JP2003110007A

JP2003110007A - ステージ装置、保持装置、及び露光装置

Info

Publication number: JP2003110007A
Application number: JP2001305735A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Mori; 博史森; Yasuhito Kubota; 泰仁窪田; Masaki Sasamoto; 昌樹笹本; Toshiya Ota; 稔也太田
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2001-10-01
Filing date: 2001-10-01
Publication date: 2003-04-11

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】ステージ移動によって保持装置から発生する
振動のステージへの伝達を抑え、ステージ位置決め精度
に優れたステージ装置及び露光装置を提供する。【解決手段】基板ステージは、Ｘステージ８と、Ｘス
テージ８に接続し用力を伝達する用力ケーブルＫと、一
端をＸステージ８に接続するとともに他端をＹステージ
に接続し、用力ケーブルＫを保持してＸステージ８の移
動方向に沿って移動するケーブルベア（登録商標）２０
とを備え、Ｘステージ８とケーブルベア（登録商標）２
０との間には弾性体３１を有する防振部材３０が介在さ
れている。弾性体３１が変形することによりケーブルベ
ア（登録商標）２０で発生した振動は減衰されるので、
Ｘステージ８に伝達される振動は抑えられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はステージ装置、保持
装置、及び露光装置に関し、特に液晶表示素子、半導体
素子、薄膜磁気ヘッド等のデバイスを製造するためのリ
ソグラフィ工程に用いて好適なステージ装置、保持装
置、及び露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示素子、半導体素子は、マスク上
に形成されたパターンを基板上に転写する、いわゆるフ
ォトリソグラフィの手法により製造される。このフォト
リソグラフィ工程で使用される露光装置は、基板を載置
して２次元移動する基板ステージとパターンを有するマ
スクを載置して２次元移動するマスクステージとを有
し、マスク上に形成されたパターンをマスクステージ及
び基板ステージを逐次移動しながら投影光学系を介して
基板に転写するものである。

【０００３】露光装置としては、基板上にマスクパター
ン全体を同時に転写する一括露光型露光装置と、マスク
ステージと基板ステージとを同期走査させつつマスクパ
ターンを連続的に基板上に転写する走査露光型露光装置
との２種類が主に知られている。いずれの露光装置にお
いてもマスクと基板との相対位置を高精度に一致させて
マスクパターンの転写を行うことが要求されるため、マ
スクステージ及び基板ステージの位置決め精度は露光装
置の最も重要な性能の一つである。

【０００４】上記基板ステージ及びマスクステージ（以
下、両者を総称してステージという）には、基板及びマ
スクを吸着するための真空配管、ステージ内に設置され
ている各種駆動機構への電力供給ケーブル、ステージに
設置された各種センサの信号線、ステージを摺動可能と
するエアベアリングに使用する圧縮空気配管等（以下、
用力ケーブルという）の接続が不可避である。しかしな
がら、用力ケーブルをランダムに接続し、様々な方向に
引き出したのでは各用力ケーブルの張力が複雑に働き合
い、ステージの移動に支障を来すこととなる。

【０００５】そこで上記不都合を解決するため、ステー
ジには、用力ケーブルを保持し、ステージ移動に伴って
所定の運動軌跡を移動するように案内する保持装置、い
わゆるケーブルベアが使用されている。従来、ケーブル
ベアとしては図１３に示すようなものが使用されてい
た。図１３に示すケーブルベア２０は、複数の単位部材
２１を回転軸２２によって連続的に連結し、これにより
用力ケーブルＫを保持するものである。ケーブルベア２
０はＵ字型に屈曲されて使用され、一端をステージＳＴ
に、他端をステージＳＴとは別の部材Ｂに固定される。
図１４はケーブルベア２０の一端とステージＳＴとの連
結部の拡大図である。図１４に示すように、ケーブルベ
ア２０の一端には第１の取付金具１５０がねじ１５０ａ
によって固定されており、ステージＳＴには第２の取付
金具１５１がねじ１５１ａによって固定されている。そ
して、第１の取付金具１５０と第２の取付金具１５１と
は固定されており、これによりケーブルベア２０がステ
ージＳＴに固定される。また、用力ケーブルＫは、第１
の取付金具１５０に取り付けられたクランプ部材１５２
によって保持されている。同様に、図示はしないが、ケ
ーブルベア２０の他端も部材Ｂに固定されている。

【０００６】そして、ケーブルベア２０は、ステージＳ
Ｔの移動に伴い所定の屈曲半径Ｒを維持しつつ屈曲位置
を変えながら用力ケーブルＫを保持し案内するが、その
運動軌跡は単位部材２１自体に形成されたストッパ２７
（図１５参照）によって規定される。ここで、図１５を
参照しながらケーブルベア２０を構成する単位部材２１
について説明する。図１５に示すように、ケーブルベア
２０を構成する単位部材２１は、対向する２枚の長円形
の板状部材２３と、板状部材２３を連結する２枚の連結
板２４とから構成され、板状部材２３と連結板２４とに
より口の字型の開口を形成する。用力ケーブルＫはこの
口の字型の開口で保持される。板状部材２３の両端部は
半円形に形成されており、一方の半円の中心には回転軸
２２が形成され、もう一方の中心には軸受２５が形成さ
れている。回転軸２２と軸受２５とが嵌合することによ
り単位部材２１は回動可能となる。単位部材２１のう
ち、回転軸２２が形成されている側の半円端部の外面に
は切欠部２６が形成されており、板状部材２３の内面に
はストッパ２７が形成されている。そして、隣り合う単
位部材２１どうしの回転軸２２と軸受２５とを嵌合し、
単位部材２１のそれぞれを連結して回動させる際、スト
ッパ２７に切欠部２６が当たることによって、単位部材
２１の回動範囲が規定される。

【０００７】このように、単位部材２１のそれぞれに形
成されたストッパ２７によってケーブルベア２０の運動
軌跡が規定される。ケーブルベア２０はストッパ２７と
切欠部２６とが当たることによりステージＳＴに付設し
た位置より上方に膨らむことはなく、自重や用力ケーブ
ルＫの重量で垂れることもない。

【０００８】上記の通り、ステージＳＴはケーブルベア
２０を使用することより用力ケーブＫの運動軌跡を規定
し、スムーズな移動を確保していた。これは一般の工作
機械や搬送機械等でも通常用いられる技術である。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たケーブルベア２０においてはステージＳＴの移動に伴
い屈曲位置が移動する際、隣り合う単位部材２１どうし
の切欠部２６とストッパ２７とが連続的に衝突する。そ
して、ケーブルベア２０とステージＳＴとは、図１４に
示したようにねじや金具などの剛性部材を用いて固定さ
れているため、その衝撃（振動）がステージＳＴに直接
伝達される。また、用力ケーブルＫはクランプ部材１５
２で固定されているため、ケーブルベア２０との擦れな
どに起因する用力ケーブルＫの振動もクランプ部材１５
２及び取付金具１５０，１５１を介してステージＳＴに
伝達される。露光装置のステージは極めて高精度な位置
決め精度を要求されることから、一般の工作機械や搬送
機械ではあまり問題とならないこの振動がステージの位
置決め精度の劣化及びステージ位置決め静定時間の長時
間化を招くという不都合があった。

【００１０】特に走査露光型露光装置の場合、走査露光
にあたり、マスクステージと基板ステージとは常に高精
度に同期して走査する必要がある。（このマスクステー
ジと基板ステージとの同期走査性能を同期精度と呼
ぶ。）走査露光中に基板ステージに衝撃による振動が加
わった場合、基板ステージが予測不可能に大きく振動
し、マスクステージがこれに追従しきれず追従誤差が残
留する。このため、ごく短時間ではあるが両ステージの
相対位置関係にずれを生じ、同期精度が悪化する。この
露光時間帯はマスクパターンが基板に完全に転写（感
光）される前にマスクパターン像が基板に対してずれて
しまうので、基板に投影されるマスクパターン像のコン
トラストが低下しており、基板に形成された転写像は所
望のパターン線幅を得られない場合がある。微細な線幅
のパターンの場合には解像しないおそれすらあり、液晶
表示装置、半導体素子等に重大な欠陥を招来する。

【００１１】そこで、本発明はステージ移動によって保
持装置から発生する振動のステージへの伝達を抑え、ス
テージ位置決め精度及び解像力の劣化を引き起こすこと
のないステージ装置及び露光装置を提供することを第１
の目的とする。また、ステージ移動によって生じる振動
のステージへの伝達を抑え、円滑に用力ケーブルを保持
する保持装置を提供することを第２の目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め本発明は、実施の形態に示す図１〜図１２に対応付け
した以下の構成を採用している。本発明のステージ装置
（ＰＳＴ，ＭＳＴ）は、移動可能な第１部材（８）と、
第１部材（８）に接続し用力を伝達する用力伝達装置
（Ｋ）と、一端を第１部材（８）に接続するとともに他
端を第１部材（８）と異なる第２部材（９）に接続し、
用力伝達装置（Ｋ）を保持して第１部材（８）の移動方
向に沿って移動する保持装置（２０）とを備え、第１部
材（８）と第２部材（９）との少なくとも一方と保持装
置（２０）との間に弾性体（３１，３６，３７，３９，
６５）を介在させることを特徴とする。本発明によれ
ば、第１部材と第２部材との少なくとも一方と保持装置
との間に弾性体を介在させたことにより、第１部材の移
動によって保持装置から発生する振動は弾性体で減衰さ
れるので、第１部材あるいは第２部材への伝達を抑える
ことができる。

【００１３】この場合において、弾性体（３１）は、そ
の弾性変形方向を第１部材（８）の移動方向に沿って配
置されるとともに、第１部材（８）の移動方向と交わる
方向に並列に複数設けられている。このため、保持装置
と第１部材あるいは第２部材とは安定して接続されると
ともに、第１部材の移動方向と交わる方向への保持装置
の揺動も抑えられる。

【００１４】この場合において、弾性体（３１，３６、
３７，３９）は弾性領域内で所定量圧縮されている。こ
のため、振動が弾性体の弾性変形方向に対していずれの
方向に作用した際にも、弾性体は安定した除振性能を発
揮する。

【００１５】上記ステージ装置は、保持装置（２０）に
連結し凹部（５１Ａ）を有する第１連結部材（５１）
と、第１部材（８）又は第２部材（９）に連結し凹部
（５２Ａ）を有する第２連結部材（５２）と、第１連結
部材（５１）と第２連結部材（５２）とを接続するばね
部材（５３）とを有し、弾性体は、第１連結部材（５
１）及び第２連結部材（５２）のそれぞれの凹部（５１
Ａ，５２Ａ）の間に配置される弾性体（３６）であるも
のとすることができる。このため、保持装置から振動が
発生しても、第１連結部材の凹部と第２連結部材の凹部
とに狭持された弾性体の変形によって振動が減衰され、
第１部材あるいは第２部材に伝達される振動を抑えるこ
とができる。また、弾性体は第１連結部材と第２連結部
材との間に狭持された構成であるので、保持装置を含む
第１連結部材は第２連結部材に対して回転することがで
きる。したがって、保持装置を第１部材あるいは第２部
材に連結する際の位置調整が容易にできる。

【００１６】また、弾性体は、板ばね（３７）であると
することができ、板ばねの変位によって保持装置から発
生した振動を減衰し、第１部材あるいは第２部材に伝達
されれる振動を抑えることができる。また、保持装置
（２０）と第１部材（８）とを接続するロータリダンパ
（６５）を設けることによって、ロータリーダンパの回
転方向の変位により振動エネルギーを吸収することがで
きる。

【００１７】用力伝達装置は用力伝達ケーブル（Ｋ）を
有するとともに、ケーブル（Ｋ）は保持装置（２０）と
第１部材（８）との間で少なくとも２つの固定部材（４
５，４６）で固定されており、２つの固定部材（４５，
４６）どうしの間に配設されるケーブル（Ｋ’）の長さ
は、２つの固定部材（４５，４６）どうしの間の距離よ
り長く設定されている。このため、２つの固定部材どう
しの間に配設されるケーブルは弛んだ状態となり、ケー
ブルと保持装置との擦れなどに起因して発生するケーブ
ルの振動は、この弛まされた部分において減衰されるの
で、ケーブルから第１部材に伝達される振動を抑えるこ
とができる。

【００１８】この場合において、２つの固定部材（４
５，４６）どうしの間に配設されるケーブル（Ｋ’）
は、所定の力を作用した際、２つの固定部材（４５，４
６）どうしの間に配設されるケーブル以外の部分（Ｋ）
より撓み量が大きく設定されたケーブルである。すなわ
ち、２つの固定部材どうしの間に配設されるケーブル
は、他の部分より柔軟な材質あるいは構造になってお
り、こうすることにより、簡単に弛み状態を作ることが
できるとともに、さらに効果的な振動減衰効果を得るこ
とができる。

【００１９】そして、保持装置（２０）は、複数の単位
部材（２１）を回転軸（２２）によって回動自在に連結
したものであるため、ケーブルを円滑に案内できる。そ
して、単位部材（２１）どうしの衝突によって振動が発
生しても、上述した弾性体によって振動を効果的に減衰
できる。

【００２０】本発明の保持装置（２０）は、相対的に移
動可能な第１部材（８）と第２部材（９）とを連結し
て、第１部材（８）と第２部材（９）とを接続している
線状部材（Ｋ）を保持する保持装置において、第１部材
（８）と第２部材（９）との少なくとも一方と、保持装
置（２０）との連結部（１００）に弾性体（３１，３
６，３７，３９，６５）を有することを特徴とする。本
発明によれば、第１部材あるいは第２部材との連結部に
弾性体を設けたことにより、保持装置から発生する振動
は弾性体で減衰されるので、第１部材あるいは第２部材
への振動の伝達を抑えることができる。

【００２１】本発明の露光装置（ＥＸ）は、マスクステ
ージ（ＭＳＴ）に保持されたマスク（Ｍ）のパターンを
基板ステージ（ＰＳＴ）に保持された基板（Ｐ）に露光
する露光装置において、マスクステージ（ＭＳＴ）と基
板ステージ（ＰＳＴ）との少なくとも一方には、上記ス
テージ装置が用いられていることを特徴とする。本発明
によれば、保持装置から発生した振動は弾性体で減衰さ
れるので、ステージに対する振動の影響を抑えることが
できる。したがって、ステージ位置決め精度が高度に保
たれ、またステージ静定時間が短いので処理能力（スル
ープット）に優れ、更に結像性能においても安定した性
能を発揮する。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明のステージ装置、保
持装置、露光装置について図面を参照しながら説明す
る。図１は本発明に関する保持装置を有する走査型露光
装置の全体構成図である。図１において、露光装置ＥＸ
は、マスクステージ（ステージ装置）ＭＳＴに保持され
ているマスクＭを露光光で照明する照明光学系ＩＵと、
露光光で照明されたマスクＭのパターンを基板ステージ
（ステージ装置）ＰＳＴに保持されている感光性の基板
Ｐに投影する投影光学系ＰＬとを備えている。なお図１
では走査型露光装置として液晶表示素子パターンを露光
する液晶表示素子露光用の走査型露光装置を図示してい
る。

【００２３】照明光学系ＩＵは、不図示の光源から射出
された露光光を均一化し整形し、この露光光を液晶表示
素子パターンが形成されたマスクＭに照射する。光源と
してはｇ線、ｈ線、ｉ線等の紫外線域の輝線や、エキシ
マレーザーが用いられる。なお、後述するように投影光
学系ＰＬを複数用いた場合には、複数の投影光学系ＰＬ
の数に応じて照明光学系ＩＵも複数用いればよい。

【００２４】マスクステージＭＳＴはマスクＭを真空吸
着により保持し、マスク保持面に対して平行に２次元的
に移動可能である。また、マスクステージＭＳＴは摺動
装置としてエアベアリング（不図示）を有し、不図示の
駆動装置によりマスク保持面に平行なＸ方向（紙面に平
行な方向）に走査可能であるとともに、Ｘ方向と直交し
マスク保持面に平行なＹ方向にも微動可能である。Ｘ方
向の駆動装置としてはムービングコイル型リニアモータ
を使用するのが望ましい。マスクステージＭＳＴの位置
は、マスクステージ干渉計５によって位置計測される。
マスクステージ干渉計５はマスクステージＭＳＴの位置
をｎｍオーダーで計測可能である。

【００２５】投影光学系ＰＬはマスクＭを照射した露光
光をレジスト（感光剤）の塗布された基板Ｐ上に投影
し、マスクＭに形成されたパターンを角型のガラスプレ
ートである基板Ｐに転写する。投影光学系ＰＬの投影倍
率は等倍、１／４倍、１／５倍等の各種の倍率が用いら
れる。投影倍率は縮小倍率に限らず、拡大倍率でも構わ
ない。投影光学系ＰＬとしては光軸に沿って光学部品を
複数配置した屈折光学系や、反射光学系を一部に有する
ダイソン型光学系を使用することができる。投影光学系
ＰＬは一つに限らず、複数搭載することができる。たと
えば、露光光を複数の台形状に成形しこれらをそれぞれ
投影する複数のダイソン型光学系を、投影された台形状
の露光領域の上底がＹ軸（非走査方向）と平行になるよ
うに２列に配置し、かつ第１列の台形の斜辺部分と第２
列の台形の斜辺部分とがＸ方向（走査方向）からみて重
なるように千鳥状に配置することができる。このように
複数の投影光学系ＰＬの露光領域を部分的に重ねること
により、大型の基板Ｐ（たとえば１０００ｍｍ×１００
０ｍｍ）に前述の液晶表示素子パターンを露光すること
ができる。

【００２６】投影光学系ＰＬ及びマスクステージＭＳＴ
は、それぞれ第１コラム１及び第２コラム２によって支
持される。第１コラム１は定盤３上に設置され投影光学
系ＰＬを支持し、第２コラム２はその上面にマスクステ
ージＭＳＴが移動する案内面を形成され、第１コラム１
上に設置される。

【００２７】定盤３は、基板ステージＰＳＴが２次元的
に移動する案内面を形成されており、防振台４上に設置
される。防振台４は、床からの振動が定盤３に伝達する
ことを防ぐため防振パッドを用いている。また、防振台
４は床振動の伝達を抑えるとともにマスクステージＭＳ
Ｔ及び基板ステージＰＳＴの走査による振動を制振する
ために、エアパッドと電磁アクチュエータ及び定盤３の
位置や加速度を計測するセンサとを組み合わせて構成
し、能動的に除振するシステムとしても構わない。

【００２８】基板ステージＰＳＴは投影光学系ＰＬの下
方に配置され、基板Ｐを真空吸着により保持して２次元
に移動する。基板ステージＰＳＴの位置は、基板ステー
ジ干渉計６によって計測される。基板ステージ干渉計６
は基板ステージＰＳＴの位置をｎｍオーダーで計測でき
る。

【００２９】マスクステージＭＳＴ及び基板ステージＰ
ＳＴはステージ制御装置７により動作制御が行われ、ス
テージ制御装置７を含む本露光装置の全ての制御装置
は、主制御装置ＭＰにより動作制御が行われる。

【００３０】図２は基板ステージ（ステージ装置）ＰＳ
Ｔの詳細を示す図であり、以下、図２に沿って基板ステ
ージＰＳＴの構成について詳細に説明する。基板ステー
ジＰＳＴは、定盤３上に形成された案内面と平行なＹ方
向に摺動可能なＹステージ９と、Ｙステージ９上をＹ方
向と直交し案内面と平行なＸ方向に摺動可能なＸステー
ジ８とから構成される。Ｘステージ８、Ｙステージ９の
いずれも摺動装置としてエアベアリング（不図示）が用
いられる。また、Ｘステージ８及びＹステージ９は駆動
装置１０、１１により各軸方向に駆動可能である。駆動
装置１０、１１としては、リニアモータを使用すること
ができる。

【００３１】基板ステージＰＳＴは、Ｘステージ（第１
部材）８に接続し用力を伝達する用力ケーブル（用力伝
達装置、用力伝達ケーブル、線状部材）Ｋと、一端をＸ
ステージ（第１部材）８に付設するとともに他端をＹス
テージ（第２部材）９に付設したＸケーブルベア（保持
装置）２０Ｘとを備えている。更に、基板ステージＰＳ
Ｔは、Ｙステージ（第１部材）９に接続し用力を伝達す
る用力ケーブルＫと、一端をＹステージ（第１部材）９
に付設するとともに他端を定盤（第２部材）３に付設し
たＹケーブルベア（保持装置）２０Ｙとを備えている。
用力ケーブルＫは、基板Ｐを吸着するための真空配管、
ステージ８，９に設置された各種センサの信号線、Ｘス
テージ８内に設置されているＺ方向駆動機構への電力供
給ケーブル、ステージ８，９を摺動可能とするエアベア
リングに使用する圧縮空気配管等の用力ケーブルであ
る。ここで、以下の説明において、Ｘステージ８とＹス
テージ９とを連結するＸケーブルベア２０Ｘと、Ｙステ
ージ９と定盤３とを連結するＹケーブルベア２０Ｙとを
合わせて適宜、ケーブルベア（保持装置）２０と称す
る。

【００３２】ケーブルベア２０は、図１３及び図１５を
用いて説明した構成と同等の構成を有する。すなわち、
ケーブルベア２０は、複数の単位部材２１を回転軸２２
によって回動自在に連結したものであって、ストッパ２
７の位置・形状に基づく運動軌跡で用力ケーブルＫを保
持しながらＸステージ８（またはＹステージ９）の移動
方向に沿って屈曲位置を変えながら移動する。そして、
ケーブルベア２０においては、ステージ８，９の移動に
伴って切欠部２６とストッパ２７とが当たり、振動が発
生する。

【００３３】以下、図３〜図１０を参照しながら、本発
明の基板ステージＰＳＴの特徴的な部分であるケーブル
ベア２０とステージとの連結部について説明する。以下
の説明ではＸケーブルベア２０ＸとＸステージ８との連
結部について説明するが、Ｘケーブルベア２０ＸとＹス
テージ９との連結部、Ｙケーブルベア２０ＹとＹステー
ジ９との連結部、あるいはＹケーブルベア２０Ｙと定盤
３との連結部としてもよい。

【００３４】図３，図４，図５を参照しながら、本発明
の基板ステージ（ステージ装置）ＰＳＴの第１実施形態
について説明する。図３は基板ステージＰＳＴのＸステ
ージ８とケーブルベア２０との連結部１００を−Ｙ側か
ら見た拡大図であり、図４は＋Ｚ側から見た図である。
図３及び図４に示すように、基板ステージＰＳＴの連結
部１００において、ケーブルベア２０とステージ８との
間には、弾性体３１を有する防振部材３０が介在してい
る。防振部材３０は、図５に示すように、円柱形の弾性
体３１と、弾性体３１の両端に接着剤で接着された金属
からなる円形の板部３２と、弾性体３１の周囲に設けら
れたばね部材３３とを備えている。円柱形の弾性体３１
はその軸線方向を弾性変形方向としている。ばね部材３
３は弾性体３１に対して離間しつつ弾性体３１を巻くよ
うに配置され、その両端を２つの板部３２のそれぞれに
接着剤で接着している。また、それぞれの板部３２のう
ち弾性体３１と接着している面と反対側には、おねじ３
４がそれぞれ設けられている。弾性体３１はゴムなどの
弾性を有する材質で構成されている。なお、この弾性体
３１としては弾性を有する材質であればよく、ゴム以外
の任意の合成樹脂製でもよい。弾性体３１の材質は、ケ
ーブルベア２０の単位部材２１の切欠部２６とストッパ
２７とが当たった際に発生する振動成分に応じて選択さ
れる。すなわち、ケーブルベア２０から発生した振動を
十分に減衰してステージ８に伝達しないように、ケーブ
ルベア２０から発生する振動周波数に応じて、最適な弾
性係数及び減衰係数（減衰特性）を有する材質が選択さ
れる。同様に、ばね部材３３の弾性係数もケーブルベア
２０から発生する振動成分に応じて設定される。なお、
ケーブルベア２０から発生する振動成分は、実験的な振
動解析によって求められる。

【００３５】図３に示すように、ケーブルベア２０の一
端には、−Ｙ側から見て逆Ｌ字状の第１取付部材（取付
金具）４１がねじ５０ａによって固定されている。一
方、ステージ８には第２取付部材４２がねじ５０ｂによ
って固定されている。ここで、第１取付部材４１及び第
２取付部材４２のそれぞれは、Ｚ方向に延びるように形
成され互いに対向する支持面４１ａ及び支持面４２ａを
有している。支持面４２ａは支持面４１ａより＋Ｘ側に
配置されている。第２取付部材４２には、支持面４１ａ
と支持面４２ａとの間に配置される支持面４３ａを有す
る第３取付部材４３が固定されている。さらに、第３取
付部材４３の下部は−Ｘ側に延びており、その先端には
支持面４１ａの−Ｘ側に配置され支持面４１ａと対向す
る支持面４４ａを有する第４取付部材４４が固定されて
いる。

【００３６】図３及び図４に示すように、防振部材３０
は複数設けられており、それぞれの弾性変形方向をステ
ージ８の移動方向（Ｘ方向）に沿って配置されている。
このうち、支持面４１ａと支持面４３ａとの間には１つ
の防振部材３０が設けられ、おねじ３４とナット３５と
によって支持面４１ａ，４３ａのそれぞれに固定されて
いる。また、支持面４１ａと支持面４４ａとの間には２
つの防振部材３０がステージ８の移動方向と交わる方向
（Ｙ方向）に並列に設けられ、おねじ３４とナット３５
とによって支持面４１ａ，４４ａのそれぞれに固定され
ている。防振部材３０をステージ８の移動方向（すなわ
ちケーブルベア２０の一端の移動方向）と交わる方向に
並列に複数設けることにより、ケーブルベア２０とステ
ージ８とは安定して接続されるとともに、ケーブルベア
２０の水平方向への揺動も抑えられる。

【００３７】また、上述したように、連結部１００に
は、ケーブルベア２０の一端から離れた位置にある防振
部材（つまり支持面４１ａと４３ａとの間の防振部材）
３０と、この防振部材３０よりケーブルベア２０に近い
位置にある防振部材（つまり支持面４１ａと４４ａとの
間の防振部材）３０とが設けられているが、図３に示す
ように、支持面４１ａと４３ａとの間に配置されている
防振部材３０は、支持面４１ａと４４ａとの間に配置さ
れている防振部材３０に対して上方（＋Ｚ側）に距離Ｂ
ずれて配置されている。具体的には、ケーブルベア２０
の一端から離れた位置にある防振部材３０と近い位置に
ある防振部材３０とのそれぞれが、それぞれの軸線のＺ
方向における位置をずらし、且つ、それぞれの板部３２
を所定量オーバーラップするように配置されるように距
離Ｂが設定されている。このように、ケーブルベア２０
の一端から離れた位置にある防振部材３０のＺ方向にお
ける位置を、ケーブルベア２０に近い位置にある防振部
材３０より高く設定したことにより、ケーブルベア２０
のＹ軸まわり方向への移動（回転）を抑えることができ
る。

【００３８】それぞれの防振部材３０の弾性体３１は、
防振部材３０を固定するナット３５の巻き締め量の調整
により、弾性領域内で所定量圧縮された状態で連結部１
００に取り付けられている。すなわち、連結部１００に
取り付けられた際の防振部材３０の軸線方向の長さ（弾
性体３１の軸線方向の長さと板部３２の厚みとの和）を
Ａ、支持面４１ａの厚みをＣ、防振部材３０の自然長
（外力が作用されていない状態での防振部材３０の軸線
方向の長さ）をＬ、としたとき、Ａ＜２Ｌ＋Ｃの
関係が成り立つように設定されている。具体的には、連
結部１００に取り付けられた状態での弾性体３１は自然
長に対して１０〜３０％程度圧縮されている。弾性体３
１は所定量圧縮されていることで、ステージ８が＋Ｘ方
向あるいは−Ｘ方向のいずれに移動した際にも安定した
除振性能を発揮する。また、弾性体３１を所定量圧縮さ
せておくことにより、ケーブルベア２０はステージ８に
連結された位置より上方に盛り上がることなく安定して
支持される。

【００３９】用力ケーブルＫは、ケーブルベア２０とス
テージ８との間で２つのクランプ部材（固定部材）４
５，４６によって固定されている。このうち、クランプ
部材４５は第１取付部材４１に固定され、クランプ部材
４６は第２取付部材４２に固定されている。そして、２
つのクランプ部材４５，４６どうしの間に配設される用
力ケーブルＫ’の長さは２つのクランプ部材４５，４６
どうしの間の距離より長く設定されており、図３に示す
ように、２つのクランプ部材４５，４６どうしの間に配
設される用力ケーブルＫ’は弛んだ状態となっている。
用力ケーブルＫ（Ｋ’）をケーブルベア２０とステージ
８との間で弛ませておくことにより、ケーブルベア２０
との擦れなどに起因して発生する用力ケーブルＫの振動
は弛まされた部分において減衰されるので、ステージ８
に伝達されない。

【００４０】ここで、２つのクランプ部材４５，４６ど
うしの間に配設されるケーブルＫ’は、所定の力を作用
した際、この２つのクランプ部材４５，４６どうしの間
に配設される以外の部分のケーブル（すなわちケーブル
Ｋ）より撓み量が大きく設定されたケーブルによって構
成されている。つまり、ケーブルＫ’はケーブルＫより
柔軟な材質あるいは構造によって構成されている。具体
的には、用力ケーブルＫが基板を吸着するための真空配
管やステージを摺動可能とするエアベアリングに使用す
る圧縮空気配管など気体を通す用力ケーブルの場合に
は、クランプ部材４５，４６にマニホルドを設け、この
マニホルドを介して、用力ケーブルＫとこの用力ケーブ
ルＫより柔軟な材質からなる用力ケーブルＫ’とが接続
される。また、用力ケーブルＫがステージ内に設置され
ている各種駆動機構への電力供給ケーブルやステージに
設置された各種センサの信号線など電力を通す用力ケー
ブルの場合には、クランプ部材４５，４６にコネクタを
設け、このコネクタを介して、用力ケーブルＫとこの用
力ケーブルＫより柔軟な構造の用力ケーブルＫ’とが接
続される。この場合の用力ケーブルＫは電線を寄り合わ
せたロボット線材などの硬いケーブルであり、用力ケー
ブルＫ’は一般線材である。用力ケーブルＫ’を他の部
分である用力ケーブルＫより柔軟なものとしたことによ
り、用力ケーブルＫで発生した振動を用力ケーブルＫ’
で減衰できるので、ステージ８に対する振動の伝達を確
実に抑えることができる。なお、用力ケーブルＫ’は用
力ケーブルＫより強度が低く劣化しやすいが、マニホル
ドやコネクタを介して用力ケーブルＫに対して接続・離
脱可能なので、劣化したら交換すればよい。

【００４１】以上説明した構成を有するケーブルベア２
０によれば、ステージ８の移動に伴ってケーブルベア２
０の切欠部２６とストッパ２７とが当たり、ケーブルベ
ア２０から振動が発生しても、連結部１００に設けられ
た弾性体３１を有する防振部材３０によってステージ８
に伝達される振動は減衰される。このとき、防振部材３
０をステージ８の移動方向と交わる方向に並列に複数設
けたことにより、ケーブルベア２０とステージ８とは安
定して接続されるとともに、ケーブルベア２０の水平方
向への揺動も抑えられる。そして、ナット３５を用いて
弾性体３１を弾性領域内で予め圧縮しておくことによ
り、ステージ８が＋Ｘ方向あるいは−Ｘ方向のいずれに
移動した際にも安定した除振性能を発揮する。また、用
力ケーブルＫをケーブルベア２０とステージ８との間で
弛ませておくことにより、用力ケーブルＫとケーブルベ
ア２０との擦れなどに起因して発生する用力ケーブルＫ
の振動は弛んだ部分において減衰されるので、用力ケー
ブルＫからステージ８に伝達される振動を抑えることが
できる。そして、この弛まされる部分のケーブルＫ’を
他の部分のケーブルＫより柔軟な材質あるいは構造にす
ることにより、簡単に弛み状態を作ることができるとと
もに、さらに効果的な振動減衰効果を得ることができ
る。そして、用力ケーブルＫで発生した振動は防振部材
３０や弛み状態のケーブルＫ’で減衰されるので、用力
ケーブルＫとしてどのような材質・構造のものを用いて
もよく、用いる用力ケーブルの選択範囲を広げることが
できる。このとき、耐久性の高い用力ケーブルＫを選択
することによって用力ケーブルＫの交換期間が長くなる
ので低コスト化が実現される。

【００４２】次に、図６を参照しながら、本発明のステ
ージ装置の第２実施形態について説明する。図６（ａ）
はケーブルベア２０とステージ８との連結部１００を−
Ｙ側から見た拡大図、図６（ｂ）は＋Ｚ側から見た図、
図６（ｃ）は図６（ｂ）のＡ−Ａ矢視図である。ここ
で、以下の説明において、上述した第１実施形態と同一
又は同等の構成部分についてはその説明を簡略もしくは
省略する。ケーブルベア２０とステージ８との連結部１
００は、ケーブルベア２０の一端にねじ５０ａで固定さ
れた第１取付部材４１と、第１取付部材４１にねじ５０
ｃで固定された第１連結部材５１と、ステージ８にねじ
５０ｂで固定された第２取付部材４２と、第２取付部材
４２にねじ５０ｄで固定された第２連結部材５２とを有
しており、第１連結部材５１は第１取付部材４１を介し
てケーブルベア２０に連結し、第２連結部材５２は第２
取付部材４２を介してステージ８に連結している。第１
連結部材５１及び第２連結部材５２のそれぞれはＶ字溝
状の凹部５１Ａ及び凹部５２Ａを有しており、それぞれ
の凹部５１Ａと凹部５２Ａとを対向した状態でばね部材
５３によって接続されている。ここで、ばね部材５３は
４つあり、第１連結部材５１と第２連結部材５２とのそ
れぞれの外面どうしを連結している。

【００４３】対向する第１連結部材５１の凹部５１Ａと
第２連結部材５２の凹部５２Ａとの間には球状の弾性体
３６が配置されている。この弾性体３６は所定の弾性係
数及び減衰係数（減衰特性）を有するゴム製である。な
お、この弾性体３６としては弾性を有する材質であれば
よく、ゴム以外の任意の合成樹脂製でもよい。そして、
球状の弾性体３６は、ばね部材５３によって、凹部５１
Ａと凹部５２Ａとの間に狭持されている。ここで、ばね
部材５３の張力は、凹部５１Ａと凹部５２Ａとの間に弾
性体３６を挟持した際、弾性領域内で圧縮するように設
定されている。また、ばね部材５３の張力は、振動が作
用した際にも、第１連結部材５１と第２連結部材５２と
の間での弾性体３６の狭持を維持可能な程度に設定され
ている。

【００４４】以上説明した構成を有するケーブルベア２
０によれば、ステージ８の移動に伴ってケーブルベア２
０の切欠部２６とストッパ２７とが当たり、ケーブルベ
ア２０から振動が発生しても、連結部１００に設けられ
た弾性体３６の変形によって振動エネルギーが吸収さ
れ、ステージ８に伝達される振動は減衰される。そし
て、弾性体３６は、第１連結部材５１の凹部５１Ａと第
２連結部材５２の凹部５２Ａとの間に狭持された構成で
あるので、ケーブルベア２０を含む第１連結部材５１は
第２連結部材５２に対してＸ軸まわりに回転することが
できる。このため、ケーブルベア２０を連結部１００を
介してステージ８に連結する際の位置調整作業などを効
率良く簡単に行うことができる。また、弾性体３６は球
状体であるため、回転方向（Ｘ軸まわり方向）への取付
自由度が高く、また、図５に示したような円柱形の弾性
体３１に比べて剪断力に強いという利点がある。

【００４５】次に、図７を参照しながら、本発明のステ
ージ装置の第３実施形態について説明する。図７はケー
ブルベア２０とステージ８との連結部１００を−Ｘ側か
ら見た図である。ケーブルベア２０とステージ８との連
結部１００は、ケーブルベア２０にねじ５０ｅで固定さ
れた取付部材４７と、取付部材４７とステージ８とを接
続する弾性体としての板ばね３７とを有している。ここ
で、ステージ８には板ばね３７と連結するための凸部８
ａが形成されている。取付部材４７は、ケーブルベア２
０を支持する水平板部４７ａと、ステージ８に対向する
垂直板部４７ｂとを有している。板ばね３７は２つ設け
られており、一方の板ばね３７Ａは一端を垂直板部４７
ｂの上部に接続し他端をステージ８に接続しており、も
う一方の板ばね３７Ｂは一端を垂直板部４７ｂの下部に
接続し他端をステージ８に接続している。また、垂直板
部４７ｂの中央部とステージ８とはゴムなどの減衰部材
３８で接続されている。ここで、取付部材４７及び板ば
ね３７は、ケーブルベア２０の長手方向（Ｘ方向）に所
定間隔で複数箇所に設けられている。

【００４６】以上説明した構成を有するケーブルベア２
０によれば、ステージ８の移動に伴ってケーブルベア２
０の切欠部２６とストッパ２７とが当たり、ケーブルベ
ア２０から振動が発生しても、板ばね３７の変位（矢印
ｒ参照）によって振動エネルギーが吸収され、ステージ
８に伝達される振動は減衰される。なお、板ばね３７の
変位は減衰部材３８によってやがて収束する。

【００４７】次に、図８を参照しながら、本発明のステ
ージ装置の第４実施形態について説明する。図８（ａ）
はケーブルベア２０とステージ８との連結部１００を−
Ｘ側から見た図、図８（ｂ）は＋Ｚ側から見た図であ
る。ケーブルベア２０とステージ８との連結部１００
は、ケーブルベア２０を支持する受け皿部４８と、受け
皿部４８の両側に取り付けられた取付部材４９Ａ、４９
Ｂと、ステージ８にねじ５０ｆで固定された取付部材６
０とを有している。取付部材６０は、ケーブルベア２０
を支持する受け皿部４８の−Ｚ側に離間して設けられて
いる。そして、取付部材４９Ａ、４９Ｂのそれぞれと取
付部材６０との間には、図５で説明した防振部材３０が
取り付けられている。防振部材３０の弾性体３１は、防
振部材３０を取付部材４９Ａ、４９Ｂ、取付部材６０に
固定するナット３５の巻き締め量の調整によって、弾性
領域内で所定量圧縮されている。連結部１００に取り付
けられた状態の弾性体３１の圧縮量は、第１実施形態同
様、自然長に対して１０〜３０％程度圧縮されている。
ケーブルベア２０は、その両側に取り付けられた防振部
材３０によって、取付部材６０上で揺動可能となってい
る。

【００４８】以上説明した構成を有するケーブルベア２
０によれば、ステージ８の移動に伴ってケーブルベア２
０の切欠部２６とストッパ２７とが当たり、ケーブルベ
ア２０から振動が発生しても、防振部材３０の弾性体３
１の変形によって振動エネルギーが吸収され、ステージ
８に伝達される振動は減衰される。

【００４９】次に、図９を参照しながら、本発明のステ
ージ装置の第５実施形態について説明する。図９はケー
ブルベア２０とステージ８との連結部１００を−Ｙ側か
ら見た図である。

【００５０】ケーブルベア２０とステージ８との連結部
１００は、ケーブルベア２０の一端にねじ５０ａで固定
された第１取付部材４１と、第１取付部材４１とケーブ
ルベア２０との間に介在する弾性体としてのラバーパッ
ド（防振パッド）３９と、ステージ８にねじ５０ｂで固
定された第２取付部材４２とを有しており、第１取付部
材４１と第２取付部材４２とは固定されている。

【００５１】以上説明した構成を有するケーブルベア２
０によれば、ステージ８の移動に伴ってケーブルベア２
０の切欠部２６とストッパ２７とが当たり、ケーブルベ
ア２０から振動が発生しても、防振パッド３９によって
振動エネルギーが吸収され、ステージ８に伝達される振
動は減衰される。

【００５２】次に、図１０を参照しながら、本発明のス
テージ装置の第６実施形態について説明する。第６実施
形態に関するケーブルベア２０は、基板ステージＰＳＴ
の定盤３とＹステージ９とを連結するケーブルベア２０
Ｙであり、図１０（ａ）はケーブルベア２０とステージ
９の接続部９ａ（図２参照）との連結部１０１を−Ｘ側
から見た図、図１０（ｂ）は＋Ｚ側から見た図である。
ケーブルベア２０とステージ９との連結部１０１は、ケ
ーブルベア２０の一端にねじ５０ａで固定された取付部
材６１と、取付部材６１に連結されたロータリーダンパ
６５と、ロータリーダンパ６５とステージ９とを連結す
るねじなどの取付部材６２とを有している。ロータリー
ダンパ６５は、回転方向（Ｙ軸まわり方向）に作用する
変位や加速度に対する減衰機能を有するものである。

【００５３】図１０（ｂ）に示すように、取付部材６１
のうちロータリーダンパ６５と接続している側の端部
は、−Ｙ側に向かって窄まる凸部６１ａとなっている。
ステージ９には支持アーム７０が固定されている。支持
アーム７０は、＋Ｚ側から見た際、ケーブルベア２０側
に向けて開口するコ字状部材である上側アーム７０ａ
と、上側アーム７０ａの下側に設けられ、上側アーム７
０ａと同様ケーブルベア２０側に向けて開口するコ字状
部材である下側アーム７０ｂと、上側アーム７０ａと下
側アーム７０ｂとのそれぞれの両端を接続するように設
けられた柱部材７３Ａ、７３Ｂとを有している。そし
て、取付部材６１の凸部６１ａの＋Ｘ側面及び−Ｘ側面
と、柱部材７３Ａ及び柱部材７３Ｂのそれぞれの中央部
とは、ばね部材８１、８２を介してそれぞれ接続されて
いる。

【００５４】以上説明した構成を有するケーブルベア２
０によれば、ステージ９の移動に伴ってケーブルベア２
０の切欠部２６とストッパ２７とが当たり、ケーブルベ
ア２０から振動が発生しても、ロータリーダンパ６５の
回転方向の変位やばね部材８１，８２の伸縮によって振
動エネルギーが吸収され、ステージ９に伝達される振動
は減衰される。ロータリーダンパ６５の変位はばね部材
８１，８２によってやがて収束する。

【００５５】なお、上記各実施形態において、弾性体は
Ｘケーブルベア２０Ｘの一端とＸステージ８との連結部
に設けられているように説明したが、Ｘケーブルベア２
０Ｘの他端とＹステージ９との連結部に設けてもよい。
もちろん、Ｘケーブルベア２０Ｘの両端の連結部に弾性
体を設ける構成としてもよい。同様に、Ｙケーブルベア
２０Ｙの一端とＹステージ９との連結部、あるいはＹケ
ーブルベア２０Ｙと定盤３との連結部のいずれか一方、
もしくはＹケーブル部屋２０Ｙの両端の連結部に弾性体
を設ける構成としてもよい。また、本発明の弾性体を有
するケーブルベアは基板ステージＰＳＴに設けられたも
のとして説明したが、マスクステージＭＳＴに設けられ
てもよい。

【００５６】上記各実施形態において、本発明のケーブ
ルベア２０はステージ８，９に対して用力を伝達する用
力ケーブルＫを保持するものであるが、相対的に移動可
能な２つの任意の部材（ステージ）のそれぞれに接続し
た任意の線状部材（ケーブル）を保持するものに適宜用
いることができる。

【００５７】なお、図１１に示すように、ケーブルベア
２０を構成する単位部材２１の内部に、例えば電力導通
用ケーブルＫａと気体導通用ケーブルＫｂといったよう
に複数のケーブルＫを仕切る仕切部材２９を設けてもよ
い。仕切部材２９によりケーブルベア２０が移動する際
のケーブルＫのばらつきを抑えることができる。ここ
で、仕切部材２９はケーブルベア２０を構成する全ての
単位部材２１のそれぞれに設ける必要はなく、所定間隔
毎に（例えば単位部材２１の１つおきに）設けてもよ
い。

【００５８】なお、上記各実施形態の基板Ｐとしては、
液晶ディスプレイデバイス用のガラス基板のみならず、
半導体デバイス用の半導体ウエハや、薄膜磁気ヘッド用
のセラミックウエハ、あるいは露光装置で用いられるマ
スクまたはレチクルの原版（合成石英、シリコンウエ
ハ）等が適用される。

【００５９】露光装置ＥＸとしては、マスクＭと基板Ｐ
とを同期移動してマスクＭのパターンを走査露光するス
テップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置の他
に、マスクＭと基板Ｐとを静止した状態でマスクＭのパ
ターンを露光し、基板Ｐを順次ステップ移動させるステ
ップ・アンド・リピート方式の投影露光装置にも適用す
ることができる。

【００６０】露光装置ＥＸの種類としては、角型のガラ
スプレートに液晶表示素子パターンを露光する液晶表示
素子製造用の露光装置に限られず、ウエハに半導体デバ
イスパターンを露光する半導体デバイス製造用の露光装
置や、薄膜磁気ヘッド、撮像素子（ＣＣＤ）あるいはマ
スクなどを製造するための露光装置などにも広く適用で
きる。

【００６１】また、露光用照明光の光源として、超高圧
水銀ランプから発生する輝線（ｇ線（４３６ｎｍ）、ｈ
線（４０４．７ｎｍ）、ｉ線（３６５ｎｍ））、ＫｒＦ
エキシマレーザ（２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレーザ
（１９３ｎｍ）、Ｆ₂レーザ（１５７ｎｍ）のみなら
ず、Ｘ線や電子線などの荷電粒子線を用いることができ
る。例えば、電子線を用いる場合には電子銃として、熱
電子放射型のランタンヘキサボライト（ＬａＢ₆）、タ
ンタル（Ｔａ）を用いることができる。さらに、電子線
を用いる場合は、レチクルＲを用いる構成としてもよい
し、レチクルＲを用いずに直接ウエハ上にパターンを形
成する構成としてもよい。また、ＹＡＧレーザや半導体
レーザ等の高周波などを用いてもよい。

【００６２】投影光学系ＰＬとしては、エキシマレーザ
などの遠紫外線を用いる場合は硝材として石英や蛍石な
どの遠紫外線を透過する材料を用い、Ｆ₂レーザやＸ線
を用いる場合は反射屈折系または屈折系の光学系にし
（マスクＭも反射型タイプのものを用いる）、また電子
線を用いる場合には光学系として電子レンズ及び偏向器
からなる電子光学系を用いればよい。なお、電子線が通
過する光路は、真空状態にすることはいうまでもない。
また、投影光学系ＰＬを用いることなく、マスクＭと基
板Ｐとを密接させてマスクＭのパターンを露光するプロ
キシミティ露光装置にも適用可能である。

【００６３】基板ステージＰＳＴやマスクステージＭＳ
Ｔにリニアモータ（USP5,623,853またはUSP5,528,118参
照）を用いる場合は、エアベアリングを用いたエア浮上
型及びローレンツ力またはリアクタンス力を用いた磁気
浮上型のどちらを用いてもよい。また、各ステージＰＳ
Ｔ、ＭＳＴは、ガイドに沿って移動するタイプでもよ
く、ガイドを設けないガイドレスタイプであってもよ
い。

【００６４】各ステージＰＳＴ、ＭＳＴの駆動機構とし
ては、二次元に磁石を配置した磁石ユニット（永久磁
石）と、二次元にコイルを配置した電機子ユニットとを
対向させ電磁力により各ステージＰＳＴ、ＭＳＴを駆動
する平面モータを用いてもよい。この場合、磁石ユニッ
トと電機子ユニットとのいずれか一方をステージＰＳ
Ｔ、ＭＳＴに接続し、磁石ユニットと電機子ユニットと
の他方をステージＰＳＴ、ＭＳＴの移動面側（ベース）
に設ければよい。

【００６５】基板ステージＰＳＴの移動により発生する
反力は、特開平８−１６６４７５号公報に記載されてい
るように、フレーム部材を用いて機械的に床（大地）に
逃がしてもよい。本発明は、このような構造を備えた露
光装置においても適用可能である。

【００６６】マスクステージＭＳＴの移動により発生す
る反力は、特開平８−３３０２２４号公報に記載されて
いるように、フレーム部材を用いて機械的に床（大地）
に逃がしてもよい。本発明は、このような構造を備えた
露光装置においても適用可能である。

【００６７】以上のように、本願実施形態の露光装置Ｅ
Ｘは、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含
む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精
度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造さ
れる。これら各種精度を確保するために、この組み立て
の前後には、各種光学系については光学的精度を達成す
るための調整、各種機械系については機械的精度を達成
するための調整、各種電気系については電気的精度を達
成するための調整が行われる。各種サブシステムから露
光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、
機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続
等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への
組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工
程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露
光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行わ
れ、露光装置全体としての各種精度が確保される。な
お、露光装置の製造は温度及びクリーン度等が管理され
たクリーンルームで行うことが望ましい。

【００６８】半導体デバイスは、図１２に示すように、
デバイスの機能・性能設計を行うステップ２０１、この
設計ステップに基づいたマスク（レチクル）を製作する
ステップ２０２、デバイスの基材である基板を製造する
ステップ２０３、前述した実施形態の露光装置ＥＸによ
りマスクのパターンを基板に露光する基板処理ステップ
２０４、デバイス組み立てステップ（ダイシング工程、
ボンディング工程、パッケージ工程を含む）２０５、検
査ステップ２０６等を経て製造される。

【００６９】

【発明の効果】本発明のステージ装置によれば、ステー
ジ移動に伴う保持装置から発生する振動は弾性体によっ
て減衰されるためステージへの伝達を抑えられる。した
がって、良好なステージ位置決め精度を確保できるとと
もに、ステージ位置決め静定時間を短縮できる。本発明
の保持装置によれば、保持装置が発生する振動のステー
ジへの伝達を抑え、線状部材を円滑に保持できる。本発
明の露光装置によれば、ステージ移動に伴う保持装置か
ら発生する振動のステージへの伝達を抑えることができ
るので、ステージ位置決め精度が高度に保たれ、またス
テージ静定時間が短いので処理能力に優れ、更に結像性
能においても安定した性能を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のステージ装置及び及び保持装置を有す
る露光装置の全体構成図である。

【図２】ステージ装置の斜視図である。

【図３】本発明のステージ装置の第１実施形態を示す要
部拡大図であって、保持装置と第１部材との連結部を−
Ｙ側から見た図である。

【図４】図３を＋Ｚ側から見た図である。

【図５】弾性体を備えた防振部材を示す図である。

【図６】本発明のステージ装置の第２実施形態を示す要
部拡大図であって、（ａ）は連結部を−Ｙ側から見た
図、（ｂ）は（ａ）を＋Ｚ側から見た図、（ｃ）は
（ｂ）のＡ−Ａ矢視図である。

【図７】本発明のステージ装置の第３実施形態を示す要
部拡大図であって、連結部を−Ｘ側から見た図である。

【図８】本発明のステージ装置の第４実施形態を示す要
部拡大図であって、（ａ）は連結部を−Ｘ側から見た
図、（ｂ）は＋Ｚ側から見た図である。

【図９】本発明のステージ装置の第５実施形態を示す要
部拡大図であって、連結部を−Ｙ側から見た図である。

【図１０】本発明のステージ装置の第６実施形態を示す
要部拡大図であって、（ａ）は連結部を−Ｘ側から見た
図、（ｂ）は（ａ）を＋Ｚ側から見た図である。

【図１１】単位部材の仕切部材を説明するための図であ
る。

【図１２】半導体デバイスの製造工程の一例を示すフロ
ーチャート図である。

【図１３】従来の保持装置及びステージ装置を説明する
ための図である。

【図１４】従来の保持装置と第１部材との連結部を示す
図である。

【図１５】保持装置の単位部材を示す斜視図である。

【符号の説明】

３…定盤（第２部材）、８…Ｘステージ（第１部材）、
９…Ｙステージ（第２部材、第１部材）、２０…ケーブ
ルベア（保持装置）、２１…単位部材、２２…回転軸、
３０…防振部材、３１…弾性体、３６…弾性体、３７…
板ばね（弾性体）、３９…防振パッド（弾性体）、４５
…クランプ部材（固定部材）、４６…クランプ部材（固
定部材）、５１…第１連結部材、５１Ａ…凹部、５２…
第２連結部材、５２Ａ…凹部、５３…ばね部材、６５…
ロータリーダンパ、１００…連結部、１０１…連結部、
ＥＸ…露光装置、Ｋ、Ｋ’…用力ケーブル（用力伝達装
置、用力伝達ケーブル）、Ｍ…マスク、ＭＳＴ…マスク
ステージ（ステージ装置）、Ｐ…基板、ＰＳＴ…基板ス
テージ（ステージ装置）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者笹本昌樹東京都千代田区丸の内３丁目２番３号株式会社ニコン内 (72)発明者太田稔也東京都千代田区丸の内３丁目２番３号株式会社ニコン内Ｆターム(参考） 2F078 CA02 CA08 CB02 CB05 CB09 CB12 CB16 CC04 CC15 2H097 BA10 GB00 LA10 LA12 5F031 CA02 CA05 HA55 MA27 5F046 AA23 CC18

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】移動可能な第１部材と、前記第１部材に接続し用力を伝達する用力伝達装置と、一端を前記第１部材に接続するとともに他端を前記第１
部材と異なる第２部材に接続し、前記用力伝達装置を保
持して前記第１部材の移動方向に沿って移動する保持装
置とを備え、前記第１部材と前記第２部材との少なくとも一方と前記
保持装置との間に弾性体を介在させることを特徴とする
ステージ装置。
【請求項２】前記弾性体は、その弾性変形方向を前記
第１部材の移動方向に沿って配置されるとともに、前記
移動方向と交わる方向に並列に複数設けられていること
を特徴とする請求項１記載のステージ装置。
【請求項３】前記弾性体は弾性領域内で所定量圧縮さ
れていることを特徴とする請求項１又は２記載のステー
ジ装置。
【請求項４】前記保持装置に連結し凹部を有する第１
連結部材と、前記第１部材又は前記第２部材に連結し凹部を有する第
２連結部材と、前記第１連結部材と前記第２連結部材とを接続するばね
部材とを有し、前記弾性体は、前記第１連結部材及び前記第２連結部材
のそれぞれの凹部の間に配置される弾性体であることを
特徴とする請求項１記載のステージ装置。
【請求項５】前記弾性体は、板ばねであることを特徴
とする請求項１記載のステージ装置。
【請求項６】前記保持装置と前記第１部材とを接続す
るロータリダンパを備えることを特徴とする請求項１記
載のステージ装置。
【請求項７】前記用力伝達装置は用力伝達ケーブルを
有するとともに、前記ケーブルは前記保持装置と前記第
１部材との間で少なくとも２つの固定部材で固定されて
おり、前記２つの固定部材どうしの間に配設される前記ケーブ
ルの長さは、該２つの固定部材どうしの間の距離より長
く設定されていることを特徴とする請求項１〜６のいず
れか一項に記載のステージ装置。
【請求項８】前記２つの固定部材どうしの間に配設さ
れる前記ケーブルは、所定の力を作用した際、前記２つ
の固定部材どうしの間に配設される前記ケーブル以外の
部分より撓み量が大きく設定されたケーブルであること
を特徴とする請求項７記載のステージ装置。
【請求項９】前記保持装置は、複数の単位部材を回転
軸によって回動自在に連結したものであることを特徴と
する請求項１〜８のいずれか一項に記載のステージ装
置。
【請求項１０】相対的に移動可能な第１部材と第２部
材とを連結して、前記第１部材と前記第２部材とを接続
している線状部材を保持する保持装置において、前記第１部材と前記第２部材との少なくとも一方と、前
記保持装置との連結部に弾性体を有することを特徴とす
る保持装置。
【請求項１１】マスクステージに保持されたマスクの
パターンを基板ステージに保持された基板に露光する露
光装置において、前記マスクステージと前記基板ステージとの少なくとも
一方には、請求項１〜請求項９のいずれか一項に記載さ
れたステージ装置が用いられていることを特徴とする露
光装置。