JP5621552B2

JP5621552B2 - 二次元位置決め装置

Info

Publication number: JP5621552B2
Application number: JP2010265228A
Authority: JP
Inventors: 佐藤　俊徳; 俊徳佐藤
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 2010-11-29
Filing date: 2010-11-29
Publication date: 2014-11-12
Anticipated expiration: 2030-11-29
Also published as: JP2012118601A

Description

本発明は、ＸＹ方向の位置決めと傾斜角度の位置決めとを行うことができる二次元位置決め装置に関する。

この種の二次元位置決め装置としては、例えば２つの並進自由度部と、１つの回転自由度部と、電動機と制御器と動作量検出手段を有する電動機制御装置と、第２の動作量検出手段と、第２動作量補正演算手段とは、第３の動作量検出手段と第３動作量補正演算手段とを備えた並進駆動・並進・回転自由度機構装置を少なくとも３つ有し、機台部と指令手段と２次元位置センサと補正量算出手段とを有する２次元位置決め装置とし、各自由度の移動量を補正しながらテーブルを移動するようにした並進駆動・並進・回転自由度機構装置及びこれを用いた２次元位置決め装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００６−２１５９５０号公報

しかしながら、特許文献１に記載された従来例にあっては、３軸の駆動部と、少なくとも３組の２次元移動自在なＸＹθ軸受部を平面上に配置するようにしているので、ＸＹ軸を長ストローク化する場合には、ＸＹθ軸受部が大形化するとともに、２次元位置決めテーブル自体も大型化してしまうという未解決の課題がある。
そこで、本発明は、上記従来例の未解決の課題に着目してなされたものであり、回転位置決めが可能でありながらＸＹの２次元の長ストローク化が容易で、且つ２次元位置決めテーブルを大形化する必要がない二次元位置決め装置を提供することを目的としている。

上記課題を解決するため、本発明の一の形態に係る二次元位置決め装置は、第１の案内部材に案内されて移動する第１の移動部材と当該第１の移動部材を駆動する第１の駆動機構とを有し、所定間隔を保って平行に配設された一対の直動機構と、該一対の直動機構の移動部材に支持されて前記案内部材と交差する方向に配設された第２の案内部材に案内されて移動する第２の移動部材と当該第２の移動部材を駆動する第２の駆動機構とを有し、前記一対の直動機構間に配設された交差直動機構とを備え、前記交差直動機構が、一端が前記直動機構の一方の移動部材に配設された固定支持部材に回動可能に支持され、他端が前記直動機構の他方の移動部材との間に配設された前記第１の案内部材と交差する方向に移動可能な可動支持部材に回動可能に支持されていることを特徴としている。

また、本発明の他の形態に係る二次元位置決め装置は、前記交差直動機構が、一端が固定支持部材に回動可能に支持され、他端が前記直動機構の他方の移動部材との間に配設された前記第１の案内部材と交差する方向に可動可能な可動支持部材に回動可能に支持された支持基板上に、前記案内部材及び前記第２の駆動機構が配設されていることを特徴としている。

また、本発明の他の形態に係る二次元位置決め装置は、前記交差直動機構が、前記固定支持部材及び前記可動支持部材との間を、アンギュラ組合せ軸受を介して回動可能に連結したことを特徴としている。
また、本発明の他の形態に係る二次元位置決め装置は、前記可動支持部材が、直動軸受で構成されていることを特徴としている。
また、本発明の他の形態に係る二次元位置決め装置は、前記可動支持部材が、伸縮可能な弾性部材で構成されていることを特徴としている。

また、本発明の他の形態に係る二次元位置決め装置は、前記交差直動機構が、第２の移動部材が基台に対して空気軸受で浮上支持されていることを特徴としている。
また、本発明の他の形態に係る二次元位置決め装置は、前記交差直動機構の第２の移動部材に当該第２の移動部材の移動方向以外に可動可能に２次元駆動出力部が支持されていることを特徴としている。
また、本発明の他の形態に係る二次元位置決め装置は、前記２次元駆動出力部が、前記第２の移動部材に板ばねを介して支持されていることを特徴としている。

本発明の二次元位置決め装置によれば、少なくとも３組の一軸アクチュエータを用いて平面上で傾き自在に組合せることにより、ＸＹ方向と回転方向との位置決めを容易に行うことができ、ＸＹ方向のストロークが長い場合でも対処することができるとともに、二次元位置決めテーブルを大形化する必要がないという効果が得られる。

本発明に係る二次元位置決め装置の第１の実施形態を示す平面図である。図１の正面図である。図１の右側面図である。回転機構の作用を説明する一部を拡大して示す概要図である。本発明に係る二次元位置決め装置の第２の実施形態を示す平面図である。図５の正面図である。図５の右側面図である。図６のＡ−Ａ線上の一部を拡大して示す矢視拡大図である。図８のＢ−Ｂ線上の矢視図である。図８のＣ−Ｃ線上の矢視図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の二次元位置決め装置の第１の実施形態を示す平面図、図２及び図３はその正面図及び右側面図である。
図中、１は二次元位置決め装置であって、扁平な直方体状の基台２の平坦な上面に、左右方向に比較的長い所定間隔を保って一対のＹ軸直動機構３Ａ及び３Ｂが平行で同一のＹ軸座標上に配設され、これら一対のＹ軸直動機構３Ａ及び３Ｂ間に交差直動機構としてのＸ軸直動機構４が配設されている。

一対のＹ軸直動機構３Ａ及び３Ｂは、互いに同一構成を有し、Ｙ軸に平行に配設された第１の案内部材としての案内レール３ａと、この案内レール３ａに摺動可能に支持された第１の移動部材としてのボールねじナット３ｂとこのボールねじナット３ｂに螺合するボールねじ軸３ｃとを有するボールねじ機構３ｄと、このボールねじ機構３ｄのボールねじ３ｃを回転駆動するＹ軸用モータ３ｅとを備えている。

Ｘ軸直動機構４は、一対のＹ軸直動機構３Ａ及び３Ｂのボールねじナット３ｂに両端部が支持されたＹ軸直動機構３Ａ及び３Ｂ間でこれらと交差する方向に延長する支持基板４ａと、この支持基板４ａの上面に平行に配設されたＹ軸直動機構３Ａ及び３Ｂと交差する方向に延長する第２の案内レールとしての案内レール４ｂと、この案内レール４ｂに摺動可能に支持された第２の移動部材としてのボールねじナット４ｃとこのボールねじナット４ｃに螺合するボールねじ軸４ｄとを有するボールねじ機構４ｅと、このボールねじ機構４ｅのボールねじ軸４ｄを回転駆動するＸ軸用モータ４ｆとを備えている。

そして、Ｙ軸直動機構３Ａのボールねじナット３ｂに固定支持部材５が固定され、Ｙ軸直動機構３Ｂのボールねじナット３ｂに可動支持部材６が固定され、固定支持部材５にＸ軸直動機構４の支持基板４ａの一端が回動可能に支持され、この支持基板４ａの他端が可動支持部材６に回動可能に支持されている。
ここで、固定支持部材５は、図２に示すように、Ｙ軸直動機構３Ａのボールねじナット４ｃの上面に固定された水平板部５ａと、この水平板部５ａのＹ軸直動機構３Ｂ側の端部から下方に延長する垂直板部５ｂと、この垂直板部５ｂの下端から基台２の上面に沿ってＹ軸直動機構３Ｂ側に延長する水平板部５ｃとで断面クランク状に形成されている。そして、水平板部５ｃに垂直方向に延長する支持軸５ｄが貫通して固定され、この支持軸５ｄの水平板部５ｃより上端側に例えば背面組合せ形の組合せアンギュラ玉軸受５ｅを介してＸ軸直動機構４の支持基板４ａが回動可能に支持されている。

また、可動支持部材６は、図２及び図３に示すように、Ｙ軸直動機構３Ｂのボールねじナット３ｂの上面に固定された支持基板６ａと、この支持基板６ａ上にＹ軸と直交して配設された案内レール６ｂ及びこの案内レール６ｂに摺動可能に支持されたスライダ６ｃで構成される直動軸受としてのリニアガイド６ｄと、このリニアガイド６ｄのスライダ６ｃの上面に固定された水平板部６ｅと、この水平板部６ｅのＹ軸直動機構３Ａ側の端部から下方に延長する垂直板部６ｆと、この垂直板部６ｆの下端から基台２の上面に沿ってＹ軸直動機構３Ａ側に延長する水平板部６ｇとを備えている。そして、水平板部６ｇに垂直方向に延長する支持軸６ｈが貫通して固定され、この支持軸６ｈの水平板部６ｇより上端側に例えば背面組合せ形の組合せアンギュラ軸受６ｉを介してＸ軸直動機構４の支持基板４ａが回動可能に支持されている。
また、Ｘ軸直動機構４のボールねじナット４ｃの上面には、二次元駆動出力部となる例えば平面からみて方形の二次元テーブル７が固定されている。

次に、上記第１の実施形態の動作を説明する。
今、Ｙ軸直動機構３Ａ及び３Ｂのボールねじナット３ｂが、図１に示すように、案内レール３ａの前後方向の略中間位置の同一Ｙ軸座標上で停止しており、且つＸ軸直動機構４のボールねじナット４ｃが案内レール４ｂの左右方向の中央位置に停止しているものとする。この状態では、Ｙ軸に沿って配置されたＹ軸直動機構３Ａ及び３Ｂに対してＸ軸直動機構４が直交するＸ軸上にある。このため、Ｙ軸直動機構３Ａ及び３ＢのＹ軸用モータ３ｅを同一回転速度で互い同期させて正転又は逆転駆動制御することにより、Ｘ軸直動機構４が延長方向をＸ軸方向を保ったままＹ軸方向に移動される。このため、Ｘ軸直動機構４のボールねじナット４ｃに固定された二次元テーブル７はＹ軸方向に移動される。この状態で、Ｘ軸直動機構４のＸ軸用モータ４ｆを正転又は逆転駆動制御することにより、二次元テーブル７がＸ軸方向に移動されて、通常のＸＹテーブルと同様に二次元に移動され、図１の鎖線図示の略方形の移動領域ＭＡ内で二次元テーブル７を移動させるＸＹ二次元移動させることができる。

また、Ｘ軸直動機構４が図１で実線図示のＸ軸に沿って配置されている状態から、例えばＹ軸直動機構３Ａのボールねじナット３ｂを固定した状態で、Ｙ軸直動機構３ＢのＹ軸用モータを正転又は逆転駆動制御してボールねじナット３ｂをＹ軸方向に移動させることにより、図１で二点鎖線図示のように、Ｘ軸直動機構４が固定支持部材５の支持軸５ｄの中心軸を中心として回動してＸ軸に対して角度θ分傾斜し、Ｙ軸に対して交差する方向に向くことになる。このため、Ｘ軸直動機構４のボールねじナット４ｃに載置されている二次元テーブル７も同様に角度θ分傾斜させることができ、二次元テーブル７を角度θ分回転させたことになる。

このとき、Ｘ軸直動機構４がＸ軸に対して角度θ分傾斜することから、図４に示すように、Ｙ軸直動機構３Ａを通るＹ１軸に対しては距離の変化はないが、Ｙ軸直動機構３Ｂを通るＹ２軸に対しては、コサイン誤差成分ΔＸだけ短くなる。しかしながら、Ｘ軸直動機構４のＹ軸直動機構３Ｂ側では、可動支持部材６によって保持されているので、この可動支持部材６によってコサイン誤差成分ΔＸを吸収することができる。すなわち、可動支持部材６は、Ｙ軸直動機構３Ｂのボールねじナット３ｂの上面に固定された支持基板６ａ上にＹ軸と直交するＸ軸方向にスライダ６ｃが可動するリニアガイド６ｄが載置され、このリニアガイド６ｄのスライダ６ｃに水平板部６ｅが固定され、この水平板部６ｅに垂直板部６ｆを介して水平板部６ｇが連結され、この水平板部６ｇに支持軸６ｈが貫通固定され、この支持軸６ｈに組合せアンギュラ軸受６ｉを介してＸ軸直動機構４の支持基板４ａが回動可能に支持されている。このため、上述したようにＸ軸直動機構４が角度θ分傾斜することにより、コサイン誤差成分ΔＸが生じたときに、このコサイン誤差成分ΔＸ分だけリニアガイド６ｄのスライダ６ｃがＹ軸直動機構３Ａ側に移動することにより吸収することができる。

そして、上記した傾斜角θを保った状態で、Ｙ軸直動機構３Ａ及び３ＢのＹ軸用モータ３ｅを同一回転速度で正転又は逆転させることにより、傾斜角θを保ったまま二次元テーブル７をＹ軸方向に移動させることができ、またＸ軸直動機構４のＸ軸用モータ４ｆを正転又は逆転駆動することにより、二次元テーブル７をＸ軸から角度θ分傾斜した方向に移動させることができる。さらに、Ｙ軸用モータ３ｅ及びＸ軸用モータ４ｆを同時に回転駆動することにより任意の方向に二次元テーブル７を移動させて位置決めすることができる。

このように、上記第１の実施形態によると、２つのＹ軸直動機構３Ａ及び３Ｂと１つのＸ軸直動機構４との３軸アクチュエータを設けるだけの簡単な構成で、二次元テーブル７をＸＹ軸方向に移動させることができるとともに、Ｘ軸に対して所定角度θの範囲で傾斜させることができる。しかも、Ｘ軸及びＹ軸方向のストロークに制限はなく、長いストロークであっても、精度を維持しながら二次元テーブル７を位置決め制御することができる。

さらに、二次元テーブル７はＸ軸直動機構４のボールねじナット４ｃ上に載置されているだけであるので、Ｘ軸及びＹ軸方向のストロークを長くした場合に、これに伴って二次元テーブル７を大型化する必要はなく、コンパクトな二次元テーブルとすることができる。
また、Ｘ軸直動機構４の支持基板４ａを回動可能に支持するために、背面組合せ形の組合せアンギュラ玉軸受５ｅ及び６ｉを適用しているので、ラジアル荷重と両方向のアキシアル荷重を受けることができ、作用点距離が長いので、大きなモーメント荷重が作用する場合でも円滑な回動を確保することができる。

次に、本発明の第２の実施形態を図５〜図１０について説明する。
この第２の実施形態では、前述した第１の実施形態の構成において、二次元テーブルを基台に支持させるようにしたものである。
すなわち、第２の実施形態では、図５〜図１０に示すように、前述した第１の実施形態の構成において、空気軸受２２を介して二次元駆動出力部としての二次元テーブル２４を基台２で支持するようにしたことを除いては前述した第１の実施形態と同様の構成を有し、図１〜図３との対応部分には同一符号を付し、その詳細説明はこれを省略する。

この第２の実施形態では、基台２の上面における少なくとも二次元テーブル７の移動領域ＭＡが平坦面に形成され、Ｘ軸直動機構４の支持基板４ａと基台２との間に、支持基板４ａに対して僅かな距離を保って支持基板２１を配設し、この支持基板２１の下面側の基台２の上面と対向する位置に図９に示すように３つの空気軸受２２を配置し、これら空気軸受２２で支持基板２１を基台２に対して浮上支持する。そして、支持基板２１の上面における支持基板４ａを避けた前後位置に４本の支柱２３を植立し、これら支柱２３上に二次元テーブル２４を支持する。

そして、二次元テーブル２４とＸ軸直動機構４のボールねじナット４ｃとの間が板ばね２５によって連結されている。この板ばね２５は、図１０に示すように平面から見て円板状に形成され、その外周縁部が二次元テーブル２４の中心部に形成された円形凹部２４ａの外周側の段部２４ｂにボルト２６ａ及びナット２６ｂで固定されている。また、板ばね２５の中心部がスペーサ２７を介してＸ軸直動機構４のボールねじナット４ｃに固定した支持基板２８にボルト２９によって固定されている。なお、二次元テーブル２４には、板ばね２５を固定するボルト２９の頭部を挿通する挿通孔３０が形成されている。

この第２の実施形態によると、二次元テーブル２４を二次元に位置決めする動作については前述した第１の実施形態と同様であるが、二次元テーブル２４が基台２に対して空気軸受２２によって浮上支持され、この二次元テーブル２４とＸ軸直動機構４のボールねじナット４ｃとの間が板ばね２５で連結されている。このため、Ｘ軸直動機構４では二次元テーブル２４を支持していないので、二次元テーブル２４の荷重やこれに載置される可動部材の荷重がＸ軸直動機構４に作用することを抑制することができる。このため、Ｘ軸直動機構４の支持基板４ａを回動可能に支持する軸受部に過大なモーメントが作用することを防止することができ、円滑な回動を確保することができる。

しかも、二次元テーブル２４とＸ軸直動機構４のボールねじナット４ｃとの間が円板状の板ばね２５で連結されているので、Ｘ軸直動機構４のＹ軸方向の移動やＸ軸に対して傾斜される場合でも、その移動力を正確に二次元テーブル２４に伝達することができ、Ｘ軸直動機構４のボールねじナット４ｃと二次元テーブル２４との間に位置的な誤差が生じることを防止しながら、空気軸受２２による浮上距離のバラツキを吸収することができる。

また、二次元テーブル２４が空気軸受２２によって浮上支持されているので、円滑な移動を確保することができ、騒音の発生も防止することができる。
なお、上記第２の実施形態においては、板ばね２５を円板状に形成した場合について説明したがこれに限定されるものではなく、多角形板状や方形板状に形成することもでき、さらには竹の子ばね等のばね部材も適用することができる。

また、上記第２の実施形態においては、空気軸受２２で支持基板２１を支持する場合について説明したが、これに限定されるものではなく、空気軸受２２に代えて、ボール等の転動体を基台２及び支持基板２１間に介挿するようにしてもよい。
また、上記第１及び第２の実施形態においては、可動支持部材６をリニアガイド６ｄで構成される直動軸受で構成する場合について説明したが、これに限定されるものではなく、リニアガイド６ｄを省略し、これに代えてＸ軸方向に伸縮が可能な板ばね等のバネ部材やゴム等の弾性部材で水平板部６ｅ、垂直板部６ｆ及び水平板部６ｇで構成される支持板部を支持するようにすればよい。

また、上記第１及び第２の実施形態においては、固定支持部材５及び可動支持部材６に支持軸５ｄ及び６ｈを設けた場合について説明したが、これに限定されるものではなく、Ｘ軸直動機構４の支持基板４ａ側に支持軸を形成するようにしてもよい。
また、上記第１及び第２の実施形態においては、Ｙ軸直動機構３Ｂ側にリニアガイド６ｄで構成される直動軸受を配置した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、支持板部の水平板部６ｇとＸ軸直動機構４の支持基板４ａとの間に直動軸受を配置するようにしてもよい。
さらに、上記第１及び第２の実施形態においては、Ｙ軸直動機構３Ａ及び３Ｂを同一Ｙ軸座標上に配置する場合について説明したが、これに限定されるものではなく、Ｙ軸直動機構３Ａ及び３Ｂを互いにＹ軸方向にずらして配置するようにしてもよい。

また、上記第１及び第２の実施形態においては、Ｙ軸直動機構３Ａに固定支持部材５を設け、Ｙ軸直動機構３Ｂに可動支持部材６を設けた場合について説明したが、これに限定されるものではなく、Ｙ軸直動機構３Ａに可動支持部材６を設け、Ｙ軸直動機構３Ｂに固定支持部材５を設けるようにしてもよい。
また、上記第１及び第２の実施形態においては、２つのＹ軸直動機構３Ａ及び３Ｂと１つのＸ軸直動機構４とを設けた場合について説明したが、平行に配置した２つのＸ軸直動機構とこれら間に配設した１つのＹ軸直動機構とで二次元位置決め装置を構成するようにしてもよい。

さらに、上記第１及び第２の実施形態においては、Ｙ軸直動機構３Ａ及び３ＢとＸ軸直動機構４とを、案内レール及びボールねじ機構の組合せで構成する場合について説明したが、これに限定されるものではなく、案内レールとこれに摺動自在に案内されるスライダとで構成されるリニアガイドとボールねじ機構の組合せで構成することもできる。
さらに、上記第１及び第２の実施形態においては、Ｙ軸直動機構３Ｂのボールねじナット３ｂに配置したリニアガイド６ｄの案内レール６ｂをＹ軸と直交する方向に配置した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、Ｙ軸と交差する方向に配置すればよいものである。

１…二次元位置決め装置、２…基台、３Ａ，３Ｂ…Ｙ軸直動機構、３ａ…案内レール、３ｂ…ボールねじナット、３ｃ…ボールねじ軸、３ｄ…ボールねじ機構、３ｅ…Ｙ軸用モータ、４…Ｘ軸直動機構、４ａ…支持基板、４ｂ…案内レール、４ｃ…ボールねじナット、４ｄ…ボールねじ軸、４ｅ…ボールねじ機構、４ｆ…Ｘ軸用モータ、５…固定支持部材、５ｄ…組合せアンギュラ玉軸受、６…可動支持部材、６ｄ…リニアガイド、６ｉ…組合せアンギュラ玉軸受、２１…支持基板、２２…空気軸受、２３…支柱、２４…二次元テーブル、２５…板ばね

Claims

第１の案内部材に案内されて移動する第１の移動部材と当該第１の移動部材を駆動する第１の駆動機構とを有し、所定間隔を保って平行に配設された一対の直動機構と、
該一対の直動機構の移動部材に支持されて前記第１の案内部材と交差する方向に配設された第２の案内部材に案内されて移動する第２の移動部材と当該第２の移動部材を駆動する第２の駆動機構とを有し、前記一対の直動機構間に配設された交差直動機構とを備え、
前記交差直動機構は、一端が前記一対の直動機構の一方の移動部材に配設された固定支持部材に第１の回動支持部材を介して回動可能に支持され、他端が前記一対の直動機構の他方の移動部材との間に配設された前記第１の案内部材と交差する方向に移動可能な可動支持部材に第２の回動支持部材を介して回動可能に支持され、
前記固定支持部材は、前記一方の直動機構の前記第１の移動部材の上面に固定された第１の水平板部、該第１の水平板部の前記他方の直動機構側の端部から下方に延長する第１の垂直板部及び該第１の垂直板部の下端から前記交差直動機構側に延長する第２の水平板部から構成される断面クランク状の第１の平板部材を有し、
前記可動支持部材は、前記他方の直動機構の前記第１の移動部材の上面に配設された前記第１の案内部材と交差する方向に移動する可動機構と、該可動機構の上面に固定された第３の水平板部、該第３の水平板部の前記一方の直動機構側の端部から下方に延長する第２の垂直板部及び該第２の垂直板部の下端から前記交差直動機構側に延長する第４の水平板部から構成される断面クランク状の第２の平板部材とを有し、
前記交差直動機構は、一端が前記第１の平板部材の前記第２の水平板部との間で前記第１の回動支持部材を介して回動可能に支持され、他端が前記第２の平板部材の前記第４の水平板部との間で前記第２の回動支持部材を介して回動可能に支持されている
ことを特徴とする二次元位置決め装置。
前記第１の回動支持部材及び前記第２の回動支持部材は、背面組合せ形の組合せアンギュラ軸受であり、
前記可動機構は、直動軸受であることを特徴とする請求項１に記載の二次元位置決め装置。
前記直動軸受は、案内レールと、前記案内レールに案内されて移動するスライダとを有することを特徴とする請求項２に記載の二次元位置決め装置。
前記直動軸受は、リニアガイドであることを特徴とする請求項３に記載の二次元位置決め装置。
前記第２の駆動機構を構成する駆動源を前記交差直動機構の長手方向の端部に設け、前記交差直動機構を前記駆動源が前記可動支持部材側に位置するように配設したことを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の二次元位置決め装置。
前記交差直動機構は、第２の移動部材が基台に対して空気軸受で浮上支持されていることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の二次元位置決め装置。
前記交差直動機構の下面と前記基台との間に第１の支持基板を配設し、前記第１の支持基板の下面側の前記基台の上面と対向する位置に３つの空気軸受を配置して前記第１の支持基板を前記基台に対して浮上支持し、
前記第１の支持基板の上面における前記第２の移動部材の進退方向の一端側に２本と他端側に２本との４本の支柱を植立し、前記４本の支柱上及び前記第２の移動部材上に２次元駆動出力部が支持されていることを特徴とする請求項６に記載の二次元位置決め装置。
前記交差直動機構の第２の移動部材に当該第２の移動部材の移動方向以外に可動可能に２次元駆動出力部が支持されており、
前記２次元駆動出力部は、前記第２の移動部材に板ばねを介して支持されていることを特徴とする請求項６又は７に記載の二次元位置決め装置。
前記板ばねは、円板状に形成されていることを特徴とする請求項８に記載の二次元位置決め装置。
前記円板状の板ばねの外周縁部は、前記２次元駆動出力部の中心部に形成された円形凹部の外周側の段部に固定されていることを特徴とする請求項９に記載の二次元位置決め装置。
前記交差直動機構は、一端が前記第２の水平板部との間で前記第１の回動支持部材を介して回動可能に支持され、他端が第４の水平板部との間で前記第２の回動支持部材を介して回動可能に支持された支持基板上に、前記第２の案内部材及び前記第２の駆動機構が配設されていることを特徴とする請求項１乃至１０の何れか１項に記載の二次元位置決め装置。