持される。第1の軸としてのX軸および第3の軸としてのY軸は、それぞれ基台2の装置設置面に水平な軸であり、互いに直交する。第2の軸としてのZ軸は、基台2の装置設置面に垂直な軸であり、X軸およびY軸と直交する。
<2軸直交案内装置>
2軸直交案内装置としての2軸直交案内部5は、一対の第1移動体としてのXテーブル10a、10bと、第1案内機構としての移動ブロック(移動台)11a、11b及び軌道レール(軌道台)12a、12bと、一対の駆動手段としての駆動モータ13a、13b及びモータの回転を直線運動に変換するねじ送り機構と、第2移動体としてのZテーブル20と、第2案内機構(一対の案内部)としての移動ブロック21a、21b及び軌道レール22a、22bと、を備える。
2軸直交案内装置としての2軸直交案内部5は、一対の第1移動体としてのXテーブル10a、10bと、第1案内機構としての移動ブロック(移動台)11a、11b及び軌道レール(軌道台)12a、12bと、一対の駆動手段としての駆動モータ13a、13b及びモータの回転を直線運動に変換するねじ送り機構と、第2移動体としてのZテーブル20と、第2案内機構(一対の案内部)としての移動ブロック21a、21b及び軌道レール22a、22bと、を備える。
軌道レール12a、12bは、基台2に固定されており、互いに平行にX軸方向に延びている。移動ブロック11a、11bは、ボール等の転動体を介して軌道レール12a、12bに組み付けられ、それぞれ軌道レール12a、12b上をX軸方向に移動自在に構成されている。Xテーブル10a、10bは、移動ブロック11a、11b上にそれぞれ固定されている。
Xテーブル10a、10bは、駆動モータ13a、13bのモータ軸に連結されたねじ軸14a、14bに対し、いわゆるねじ送り機構を介して連結されている。ねじ軸14a、14bは、X軸方向に延びており、駆動モータ13a、13bの駆動によって回転する。Xテーブル10a、10bは、ねじ軸14a、14bが回転することによりX軸方向の動力を得て、軌道レール12a、12b上を移動する。各Xテーブル10a、10bの移動は、各駆動手段によりそれぞれ独立して制御される。
図4に示すように、Zテーブル20は、Y軸方向にみたときに下方に凸の楔形状を有している。Xテーブル10a、10bは、Zテーブル20を挟み込んで支持できるようにX軸方向に互いに対向する構成となっている。
図5に示すように、軌道レール12a、12bは、2つのねじ軸14a、14bのY軸方向両側に配置されている。移動ブロック11aは、軌道レール12aに組み付けられる移動ブロック11a1と、軌道レール12bに組み付けられる移動ブロック11a2とからなり、移動ブロック11bは、軌道レール12aに組み付けられる移動ブロック11b
1と、軌道レール12bに組み付けられる移動ブロック11b2とからなる。移動ブロック11a1と移動ブロック11b1は、軌道レール12a上においてX軸方向に互いに対向して配置され、移動ブロック11a2と移動ブロック11b2は、軌道レール12b上においてX軸方向に互いに対向して配置される。
1と、軌道レール12bに組み付けられる移動ブロック11b2とからなる。移動ブロック11a1と移動ブロック11b1は、軌道レール12a上においてX軸方向に互いに対向して配置され、移動ブロック11a2と移動ブロック11b2は、軌道レール12b上においてX軸方向に互いに対向して配置される。
Xテーブル10aは、Y軸方向に延びた構成を有しており、両端がそれぞれ移動ブロック11a1、11a2の上面に固定され、Y軸方向の中央部にねじ軸14a、14bが貫通する2つの貫通孔16を有する。Xテーブル10bも同様に構成されており、両端がそれぞれ移動ブロック11b1、11b2の上面に固定され、Y軸方向の中央部にねじ軸14a、14bが貫通する2つの貫通孔16を有する。詳しくは後述するが、ねじ軸14a、14bにはそれぞれナット部材143が組み付けられている。Xテーブル10aは、ねじ軸14aに組み付けられたナット部材143のフランジ部143aと固定され、Xテーブル10bは、ねじ軸14bに組み付けられたナット部材143のフランジ部143aと固定されている。
図4に示すように、Xテーブル10a、10bの対向領域には、傾斜面15a、15bが設けられている。傾斜面15a、15bは、Y軸に平行でX軸及びZ軸に対して傾斜する傾斜面であり、X軸方向に互いに対向し、X軸方向の隙間がZ軸方向上方に向かうにつれて徐々に拡がるように傾斜している。傾斜面15a、15bには、移動ブロック21a、21bが固定されている。一方、Zテーブル20には、Xテーブル10a、10bの傾斜面15a、15bにそれぞれ平行な傾斜面23a、23bが設けられている。傾斜面23a、23bには、軌道レール22a、22bが固定されている。
図3及び図5に示すように、移動ブロック21a、21bは、それぞれ一対ずつX軸に平行に並べて設けられている(移動ブロック21a1、21a2と移動ブロック21b1、21b2)。これに対応して、軌道レール22a、22bもそれぞれ一対ずつX軸に平行に並べて設けられている(軌道レール22a1、22a2と軌道レール22b1、22b2)。移動ブロック21a、21bと軌道レール22a、22bは、それぞれボール等の転動体を介して互いに組み付けられ、Xテーブル10a、10bとZテーブル20とを作動連結する。
図4に示すように、Zテーブル20は、そのX軸方向の幅が移動ブロック21a、21bのX軸方向の間隔と一致する部位において、移動ブロック21a、21b及び軌道レール22a、22bを介して、Xテーブル10a、10bに支持される。Zテーブル20が支えられる位置は、Xテーブル10a、10bの間隔の変化に応じて移動ブロック21a、21bが軌道レール22a、22b上を移動することにより、上下に変化する。すなわち、Xテーブル10a、10bが互いに接近して間隔が狭められると、Zテーブル20は上昇する。一方、Xテーブル10a、10bが互いに離間して間隔が広がると、Zテーブル20は下降する。
<2軸直交案内装置の案内動作>
図6〜図15を参照して、Xテーブル10a、10bによるX軸方向の案内(Zテーブル20の水平移動)、Z軸方向の案内(Zテーブル20の昇降)及びそれらの組合せについて説明する。
図6〜図15を参照して、Xテーブル10a、10bによるX軸方向の案内(Zテーブル20の水平移動)、Z軸方向の案内(Zテーブル20の昇降)及びそれらの組合せについて説明する。
なお、図6〜図15では、Xテーブル10a、10b、移動ブロック11a、11b、軌道レール12a、12b、Zテーブル20、移動ブロック21a、21b、軌道レール22a、22bについてのみ模式的に図示し、他の構成については図示を省略している。また、図中の矢印は各テーブルの移動方向を示しており、矢印の大きさ(長さ)が各テーブルの移動速度の速さを大まかに表している。
<<1軸案内(X軸)>>
図6及び図7に示すように、ねじ軸14a、14bが同じ回転方向に同じ回転速度で回転すると、Xテーブル10a、10bはそれぞれ同じ速度で同距離をX軸方向に移動する。このとき、Xテーブル10a、10bの間隔は変化しないので、Zテーブル20は高さ維持したままX軸方向に移動する。
図6及び図7に示すように、ねじ軸14a、14bが同じ回転方向に同じ回転速度で回転すると、Xテーブル10a、10bはそれぞれ同じ速度で同距離をX軸方向に移動する。このとき、Xテーブル10a、10bの間隔は変化しないので、Zテーブル20は高さ維持したままX軸方向に移動する。
<<2軸案内1>>
図8及び図9に示すように、ねじ軸14a、14bが同じ回転方向に異なる回転速度で回転すると、Xテーブル10a、10bは、同じ方向に異なる速度で移動する。このとき、Xテーブル10a、10bは、互いの間隔を変化させながら同じ方向に移動し、Zテーブル20は、高さを変えながらX軸方向に移動する。
図8及び図9に示すように、ねじ軸14a、14bが同じ回転方向に異なる回転速度で回転すると、Xテーブル10a、10bは、同じ方向に異なる速度で移動する。このとき、Xテーブル10a、10bは、互いの間隔を変化させながら同じ方向に移動し、Zテーブル20は、高さを変えながらX軸方向に移動する。
図8に示すように、Xテーブル10a、10bの移動方向において先頭のXテーブルの速度が後ろのXテーブルの速度よりも相対的に遅いと、Xテーブル10a、10bは互いの間隔を狭めながら同一方向に移動し、Zテーブル20は上昇しながらXテーブル10a、10bと同方向にX軸方向の位置を変える。図8では、Xテーブル10aが先頭、Xテーブル10bが後続の場合を示している。
図9に示すように、Xテーブル10a、10bの移動方向において後ろのXテーブルの速度が先頭のXテーブルの速度よりも相対的に遅いと、Xテーブル10a、10bは互いの間隔を広げながら同一方向に移動し、Zテーブル20は下降しながらXテーブル10a、10bと同方向にX軸方向の位置を変える。図9では、Xテーブル10bが先頭、Xテーブル10aが後続の場合を示している。
<<2軸案内2>>
図10及び図11に示すように、ねじ軸14a、14bの一方のみが回転し、他方が停止していると、Xテーブル10a、10bの一方のみが移動し、Xテーブル10a、10bの間隔が変化する。このとき、Zテーブル20は高さを変えながら一方のXテーブルと同じ方向に移動する。
図10及び図11に示すように、ねじ軸14a、14bの一方のみが回転し、他方が停止していると、Xテーブル10a、10bの一方のみが移動し、Xテーブル10a、10bの間隔が変化する。このとき、Zテーブル20は高さを変えながら一方のXテーブルと同じ方向に移動する。
図10に示すように、Xテーブル10a、10bの一方が他方に接近するように移動し、Xテーブル10a、10bの間隔が狭くなると、Zテーブル20は一方のXテーブルと同じ方向に移動しながら上昇する。図10では、Xテーブル10bが移動し、停止しているXテーブル10aに接近する場合を示している。
図11に示すように、Xテーブル10a、10bの一方が他方から離間するように移動し、Xテーブル10a、10bの間隔が広がると、Zテーブル20は一方のXテーブルと同じ方向に移動しながら下降する。図11では、Xテーブル10bが移動し、停止しているXテーブル10aから離間する場合を示している。
<<2軸案内3>>
図12及び図13に示すように、ねじ軸14a、14bが互いに逆の回転方向に異なる回転速度で回転すると、Xテーブル10a、10bは、それぞれ異なる速度で互いに逆方向に移動する。このとき、Xテーブル10a、10bは、互いの間隔を変化させながら逆方向に移動し、Zテーブル20は、高さを変えながらX軸方向に移動する。
図12及び図13に示すように、ねじ軸14a、14bが互いに逆の回転方向に異なる回転速度で回転すると、Xテーブル10a、10bは、それぞれ異なる速度で互いに逆方向に移動する。このとき、Xテーブル10a、10bは、互いの間隔を変化させながら逆方向に移動し、Zテーブル20は、高さを変えながらX軸方向に移動する。
図12に示すように、Xテーブル10a、10bが異なる速度で互いに接近すると、Zテーブル20は、Xテーブル10a、10bのうち相対的に移動速度が遅い方が位置する側にX軸方向の位置を変えながらZ軸方向に移動する。図12では、Xテーブル10aの
移動速度が遅い場合を示しており、Zテーブル20は、Xテーブル10aが位置する側(図の左側)に移動しながら上昇する。
移動速度が遅い場合を示しており、Zテーブル20は、Xテーブル10aが位置する側(図の左側)に移動しながら上昇する。
図13に示すように、Xテーブル10a、10bが異なる速度で互いに離間すると、Zテーブル20は、Xテーブル10a、10bのうち移動速度が相対的に速い方が位置する側にX軸方向の位置を変えながらZ軸方向に移動する。図13では、Xテーブル10bの移動速度が速い場合を示しており、Zテーブル20は、Xテーブル10bが位置する側(図の右側)に移動しながら下降する。
<<1軸案内(Z軸)>>
図14及び図15に示すように、Xテーブル10a、10bが互いに逆方向に移動するようにねじ軸14a、14bが互いに逆方向に回転し、かつ、このときのねじ軸14a、14bの回転速度が同じ場合には、Zテーブル20はX軸方向の位置を変えずにZ軸方向にのみ移動する。図14に示すように、Xテーブル10a、10bが同じ速度で互いに接近すると、Zテーブル20は上昇する。図15に示すように、Xテーブル10a、10bが同じ速度で互いに離間すると、Zテーブル20は下降する。
図14及び図15に示すように、Xテーブル10a、10bが互いに逆方向に移動するようにねじ軸14a、14bが互いに逆方向に回転し、かつ、このときのねじ軸14a、14bの回転速度が同じ場合には、Zテーブル20はX軸方向の位置を変えずにZ軸方向にのみ移動する。図14に示すように、Xテーブル10a、10bが同じ速度で互いに接近すると、Zテーブル20は上昇する。図15に示すように、Xテーブル10a、10bが同じ速度で互いに離間すると、Zテーブル20は下降する。
<3軸直交案内装置>
図4及び図5に示すように、3軸直交案内装置としての3軸直交案内部6は、上述した2軸直交案内部5と、第3移動体としてのYテーブル30と、第3案内機構としての移動ブロック31及び軌道レール32と、を備える。
図4及び図5に示すように、3軸直交案内装置としての3軸直交案内部6は、上述した2軸直交案内部5と、第3移動体としてのYテーブル30と、第3案内機構としての移動ブロック31及び軌道レール32と、を備える。
軌道レール32は、Zテーブル20上に固定されており、Y軸方向に延びている。移動ブロック31は、ボール等の転動体を介して軌道レール32に組み付けられ、軌道レール32上をY軸方向に移動自在に構成されている。Yテーブル30は、移動ブロック31上に固定されている。
<3軸直交・回転案内装置>
図4及び図5に示すように、3軸直交・回転案内装置4は、上述した3軸直交案内部6と、さらに、テーブル3の下面に固定される回転体としての回転台40と、該回転台40をYテーブル30に対して所定の角度範囲で傾動・回転可能に支持する軸41と、を備える。
図4及び図5に示すように、3軸直交・回転案内装置4は、上述した3軸直交案内部6と、さらに、テーブル3の下面に固定される回転体としての回転台40と、該回転台40をYテーブル30に対して所定の角度範囲で傾動・回転可能に支持する軸41と、を備える。
図16に示すように、回転台40と軸41はいわゆる球面軸受により連結されている。軸41は、一端がYテーブル30に固定され、Z軸方向に延びるとともに、他端に球状端部41aを有している。軸41は、一端に設けられたねじ部41cがYテーブル30の上面に設けられたねじ穴にねじ込まれることで固定される。回転台40は、2つの分割体401、402で構成されており、ボルト403等の結合手段により一体化されて軸41の球状端部41aに組み付けられる。回転台40には球面状の凹部40aが設けられており、この凹部40aに軸41の球状端部41aが複数のボール(鋼球)42を介して嵌め込まれる。
複数のボール42は、予圧をかけて凹部40aと球状端部41aに対して隙間なく組み付けられている。また、複数のボール42は、保持部材43により凹部40aと球状端部41aとの間で転動自在、かつ脱落が防止されるように保持されている。
回転台40は、複数のボール42が荷重を受けながら転動することにより、軸41に対してがたつきなくスムーズに傾動・回転する。回転台40は、軸部41bに接触する角度まで傾動することができる。
上記球面軸受は、本実施例に適用可能な球面軸受の一例である。上記構成以外の他の従来技術を適宜採用することも可能である。また、テーブル3を、Yテーブル30に対して所定の角度範囲で傾動・回転可能に支持できるものであれば、球面軸受に限られるものではなく、他の機構を用いてもよい。
<<直線案内装置>>
図17〜図19を参照して、上述した各直線案内装置(案内機構、案内部)の具体的な構成について説明する。以下の説明では、各移動ブロック11a、11b、21a、21b、31をまとめて移動ブロック101とし、各軌道レール12a、12b、22a、22b、32をまとめて軌道レール102とする。なお、以下に記す直線案内装置は、装置全体の幅寸法が若干小さなものを示しているが、前述したテーブル装置においては、これに比して幅寸法が大きなものが採用されている。但し、両者の基本的構成は同様である。
図17〜図19を参照して、上述した各直線案内装置(案内機構、案内部)の具体的な構成について説明する。以下の説明では、各移動ブロック11a、11b、21a、21b、31をまとめて移動ブロック101とし、各軌道レール12a、12b、22a、22b、32をまとめて軌道レール102とする。なお、以下に記す直線案内装置は、装置全体の幅寸法が若干小さなものを示しているが、前述したテーブル装置においては、これに比して幅寸法が大きなものが採用されている。但し、両者の基本的構成は同様である。
図17に示すように、直線案内装置100は、移動ブロック101と軌道レール102とが多数の転動体としてのボール103を介して組み付けられる。移動ブロック101は、移動方向に見た断面形状が略門形となっており、軌道レール102を跨ぐように、軌道レール102に対して配置される。移動ブロック101は、ブロック本体101aと、移動ブロック101の移動方向におけるブロック本体101aの両端にそれぞれ取り付けられる蓋体(エンドプレート)101bと、を備える。
図18に示すように、軌道レール102の側面には、ボール103を転動させるボール転走溝104が、移動ブロック101の移動方向に沿って片側2条ずつ計4条設けられている。移動ブロック101のブロック本体101aにおける軌道レール102の側面との対向面には、ボール転走溝104にそれぞれ対応する4条のボール転走溝105が設けられている。これらボール転走溝104、105により、4条の負荷転走路106が形成される。
ブロック本体101aには、移動ブロック101の移動方向に沿って延びる4つの貫通孔が設けられている。この4つの貫通孔は、4条の負荷転走路106にそれぞれ対応するボール戻し通路107としてそれぞれ機能する。
蓋体101bには、対応する負荷転走路106とボール戻し通路107とをそれぞれ連通する4つの方向転換路108が設けられている。また、蓋体101bの外側の面には、略門形のエンドプレート101cがねじ101dを螺合して取り付けられている。
図19に示すように、負荷転走路106とボール戻し通路107と方向転換路108とによってボール103を無限循環させる無限循環路109が形成される。多数のボール103は、連結体110によって連結されている。連結体110は、隣接するボール103の間に配置される多数の間座110aと、各間座110aを連結する薄板状のベルト110bと、を備えている。各ボール103は、間座110aとベルト110bとによって囲まれて転動自在に保持される。また、無限循環路109には、ベルト110bが摺動自在に嵌合する連結体案内溝111が設けられている。連結体110は、ベルト110bが連結体案内溝111と摺動することにより、無限循環路109内を案内される。
ボール103は、移動ブロック101の移動に伴って負荷転走路106の一端から他端に向かって荷重を受けながら転動する。その後、方向転換路108によってすくい上げられ、ボール戻し通路107の一端側へと案内される。ボール戻し通路107を通ってボール戻し通路107の他端側へと案内されると、方向転換路108を介して再度負荷転走路106に導かれる。ボール103は、この繰り返しによって、移動ブロック101の移動に伴って無限循環路110を循環する。
本実施例の3軸直交・回転案内装置4では、各直線案内装置における荷重条件が異なるため、使用箇所に適した予圧をボール103に付与すべく移動ブロック101と軌道レール102は荷重条件に基づいてそれぞれ個別に設計される。具体的には、図18の断面において、ボール103のボール転走溝104、105に対する接触方向(ボール103とボール転走溝104、105との接点を結ぶ線の延びる方向)と、上下2条のボール列の中央を通る水平線と、がなす角度を適宜設定する。角度の設定は、ボール転走溝104、105の溝断面形状を適宜変更することにより可能である。設定方法は従来技術であり具体的な説明は省略する。また、レール及び移動ブロックの断面形状、無限循環路の条数及び形態は、適宜変更され得るものである。また、本実施例では、転動体としてボールを用いた例を示しているが、これに限らずローラも適用可能である。
<<ねじ送り機構>>
図20を参照して、Xテーブル10a、10bを駆動するためのねじ送り機構の具体的な構成について説明する。Xテーブル10a、10bをそれぞれ駆動する各ねじ送り機構は、いずれも同じ構成である。以下の説明では、Xテーブル10a、10bをまとめてXテーブル10とし、駆動モータ13a、13bをまとめて駆動モータ13とし、ねじ軸14a、14bをまとめてねじ軸14とする。
図20を参照して、Xテーブル10a、10bを駆動するためのねじ送り機構の具体的な構成について説明する。Xテーブル10a、10bをそれぞれ駆動する各ねじ送り機構は、いずれも同じ構成である。以下の説明では、Xテーブル10a、10bをまとめてXテーブル10とし、駆動モータ13a、13bをまとめて駆動モータ13とし、ねじ軸14a、14bをまとめてねじ軸14とする。
ねじ軸14は、外周面に螺旋状のボール転走溝141が設けられている。ねじ軸14には、ナット部材143が、転動体としての複数のボール144を介して組み付けられている。ナット部材143の内周面には、ボール転走溝141に対応する螺旋状のボール転走溝142が設けられている。ナット部材143は、端部にフランジ部143aを有し、該フランジ部143aにボルト等の結合手段によりXテーブル10が取り付けられている。
ボール144は、ボール転走溝141、142によって形成される負荷転走路内を転動自在に組み付けられている。ナット部材143には、負荷転走路内を転がるボール144の負荷転走路内における位置を、1リード前に戻すためのデフレクタ145が設けられている。ボール144は、デフレクタ145によってすくい上げられて一旦負荷転走路から外れ、ねじ軸14の負荷転走路の外側を通り、負荷転走路の1リード前の位置に戻される。このように、複数のボール144は、デフレクタ145によって負荷転走路内を循環転動する。
駆動モータ13の駆動によってねじ軸14が回転すると、複数のボール144が荷重を受けながら負荷転走路内をねじ軸14の周方向に沿って転がる。ボール144の転動によってナット部材143がねじ軸14に対して相対運動することにより、Xテーブル10がX軸方向に移動する。
上記ねじ送り機構は、本実施例において用いられるねじ送り機構の一例である。上記構成以外の他の従来技術を適宜採用することも可能である。例えば、リターンパイプを用いてボール144を循環させてもよい。あるいは、ナット部材143を、負荷転走溝と戻し通路が形成されたナット本体と、負荷転走路と戻し通路とを連通する連通路が形成されナット本体の両端に装着される側蓋と、で構成した、いわゆる側蓋タイプのボールねじとしてもよい。また、転動体は、ボールに限られるものではなく、ローラ等であってもよい。
さらに、Xテーブル10a、10bを駆動するための機構としては、ねじ送り機構に限られるものではなく、他の機構を用いてもよい。例えば、リニアモータを用いて直接駆動するようにしてもよい。あるいは、油圧等の液圧、空気圧等のガス圧を利用する流体油アクチュエータを利用してもよい。
<テーブル装置全体の動作>
図21〜図26を参照して、テーブル装置全体の動作について説明する。
図21〜図26を参照して、テーブル装置全体の動作について説明する。
以下の説明では、3軸直交・回転案内装置4a〜4cを単に「案内装置4a〜4c」とし、また、区別する必要がない場合は「案内装置4」とする。また、図21〜図26では、案内装置4の支持位置の変位をわかりやすくするため、案内装置4自体を模式的に図示している。
また、案内装置4は、図1に図示した配置と同様に配置されている。すなわち、3つの案内装置4のうち案内装置4a、4bは、Xテーブル10の可動方向が図におけるX軸方向と一致するように配置されている。一方、案内装置4cは、Xテーブル10の可動方向が図におけるY軸方向と一致するように配置されており、Xテーブル10はY軸方向に移動し、Yテーブル30はX軸方向に移動する。
<<動作例1>>
図21は、テーブル装置1の平面図(Z軸方向にみた図)であり、テーブル3を基台2に対してX軸方向に移動させるときの様子を示している。
図21は、テーブル装置1の平面図(Z軸方向にみた図)であり、テーブル3を基台2に対してX軸方向に移動させるときの様子を示している。
テーブル3は、基台2に対して水平かつ垂直軸回り(θ方向)に傾きのない状態で支持されている。案内装置4a、4bのそれぞれのXテーブル10が互いに同期してX軸方向に移動し、案内装置4cにおいて、案内装置4a、4bからのX軸方向の駆動力を妨げないようにYテーブル30がX軸方向に移動する。これにより、テーブル3を上記姿勢を維持したままX軸方向に移動させることができる。このとき必要となる駆動力は、案内装置4a、4bのそれぞれの駆動モータ13のみであり、案内装置4cについては駆動モータ13を駆動する必要はない。
<<動作例2>>
図22は、テーブル装置1の平面図(Z軸方向にみた図)であり、テーブル3を基台2に対して基台2に垂直な軸P回りに回転させるときの様子を示している。
図22は、テーブル装置1の平面図(Z軸方向にみた図)であり、テーブル3を基台2に対して基台2に垂直な軸P回りに回転させるときの様子を示している。
この動作は、3つの案内装置4が互いに同期してそれぞれのXテーブル10を駆動させることにより実現される。この動作において、テーブル3に対する各案内装置4の支持位置は、該支持位置を通る仮想円の円周上を同一の回転方向(図では反時計回り)で変位し、テーブル3が軸P回りに回転する。
図中の矢印で示すように、各案内装置4は、回転方向に略倣った方向にそれぞれのXテーブル10を移動させる。案内装置4a、4bは、X軸方向において互いに逆向きに移動するようにXテーブル10を駆動し、案内装置4cでは、Y軸方向に移動するようにXテーブル10を駆動する。各案内装置の支持位置を結ぶと略正三角形が形成される。この略正三角形の位置関係を維持すべく、各案内装置4においてYテーブル30が移動するとともに、回転台40が軸Pに平行な回転軸周りに回転する。
<<動作例3>>
図23は、テーブル装置1の平面図、図24は、図23をY軸方向にみた模式図であり、テーブル3を基台2に対して水平かつテーブル3の中心を通る軸Q回り傾動させるときの様子を示している。
図23は、テーブル装置1の平面図、図24は、図23をY軸方向にみた模式図であり、テーブル3を基台2に対して水平かつテーブル3の中心を通る軸Q回り傾動させるときの様子を示している。
この動作は、案内装置4a、4bにおいてそれぞれXテーブル10をX軸方向に移動させながらZ軸方向に下降させる動作(例えば、図9、図11、図13などに示す動作)を行うとともに、案内装置4cにおいてXテーブル10をY軸方向には変位させずにZ軸方
向に上昇させる動作(例えば、図14に示す動作)を行なうことにより実現される。このとき、案内装置4cでは、テーブル3の傾動に合わせてYテーブルがX軸方向に移動するとともに、各案内装置4において回転台40が軸Qに平行な軸を中心に傾動する。
向に上昇させる動作(例えば、図14に示す動作)を行なうことにより実現される。このとき、案内装置4cでは、テーブル3の傾動に合わせてYテーブルがX軸方向に移動するとともに、各案内装置4において回転台40が軸Qに平行な軸を中心に傾動する。
<<動作例4>>
図25は、テーブル装置1の平面図、図26は、図25をY軸方向にみた模式図であり、テーブル3を、基台2に対して傾いた状態(図23、図24)から、基台2に対してテーブル3の中心を通りかつ基台2に垂直な軸P回り回転させるときの様子を示している。
図25は、テーブル装置1の平面図、図26は、図25をY軸方向にみた模式図であり、テーブル3を、基台2に対して傾いた状態(図23、図24)から、基台2に対してテーブル3の中心を通りかつ基台2に垂直な軸P回り回転させるときの様子を示している。
図22に示す動作と同様に、3つの案内装置4が互いに同期してそれぞれのXテーブル10を駆動させることにより、各案内装置4の支持位置が、仮想円の円周上を同一の回転方向で変位する。このとき、各案内装置4では、それぞれのYテーブル30が案内装置4の支持位置における上記略正三角形の位置関係を維持すべく移動するとともに、それぞれの回転台40が傾きを維持したまま軸Pに平行な回転軸周りに回転する。これにより、テーブル3が軸P回りに回転する。
なお、この動作は、図22に示す動作と図23及び図24に示す動作をと合成した一度の動作によって行なってもよい。また、図25及び図26に示す姿勢(基台2に対して回転・揺動した状態)を維持したまま、テーブル3の位置を基台3に対してさらに水平方向に変位させることも可能である。また、図23及び図24に示す動作と図25及び図26に示す動作をと組み合わせることで、軸Pと軸Qとの交点を不動点としたテーブル3の回転・揺動も可能である。
<その他>
本実施例のテーブル装置1は、上述した構成のほか、テーブル3を基台2に対して固定するブレーキ機構や、ねじ送り機構の送り量を検出する検出機構などを設けてもよい。
本実施例のテーブル装置1は、上述した構成のほか、テーブル3を基台2に対して固定するブレーキ機構や、ねじ送り機構の送り量を検出する検出機構などを設けてもよい。
本実施例では、2軸直交案内部5が軌道レール22a、22bが上に向かって開く傾斜構造となっているが、2軸直交案内部5の構成はこれに限られるものではない。例えば、軌道レール22a、22bが下に向かって開く傾斜構造でもよい。また、軌道レール22a、22bの傾斜角が対称ではなく、それぞれ異なっていてもよい。軌道レール22a、22bの一方が垂直で、他方のみが傾斜する構成でもよい。あるいは、異なる方向の運動変換が可能な構成であれば、例えば、カム機構を利用した構成など他の構成を採用してもよい。
本実施例では、転動体を介して転がり案内する転がり直線運動案内装置を介して、Xテーブル10、Yテーブル30、Zテーブル20を案内しているが、高剛性が要求されないような用途であれば、すべり案内する構成でもよい。回転台40の案内部についても同様に転がり案内ではなくすべり案内としてもよい。また、ボールが無限循環する形式の転がり案内に限られず、ボールが循環しない、いわゆる有限形式の転がり案内装置としてもよい。
また、本実施例における個々の案内機構としては、直線的な案内に限られず、曲線状の案内を行うようにしてもよい。すなわち、本実施例では、各レールが全て直線状に設けられているが、曲線状に延びるレールを用いてもよい。
また、上述した本実施例に係る2軸直交案内装置の案内動作は一例である。例えば、各テーブルの移動速度の速度差の大きさに応じて案内動作も変化し、また、各テーブルが変速制御されれば案内動作のバリエーションが幾通りも存在することは言うまでもない。本実施例に係るテーブル装置1の動作についても、上述した動作はあくまで一例である。3
つの案内装置4の動作を種々に組み合わせることで、実現可能なテーブル3の動作が幾通りも存在することは言うまでもない。
つの案内装置4の動作を種々に組み合わせることで、実現可能なテーブル3の動作が幾通りも存在することは言うまでもない。
本実施例に係るテーブル装置1では、2軸直交案内部5と回転体40との間にY軸方向の案内機構(Yテーブル30、移動ブロック31、軌道レール32)を配置した構成としているが、例えば、2軸直交案内部5と基台2との間にY軸方向の案内機構を配置し、Zテーブル20と回転体40との間の球面軸受機構により連結する構成としてもよい。同様に、本実施例では、回転体40と軸41とによる回転案内機構をテーブル3とYテーブル30との間に配置しているが、回転案内機構を2軸直交案内部5とYテーブル30の案内機構との間に配置してもよい。例えば、軌道レール32とZテーブル20との間を球面軸受により回転・傾動自在に連結し、Yテーブル30をテーブル3に固定するような構成としてもよい。
<本実施例の優れた点>
本実施例に係る2軸直交案内装置(2軸直交案内部5)によれば、Zテーブル20の互いに直交する2つの軸方向(X−Z)の運動を、一対のXテーブル10a、10bの運動のみによって実現することができる。したがって、Zテーブル20の運動のための専用の動力源は不要であり、2軸直交案内装置の構成をシンプルにすることができる。
本実施例に係る2軸直交案内装置(2軸直交案内部5)によれば、Zテーブル20の互いに直交する2つの軸方向(X−Z)の運動を、一対のXテーブル10a、10bの運動のみによって実現することができる。したがって、Zテーブル20の運動のための専用の動力源は不要であり、2軸直交案内装置の構成をシンプルにすることができる。
本実施例に係る2軸直交案内装置によれば、Zテーブル20の2軸における運動は、一対のXテーブル10a、10bの次のような運動によって実現することができる。例えば、Zテーブル20のX軸方向の移動は、一対のXテーブル10a、10bが、案内部の間隔をZテーブル20のX軸方向の長さで維持したまま、同じ方向に移動することにより実現することができる。また、Zテーブル20のZ軸方向の移動は、一対のXテーブル10a、10bが互いに接近または離間して案内部の間隔を変化させることで実現することができる。
本実施例に係る2軸直交案内装置によれば、移動ブロック21と軌道レール22とによる案内装置を利用して案内部を構成することにより、精度の高い2軸運動を実現することができる。
本実施例に係る2軸直交案内装置によれば、一対のXテーブル10a、10bのそれぞれの運動とZテーブル20の運動とを、一対の駆動手段によってそれぞれ独立して制御することができる。これにより自由度の高い案内動作が可能となる。
本実施例に係る3軸直交・回転案内装置4によれば、テーブル3の水平移動、昇降、回転、傾きの各運動を、単一の案内ユニットとして案内することができる。
本実施例に係る3軸直交・回転案内装置4によれば、2軸直交案内部5に対して回転体40を回転させるように構成(回転案内機構をテーブル3とYテーブル30との間に配置)したことで、3つの3軸直交・回転案内装置4a〜4cによりテーブル装置1を構成したときの各3軸直交・回転案内装置4の連動動作の制御を容易に行うことができる。例えば、テーブル3がθ方向に回転した状態において、この姿勢のままテーブル3をX軸方向及びY軸方向に平行移動させる場合を考えると、テーブル3が回転してもX軸方向に案内する案内装置4a、4bとY軸方向に案内する案内装置4cとの間の直交関係は保たれたままとなるので、案内装置4a、4bのみ、または案内装置4cのみを動かすことにより、平行移動を実現することができる。すなわち、各案内装置4a〜4cを互いに複雑に同期させる必要がなく、容易に制御することが可能である。
本実施例に係るテーブル装置1によれば、3つの3軸直交・回転案内装置4によって安
定したテーブル3の支持が可能である。また、各ユニットがそれぞれ単独でテーブル3の水平移動、昇降、回転、傾きの各運動を案内可能なので、各ユニットの配置の自由度が高い。したがって、従来技術では困難であったテーブル装置全体を貫通する開口部を設けることが可能となり、テーブル装置の適用可能な用途の拡大を図ることができる。
定したテーブル3の支持が可能である。また、各ユニットがそれぞれ単独でテーブル3の水平移動、昇降、回転、傾きの各運動を案内可能なので、各ユニットの配置の自由度が高い。したがって、従来技術では困難であったテーブル装置全体を貫通する開口部を設けることが可能となり、テーブル装置の適用可能な用途の拡大を図ることができる。
本実施例に係るテーブル装置1によれば、また、3つの3軸直交・回転案内装置4の自由度の高い支持によりテーブル装置1の各構成部材の組み付け誤差を吸収することが可能であり、精度の高い位置決めを実現することができる。
本実施例に係るテーブル装置1によればまた、各3軸直交・回転案内装置4は、お互いの運動を妨げることがないので、従来のような中間の連結部材等が不要である。したがって、各3軸直交・回転案内装置4はそれぞれテーブル3と直接連結することでき、部材点数や装置高さを抑えることができる。
1…テーブル装置、2…基台、3…テーブル、4…3軸直交・回転案内装置、5…2軸直交案内部、6…3軸直交案内部、10…Xテーブル、11…移動ブロック、12…軌道レール、13…駆動モータ、14…ねじ軸、15…傾斜面、20…Zテーブル、21…移動ブロック、22…軌道レール、23…傾斜面、30…Yテーブル、31…移動ブロック、32…軌道レール、40…回転台、41…軸
Claims (11)
- 一対の第1移動体と、
互いに直交する2軸を想定した場合に、該2軸のうちの第1の軸方向に前記一対の第1移動体をそれぞれ独立して移動自在に案内する第1案内機構と、
第2移動体と、
該第2移動体を支持し、前記一対の第1移動体における前記第1の軸方向の間隔を接近または離間させる方向に変化させる相対運動を前記第2移動体における前記2軸のうちの第2の軸方向の運動に変換し、前記第2移動体を前記第2の軸方向に沿って移動自在に案内する第2案内機構と、
を備えることを特徴とする2軸直交案内装置。 - 前記第2案内機構は、前記一対の第1移動体と前記第2移動体とを作動連結するとともに、前記第1の軸と前記第2の軸を含む仮想面内において前記第2の軸に対してそれぞれ異なる角度で延びて前記第2移動体を挟むように支持する一対の案内部を有しており、
前記一対の案内部は、前記第1の軸方向における間隔が前記第2の軸方向に沿って徐々に大きくまたは小さくなっているとともに、前記一対の第1移動体を接近または離間させる方向に移動させることにより前記間隔が変化し、前記第2移動体は、前記間隔が前記第2移動体の前記第1の軸方向の長さとなる位置まで前記第2の軸方向に移動することを特徴とする請求項1に記載の2軸直交案内装置。 - 前記一対の案内部は、
前記第1移動体または前記第2移動体のいずれか一方に固定され、前記それぞれ異なる角度で延びる一対の軌道台と、
前記第1移動体または前記第2移動体のいずれか他方に固定され、前記一対の軌道台上をそれぞれ移動可能に構成された一対の移動台と、
を有することを特徴とする請求項2に記載の2軸直交案内装置。 - 前記第1案内機構は、前記一対の第1移動体をそれぞれ独立して駆動する一対の駆動手段を備えることを請求項1〜3のいずれかに記載の2軸直交案内装置。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の2軸直交案内装置と、
第3移動体と、
前記2軸を含む仮想平面と直交する第3の軸を想定した場合に、前記第3移動体を前記2軸直交案内装置に対して前記第3の軸方向に移動自在に組付ける第3案内機構と、
を備えたことを特徴とする3軸直交案内装置。 - 請求項5に記載の3軸直交案内装置と、
回転体と、
該回転体と前記3軸直交案内装置とを前記第2の軸を中心にして相対回転自在に組付ける回転案内機構と、
を備えたことを特徴とする3軸直交・回転案内装置。 - 前記回転案内機構が、さらに、前記回転体と前記3軸直交案内装置とを前記第1の軸および前記第3の軸を中心にして相対回転自在に組付けることを特徴とする請求項6に記載の3軸直交・回転案内装置。
- 請求項5に記載の3軸直交案内装置と、
前記3軸直交案内装置における2軸直交案内装置と第3案内機構とを前記第2の軸を中心にして相対回転自在に組付ける回転案内機構と、
を備えたことを特徴とする3軸直交・回転案内装置。 - 前記回転案内機構が、さらに、前記2軸直交案内装置と前記第3案内機構とを前記第1の軸および前記第3の軸を中心にして回転自在に組付けることを特徴とする請求項8に記載の3軸直交・回転案内装置。
- 基台と、
テーブルと、
前記基台と前記テーブルとの間に組付けられる請求項6〜9のいずれかに記載の3軸直交・回転案内装置と、
を備えることを特徴とするテーブル装置。 - 前記3軸直交・回転案内装置を3つ備えることを特徴とする請求項10に記載のテーブル装置。
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