JP4580876B2 - テーブル装置 - Google Patents
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Description
2 テーブル
3 設置面
4 駆動機構
4a 第一駆動機構
4b 第二駆動機構
6 第一揺動吸収機構
7 第二揺動吸収機構
8 上下動吸収機構
11 軸体
12 連結軸体
13 支持体
13a 溝
14 摺動体
14a 溝
15 エアーベアリング
22 連結体
59 ボール
Claims (7)
- 設置面に設置されワークが載置されるテーブルを具備したテーブル装置であって、前記テーブルを所定方向に駆動せしめる駆動機構が設けられ、前記駆動機構による駆動に起因して前記テーブルに生じるローリングを吸収する第一揺動吸収機構と、前記駆動機構による駆動に起因して前記テーブルに生じるピッチングを吸収する第二揺動吸収機構と、前記駆動機構による駆動に起因して前記テーブルに生じる上下動を吸収する上下動吸収機構とが設けられ、前記駆動機構は直線駆動用のアクチュエータであり、このアクチュエータの移動部と前記テーブルを支持し垂直方向に延設される支持体とは、前記第一揺動吸収機構,前記第二揺動吸収機構及び前記上下動吸収機構を介して連結されており、前記第一揺動吸収機構は、前記アクチュエータの移動部に固着されたベアリングAであり、このベアリングAには前記移動部の移動方向と同方向に延設される軸体が挿入されており、また、このベアリングAは前記軸体の回転を許容すると共に該軸体の軸方向への移動を阻止するように構成され、また、前記第二揺動吸収機構は、前記軸体に固着された連結体に固着されるベアリングBであり、このベアリングBには前記支持体に摺動自在に被嵌された摺動体に連結される連結軸体が挿入されており、また、このベアリングBは前記連結軸体の回転を許容すると共に該連結軸体の軸方向への移動を阻止するように構成され、この連結軸体は前記摺動体に前記軸体と水平方向に直交する状態で固着され、また、前記上下動吸収機構は、前記摺動体であり、この摺動体は該摺動体の前記支持体に対する摺動移動を許容すると共に該摺動体に対する前記支持体の回転を阻止するように構成されていることを特徴とするテーブル装置。
- 請求項1記載のテーブル装置において、前記支持体の外面及び前記摺動体の内面には溝が形成され、この溝にはボールが配設されていることを特徴とするテーブル装置。
- 請求項1,2いずれか1項に記載のテーブル装置において、前記支持体には該支持体と前記設置面との間隔を一定に保持する間隔保持機構が設けられていることを特徴とするテーブル装置。
- 請求項3記載のテーブル装置において、前記間隔保持機構はエアーベアリングであることを特徴とするテーブル装置。
- 請求項1〜4いずれか1項に記載のテーブル装置において、前記駆動機構は、前記テーブルを第二方向に駆動せしめる直線駆動用のアクチュエータから成る第一駆動機構と、前記テーブルを前記第二方向と直交する第一方向に駆動せしめる直線駆動用のアクチュエータから成る第二駆動機構とで構成されていることを特徴とするテーブル装置。
- 請求項5記載のテーブル装置において、前記第二駆動機構の移動部は前記第一駆動機構のハウジングに連結され、この第二駆動機構の移動部の移動により前記第一駆動機構を前記第一方向に移動するように構成され、前記第一揺動吸収機構は前記第一駆動機構の移動部に固着されていることを特徴とするテーブル装置。
- 請求項5,6いずれか1項に記載のテーブル装置において、前記第一揺動吸収機構若しくは第二揺動吸収機構のいずれか一方は、前記第一駆動機構による駆動に起因してテーブルに生じるローリングを吸収すると共に前記第二駆動機構による駆動に起因してテーブルに生じるピッチングを吸収するように構成され、他方は、前記第一駆動機構による駆動に起因してテーブルに生じるピッチングを吸収すると共に前記第二駆動機構による駆動に起因してテーブルに生じるローリングを吸収するように構成されていることを特徴とするテーブル装置。
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JP2006023913A JP4580876B2 (ja) | 2006-01-31 | 2006-01-31 | テーブル装置 |
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JP2006023913A JP4580876B2 (ja) | 2006-01-31 | 2006-01-31 | テーブル装置 |
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JP2007203398A JP2007203398A (ja) | 2007-08-16 |
JP4580876B2 true JP4580876B2 (ja) | 2010-11-17 |
Family
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Family Applications (1)
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JP2006023913A Active JP4580876B2 (ja) | 2006-01-31 | 2006-01-31 | テーブル装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP4580876B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0493139A (ja) * | 1990-08-08 | 1992-03-25 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | テーブルと駆動部の接続構造 |
JPH11166990A (ja) * | 1997-12-04 | 1999-06-22 | Nikon Corp | ステージ装置及び露光装置並びに走査型露光装置 |
JP2002100315A (ja) * | 2000-09-25 | 2002-04-05 | Jeol Ltd | 試料ステージ |
JP2003062733A (ja) * | 2001-08-27 | 2003-03-05 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ステージ装置 |
-
2006
- 2006-01-31 JP JP2006023913A patent/JP4580876B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0493139A (ja) * | 1990-08-08 | 1992-03-25 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | テーブルと駆動部の接続構造 |
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JP2002100315A (ja) * | 2000-09-25 | 2002-04-05 | Jeol Ltd | 試料ステージ |
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JP2007203398A (ja) | 2007-08-16 |
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