JP2003264147A - ホトリソグラフィ装置及び露光方法 - Google Patents
ホトリソグラフィ装置及び露光方法Info
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Abstract
ンズまたはホトリソグラフィ装置のほかの要素に伝達さ
せない。 【解決手段】 ステージ装置(10)を駆動する際の反
力が投影レンズ(92)を支持する支持体(94)には
伝達されず、支持体(94)とは独立した支持構造体
(80)に伝達され、ステージ装置(10)がレチクル
ステージであり、支持体(94)がレチクルステージの
位置を決定する干渉計装置(112)を支持している。
Description
に関し、具体的には、ホトリソグラフィ装置及び露光方
法に使用され、特に、レチクルを支持するための使用に
適したステージを用いたホトリソグラフィ装置及び露光
方法に関する。
使用される周知の分野である。ホトリソグラフィ装置に
おいて、ステージ(X−Y運動装置)は、レチクル(す
なわちマスク)を支持し、もう一つのステージは、半導
体ウエハ、すなわち、処理される加工片を支持する。時
には、単一のステージが、ウエハまたはマスクに設置さ
れることもある。
への精密運動に不可欠であり、ある微少の運動が、垂直
方向(Z軸)の調節のために行われる。レチクルが走査
露光装置内で走査されるレチクルステージが、一般に使
用されており、そこでは、円滑で精密な走査運動が行わ
れ、走査方向に直角な微少の変位運動とX−Y面上の小
さい偏揺量(回転)とを制御することにより、レチクル
のウエハに対する正確な整列を確実にする。
X−Yステージは、コストを低減するために、比較的に
単純であり、市場で入手出来る構成要素から制作出来、
所望の精度を維持することが望ましかった。さらに、多
くの従来技術ステージでは、ステージ自体の下に直接に
配置されたガイド構造体を有する。しかし、光線がレチ
クルとステージ自体とを通り、レチクルの下方に設けら
れた投影レンズへ指向することが不可欠であるので、レ
チクルステージには望ましくない。従って、ステージ自
体が、光線のためにかなり大きい中心通路を形成してい
なければならないので、ステージ自体の下に直接にガイ
ドを備えていないステージが必要である。
テージが重心を通って駆動せず、これは、望ましくない
ことに、ねじれ運動をステージで発生し、ステージ運動
の周波数応答性を低下する。本発明は、このような問題
点を解決するための改良したステージを提供することを
目的とする。本発明は、特に、レチクルステージに適し
ている。
に、一実施例を表す図面に対応つけて説明すると、請求
項1記載の発明は、ステージ装置(10)を駆動する際
の反力が投影レンズ(92)を支持する支持体(94)
には伝達されず、支持体(94)とは独立した支持構造
体(80)に伝達され、ステージ装置(10)がレチク
ルステージであり、支持体(94)がレチクルステージ
の位置を決定する干渉計装置(112)を支持すること
を特徴とするホトリソグラフィ装置である。
いる基部(32)と、基部(32)の主要面に配置され
た運動可能なレチクルステージ(10)と、レチクルス
テージ(10)の位置を決定する干渉計装置(112)
と、投影レンズとを支持する支持体(94)と、支持体
(94)とは独立し、レチクルステージ(10)を駆動
する際の反力が伝達される支持構造体(80)とを備え
たことを特徴とするホトリソグラフィ装置である。請求
項3記載の発明は、レチクルステージ(10)がリニア
モータ(68、70)により駆動されることを特徴とす
るホトリソグラフィ装置である。請求項4記載の発明
は、リニアモータ(68、70)がモータコイル(6
8)と磁気トラック(70)とを有しており、モータコ
イル(68)と磁気トラック(70)との一方はレチク
ルステージ(10)に取りつけられ、モータコイル(6
8)と磁気トラック(70)との他方は支持構造体(8
0)に取り付けられていることを特徴とするホトリソグ
ラフィ装置である。
(120)を移動可能に支持する支持構造体(122)
が支持体(94)に支持されていることを特徴とするホ
トリソグラフィ装置である。請求項6記載の発明は、支
持体(94)がウエハステージ(120)の位置を決定
する干渉計装置(124)を支持することを特徴とする
ホトリソグラフィ装置である。請求項7記載の発明は、
レチクルステージ(10)が直角な2つの方向に駆動す
ることを特徴とするホトリソグラフィ装置である。請求
項8記載の発明は、支持構造体(80)がレチクルステ
ージ(10)の側方に設けられていることを特徴とする
ホトリソグラフィ装置である。
0)と支持体(94)とをそれぞれ独立して支持する基
部構造体(100)を備えたことを特徴とするホトリソ
グラフィ装置である。請求項10記載の発明は、基部
(32)が支持体(94)に支持されていることを特徴
とするホトリソグラフィ装置である。請求項11記載の
発明は、主要面は水平面であり、レチクルステージ(1
0)は水平面内で直角な2つの方向に駆動することを特
徴とするホトリソグラフィ装置である。
ジ装置(10)を駆動する際の反力が投影レンズ(9
2)を支持する支持体(94)には伝達されず、支持体
(94)とは独立した支持構造体(80)に伝達される
とともに、レチクルステージ(10)の位置を決定する
干渉計装置(112)が支持体(94)により支持さ
れ、レチクルステージ(10)に保持されたレチクル
(24)のパタ−ンをウエハに露光することを特徴とす
る露光方法である。請求項13記載の発明は、レチクル
ステージ(10)がリニアモータ(68、70)により
駆動されることを特徴とする露光方法である。請求項1
4記載の発明は、リニアモータ(68、70)がモータ
コイル(68)と磁気トラック(70)とを有してお
り、モータコイル(68)と磁気トラック(70)との
一方はレチクルステージ(10)に取りつけられ、モー
タコイル(68)と磁気トラック(70)との他方は支
持構造体(80)に取り付けられていることを特徴とす
る露光方法である。
(120)を移動可能に支持する支持構造体(122)
が支持体(94)に支持されていることを特徴とする露
光方法である。請求項16記載の発明は、支持体(9
4)がウエハステージ(120)の位置を決定する干渉
計装置(124)を支持することを特徴とする露光方法
である。請求項17記載の発明は、レチクルステージ
(10)が直角な2つの方向に駆動することを特徴とす
る露光方法である。請求項18記載の発明は、支持構造
体(80)がレチクルステージ(10)の側方に設けら
れていることを特徴とする露光方法である。請求項19
記載の発明は、支持構造体(80)と支持体(94)と
が、基部構造体(100)によりそれぞれ独立して支持
されていることを特徴とする露光方法である。
は、平坦な基盤上のX−Y面上を運動するステージ自身
を有する。ステージは、窓状に形成される4つのフレー
ム(以下、窓枠部材という。)により側方を囲まれてい
る。この窓枠部材は、その角か、または、その角付近に
組み付けられた4角形の構造体(以下、窓枠という。)
を形成している。つまり、窓枠は、4つの窓枠部材が連
結することにより形成されている。連結を行う連結部材
は、4角形がわずかに変形する運動を行う特殊なタイプ
のヒンジ(ちょうつがい)である連結部である。つま
り、この連結部材により正方形もしくは長方形が平行4
辺形に変形することが可能となる。一つの形式では、こ
れらの連結部は、”X”形状に取り付けられた薄いステ
ンレススチール条板であって、二つの隣接して接続した
窓枠部材の間を所望の程度のヒンジ運動を行う。(詳細
は図6を用いて後述する。)窓枠は、基盤上に固定され
た磁気トラックと共働する窓枠部材の二つの相対する部
材に取り付けられたモーターコイルにより駆動されて、
二つの間隔をおいて離れた平行に固定されたガイドに突
き当たって、例えば、X軸方向へ基盤上を移動する。
ステージの運動に必要な磁気トラックをY方向へ送る。
(ここで、XとY軸とを引用しているが、これは単に、
本図に関する方位について説明するためであり、限定す
るものとして拘束されないことは、理解されるであろ
う。) 窓枠の運動方向に直角な方向(Y軸方向)のステージ運
動は、窓枠のほかの部材に沿って動くステージにより行
われる。ステージは、ステージに取り付けられ、窓枠の
二つの接続された部材に取り付けられた磁気トラックと
協働するモーターコイルにより窓枠と相対的に駆動され
る。
テージの下側に取り付けられた空気軸受け、またはほか
の流体軸受けにより基盤に支持されている。同様に、流
体軸受けは、窓枠部材をそれらの固定されたガイドに支
持する。さらに、流体軸受けは、窓枠部材を固定された
ガイドに当てて装荷(ロード)し、ステージを窓枠に当
てて装荷している。わずかな偏揺運動(Z軸回りのX−
Y平面における回転)を可能にするために、これらの装
荷軸受けは、スプリングで取り付けられている。ステー
ジ自身は、中央通路を形成している。レチクルは、ステ
ージ上に取り付けられたチャックに置かれている。一般
にレチクルの上方に配置された照明源からの光線は、レ
チクルを通る中央通路へ進み、配置された投影レンズへ
進む。
レチクルを支持することに制約されるものでなく、ウエ
ハステージとしても使用することが出来、実際に、ホト
リソグラフィの用途に限定されないが、一般に、精密な
ステージに適している。本発明によるほかの特徴は、ス
テージと窓枠駆動する駆動モーターとの反力が、ホトリ
ソグラフィ装置の支持枠へ送られないが、これとは無関
係に、独立した支持構造体により地表面へ直接に伝達さ
れることである。従って、ステージの運動により発生し
た反力は、投影レンズまたはホトリソグラフィ機のほか
の要素に望ましくない運動を起こさない。
からステージの反力を絶縁することにより、これらの反
力が、投影レンズまたは関連構造体を振動するのが防止
される。これらの構造体は、XーY平面のステージとウ
エハステージとの正確な位置とを決定するための干渉計
装置を備えている。レチクルステージ機構支持体は、ホ
トリソグラフィ機のほかの要素から間隔をおいて離れ、
独立して支持されており、地表面へ伸長している。
動かす4つのモーターコイルの動作から発生した反力
が、ステージの重心を通って伝達され、これにより、力
のモーメント(すなわち、トルク)が低減されることで
ある。4つの駆動モーターコイルへの電力を制御するコ
ントローラは、ステージと窓枠との相対位置を考慮に入
れて、差動駆動法により駆動力の釣り合いをとる。
構の平面図を示す。また、同時係属同一所有及び発明の
米国特許出願、No.08/221,375、名称”絶
縁された反作用ステージを備えたガイドレスステー
ジ”、1994年4月1日出願、原本No.NPI05
00を参照されたい。この出願特許は、参考に本明細書
に記載され、ステージ機構の要素を支持する関連方法を
示しており、反力を投影レンズとホトリソグラフィ装置
とから絶縁している。
ば、スチール、アルミニウム、またはセラミック)で製
作された4角形の構造体である。ステージ10に配置さ
れた二つの干渉計ミラー14A,14Bは、各レーザビ
ーム16A,16Bと通常通りに相互作用する。一般
に、レーザビーム16Aは、二組のレーザビームであ
り、レーザビーム16Bは、一組のレーザビームであ
り、これらのレーザビームは、三つの距離測定値に関す
るものである。ステージ10の下側には、浮き上がった
部分22が形成されている(点線で示されているが、図
面上では見えない)。つまり、ステージ10が投影レン
ズ92の上部を覆うように形成されている(図1参
照)。
れ、チャックプレート28の上面に形成された従来のレ
チクル真空溝26により保持されている。ステージ10
は、レチクル24の下に中央開口30(通路)も形成し
ている。中央開口30により、レチクル24を透過した
光線(ほかの光線)は、以降に詳細に説明されているよ
うに、レチクルの下方に投影レンズ29に入射すること
が出来る。(レチクル24自体は、ステージ機構の一部
でないことは理解されるであろう。)そのほかに、本発
明のステージ機構がレチクルステージ以外のもの、すな
わち、ウエハ支持に使用されるならば、開口30は不要
である。
ル、またはアルミニウムなどの、滑らかで平坦な上表面
を有する普通の4角形の基部構造体32の上に支持され
ている。基部構造体32の左右の縁(図1)は、点線で
示されており、この図のほかの構造体(後に説明されて
いるように)により上に置かれている。動作状態では、
ステージ10は、その基部構造体と物理的に直接に接触
していない;その代わり、ステージ10は、この実施例
では、気体軸受けなどの従来の軸受けにより支持されて
いる。一つの実施態様では、市場で入手できるタイプの
三つの空気軸受け36A,36Bおよび36Cが使用さ
れている。
部分は、空気軸受け部分と物理的に分離されて、隣接し
ている。真空と圧縮空気とは、普通の管の束と内部細管
の配管系との細管を通って送られる(簡潔のために図面
には示されていない)。これにより、ステージ10は、
動作状態において、基部構造体32の平坦な上面の上方
約1から3マイクロメータで、空気軸受け36A,36
B,及び36Cの上を浮動している。ほかのタイプの軸
受けも(例えば、空気軸受け/磁気の組み合わせタイ
プ)、その代わりに使用することができることは、理解
されるであろう。
4角形の構造体である窓枠により側方を囲まれている。
図1に示された4つの窓枠部材は、図面において、上部
窓枠部材40A、底部窓枠部材40B、左側窓枠部材4
0C、および右側窓枠部材40Dである。これらの4つ
の窓枠部材40A〜40Dは、アルミニウム又は合成材
などの高い固有剛性度(剛性/密度比)を有する材料で
製作されている。これらの4つの窓枠部材40A〜40
Dは、ヒンジ構造体(連結部材)により一緒に取り付け
られておる。つまり、連結部材を介して一体に連結して
いる。これにより、X−Y平面における相互と、図面に
示された偏揺運動とも言われるZ軸回りとの4つの窓枠
部材の非固定運動が行われる。このヒンジは、後に詳細
に説明されている。各ヒンジ44A,44B,44C,
および44Dは、例えば、窓枠のわずかな曲がりを可能
にする一つ以上の金属製連結部である。
の水平面に支持され、かつ、固定されたガイド64A,
64Bの垂直面に支持されたX軸(図1において左右
に)に運動する。(各組の固定されたガイド46A,6
4Aおよび46B,64Bは、例えば、単一のL形状の
固定されたガイドであり、または、ほかの形状の固定さ
れたガイドも使用できることは、理解されるであろ
う。)2つの空気軸受け50A,50Bが、窓枠部材4
0Aに取り付けられおり、この空気軸受けにより、窓枠
部材40Aは、その支持している固定ガイド部材46A
の上に支えられて運動する。同様に、空気軸受け52
A,52Bは、窓枠部材40Bに取り付けられており、
これにより、窓枠部材40Bは、その支持している固定
ガイド部材46Bの上に支えられて運動する。空気軸受
け50A,50B,52A,52Bは、空気軸受け36
Aなどと類似している。
定されたガイド46A,46Bおよび64A,64Bの
X軸に沿って駆動される。リニアモーターは、窓枠部材
40Aに取り付けられたモータコイル60Aを有する。
モーターコイル60Aは、固定されたガイド64Aに
(または、これに沿って)配置されている磁気トラック
62Aを動く。同様に、窓枠部材40Bに取り付けられ
たモーターコイル60Bは、固定されたガイド64Bに
配置された磁気トラック62Bを動く。モーターコイル
とトラック組み合わせ体は、テキサス州ウェブスターノ
のトリロジー社の部品No.LM−310である。トラ
ック62A,62Bは、それぞれ、一体に固定された多
数の永久磁石である。モーターコイルへ接続された電線
は、示されていないが、普通の電線である。ほかのタイ
プのリニアモーターも、代わりに使用することができ
る。各モーターのモーターコイルと磁気トラックとの位
置は、逆にすることが出来るので、例えば、磁気トラッ
クは、性能が低下するハンディキャップがあるが、磁気
トラックをステージ10に配置し、対応するモーターコ
イルを、窓枠部材に配置することも出来る。
左右の縁にそれぞれ取り付けられたモーターコイル68
A,68Bにより、図1のY軸に沿って運動する。モー
ターコイル68Aは、窓枠部材40Cに取り付けられた
磁気トラック70Aを動く。モーターコイル68Bは、
窓枠部材40Dに取り付けられた磁気トラック70Bを
動く。
が、図1にも示されている。空気軸受け72Aが窓枠部
材40Aに配置されており、窓枠部材40Aとその固定
されたガイド64Aとの間の摩擦を最小にしている。一
端にある単一の空気軸受け72Aと、他端にある二つの
相対する空気軸受け72B,72Cとを使用することに
より、一定量の偏揺運動(Z軸回りのX−Y面の回転)
とZ軸に沿った動きとが可能になる。この場合、一般
に、空気軸受け72Aは、窓枠部材40Aと固定された
ガイド64Aとの間の不整列の量を制約するために、ジ
ンバル(十字吊装置)により取り付けられているか、ま
たは、連結部に配置されたジンバルで自在遊動的に取り
付けられている。
と相対して使用することにより、窓枠ガイドを固定され
たガイド64A,64Bと適切な関係に保持する装荷効
果を与えることができる。同様に、空気軸受け76A
は、ステージ10の側面にすべて取り付けられた、相対
する空気軸受け76B,76Cに重みをかけて、相対す
る窓枠部材40B,40Dに対するステージ10の位置
を適切に維持する。重ねて言うと、この場合、76Aな
どの一つの空気軸受けは、限られた量の不整列を与える
ように、ジンバルにより取り付けられているか、また
は、連結部のジンバル(スプリング)により十字吊りに
取り付けられている。空気軸受け72A,72B,72
Cおよび76A,76B,76Cは、従来のタイプの空
気軸受けである。
固定されたガイド46A,46B,64A,64Bおよ
び窓枠部材40A、40B、40C、40Dに対する基
部支持構造体である。このようにして、置かれている支
持体は、分割されているので、基部支持構造体80への
反力は、ステージ基部構造体32へ伝達されない。基部
支持構造体80は、それ自身の支持柱またはほかの普通
の支持要素(この図面には示されていない)により、基
礎、すなわち、地表または建物の床へ支持されている。
適切な支持構造体の実施例は、引用した米国特許出願N
o.08/221,375の図1,1B,1Cに開示さ
れている。ステージ機構のこの部分の独立支持構造体
は、レチクルステージ機構の駆動モーターの反力を、ホ
トリソグラフィ装置のほかの要素を支持するフレームか
ら分離して、特に、投影レンズ92を有する光学要素と
ウエハステージとから分離して伝達するという上記の利
点を備えており、これにより、レチクルステージの運動
による、投影レンズへの振動力を最小にしている。これ
は、さらに詳細に後に説明する。
構の重心に出来るだけ近く通って加えられる。お分かり
のように、ステージ機構の重心は、ステージ10によっ
て移動する。従って、ステージ10と窓枠ガイドとは、
結合して、共有重心を形成している。モーターコイル6
0A,60Bは、窓枠ガイドの位置を考慮に入れて、各
モーターコイル60A,60Bにより加えられた力を制
御して、有効な力が重心に加えられているように維持す
る。もう一つの従来タイプの、モーターコイル68A,
68Bの差動駆動制御器は、ステージ10の位置を考慮
に入れて、各モーターコイル68A,68Bにより加え
られた力を制御し、有効な力がその重心に加えられてい
るように保つ。ステージ10は大きい範囲の運動を行う
ので、モーターコイル60A,60Bの差動駆動は、広
い差動揺動を含んでいることは、理解されるであろう。
これと対照的に、窓枠ガイドは、少しも変化しないの
で、モーターコイル68A,68Bの差動駆動は、はる
かに小さい差動揺動を含んでおり、釣り合い効果を与え
る。有利なことに、窓枠ガイドを使用することにより、
レチクルステージ機構の運動により発生した反力は単一
平面に維持され、従って、これらの力をホトリソグラフ
ィ装置のほかの部分から分離することを容易にしてい
る。
る。図1にもある図2に示された構造体は、同一の参照
番号を有しており、ここでは説明されていない。照明器
90が図2に示されており、これは普通の要素であり、
ここでは詳細には示されていず、簡潔のために図1では
省略されている。投影レンズの上部(円筒)92も、図
2では詳細には示されていない。投影レンズ92の下部
とホトリソグラフィ装置のほかの要素とは、図2に示さ
れていないが、以降に図示説明されている。
にも示されている。お分かりのように、構造体94は、
わずかな空隙96によりすべての箇所で、レチクルステ
ージ機構の基部支持構造体80から分離されている。こ
の空隙96は、レチクルステージ機構の運動により発生
した振動を、投影レンズ92とその支持体94から絶縁
する。図2に示されているように、ステージ10は、こ
の実施態様では、平坦な構造体ではないが、レンズ92
の上部を収容する、下側が浮き上がった部分22を形成
している。磁気トラック70Aが、窓枠ガイド40Bの
頂部に取り付けられ、同様に、磁気トラック70Bが、
相対する窓枠部材40Dの頂部に取り付けられている。
部分の拡大図である。図3Aは、図2の左側であり、図
3Bは、図2の右側である。空気軸受け76Aのスプリ
ング取り付け具78が、図3Aに示されている。空気軸
受け78Aは、ステージ10の側面へスプリングにより
取り付けられており、これにより、一定量の偏揺(Z軸
回りのX−Y平面における回転)と、Z軸に沿った限定
された運動とが可能である。ジンバル取り付けは、スプ
リング78の代わりに、またはこれに追加して使用する
ことができる。スプリングまたはジンバル取り付けによ
り、ステージ10と窓枠部材40C,40D(図3Aに
は示されていない)との間の限定された量の不整列が可
能である。
ホトリソグラフィ装置の平面図であるが、これは、図1
に示された要素のほかにさらに、レチクルステージ機構
を除き枠94を有するホトリソグラフィ装置を支持する
支持基部構造体100を有する。(図1に示された構造
体は、簡潔のために、すべては図4に表示されていな
い。)基部構造体100は、ブラケット構造体106
A,106B,106C,106Dによりそれぞれ構造
体94へ接続された、4つの垂直支持柱102A,10
2B,102C,102Dを支持している。基部構造体
100の大きさは、かなり大きく、一つの実施態様で
は、上から下まで約3メータである。各102A,10
2B,102C,102Dは、レベリングのために内部
に普通のサーボ機構(示されていない)を有することが
お分かりであろう。各レーザ干渉計(ビームスプリッタ
など)112A,112B,112Cの支持体108、
110も、図4に示されている。図4は、図4の断面線
5−5を通る図5の断面図を参考にすると、よく理解さ
れるであろう。
きさがすべて、普通の基礎(示されていない)を経て地
上と接触している基部構造体の上に置かれたその支持柱
102A,102Cと共に見られる。レチクルステージ
基部支持構造体80は、図4にだけ示されており(簡潔
のために)、同様に、接続されたブラケット構造体11
6A,116B,116C,116Dを有する一組みの
4つの柱114A,114B,114C,114Dから
成っており、これにより、柱は、基部支持構造体80の
高さから基部構造体100へ伸張している。
た支持構造体122,124が示されている。ウエハス
テージ120の要素は、通常、基部、ステージ自身、基
部に配置された固定ステージガイド、固定ステージガイ
ドに配置された磁気トラック、および磁気トラックに装
着し、ステージ自身へ接続されたモーターコイルから成
っている(図面に示されていない)。支持体126に取
り付けられたレーザ124からのレーザビームは、干渉
計によりレンズ92とステージ自体を位置づける。
窓枠ガイドでヒンジされた連結部構造体の一つ、例え
ば、44Cの詳細を示している。ヒンジ44A,44
B,44C,44Dのそれぞれは、同一である。これら
の連結部ヒンジは、潤滑を必要とせず、ヒステリシスを
呈せず(連結部がその機械的許容度より湾曲しない限
り)、機械的”傾斜部”を有せず、さらに、製造に費用
がかからないと言う機械的タイプのヒンジ以上の利点を
有する。
02ステンレススチール、厚さ約20ミル(0.02イ
ンチ)であり、最大曲げ0.5度に耐えることができ
る。各連結部の幅は厳密でなく、一般的幅は0.5イン
チである。2つ、3つ、または4つの連結部が、図1の
各ヒンジ44A,44B,44C,44Dに使用され
る。各ヒンジに使用される連結部の数は、本質的に、使
用可能な空隙の程度、すなわち、窓枠部材の高さにより
決定される。図6A(および図6Bの90度回転図に)
に示された4つの個々の連結部130A,130B,1
30C,130Dは、普通のスクリューでクランプ13
6A,136B,136C,136Dにより隣接した窓
枠部材(図6A,6Bの窓枠部材40A,40B)へ固
定される。前記スクリューは、個々の連結部130A,
130B,130C,130Dの穴とクランプとを通
り、窓枠部材40A,40Bの対応するねじ付き穴へ固
定される。
は、窓枠部材40B,40Dの端部にある鋭角(三角
形)の構造体に関して、図1のそれらと少し異なり、そ
こへ、金属製の連結部130A,130B,130C,
130Dが取り付けられていることに注目されたい。図
1の実施態様においては、この鋭角構造体は、省略され
ているが、それらの存在により、連結部のスクリュー取
り付けは、容易になっている。
ヒンジ止めされていないが、剛性構造体である。この剛
性を保持し、結合を防止するために、軸受け72Cまた
は72Bの一つは、取り外されており、その残りの軸受
けは、重心へ移動し、スプリングなしでジンバルへ取り
付けられている。そのほかの軸受け(ステージ10に取
り付けられた軸受けを除いて)も、ジンバルで取り付け
られている。
ものでなく、さらにほかの変形は、この開示に照らし
て、この技術に習熟した当事者には明らかであり、添付
請求の範囲を逸脱するものではない。
ィ装置及び露光方法によれば、ステージの運動により発
生した反力は、投影レンズまたはホトリソグラフィ装置
のほかの要素に望ましくない運動を起こさない。
関連構造体からステージの反力を絶縁することにより、
これらの反力が、投影レンズまたは関連構造体を振動す
るのを防止することができる。
である。
である。
ラフィ装置の平面図である。
る。
Claims (19)
- 【請求項1】 ステージ装置を駆動する際の反力が投影
レンズを支持する支持体には伝達されず、前記支持体と
は独立した支持構造体に伝達され、前記ステージ装置が
レチクルステージであり、前記支持体が前記レチクルス
テージの位置を決定する干渉計装置を支持することを特
徴とするホトリソグラフィ装置。 - 【請求項2】 主要面を形成している基部と、 前記基部の主要面に配置された運動可能なレチクルステ
ージと、 前記レチクルステージの位置を決定する干渉計装置と、
投影レンズとを支持する支持体と、 前記支持体とは独立し、前記レチクルステージを駆動す
る際の反力が伝達される支持構造体とを備えたことを特
徴とするホトリソグラフィ装置。 - 【請求項3】 請求項1または請求項2記載のホトリソ
グラフィ装置において、 前記レチクルステージはリニアモータにより駆動される
ことを特徴とするホトリソグラフィ装置。 - 【請求項4】 請求項3記載のホトリソグラフィ装置に
おいて、 前記リニアモータはモータコイルと磁気トラックとを有
しており、 前記モータコイルと前記磁気トラックとの一方は前記レ
チクルステージに取りつけられ、前記モータコイルと前
記磁気トラックとの他方は前記支持構造体に取り付けら
れていることを特徴とするホトリソグラフィ装置。 - 【請求項5】 請求項1から4のいずれか1項に記載の
ホトリソグラフィ装置において、 ウエハステージを移動可能に支持する支持構造体が前記
支持体に支持されていることを特徴とするホトリソグラ
フィ装置。 - 【請求項6】 請求項5記載のホトリソグラフィ装置に
おいて、 前記支持体は前記ウエハステージの位置を決定する干渉
計装置を支持することを特徴とするホトリソグラフィ装
置。 - 【請求項7】 請求項1から6のいずれか1項に記載の
ホトリソグラフィ装置において、 前記レチクルステージは直角な2つの方向に駆動するこ
とを特徴とするホトリソグラフィ装置。 - 【請求項8】 請求項1から7のいずれか1項に記載の
ホトリソグラフィ装置において、 前記支持構造体は前記レチクルステージの側方に設けら
れていることを特徴とするホトリソグラフィ装置。 - 【請求項9】 請求項1から8のいずれか1項に記載の
ホトリソグラフィ装置において、 前記支持構造体と前記支持体とをそれぞれ独立して支持
する基部構造体を備えたことを特徴とするホトリソグラ
フィ装置。 - 【請求項10】 請求項2記載のホトリソグラフィ装置
において、 前記基部は前記支持体に支持されていることを特徴とす
るホトリソグラフィ装置。 - 【請求項11】 請求項2または請求項10記載のホト
リソグラフィ装置において、 前記主要面は水平面であり、 前記レチクルステージは前記水平面内で直角な2つの方
向に駆動することを特徴とするホトリソグラフィ装置。 - 【請求項12】 レチクルステージ装置を駆動する際の
反力が投影レンズを支持する支持体には伝達されず、前
記支持体とは独立した支持構造体に伝達されるととも
に、前記レチクルステージの位置を決定する干渉計装置
が前記支持体により支持され、前記レチクルステージに
保持されたレチクルのパタ−ンをウエハに露光すること
を特徴とする露光方法。 - 【請求項13】 請求項12記載の露光方法において、 前記レチクルステージはリニアモータにより駆動される
ことを特徴とする露光方法。 - 【請求項14】 請求項13記載の露光方法において、 前記リニアモータはモータコイルと磁気トラックとを有
しており、 前記モータコイルと前記磁気トラックとの一方は前記レ
チクルステージに取りつけられ、前記モータコイルと前
記磁気トラックとの他方は前記支持構造体に取り付けら
れていることを特徴とする露光方法。 - 【請求項15】 請求項12から14のいずれか1項に
記載の露光方法において、 ウエハステージを移動可能に支持する支持構造体が前記
支持体に支持されていることを特徴とする露光方法。 - 【請求項16】 請求項15記載の露光方法において、 前記支持体は前記ウエハステージの位置を決定する干渉
計装置を支持することを特徴とする露光方法。 - 【請求項17】 請求項12から16のいずれか1項に
記載の露光方法において、 前記レチクルステージは直角な2つの方向に駆動するこ
とを特徴とする露光方法。 - 【請求項18】 請求項12から17のいずれか1項に
記載の露光方法において、 前記支持構造体は前記レチクルステージの側方に設けら
れていることを特徴とする露光方法。 - 【請求項19】 請求項12から18のいずれか1項に
記載の露光方法において、 前記支持構造体と前記支持体とは、基部構造体によりそ
れぞれ独立して支持されていることを特徴とする露光方
法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7477966B2 (ja) | 2018-12-20 | 2024-05-02 | エテル・ソシエテ・アノニム | ガントリ型の位置決め装置 |
Families Citing this family (256)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7365513B1 (en) | 1994-04-01 | 2008-04-29 | Nikon Corporation | Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device |
US5528118A (en) | 1994-04-01 | 1996-06-18 | Nikon Precision, Inc. | Guideless stage with isolated reaction stage |
US6989647B1 (en) * | 1994-04-01 | 2006-01-24 | Nikon Corporation | Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device |
US5874820A (en) | 1995-04-04 | 1999-02-23 | Nikon Corporation | Window frame-guided stage mechanism |
JP3363662B2 (ja) * | 1994-05-19 | 2003-01-08 | キヤノン株式会社 | 走査ステージ装置およびこれを用いた露光装置 |
US5850280A (en) * | 1994-06-16 | 1998-12-15 | Nikon Corporation | Stage unit, drive table, and scanning exposure and apparatus using same |
US6721034B1 (en) | 1994-06-16 | 2004-04-13 | Nikon Corporation | Stage unit, drive table, and scanning exposure apparatus using the same |
US6008500A (en) * | 1995-04-04 | 1999-12-28 | Nikon Corporation | Exposure apparatus having dynamically isolated reaction frame |
US6392741B1 (en) * | 1995-09-05 | 2002-05-21 | Nikon Corporation | Projection exposure apparatus having active vibration isolator and method of controlling vibration by the active vibration isolator |
US6522386B1 (en) * | 1997-07-24 | 2003-02-18 | Nikon Corporation | Exposure apparatus having projection optical system with aberration correction element |
WO1999025011A1 (fr) | 1997-11-12 | 1999-05-20 | Nikon Corporation | Appareil d'exposition par projection |
AU1260099A (en) | 1997-11-25 | 1999-06-15 | Nikon Corporation | Projection exposure system |
JP3526202B2 (ja) * | 1998-02-03 | 2004-05-10 | キヤノン株式会社 | ステージ装置、およびこれを用いた露光装置、ならびにデバイス製造方法 |
JP4296587B2 (ja) | 1998-02-09 | 2009-07-15 | 株式会社ニコン | 基板支持装置、基板搬送装置及びその方法、基板保持方法、並びに露光装置及びその製造方法 |
US6260282B1 (en) * | 1998-03-27 | 2001-07-17 | Nikon Corporation | Stage control with reduced synchronization error and settling time |
JPH11287880A (ja) * | 1998-04-01 | 1999-10-19 | Canon Inc | ステージ装置、およびこれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法 |
JP3554186B2 (ja) * | 1998-04-08 | 2004-08-18 | キヤノン株式会社 | 露光装置、デバイス製造方法および反力受け方法 |
WO1999053600A1 (fr) | 1998-04-10 | 1999-10-21 | Nikon Corporation | Moteur lineaire comportant une unite de bobine polygonale |
WO1999066542A1 (fr) * | 1998-06-17 | 1999-12-23 | Nikon Corporation | Procede et dispositif d'exposition |
TWI242113B (en) * | 1998-07-17 | 2005-10-21 | Asml Netherlands Bv | Positioning device and lithographic projection apparatus comprising such a device |
AU4799399A (en) | 1998-07-22 | 2000-02-14 | Nikon Corporation | Mark detecting method, exposure method, device manufacturing method, mark detector, exposure apparatus, and device |
US6252234B1 (en) | 1998-08-14 | 2001-06-26 | Nikon Corporation | Reaction force isolation system for a planar motor |
JP2001068396A (ja) * | 1999-08-26 | 2001-03-16 | Canon Inc | ステージ制御装置 |
JP3616543B2 (ja) | 1999-09-10 | 2005-02-02 | 日本電気株式会社 | Xyステージ |
US6549277B1 (en) | 1999-09-28 | 2003-04-15 | Nikon Corporation | Illuminance meter, illuminance measuring method and exposure apparatus |
US6324933B1 (en) | 1999-10-06 | 2001-12-04 | Agere Systems Guardian Corp. | Planar movable stage mechanism |
EP1107067B1 (en) * | 1999-12-01 | 2006-12-27 | ASML Netherlands B.V. | Positioning apparatus and lithographic apparatus comprising the same |
DE60032568T2 (de) | 1999-12-01 | 2007-10-04 | Asml Netherlands B.V. | Positionierungsapparat und damit versehener lithographischer Apparat |
US6791661B2 (en) | 1999-12-09 | 2004-09-14 | Nikon Corporation | Gas replacement method and apparatus, and exposure method and apparatus |
EP1248288A1 (en) | 1999-12-16 | 2002-10-09 | Nikon Corporation | Exposure method and exposure apparatus |
TW546551B (en) * | 1999-12-21 | 2003-08-11 | Asml Netherlands Bv | Balanced positioning system for use in lithographic apparatus |
US6836093B1 (en) * | 1999-12-21 | 2004-12-28 | Nikon Corporation | Exposure method and apparatus |
US6271606B1 (en) * | 1999-12-23 | 2001-08-07 | Nikon Corporation | Driving motors attached to a stage that are magnetically coupled through a chamber |
US6555829B1 (en) | 2000-01-10 | 2003-04-29 | Applied Materials, Inc. | High precision flexure stage |
JP2001209188A (ja) | 2000-01-27 | 2001-08-03 | Nikon Corp | 走査型露光装置および走査露光方法並びにマスク |
US6873400B2 (en) | 2000-02-02 | 2005-03-29 | Nikon Corporation | Scanning exposure method and system |
US6307619B1 (en) | 2000-03-23 | 2001-10-23 | Silicon Valley Group, Inc. | Scanning framing blade apparatus |
JP2001297960A (ja) | 2000-04-11 | 2001-10-26 | Nikon Corp | ステージ装置および露光装置 |
US6405659B1 (en) | 2000-05-01 | 2002-06-18 | Nikon Corporation | Monolithic stage |
KR100592576B1 (ko) * | 2000-06-02 | 2006-06-26 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 리소그래피 투영장치, 지지 조립체 및 디바이스 제조방법 |
US6496060B2 (en) | 2000-06-15 | 2002-12-17 | Nikon Corporation | Hybridized, high performance PWM amplifier |
JP4474020B2 (ja) * | 2000-06-23 | 2010-06-02 | キヤノン株式会社 | 移動装置及び露光装置 |
JP2004523906A (ja) * | 2000-10-12 | 2004-08-05 | ボード・オブ・リージエンツ,ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム | 室温かつ低圧マイクロおよびナノ転写リソグラフィのためのテンプレート |
US6958808B2 (en) * | 2000-11-16 | 2005-10-25 | Nikon Corporation | System and method for resetting a reaction mass assembly of a stage assembly |
US6885430B2 (en) * | 2000-11-16 | 2005-04-26 | Nikon Corporation | System and method for resetting a reaction mass assembly of a stage assembly |
US6496248B2 (en) * | 2000-12-15 | 2002-12-17 | Nikon Corporation | Stage device and exposure apparatus and method |
US6906334B2 (en) | 2000-12-19 | 2005-06-14 | Nikon Corporation | Curved I-core |
US20020080339A1 (en) * | 2000-12-25 | 2002-06-27 | Nikon Corporation | Stage apparatus, vibration control method and exposure apparatus |
JP2002252166A (ja) * | 2001-02-27 | 2002-09-06 | Canon Inc | ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法ならびに移動案内方法 |
US6490105B2 (en) * | 2001-03-27 | 2002-12-03 | Nikon Precision Inc. | Stage mirror retention system |
US6678038B2 (en) | 2001-08-03 | 2004-01-13 | Nikon Corporation | Apparatus and methods for detecting tool-induced shift in microlithography apparatus |
US6648509B2 (en) | 2001-08-15 | 2003-11-18 | Nikon Corporation | Friction-drive stage |
US6842226B2 (en) * | 2001-09-21 | 2005-01-11 | Nikon Corporation | Flexure supported wafer table |
US6600547B2 (en) | 2001-09-24 | 2003-07-29 | Nikon Corporation | Sliding seal |
US6888620B2 (en) * | 2001-11-29 | 2005-05-03 | Nikon Corporation | System and method for holding a device with minimal deformation |
US20030098965A1 (en) * | 2001-11-29 | 2003-05-29 | Mike Binnard | System and method for supporting a device holder with separate components |
US7813634B2 (en) | 2005-02-28 | 2010-10-12 | Tessera MEMS Technologies, Inc. | Autofocus camera |
US6879127B2 (en) | 2002-02-12 | 2005-04-12 | Nikon Corporation | 3-ring magnetic anti-gravity support |
US6784978B2 (en) * | 2002-03-12 | 2004-08-31 | Asml Holding N.V. | Method, system, and apparatus for management of reaction loads in a lithography system |
US6809323B2 (en) * | 2002-04-03 | 2004-10-26 | Nikon Corporation | Isolated frame caster |
JP4211272B2 (ja) * | 2002-04-12 | 2009-01-21 | 株式会社ニコン | 露光装置及び露光方法 |
US6724000B2 (en) | 2002-05-16 | 2004-04-20 | Nikon Corporation | Reaction frame apparatus and method |
US6844635B2 (en) * | 2002-05-24 | 2005-01-18 | Dover Instrument Corporation | Reaction force transfer system |
JP3962669B2 (ja) * | 2002-10-08 | 2007-08-22 | キヤノン株式会社 | 移動装置及び露光装置並びにデバイスの製造方法 |
US20040080730A1 (en) * | 2002-10-29 | 2004-04-29 | Michael Binnard | System and method for clamping a device holder with reduced deformation |
CN100568101C (zh) * | 2002-11-12 | 2009-12-09 | Asml荷兰有限公司 | 光刻装置和器件制造方法 |
US9482966B2 (en) | 2002-11-12 | 2016-11-01 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US10503084B2 (en) | 2002-11-12 | 2019-12-10 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
SG121818A1 (en) | 2002-11-12 | 2006-05-26 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7372541B2 (en) * | 2002-11-12 | 2008-05-13 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
KR20120127755A (ko) * | 2002-12-10 | 2012-11-23 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광장치 및 디바이스 제조방법 |
EP1571694A4 (en) * | 2002-12-10 | 2008-10-15 | Nikon Corp | EXPOSURE APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING THE DEVICE |
DE10261775A1 (de) | 2002-12-20 | 2004-07-01 | Carl Zeiss Smt Ag | Vorrichtung zur optischen Vermessung eines Abbildungssystems |
US20040119436A1 (en) * | 2002-12-23 | 2004-06-24 | Michael Binnard | Method and apparatus for reducing countermass stroke with initial velocity |
US6870600B2 (en) * | 2003-01-13 | 2005-03-22 | Nikon Corporation | Vibration-attenuation devices and methods using pressurized bellows exhibiting substantially zero lateral stiffness |
US20040160132A1 (en) * | 2003-02-14 | 2004-08-19 | Carter Frederick Michael | System and method to reduce the effect of reactive forces on a stage using a balance mass |
TWI338323B (en) | 2003-02-17 | 2011-03-01 | Nikon Corp | Stage device, exposure device and manufacguring method of devices |
KR101506408B1 (ko) * | 2003-02-26 | 2015-03-26 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법 |
KR20050110033A (ko) * | 2003-03-25 | 2005-11-22 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 |
EP1612850B1 (en) | 2003-04-07 | 2009-03-25 | Nikon Corporation | Exposure apparatus and method for manufacturing a device |
KR20150036786A (ko) | 2003-04-09 | 2015-04-07 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 방법 및 장치, 그리고 디바이스 제조 방법 |
KR101364889B1 (ko) | 2003-04-10 | 2014-02-19 | 가부시키가이샤 니콘 | 액침 리소그래피 장치용 진공 배출을 포함하는 환경 시스템 |
EP1611486B1 (en) | 2003-04-10 | 2016-03-16 | Nikon Corporation | Environmental system including a transport region for an immersion lithography apparatus |
JP4488005B2 (ja) | 2003-04-10 | 2010-06-23 | 株式会社ニコン | 液浸リソグラフィ装置用の液体を捕集するための流出通路 |
SG10201803122UA (en) * | 2003-04-11 | 2018-06-28 | Nikon Corp | Immersion lithography apparatus and device manufacturing method |
KR101861493B1 (ko) | 2003-04-11 | 2018-05-28 | 가부시키가이샤 니콘 | 액침 리소그래피 머신에서 웨이퍼 교환동안 투영 렌즈 아래의 갭에서 액침 액체를 유지하는 장치 및 방법 |
TWI295414B (en) * | 2003-05-13 | 2008-04-01 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
WO2004102646A1 (ja) * | 2003-05-15 | 2004-11-25 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法 |
TWI474380B (zh) * | 2003-05-23 | 2015-02-21 | 尼康股份有限公司 | A method of manufacturing an exposure apparatus and an element |
TWI421911B (zh) | 2003-05-23 | 2014-01-01 | 尼康股份有限公司 | An exposure method, an exposure apparatus, and an element manufacturing method |
JPWO2004107416A1 (ja) * | 2003-05-27 | 2006-07-20 | 株式会社ニコン | 露光装置及びデバイスの製造方法 |
KR101915914B1 (ko) | 2003-05-28 | 2018-11-06 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 방법, 노광 장치, 및 디바이스 제조 방법 |
KR101087516B1 (ko) | 2003-06-04 | 2011-11-28 | 가부시키가이샤 니콘 | 스테이지 장치, 고정 방법, 노광 장치, 노광 방법, 및디바이스의 제조 방법 |
US7213963B2 (en) * | 2003-06-09 | 2007-05-08 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
KR101940892B1 (ko) * | 2003-06-13 | 2019-01-21 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 방법, 기판 스테이지, 노광 장치, 및 디바이스 제조 방법 |
KR101686762B1 (ko) | 2003-06-19 | 2016-12-28 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치 및 디바이스 제조방법 |
WO2005010611A2 (en) | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Nikon Corporation | Wafer table for immersion lithography |
JP4835155B2 (ja) * | 2003-07-09 | 2011-12-14 | 株式会社ニコン | 露光装置及びデバイス製造方法 |
EP2264531B1 (en) | 2003-07-09 | 2013-01-16 | Nikon Corporation | Exposure apparatus and device manufacturing method |
EP1643543B1 (en) * | 2003-07-09 | 2010-11-24 | Nikon Corporation | Exposure apparatus and method for manufacturing device |
WO2005006418A1 (ja) * | 2003-07-09 | 2005-01-20 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法 |
KR101343720B1 (ko) | 2003-07-28 | 2013-12-20 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치 및 디바이스 제조 방법, 그리고 노광 장치의제어 방법 |
EP1503244A1 (en) | 2003-07-28 | 2005-02-02 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic projection apparatus and device manufacturing method |
US7009359B2 (en) * | 2003-08-08 | 2006-03-07 | Asml Holding N.V. | Foam core chuck for the scanning stage of a lithography system |
KR101769722B1 (ko) * | 2003-08-21 | 2017-08-18 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법 |
TWI637425B (zh) | 2003-08-29 | 2018-10-01 | 尼康股份有限公司 | Exposure apparatus, component manufacturing method, and liquid removal method |
WO2005022616A1 (ja) | 2003-08-29 | 2005-03-10 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法 |
US20050057102A1 (en) * | 2003-09-11 | 2005-03-17 | Nikon Corporation | Holding member, coolant, cooling method and cooling device, linear motor device, stage device, and exposure apparatus |
JP4444920B2 (ja) * | 2003-09-19 | 2010-03-31 | 株式会社ニコン | 露光装置及びデバイス製造方法 |
KR101323396B1 (ko) | 2003-09-29 | 2013-10-29 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광장치, 노광방법 및 디바이스 제조방법 |
JP2005136364A (ja) * | 2003-10-08 | 2005-05-26 | Zao Nikon Co Ltd | 基板搬送装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 |
KR101203028B1 (ko) | 2003-10-08 | 2012-11-21 | 가부시키가이샤 자오 니콘 | 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법, 노광 장치 및 노광 방법, 디바이스 제조 방법 |
TW201738932A (zh) | 2003-10-09 | 2017-11-01 | Nippon Kogaku Kk | 曝光裝置及曝光方法、元件製造方法 |
DE602004030365D1 (de) | 2003-10-22 | 2011-01-13 | Nippon Kogaku Kk | Belichtungsvorrichtung, belichtungsverfahren und verfahren zur bauelementeherstellung |
EP1679738A4 (en) * | 2003-10-28 | 2008-08-06 | Nikon Corp | EXPOSURE DEVICE, EXPOSURE METHOD AND COMPONENT MANUFACTURING METHOD |
TWI569308B (zh) | 2003-10-28 | 2017-02-01 | 尼康股份有限公司 | 照明光學裝置、曝光裝置、曝光方法以及元件製造 方法 |
TWI361450B (en) | 2003-10-31 | 2012-04-01 | Nikon Corp | Platen, stage device, exposure device and exposure method |
JP2005159322A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-06-16 | Nikon Corp | 定盤、ステージ装置及び露光装置並びに露光方法 |
KR101117429B1 (ko) * | 2003-10-31 | 2012-04-16 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 |
TWI387855B (zh) * | 2003-11-13 | 2013-03-01 | 尼康股份有限公司 | A variable slit device, a lighting device, an exposure device, an exposure method, and an element manufacturing method |
KR20060109430A (ko) * | 2003-11-17 | 2006-10-20 | 가부시키가이샤 니콘 | 스테이지 구동 방법, 스테이지 장치, 및 노광장치 |
TWI519819B (zh) | 2003-11-20 | 2016-02-01 | 尼康股份有限公司 | 光束變換元件、光學照明裝置、曝光裝置、以及曝光方法 |
KR101682884B1 (ko) | 2003-12-03 | 2016-12-06 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법, 그리고 광학 부품 |
US20050128449A1 (en) * | 2003-12-12 | 2005-06-16 | Nikon Corporation, A Japanese Corporation | Utilities transfer system in a lithography system |
KR101681852B1 (ko) * | 2003-12-15 | 2016-12-01 | 가부시키가이샤 니콘 | 스테이지 장치, 노광 장치, 및 노광 방법 |
KR20180117228A (ko) | 2004-01-05 | 2018-10-26 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법 |
JP4710611B2 (ja) | 2004-01-15 | 2011-06-29 | 株式会社ニコン | 露光装置及びデバイスの製造方法並びに露光方法 |
CN1938646B (zh) * | 2004-01-20 | 2010-12-15 | 卡尔蔡司Smt股份公司 | 曝光装置和用于投影透镜的测量装置 |
US20050162802A1 (en) * | 2004-01-22 | 2005-07-28 | Nikon Research Corporation Of America | Offset gap control for electromagnetic devices |
JP4319189B2 (ja) * | 2004-01-26 | 2009-08-26 | 株式会社ニコン | 露光装置及びデバイス製造方法 |
US7221433B2 (en) * | 2004-01-28 | 2007-05-22 | Nikon Corporation | Stage assembly including a reaction assembly having a connector assembly |
US7589822B2 (en) * | 2004-02-02 | 2009-09-15 | Nikon Corporation | Stage drive method and stage unit, exposure apparatus, and device manufacturing method |
KR101377815B1 (ko) | 2004-02-03 | 2014-03-26 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 |
EP3252533B1 (en) | 2004-02-04 | 2019-04-10 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, and method for producing a device |
WO2005076325A1 (ja) * | 2004-02-04 | 2005-08-18 | Nikon Corporation | 露光装置及び方法、位置制御方法並びにデバイス製造方法 |
TWI412067B (zh) | 2004-02-06 | 2013-10-11 | 尼康股份有限公司 | 偏光變換元件、光學照明裝置、曝光裝置以及曝光方法 |
US7557900B2 (en) | 2004-02-10 | 2009-07-07 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, device manufacturing method, maintenance method, and exposure method |
JP4572896B2 (ja) * | 2004-02-19 | 2010-11-04 | 株式会社ニコン | 露光装置及びデバイスの製造方法 |
KR100541740B1 (ko) * | 2004-02-19 | 2006-01-11 | 삼성전자주식회사 | 이송장치 |
US20070030467A1 (en) * | 2004-02-19 | 2007-02-08 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, and device fabricating method |
WO2005081292A1 (ja) * | 2004-02-20 | 2005-09-01 | Nikon Corporation | 露光装置、供給方法及び回収方法、露光方法、ならびにデバイス製造方法 |
US8027813B2 (en) * | 2004-02-20 | 2011-09-27 | Nikon Precision, Inc. | Method and system for reconstructing aberrated image profiles through simulation |
TW201816844A (zh) * | 2004-03-25 | 2018-05-01 | 日商尼康股份有限公司 | 曝光裝置、曝光方法、及元件製造方法 |
US7034917B2 (en) * | 2004-04-01 | 2006-04-25 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, device manufacturing method and device manufactured thereby |
EP1746637B1 (en) * | 2004-04-09 | 2012-06-20 | Nikon Corporation | Drive method for mobile body, stage device, and exposure device |
KR101330370B1 (ko) | 2004-04-19 | 2013-11-15 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 |
US7486381B2 (en) * | 2004-05-21 | 2009-02-03 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
KR101264936B1 (ko) * | 2004-06-04 | 2013-05-15 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법 |
KR101257960B1 (ko) | 2004-06-04 | 2013-04-24 | 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하 | 광학적 결상 시스템의 결상 품질을 측정하기 위한 시스템 |
JP4655039B2 (ja) | 2004-06-07 | 2011-03-23 | 株式会社ニコン | ステージ装置、露光装置及び露光方法 |
CN103558737A (zh) | 2004-06-09 | 2014-02-05 | 尼康股份有限公司 | 基板保持装置、具备其之曝光装置、方法 |
KR101421915B1 (ko) | 2004-06-09 | 2014-07-22 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 |
US8717533B2 (en) * | 2004-06-10 | 2014-05-06 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, and method for producing device |
US8508713B2 (en) * | 2004-06-10 | 2013-08-13 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, and method for producing device |
US8373843B2 (en) * | 2004-06-10 | 2013-02-12 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, and method for producing device |
KR101700546B1 (ko) * | 2004-06-10 | 2017-01-26 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치, 노광 방법, 및 디바이스 제조 방법 |
KR101485650B1 (ko) | 2004-06-10 | 2015-01-23 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법 |
US8698998B2 (en) * | 2004-06-21 | 2014-04-15 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, method for cleaning member thereof, maintenance method for exposure apparatus, maintenance device, and method for producing device |
US8368870B2 (en) * | 2004-06-21 | 2013-02-05 | Nikon Corporation | Exposure apparatus and device manufacturing method |
KR101342303B1 (ko) | 2004-06-21 | 2013-12-16 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치 및 그 부재의 세정 방법, 노광 장치의 메인터넌스 방법, 메인터넌스 기기, 그리고 디바이스 제조 방법 |
US7292310B2 (en) * | 2004-07-02 | 2007-11-06 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and a device manufacturing method |
US7463330B2 (en) | 2004-07-07 | 2008-12-09 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
DE602005016429D1 (de) * | 2004-07-12 | 2009-10-15 | Nippon Kogaku Kk | Hren |
EP1788694A4 (en) * | 2004-07-15 | 2014-07-02 | Nikon Corp | EQUIPMENT FOR PLANAR MOTOR, STAGE EQUIPMENT, EXPOSURE EQUIPMENT AND METHOD OF MANUFACTURING THE DEVICE |
US7914972B2 (en) * | 2004-07-21 | 2011-03-29 | Nikon Corporation | Exposure method and device manufacturing method |
US7030959B2 (en) * | 2004-07-23 | 2006-04-18 | Nikon Corporation | Extreme ultraviolet reticle protection using gas flow thermophoresis |
CN105204296B (zh) * | 2004-08-03 | 2018-07-17 | 株式会社尼康 | 曝光装置的控制方法、曝光装置及元件制造方法 |
TW200615716A (en) * | 2004-08-05 | 2006-05-16 | Nikon Corp | Stage device and exposure device |
WO2006023595A2 (en) | 2004-08-18 | 2006-03-02 | New Way Machine Components, Inc. | Moving vacuum chamber stage with air bearing and differentially pumped grooves |
KR20070048164A (ko) * | 2004-08-18 | 2007-05-08 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 |
EP1796143B1 (en) * | 2004-09-01 | 2011-11-23 | Nikon Corporation | Substrate holder, stage apparatus, and exposure apparatus |
JP2006083883A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Fujikura Rubber Ltd | 除振台装置 |
WO2006030908A1 (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-23 | Nikon Corporation | 基板保持装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
KR101264939B1 (ko) * | 2004-09-17 | 2013-05-15 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법 |
CN101015039B (zh) * | 2004-09-17 | 2010-09-01 | 尼康股份有限公司 | 曝光用基板、曝光方法及元件制造方法 |
JP4071227B2 (ja) * | 2004-09-28 | 2008-04-02 | 株式会社新川 | ボンディング装置 |
EP1806828A4 (en) | 2004-10-01 | 2016-11-09 | Nikon Corp | LINEAR MOTOR, FLOOR APPARATUS AND EXPOSURE APPARATUS |
WO2006040890A1 (ja) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法 |
TW200628995A (en) * | 2004-10-13 | 2006-08-16 | Nikon Corp | Exposure device, exposure method, and device manufacturing method |
KR101285951B1 (ko) | 2004-10-26 | 2013-07-12 | 가부시키가이샤 니콘 | 기판 처리 방법, 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 |
KR20070085214A (ko) | 2004-11-11 | 2007-08-27 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 방법, 디바이스 제조 방법, 및 기판 |
US20070285634A1 (en) * | 2004-11-19 | 2007-12-13 | Nikon Corporation | Maintenance Method, Exposure Method, Exposure Apparatus, And Method For Producing Device |
KR101220613B1 (ko) | 2004-12-01 | 2013-01-18 | 가부시키가이샤 니콘 | 스테이지 장치 및 노광 장치 |
CN100483625C (zh) * | 2004-12-02 | 2009-04-29 | 株式会社尼康 | 曝光装置、曝光方法以及器件制造方法 |
KR101171808B1 (ko) * | 2004-12-02 | 2012-08-13 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 |
TW200625026A (en) * | 2004-12-06 | 2006-07-16 | Nikon Corp | Substrate processing method, method of exposure, exposure device and device manufacturing method |
US7397533B2 (en) * | 2004-12-07 | 2008-07-08 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP4752473B2 (ja) * | 2004-12-09 | 2011-08-17 | 株式会社ニコン | 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
US9224632B2 (en) | 2004-12-15 | 2015-12-29 | Nikon Corporation | Substrate holding apparatus, exposure apparatus, and device fabricating method |
CN101084471B (zh) * | 2004-12-23 | 2012-08-29 | Asml荷兰有限公司 | 支持结构与光刻设备 |
KR20070090876A (ko) * | 2004-12-24 | 2007-09-06 | 가부시키가이샤 니콘 | 자기 안내 장치, 스테이지 장치, 노광 장치, 및 디바이스의제조 방법 |
US7450217B2 (en) * | 2005-01-12 | 2008-11-11 | Asml Netherlands B.V. | Exposure apparatus, coatings for exposure apparatus, lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby |
JP4984893B2 (ja) * | 2005-01-21 | 2012-07-25 | 株式会社ニコン | リニアモータ、ステージ装置、及び露光装置 |
EP1843204A1 (en) | 2005-01-25 | 2007-10-10 | Nikon Corporation | Exposure device, exposure method, and micro device manufacturing method |
US20070258068A1 (en) * | 2005-02-17 | 2007-11-08 | Hiroto Horikawa | Exposure Apparatus, Exposure Method, and Device Fabricating Method |
US20060192858A1 (en) * | 2005-02-28 | 2006-08-31 | Calvet Robert J | Oil damping for camera optical assembly |
US7283210B2 (en) * | 2005-03-22 | 2007-10-16 | Nikon Corporation | Image shift optic for optical system |
JP4872916B2 (ja) | 2005-04-18 | 2012-02-08 | 株式会社ニコン | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
CN100555568C (zh) | 2005-04-28 | 2009-10-28 | 株式会社尼康 | 曝光方法及曝光装置、以及元件制造方法 |
KR101524964B1 (ko) | 2005-05-12 | 2015-06-01 | 가부시키가이샤 니콘 | 투영 광학계, 노광 장치 및 노광 방법 |
US8693006B2 (en) * | 2005-06-28 | 2014-04-08 | Nikon Corporation | Reflector, optical element, interferometer system, stage device, exposure apparatus, and device fabricating method |
JP2007012375A (ja) * | 2005-06-29 | 2007-01-18 | Toyota Motor Corp | 燃料電池、燃料電池用電極触媒層の製造方法、及び燃料電池の運転方法 |
JP5353005B2 (ja) * | 2005-07-11 | 2013-11-27 | 株式会社ニコン | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
EP1918983A4 (en) * | 2005-08-05 | 2010-03-31 | Nikon Corp | STAGE EQUIPMENT AND EXPOSURE DEVICE |
US7580112B2 (en) * | 2005-08-25 | 2009-08-25 | Nikon Corporation | Containment system for immersion fluid in an immersion lithography apparatus |
DE102005045680A1 (de) * | 2005-09-24 | 2007-04-05 | Edmund Uschkurat | Vorrichtung zum Ausrichten eines Gegenstandes |
US8125610B2 (en) | 2005-12-02 | 2012-02-28 | ASML Metherlands B.V. | Method for preventing or reducing contamination of an immersion type projection apparatus and an immersion type lithographic apparatus |
DE102005061215B4 (de) * | 2005-12-21 | 2019-06-06 | Lucas Automotive Gmbh | Motorsteuerungsschaltung mit Fehlerüberwachung |
US7649611B2 (en) | 2005-12-30 | 2010-01-19 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
IL180639A0 (en) * | 2006-03-13 | 2007-06-03 | Tool Internat Ag F | Clamping apparatus for positioning and fixing work pieces |
DE102006021797A1 (de) | 2006-05-09 | 2007-11-15 | Carl Zeiss Smt Ag | Optische Abbildungseinrichtung mit thermischer Dämpfung |
JP4130837B2 (ja) | 2006-06-16 | 2008-08-06 | 住友重機械工業株式会社 | ステージ用反力処理装置 |
US20080073563A1 (en) | 2006-07-01 | 2008-03-27 | Nikon Corporation | Exposure apparatus that includes a phase change circulation system for movers |
KR101236043B1 (ko) * | 2006-07-14 | 2013-02-21 | 가부시키가이샤 니콘 | 스테이지 장치, 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 |
KR101259643B1 (ko) | 2006-07-28 | 2013-04-30 | 엘지전자 주식회사 | 노광기의 스테이지 진직도 보상장치 |
US7973910B2 (en) * | 2006-11-17 | 2011-07-05 | Nikon Corporation | Stage apparatus and exposure apparatus |
TW200846838A (en) * | 2007-01-26 | 2008-12-01 | Nikon Corp | Support structure and exposure apparatus |
US8237911B2 (en) | 2007-03-15 | 2012-08-07 | Nikon Corporation | Apparatus and methods for keeping immersion fluid adjacent to an optical assembly during wafer exchange in an immersion lithography machine |
US20080225248A1 (en) * | 2007-03-15 | 2008-09-18 | Nikon Corporation | Apparatus, systems and methods for removing liquid from workpiece during workpiece processing |
US7830046B2 (en) * | 2007-03-16 | 2010-11-09 | Nikon Corporation | Damper for a stage assembly |
US20080231823A1 (en) * | 2007-03-23 | 2008-09-25 | Nikon Corporation | Apparatus and methods for reducing the escape of immersion liquid from immersion lithography apparatus |
JP5267029B2 (ja) | 2007-10-12 | 2013-08-21 | 株式会社ニコン | 照明光学装置、露光装置及びデバイスの製造方法 |
CN101418434B (zh) * | 2007-10-23 | 2011-06-22 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 溅镀载台 |
US8379187B2 (en) | 2007-10-24 | 2013-02-19 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
US9116346B2 (en) | 2007-11-06 | 2015-08-25 | Nikon Corporation | Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
CN101520606B (zh) * | 2008-01-02 | 2011-07-20 | 西安交通大学 | 非接触长行程多自由度纳米精密工作台 |
NL2002925A1 (nl) * | 2008-05-29 | 2009-12-01 | Asml Netherlands Bv | Inspection method and apparatus, lithographic apparatus, lithographic processing cell and device manufacturing method. |
US8796644B2 (en) * | 2008-08-18 | 2014-08-05 | Mapper Lithography Ip B.V. | Charged particle beam lithography system and target positioning device |
NL2003363A (en) * | 2008-09-10 | 2010-03-15 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus, method of manufacturing an article for a lithographic apparatus and device manufacturing method. |
US8451431B2 (en) * | 2009-01-27 | 2013-05-28 | Nikon Corporation | Control systems and methods applying iterative feedback tuning for feed-forward and synchronization control of microlithography stages and the like |
US20100222898A1 (en) * | 2009-01-27 | 2010-09-02 | Nikon Corporation | Stage-control systems and methods including inverse closed loop with adaptive controller |
TWI398570B (zh) * | 2009-08-11 | 2013-06-11 | Ruentex Eng & Constr Co Ltd | 微震控制建築系統 |
US8767174B2 (en) * | 2010-02-18 | 2014-07-01 | Nikon Corporation | Temperature-controlled holding devices for planar articles |
EP2381310B1 (en) | 2010-04-22 | 2015-05-06 | ASML Netherlands BV | Fluid handling structure and lithographic apparatus |
US20130255414A1 (en) | 2010-09-09 | 2013-10-03 | Nikon Corporation | Parallel Linkage and Actuator Motor Coil Designs for Tube Carrier |
CN102231051A (zh) * | 2011-05-20 | 2011-11-02 | 合肥芯硕半导体有限公司 | 一种光刻机气动自动对焦装置及对焦方法 |
US8572518B2 (en) | 2011-06-23 | 2013-10-29 | Nikon Precision Inc. | Predicting pattern critical dimensions in a lithographic exposure process |
US9030057B2 (en) | 2011-06-24 | 2015-05-12 | Nikon Corporation | Method and apparatus to allow a plurality of stages to operate in close proximity |
TWI458902B (zh) * | 2012-05-02 | 2014-11-01 | Academia Sinica | 線性致動模組 |
US9977343B2 (en) | 2013-09-10 | 2018-05-22 | Nikon Corporation | Correction of errors caused by ambient non-uniformities in a fringe-projection autofocus system in absence of a reference mirror |
CN104880911B (zh) * | 2014-02-28 | 2018-01-30 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种光刻机工件台及其垂向位置初始化方法 |
NL2014792A (en) | 2014-06-16 | 2016-03-31 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus, method of transferring a substrate and device manufacturing method. |
NL2013783B1 (en) * | 2014-11-12 | 2016-10-07 | Phenom-World Holding B V | Sample stage. |
CN107290933B (zh) * | 2016-03-30 | 2018-11-09 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种光刻机投影物镜的调平装置及调平方法 |
US10890849B2 (en) | 2016-05-19 | 2021-01-12 | Nikon Corporation | EUV lithography system for dense line patterning |
US11067900B2 (en) | 2016-05-19 | 2021-07-20 | Nikon Corporation | Dense line extreme ultraviolet lithography system with distortion matching |
US10295911B2 (en) | 2016-05-19 | 2019-05-21 | Nikon Corporation | Extreme ultraviolet lithography system that utilizes pattern stitching |
US10712671B2 (en) | 2016-05-19 | 2020-07-14 | Nikon Corporation | Dense line extreme ultraviolet lithography system with distortion matching |
CN108279551B (zh) * | 2017-01-05 | 2020-10-27 | 复旦大学 | 光刻机运动平台及其微运动平台和控制方法 |
US20190368024A1 (en) * | 2017-02-24 | 2019-12-05 | Applied Materials, Inc. | Positioning arrangement for a substrate carrier and a mask carrier, transportation system for a substrate carrier and a mask carrier, and methods therefor |
US11934105B2 (en) | 2017-04-19 | 2024-03-19 | Nikon Corporation | Optical objective for operation in EUV spectral region |
US11054745B2 (en) | 2017-04-26 | 2021-07-06 | Nikon Corporation | Illumination system with flat 1D-patterned mask for use in EUV-exposure tool |
US11300884B2 (en) | 2017-05-11 | 2022-04-12 | Nikon Corporation | Illumination system with curved 1d-patterned mask for use in EUV-exposure tool |
US11360400B2 (en) | 2017-05-19 | 2022-06-14 | Massachusetts Institute Of Technology | Transport system having a magnetically levitated transportation stage |
US11393706B2 (en) | 2018-04-20 | 2022-07-19 | Massachusetts Institute Of Technology | Magnetically-levitated transporter |
US11280381B2 (en) * | 2019-05-24 | 2022-03-22 | Onto Innovation Inc. | Active damper for semiconductor metrology and inspection systems |
Family Cites Families (122)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US27289A (en) * | 1860-02-28 | Island | ||
US27436A (en) * | 1860-03-13 | Kaitge | ||
AU411601B2 (en) * | 1966-05-31 | 1971-03-12 | Alden Sawyer | Magnetic positioning device |
US3457482A (en) * | 1967-10-30 | 1969-07-22 | Bruce A Sawyer | Magnetic positioning device |
US3789285A (en) * | 1972-03-27 | 1974-01-29 | Handotai Kenkyu Shinkokai | Position control system using magnetic force |
US3889164A (en) * | 1973-01-24 | 1975-06-10 | Handotai Kenkyu Shinkokai | Position control system using magnetic forces for correcting the inclination of a controlled member including a torsional mounting |
JPS553679B2 (ja) * | 1973-08-27 | 1980-01-26 | ||
US4019109A (en) * | 1974-05-13 | 1977-04-19 | Hughes Aircraft Company | Alignment system and method with micromovement stage |
NL164370C (nl) | 1974-07-01 | Litton Industries Inc | Cardanuskoppeling voor het ophangen van een gyroscoop, alsmede een werkwijze voor het vervaardigen van een dergelijke koppeling. | |
JPS51123565A (en) * | 1975-04-21 | 1976-10-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Three-dimention-position differential adjustment of processing article |
JPS5313272A (en) * | 1976-07-23 | 1978-02-06 | Hitachi Ltd | Precision planar moving plate |
JPS5485678A (en) * | 1977-12-20 | 1979-07-07 | Canon Inc | High accuracy alignment method for air bearing guide system xy stage |
US4687980A (en) * | 1980-10-20 | 1987-08-18 | Eaton Corporation | X-Y addressable workpiece positioner and mask aligner using same |
US4443743A (en) * | 1978-10-05 | 1984-04-17 | Mcdonnell Douglas Corporation | Two axis actuator |
US4383757A (en) * | 1979-04-02 | 1983-05-17 | Optimetrix Corporation | Optical focusing system |
JPS55134414A (en) * | 1979-04-06 | 1980-10-20 | Hitachi Ltd | Precise moving unit |
US4392642A (en) * | 1980-12-22 | 1983-07-12 | Anorad Corporation | Workpiece positioning table with air bearing pads |
JPS5868118A (ja) * | 1981-10-20 | 1983-04-22 | Telmec Co Ltd | 高精度位置決めステ−ジ用防振装置 |
US4492356A (en) * | 1982-02-26 | 1985-01-08 | Hitachi, Ltd. | Precision parallel translation system |
US4425508A (en) * | 1982-05-07 | 1984-01-10 | Gca Corporation | Electron beam lithographic apparatus |
US4504144A (en) * | 1982-07-06 | 1985-03-12 | The Perkin-Elmer Corporation | Simple electromechanical tilt and focus device |
JPS5961132A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-04-07 | Fujitsu Ltd | 電子ビ−ム露光装置 |
US4575942A (en) * | 1982-10-18 | 1986-03-18 | Hitachi, Ltd. | Ultra-precision two-dimensional moving apparatus |
JPS5990929A (ja) | 1982-11-17 | 1984-05-25 | Canon Inc | 投影露光装置のピント合わせ方法 |
US4516253A (en) * | 1983-03-15 | 1985-05-07 | Micronix Partners | Lithography system |
US4514858A (en) * | 1983-03-15 | 1985-04-30 | Micronix Partners | Lithography system |
US4506205A (en) * | 1983-06-10 | 1985-03-19 | The Perkin-Elmer Corporation | Electro-magnetic alignment apparatus |
US4506204A (en) * | 1983-06-10 | 1985-03-19 | The Perkin-Elmer Corporation | Electro-magnetic apparatus |
US4485339A (en) * | 1983-06-10 | 1984-11-27 | The Perkin-Elmer Corporation | Electro-magnetic alignment device |
US4507597A (en) * | 1983-06-10 | 1985-03-26 | The Perkin-Elmer Corporation | Electro-magnetic alignment assemblies |
DE3343886A1 (de) * | 1983-12-05 | 1985-06-13 | Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg | Drehanoden-roentgenroehre mit einem gleitlager |
JPS60140722A (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-25 | Canon Inc | 精密移動装置 |
JPS60150950A (ja) * | 1984-01-20 | 1985-08-08 | Hitachi Ltd | 案内装置 |
FR2566987B1 (fr) * | 1984-06-29 | 1986-10-10 | Thomson Cgr | Dispositif radiologique a asservissement en position de foyer |
JPS6130345A (ja) * | 1984-07-20 | 1986-02-12 | Omron Tateisi Electronics Co | 静圧空気浮上ステ−ジ |
JPS6130346A (ja) * | 1984-07-23 | 1986-02-12 | Omron Tateisi Electronics Co | 静圧空気浮上ステ−ジ |
US4653408A (en) * | 1984-09-05 | 1987-03-31 | Citizen Watch Co., Ltd. | Table mechanism for controlling table attitude |
JPS61109637A (ja) * | 1984-10-31 | 1986-05-28 | Hitachi Ltd | テ−ブル装置 |
NL8500930A (nl) * | 1985-03-29 | 1986-10-16 | Philips Nv | Verplaatsingsinrichting met voorgespannen contactloze lagers. |
US4818169A (en) * | 1985-05-17 | 1989-04-04 | Schram Richard R | Automated wafer inspection system |
JPS6243128A (ja) * | 1985-08-20 | 1987-02-25 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 投影光学装置 |
US4654571A (en) * | 1985-09-16 | 1987-03-31 | Hinds Walter E | Single plane orthogonally movable drive system |
US4641071A (en) * | 1985-09-25 | 1987-02-03 | Canon Kabushiki Kaisha | System for controlling drive of a wafer stage |
US4742286A (en) * | 1985-10-29 | 1988-05-03 | Micro-Stage, Inc. | Gas bearing X-Y-θ stage assembly |
JPS62108185A (ja) * | 1985-11-06 | 1987-05-19 | 大日本スクリ−ン製造株式会社 | 移動テ−ブル装置 |
US4808892A (en) | 1985-12-13 | 1989-02-28 | Kulick And Soffa Ind. Inc. | Bi-directional drive motor system |
JPS62158341A (ja) * | 1985-12-30 | 1987-07-14 | Hoya Corp | 移動ステ−ジ |
US4744675A (en) * | 1986-01-21 | 1988-05-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Moving mechanism |
JPS62200726A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-04 | Canon Inc | 露光装置 |
NL8601095A (nl) * | 1986-04-29 | 1987-11-16 | Philips Nv | Positioneerinrichting. |
JPH0658410B2 (ja) * | 1986-05-23 | 1994-08-03 | 株式会社ニコン | ステ−ジ装置 |
JPS6320014A (ja) * | 1986-07-15 | 1988-01-27 | Mitsubishi Electric Corp | 液体循環濾過装置 |
US4723086A (en) * | 1986-10-07 | 1988-02-02 | Micronix Corporation | Coarse and fine motion positioning mechanism |
US4993696A (en) * | 1986-12-01 | 1991-02-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Movable stage mechanism |
JPH0727042B2 (ja) * | 1986-12-02 | 1995-03-29 | キヤノン株式会社 | ステ−ジ装置 |
US4891526A (en) | 1986-12-29 | 1990-01-02 | Hughes Aircraft Company | X-Y-θ-Z positioning stage |
US4803712A (en) | 1987-01-20 | 1989-02-07 | Hitachi, Ltd. | X-ray exposure system |
JPS62181430A (ja) * | 1987-01-23 | 1987-08-08 | Hitachi Ltd | 露光装置の校正方法 |
NL8701139A (nl) * | 1987-05-13 | 1988-12-01 | Philips Nv | Geleideinrichting. |
JP2601834B2 (ja) | 1987-08-26 | 1997-04-16 | 株式会社東芝 | テーブル装置 |
US4812725A (en) * | 1987-10-16 | 1989-03-14 | Anwar Chitayat | Positioning device with dual linear motor |
US4870668A (en) * | 1987-12-30 | 1989-09-26 | Hampshire Instruments, Inc. | Gap sensing/adjustment apparatus and method for a lithography machine |
US5040431A (en) * | 1988-01-22 | 1991-08-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Movement guiding mechanism |
US4916340A (en) * | 1988-01-22 | 1990-04-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Movement guiding mechanism |
DE68911330T2 (de) * | 1988-02-08 | 1994-05-26 | Toshiba Kawasaki Kk | Vorrichtung mit einem Ausrichtungsgestell. |
US4952858A (en) * | 1988-05-18 | 1990-08-28 | Galburt Daniel N | Microlithographic apparatus |
JP2960423B2 (ja) | 1988-11-16 | 1999-10-06 | 株式会社日立製作所 | 試料移動装置及び半導体製造装置 |
JP2787082B2 (ja) * | 1988-11-24 | 1998-08-13 | 株式会社ニコン | 投影式露光装置および投影式露光方法ならびに素子製造方法 |
US5022619A (en) * | 1988-12-09 | 1991-06-11 | Tokyo Aircraft Instrument Co., Ltd. | Positioning device of table for semiconductor wafers |
US5208497A (en) | 1989-04-17 | 1993-05-04 | Sharp Kabushiki Kaisha | Linear driving apparatus |
JP2807893B2 (ja) * | 1989-04-18 | 1998-10-08 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | マスク保持機構 |
NL8902472A (nl) * | 1989-10-05 | 1991-05-01 | Philips Nv | Positioneerinrichting. |
NL8902471A (nl) * | 1989-10-05 | 1991-05-01 | Philips Nv | Tweetraps positioneerinrichting. |
US5184055A (en) | 1989-10-06 | 1993-02-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Device for positioning control |
US5453315A (en) | 1989-11-27 | 1995-09-26 | Censtor Corp. | Unitary micro-flexure structure and method of making same |
US5059090A (en) * | 1990-01-16 | 1991-10-22 | International Business Machines Corp. | Two-dimensional positioning apparatus |
US5228358A (en) * | 1990-02-21 | 1993-07-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Motion guiding device |
JPH0719693Y2 (ja) | 1990-04-27 | 1995-05-10 | エヌティエヌ株式会社 | 移動テーブル |
US5140242A (en) | 1990-04-30 | 1992-08-18 | International Business Machines Corporation | Servo guided stage system |
US5280677A (en) * | 1990-05-17 | 1994-01-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Positioning mechanism |
NL9001910A (nl) * | 1990-08-30 | 1992-03-16 | Philips Nv | Elektromagnetische ondersteuning met stroomonafhankelijke eigenschappen. |
GB2249189B (en) | 1990-10-05 | 1994-07-27 | Canon Kk | Exposure apparatus |
NL9100202A (nl) * | 1991-02-05 | 1992-09-01 | Asm Lithography Bv | Lithografische inrichting met een hangende objecttafel. |
JP3182158B2 (ja) | 1991-02-25 | 2001-07-03 | キヤノン株式会社 | 露光装置用のステージ支持装置 |
NL9100407A (nl) | 1991-03-07 | 1992-10-01 | Philips Nv | Optisch lithografische inrichting met een krachtgecompenseerd machinegestel. |
US5241183A (en) * | 1991-03-22 | 1993-08-31 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Vertical xy stage |
JPH0774079A (ja) * | 1993-09-02 | 1995-03-17 | Nikon Corp | 露光方法及び露光装置 |
US5385217A (en) | 1991-05-20 | 1995-01-31 | Ebara Corporation | Vibration eliminating apparatus for elminating vibration of an installation floor |
US5684856A (en) * | 1991-09-18 | 1997-11-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Stage device and pattern transfer system using the same |
JP2714502B2 (ja) * | 1991-09-18 | 1998-02-16 | キヤノン株式会社 | 移動ステージ装置 |
JPH05122472A (ja) * | 1991-10-23 | 1993-05-18 | Fuji Xerox Co Ltd | 画像処理装置 |
JP2757626B2 (ja) * | 1991-10-28 | 1998-05-25 | 松下電器産業株式会社 | レチクルケース |
US5504407A (en) | 1992-02-21 | 1996-04-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Stage driving system |
US5282393A (en) | 1992-05-08 | 1994-02-01 | New Focus, Inc. | Precision component positioner |
US5338121A (en) | 1992-07-24 | 1994-08-16 | Fujitsu Limited | Shuttle apparatus for printer |
JP2816513B2 (ja) | 1992-08-26 | 1998-10-27 | 鹿島建設株式会社 | 電磁式浮き床構造 |
US5477304A (en) | 1992-10-22 | 1995-12-19 | Nikon Corporation | Projection exposure apparatus |
JP3336441B2 (ja) | 1992-11-25 | 2002-10-21 | 株式会社ニコン | 露光方法及び装置、並びに前記方法を用いるデバイス製造方法 |
KR100300618B1 (ko) * | 1992-12-25 | 2001-11-22 | 오노 시게오 | 노광방법,노광장치,및그장치를사용하는디바이스제조방법 |
JP3265670B2 (ja) * | 1993-01-21 | 2002-03-11 | 株式会社ニコン | ステージ装置、ステージ駆動方法、及び露光装置 |
JP3277581B2 (ja) * | 1993-02-01 | 2002-04-22 | 株式会社ニコン | ステージ装置および露光装置 |
US5285142A (en) * | 1993-02-09 | 1994-02-08 | Svg Lithography Systems, Inc. | Wafer stage with reference surface |
JP2974535B2 (ja) | 1993-03-11 | 1999-11-10 | キヤノン株式会社 | 位置決め装置 |
KR0139039B1 (ko) * | 1993-06-30 | 1998-06-01 | 미타라이 하지메 | 노광장치와 이것을 이용한 디바이스 제조방법 |
JPH07169672A (ja) * | 1993-12-14 | 1995-07-04 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | X線マスク位置決め装置 |
TW357404B (en) | 1993-12-24 | 1999-05-01 | Tokyo Electron Ltd | Apparatus and method for processing of plasma |
JP3226704B2 (ja) | 1994-03-15 | 2001-11-05 | キヤノン株式会社 | 露光装置 |
US5874820A (en) | 1995-04-04 | 1999-02-23 | Nikon Corporation | Window frame-guided stage mechanism |
US5528118A (en) | 1994-04-01 | 1996-06-18 | Nikon Precision, Inc. | Guideless stage with isolated reaction stage |
KR950034472A (ko) * | 1994-04-06 | 1995-12-28 | 가나이 쓰토무 | 패턴형성방법 및 그것에 사용되는 투영노광장치 |
JPH0817151A (ja) | 1994-04-27 | 1996-01-19 | Sharp Corp | 情報記録再生装置のモータ制御装置 |
JPH07297118A (ja) * | 1994-04-27 | 1995-11-10 | Canon Inc | 基板および基板保持方法ならびにその装置 |
US5530516A (en) | 1994-10-04 | 1996-06-25 | Tamarack Scientific Co., Inc. | Large-area projection exposure system |
US5623853A (en) | 1994-10-19 | 1997-04-29 | Nikon Precision Inc. | Precision motion stage with single guide beam and follower stage |
US5552888A (en) | 1994-12-02 | 1996-09-03 | Nikon Precision, Inc. | Apparatus for measuring position of an X-Y stage |
US6008500A (en) * | 1995-04-04 | 1999-12-28 | Nikon Corporation | Exposure apparatus having dynamically isolated reaction frame |
US5508518A (en) | 1995-05-03 | 1996-04-16 | International Business Machines Corporation | Lithography tool with vibration isolation |
EP0772801B1 (en) * | 1995-05-30 | 2003-07-16 | ASML Netherlands B.V. | A positioning device with a reference frame for a measuring system |
US5760564A (en) | 1995-06-27 | 1998-06-02 | Nikon Precision Inc. | Dual guide beam stage mechanism with yaw control |
DE69601763T2 (de) | 1995-09-04 | 1999-09-09 | Canon Kk | Einrichtung zur Antriebsregelung |
US5812420A (en) | 1995-09-05 | 1998-09-22 | Nikon Corporation | Vibration-preventive apparatus and exposure apparatus |
JP3221823B2 (ja) * | 1995-11-24 | 2001-10-22 | キヤノン株式会社 | 投影露光装置およびこれを用いた露光方法ならびに半導体製造方法 |
-
1995
- 1995-04-04 US US08/416,558 patent/US5874820A/en not_active Expired - Lifetime
-
1996
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-
1998
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-
1999
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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